1289674 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種檢查在基板上形成的導電圖 態的導電圖案檢查裝置。 【先前技術】 作爲檢查在基板上形成的導電圖案（c〇nductive pattern)的狀態的方法，現有技術中，已知使觸頭探針 probe)接觸導電圖案兩端的方法。其在一個觸頭探針中流 過電流而利用另一個觸頭探針檢測電壓值。並且，藉由從· 所檢測的值中求出導電圖案的電阻值，而檢測出導電圖案 的斷線（disconnection)和短路（sh〇rt)。 但疋’该方法中’存在有因觸頭探針的接觸造成的導 電圖案損傷和必須根據導電圖案的間距來替換觸頭探針的 問題。 因此’日本專利申請公開2002— 365325號公報中公開 有一種以非接觸方式檢查導電圖案的狀態的電路圖案檢查_ 裝置。其從與導電圖案的一端靜電電容粞合 (electrostatic capacitory coupling)的饋電電極將交 /’IL仏號饋電給導電圖案。並且，藉由靜電電容搞合到導電 圖案的另一端的兩種感測器電極檢測出該信號，並根據所 檢測出的信號來檢查導電圖案的狀態。 由此，由於可以非接觸方式進行檢查，所以不會損傷 圖案’不需要根據間距來替換探針。 【發明内容】 5 315982 1289674 仁疋為私查裝置中，饋電的信號係形成從饋電電極 流向導電®案且從導電圖案流向接地的電流路徑。因此， 導電圖案上所感應的電壓值非常小，很容易受到雜音的影· 曰口此不此進行可靠性高的檢查。另外，需要供給高、 電壓的信號，而需要放電等的因應措施。 一因此，本發明的目的是提供一種可更簡單地進行可靠 性高的檢查的導電圖案檢查裝置。 本發明的導電圖案檢查裝置係檢查在基板上配置的複 數個導電圖案的狀態，其特徵在於包括：感測器電極，與 被檢電路圖案的—端靜電搞合；饋電電極，與包含被檢電 路圖案的至少兩個以上的連續導電圖案的另一端電性連 接’七5虎知加機構，透過饋電電極和感測器電極對被檢電 路圖案施加交流信號；電流值檢測機構，用以檢測出在信 唬施加機構的電源和感測器電極或饋電電極間流通的電流 广欢測機構，根據所檢測出的電流值，檢測出有無 導電圖案的斷線或短路。 ，發明的另—導電圖案檢查裝置係檢查在基板上配置 、禝數個導電圖案的狀態，其特徵在於包括：一對第一電 含被檢電路圖案和其兩侧的導電圖㈣至少三個 P電圖案的兩端電性連接；一對第二電極，爲配置 靜：C案的兩側的導電圖案上的-對電極’且分別 :/到兩側的導電圖案上；第一施加機構，藉由一對 力^極將第—頻率的交流信號施加至導電圖案；第二施 σ冓’猎由-對第二電極將第二頻率的交流信號施加至 315982 6 1289674 W圖案’感測器電極，設置在被檢電路圖案上的電極， 且靜電耦合到被檢電路圖案上；電壓檢測機構，檢測出感 測器電極的每個頻率的電壓值；缺陷檢測機構，根據所檢 測出的電壓值檢測有無斷線和短路。 本發明的其他導電圖案檢查裝置係檢查在基板上以列 狀配置、並透過Cs用公共條連接其—端的複數個Cs圖案 及與Cs圖案彼此父互配置成列狀的複數個問極圖案，其特 徵在於包括：Cs用電極，與包含被檢電路Cs圖案的至、少 “個乂上的Cs圖案的另一端靜電耦合；Cs用施加機構， 藉由C s m條和G s用t極將第_頻率的交流信號施加 至被檢電路Cs圖案；—對閘極用電極，與包含相鄰於被檢 電路Cs圖案的被檢電路閘極圖_至少-個以上的閘極 圖案的兩端電性連接；閘極用施加機構，藉由-對閑極用 電，將第—頻率的父流信號施加至被檢電路間極圖案；感 :電，’與被檢電路Cs圖案或被檢電路閘極圖案靜電麵 合，電壓值檢測機構，檢測出感測器電極的每個頻率的電 壓值；缺陷檢職構，根據所檢測出的電壓值檢測出Cs 圖案和閘極圖案的缺陷。 本發明的另-導電圖案檢查裝置係檢查在基板上以列 ’-置並透過CS用公共條連接其一端的複數個a圖案 和舁Cs圖案彼此交互配置成列狀的複數個 转 ㈣於包括：Cs用電極’與包含被檢電路_案的至 一：以上的Cs圖案的另一端靜電耦合；Cs用施加機構， 精C s用公共條和c s用電極將交流信號施加至被檢電路 315982 7 1289674
Cs圖案；一對閘極用電極，盥 興包含相鄰於被檢電路Cs圖 案的被檢電路閘極圖案的至少加，、，L k H ^ 土 ㈣主夕—個u上的閘極圖案的兩端 笔性連接；閘極用施加機構，藉由—對閘極用電極將交厂 k號施加至被檢電路閘極圖案；感測器電極，並且盥被二 =路CS圖案或被檢電路閘極圖案靜電輕合，與Cs用施： 機構和閘極用施加機構的電源相連；電流值檢測機構，檢 測出電源和感測器電極之間的電流值；缺陷檢測機構，根 據所檢測出的電流值檢測出Cs圖案和閘極圖案的短路和 斷線。 _ 另外，在此，雖然基板最好是用於液晶顯示面板等的 玻璃基板，但疋若爲以列狀配置複數個導電圖案的基板， 也可以是其他基板。另外，導電圖案包含稱爲閘極圖案 Uate pattern )、Cs 圖案、資料圖案（data pauern) 等的導電圖案。 …根據本發明，即使施加於導電圖案的交流信號的施加 率變高，且為低電壓的交流信號，也可進行可靠性高的檢鲁 查。因此，可以更簡單地進行可靠性高的檢查。 根據其他本發明，即使施加於閘極圖案和Cs圖案的交 流k唬的施加率提高，且爲低電壓的交流信號，也可進行 可罪性高的檢查。因此，可以更簡單地進行可靠性高的閑 極圖案和Cs圖案的檢查。 【實施方式】 下面，參照附圖說明本發明的實施例。下面的說明中， 尤其將用於液晶顯示面板等的玻璃基板上配置的導電圖案 8 315982 1289674 作爲被檢電路。但是，並不限於此，若爲具有彼此獨立的 列狀導電圖案，也可以其他導電圖案爲被檢電路。 第1圖表不作爲本發明的實施例的圖案檢查置 · 的概略側視圖；第2圖表示概略俯視圖。 一 · 省装置10檢查玻璃基板12上配置的導電圖案η的狀 I、玻璃基板12係藉由圖中沒有顯示的吸附機構固定在基 台24上。在玻璃基板12上以列狀配置複數個導電圖案 14省‘电圖案14在正常狀態下彼此獨立，而不與相鄰的 導電圖案14接觸。另外，以大致等間距之方式配置，其兩_ 端的位置大致相同。但是，即使是具有不等間距和不等長 度的導電圖案的玻璃基板，也可透過調整兩種電極的大小 等來對應。 在玻璃基板12的上方間隔預定空間設置兩種電極 16、18。饋電電極16是檢查時定位於導電圖案14的一端 上方的導電性板。其具有覆蓋全部圖案端部的寬度，並與 全部導電圖案14的一端靜電耦合（capacitive ^ coupling)。但是，饋電電極 16 (electric suppiy 1 ect rode )右爲覆盍兩個以上圖案的端部的寬度也可以 疋其他覓度。這時，可以配合後述的感測器電極18向γ 方向的移動，饋電電極16也移動。 感測器電極18是大致一個圖案寬的導電性板。其在檢 查有無斷線或者短路般的缺陷時，定位於被檢電路的導電 圖案14的另一端的上方。另外，在檢測缺陷位置時，沿被 檢電路的導電圖案14 (x方向）移動。該感測器電極18 315982 9 1289674 也與導電圖案14靜電搞合。將移動時的感測器電極i8的 位置貧訊發送到圖中沒有顯示的控制裝置，並進行餘存。 電源20是將交流信號施加至導電圖案14用的交流電· 源。將該電源、20 #兩端連接到感測器電極18和饋電電極v 16。因此’從電源20纟成.、輸出的交流信號係透過與導電 圖案14靜電輕合的感測益電極18及饋電電極^施加至 電圖案14。 在此，透過兩電極16、18對導電圖案14具有的靜電 電容的比來分割施加至導電圖案14的電壓。由於相對一個· 圖案感測器電極18和饋電電極16具有的靜電電容大致相 等，一所、以施加於導電圖案14的電壓是所施加的交流電壓的 、勺一刀之一。因此，可以高效率地施加電壓由電源2〇 輸出的信號的電壓可以幾伏特到幾十伏特般的低電壓。 在電源20和感測器電極18之間設置檢測電流值的電 流檢測器22。將由該電流檢測器22檢測出的電流值送到 控制裝置’而與感測器電極18的位置資訊一起儲存。電流籲 檢測器22中例如可使用變屢器，可透過調整所捲繞的線: 捲數來調整檢測靈敏度。另外，也可由差動放大器檢測出 電阻的電壓降。 接著，說明該圖案檢查裝置1〇的導電圖案檢查原理。
在檢查導電圖案14有無缺陷（斷線和短路）的情況下，將 感測器電極18定位於被檢電路導電圖案14的一端上方 將饋電電極16定位在另一端上方’而從電源2〇輸出交流 b號。所輸出的交流信號經感測器電極18和饋電電極W 315982 10 1289674 施加給導電圖案14。 在導電圖案14是沒有斷線和短路的正常圖案時， 。括導電圖案14的閉合電路。 牵厂 因此，藉由使感測器電極18摩月與圖案平行的方向 圖的Y方向）移動，而得到第2圖的右侧所示的電流值。 即’當感測器電極18位於正常的導電圖案14上時，檢測 出預定值的電流值，當其位於斷線圖案⑷上時，檢測出 大致爲〇的電流值，當其位於短路圖案14b上 比預定值高的電流值。 、〗出 通對應於所化加的信號的電壓和電路内的電阻的預定值 (大於〇)的電流。由電流檢測器22檢測出該電流值。 =方面，在有斷線Α的斷線圖案l4a的情況下，不 :々，。因此’電流檢測器22檢測出大致爲0的電流值。 ::，在有短路B的短路圖案14b的情況下，整體的電阻 值降低’而檢測出比正常的導電圖案u高的電流。 將該電流值和感測器電極丨8的位置資訊送到控制裴 置’在控制裝置中根據這些資訊來特定有短路和斷線的導 電圖案。# ’可檢測出在檢測出大致爲〇㈣流值時，將 與感測器電極18靜電耦合的導電圖案檢測爲斷線圖案，與 檢測出預定值以上的電流值時的感測器電極18靜電耦合、 的導電圖案檢測爲短路圖案。 此時，如上所述，由於透過兩端經大致相同的靜電電 合對V電圖案14施加交流信號，所以即使施加低電壓的信 號也可檢測出高的電流值。因此，很難受到噪音的影響， 315982 11 1289674 即使爲低電壓也可進行高精密度的檢查。另外，由於爲低 電壓，所以不需要放電因應措施等，可進行簡單檢查。而· 且，僅藉由在與導電圖案14正交的方向上移動—次感測器，: 電極18，即可同時進行有無斷線和短路的檢查。 、 ★接著’用第3圖、第4圖說明檢測缺陷的位置的原理。 第3圖是表示斷線位置檢測原理的圖’第4圖是表示短路 位置檢測原理的圖。分別在圖的下侧表示由電流檢測器Μ 檢測出的電流值。 在檢測斷線位置或短路位置的情況下，沿斷線圖案φ 14a或短路圖案14b移動感測器電極18。 在沿斷線圖案14a移動感測器電極18的情況下，檢测 出第3圖的下侧所示的電流值。亦即’在感測器電流以 處於斷線A之前（圖中左側）的期間，由於沒有流通電流， 所以檢測出大致爲〇的值。並且，在感測器電極心超過斷 線位置的時刻’檢測出預定值的電流值。並且，若接近饋 电電極16側，由於整體的電阻值降低，所以電流值升高。 將該電流值和感測器電極18的位置資訊送到控制裝置，在 控制裝置中根據這些資訊檢測出斷線位置。亦即，將電流 值從大致爲〇變化爲職值時的感測器電極18的 2 斷線位置檢測出。 4 另方面，在沿短路圖案14b移動感測器電極18的情 =下’檢測出第4圖的下側所示的電流值。亦即，在感測 咨電極18處於短政r夕a # ·、 短路β之别期間，電流值穩步增加，在超過 短路Β的時刻爲大钤 〜 ^ 』局大致一疋。並且，若感測器電極18進一步 315982 12 1289674 接近饋電電極16側，重新開始緩慢增加。將控健置中從 平穩增加到一定的變化點時的感測器電極18的位置作爲" 短路位置檢測出。 … 如此，藉由沿著有缺陷的導電圖案移動感測器電極， 檢測出此時的電流值，而可特定缺陷位置。 另外，本實施例中，雖然移動感測器電極18，但是也 I移動玻璃基板12。另外，也可在全部圖案的有無缺陷檢 ，結束㈣行㈣位置的_，也可在每錢 案時進行。 [實施例2] 饋電電極來 接著，說明將公共條（common bar)作爲 使用的情況。 ’' 通導電圖t 14中’爲了防止因靜電而產生的導電圖案 的知傷，通過被稱爲公共條的導電性板來連接全部導電圖 案的一端。在爲這種玻璃基板的情況下，也可將該公共^ 用作饋電電極。 具體而言’如第5圖所示，藉由感測器電極丨8和公共 條30對導電圖案14施加交流信號。此時，對公共條3〇 的饋電例如，也可使用單觸頭的接觸式探針等。2於公共 锋30與全部圖案的一端物理電性連接，所以具有與上述饋 電電極同樣的作用。 “ 口此，在使感測器電極18沿Y方向移動的情況下，由 電流檢測器22檢測出的電流值爲第5圖的右側所示。亦 即，在斷線圖案14a上檢測出大致爲〇的電流值，在短路 315982 13 1289674 圖案14b上檢測出比預定值大的電流值。另外，在檢測出 斷線A或短路B的位置的情況下，也可沿著有缺陷的導電 圖案移動感測器電極18。 * 如此’藉由將公共條30用作饋電電極，可以更容易地· 進行圖案檢查。另外，由於可以更確實地進行對導電圖案 14的饋電，所以可以進行更正確的檢查。 [實施例3] 接者，說明其他實施例。 第6圖是作爲其他實施例的圖案檢查裝置1〇的概略俯# 視圖。該圖案檢查裝置丨〇中，作爲饋電電極係使用設置在 圖案兩鳊的一對第一電極32和設置在被檢電路圖案的兩 側圖案上的-對第二電極34。另外，根據設置在被檢電路 圖案上的感測裔電極3 6的電壓值進行缺陷檢查。 一對第一電極32爲檢查時定位於導電圖案14的兩端 上方的‘電ϋ板，具有作爲斷線檢查用的饋電電極的功 能。第一電極32具有覆蓋全部圖案的端部的寬度，並且與 全部導電圖案14的端部靜電耦合。但是，第一電極犯若 爲覆盍包含被檢電路圖案和其兩侧的導電圖案的三個以上 圖案端部的寬度，也可以爲其他寬度。此時，也可配合後 述的感測器電極36向Υ方向移動，第—電極32也移^。 對第一包極34在檢查時是定位於被檢電路圖案的 兩側圖案上方的導電性板，具有作爲短路檢查用的饋電電 極的功能。第二電極34大致具有與"案相同的寬度，並 且與被檢電路圖案的兩侧導電圖t 14靜電麵合。該第二電 315982 14 1289674 極34也可配合後述的感測器電極36的移動而移動。 感測器電極36是大致一圖案寬度的導電性板。其在檢 查有無斷線或短路等缺陷時’定位於與被檢電路的導電圖， 案^的中央偏離預定距離的位置上。另夕卜在檢測缺陷位. 置時，沿著被檢電路的導電圖案14移動。該感测器電極 36也與‘電圖案14靜電搞合。將此時的感測器電極加的 位置貧訊送到圖中未顯示的控制裝置後，進行儲存。 ★第一電源40和第二電源42係生成、輸出頻率不同的 第-頻率fl和第二頻率f2的錢信號。將第—電源ί 的兩端連接到一對第一電極32，將第二電源42的兩端連 接到一對第二電極以。因此，從第-電源40和第二電源 42生成、輸出的兩個頻率n、f2的交流信號係分別藉由、 一對第一電極32和第二電極32施加至導電圖宰曰 二在在-對第一電極32和導電圖案二成的 静电電谷在兩端大致相等。因此，施加於導電圖案Η的第 一頻率fl的電壓爲所施加的交流電壓的約二分之—。由着 此’由於可以高效率地施加電壓’所以電源4〇輸 的電塵可以是幾伏特到幾十伏特的低電麗。另外，由^ 對Ϊ二電極34形成的靜電電容也在兩侧大致相等，所以第 一電源42輸出的信號的電壓彳以是幾伏特到幾十伏 低電壓。第一電源4〇和第二電源42最好都使、 來作爲中點接地。 w 、、將檢測每一頻率的電壓值的電壓值檢測器44連接到 感測益電極36 °其由放大由感測器電極％檢測出的交流 315982 15 1289674 k號的放大器46和取出每一頻率的信號用的識別濾波器 48 (diSCriminatingfilter)構成。由此，可以檢測出每 頻率的電壓值。另外，還包括可判別所檢測出的信號極· 性的相位檢波器（圖中未顯示）。 · 接著，說明该圖案檢查裝置1〇的導電圖案檢查原理。 在檢查有無缺陷（斷線或短路）的情況下，將感測器 電極36定位於對於被檢電路的導電圖案14的中央偏移的 位置士，從第一電源40輸出交流信號。將該交流信號經由 一對弟一電極32施加至導電圖案η。 _ 由於第一電源40是中點接地，所以經由一對第一電源 40施加的信號電壓在其兩端相位相差i 8〇度。因此，由正 苇的‘電圖案14感應的電壓值因抵消，而在圖案中心大致 爲〇，越接近其兩端，越慢慢增加或減小。因此，在導電 圖案14是沒有短路或斷線的正常圖案的情況下，由於感測 器電，36位於與導電圖案14的中心偏移的位置，所以在 感測器電極上施加有預定的電壓。由電壓值檢測器44檢測 出該電壓值。 另一方面，在有斷線A的斷線圖案Ua的情況下，沒有抵 /肖攸導電圖案14的左右施加的反相位電壓。因此，在與中 央位置偏移的感測器電極36中’直接（仍沒有抵消相位） 檢測出從-端施加的電壓值。該電壓值比由正常導電圖案 14檢測出的㈣值較高。因此，絲測出比預定的電壓值 高的頻率fl的電壓，可以作爲斷線圖案檢測出。 另方面，在檢查有無短路的情況下，將感測器電極 315982 16 1289674 36定位於與被檢電路導電圖案14的中心偏㈣ :足第二電源42輸出第二頻㈣的交流信號。在導電圖幸 ^爲沒有短路的正常圖案心下，極36^ 有頻率爲f 2的預定值電壓。藉由 該電壓值。另-方面，在有;值檢.44檢測出· 在有紐路Β的短路圖案14b的情 ^由於從兩侧施加的電壓失去平衡，所以檢 =的電壓。因此’若檢測出比預定的電壓值高= 的電壓，可檢測爲短路圖案。 τ 因此，藉由使感測器電極36朝與圖案直交的方向 φ 6圖的Y方向)移動，而可得到第6圖右側所示的電壓值。 即，在感測器電極36位於正常的導電圖案14上時，頻 Π的電壓值爲預定的值，在處於斷線圖案…上時，檢 出1 匕預定值高的電壓值。另—方面，在感測II電極36位於 正系的‘電圖案14上時，頻率f2的電壓值檢測出預定值 =電壓值’在處於短路圖案14b上時檢測出比預定值高的 電壓。 將該電流值和感測器電極18的位置資訊送到控制裝# 置’並在控制裝置中根據這些資訊特定有缺陷的導電圖 案。亦即，在檢測出預定值以上的頻率…的電壓值時，將 與感測器電極36靜電耦合的圖案作爲斷線圖案檢測出。另 ^ +在檢測出預定值以上的頻率f2的電壓值時，將與感測 為私極36靜電耦合的圖案作爲短路圖案檢測出。 带田然，也可同時進行有無該斷線和短路的檢測。由於 毛壓值檢測器44具有檢測每-頻率的電壓值用的識別滤 315982 17 1289674 波器48，所以即使向導電圖案14施加π和f2的電壓， 也可檢測出各自的電壓值。因此，藉由使感測器電極36 和第二電極34移動，而可同時檢測出短路和斷線。 · 此時，如上所述，由於兩端中透過大致相同的靜電電· 谷將父彳5 5虎施加給導電圖案1 4，所以信號施加率變高。 因此，即使信號爲低電壓，也可感應出可充分檢測的電壓， 即使是低電壓，也很難受到噪音等的影響，也可進行高精 密度的檢查。另外，由於是低電壓，所以不需要有放電等 的因應措施，可進行簡單檢查。再者，僅藉由沿著與導電< 圖案14正交的方向上移動一次感測器電極36和第二電極 34 ’即可同時檢測出斷線a和短路b兩者。 當感測器電極恰好位於斷線位置的情況下，或處於斷 線與畊線之間的情況下，不能由感測器電極檢測出電壓 值。但是，此時並未檢測出規定的電壓值，而檢測出〇電 [值因此，可以將檢測出大致爲〇的電壓值的導電圖案 作爲斷線圖案檢測出。 彳 π “另ί，本實施例中，以電源作爲中點接地，而使感測 電極疋位於與中心偏離的位置上。這是因爲可以確實地 =〇 d值作爲異常檢測出。但是，即使不這樣，由於正 /、圖案#有缺陷的圖案中電壓值有一些變化，所以可以 將有變化的®案作爲缺陷圖案檢測出。 接著使用第7圖、第8圖說明檢測斷線短位置 的原理。 第7圖疋表不斷線位置檢測原理的圖，帛8圖是表示 315982 18 1289674 短路位置檢測原理的圖。分別在圖的下側表示由電壓值檢 測器44檢測出的電壓值。 在檢測出斷線的情況下，使感測器電極36沿斷線圖案· 14a移動。此時，檢測出第7圖的下側所示的電壓值。亦. 即，感測器電極36處於斷線A之前（圖中左側）期間，檢 測出從單侧（圖中左侧）施加的信號的電壓值。並且，在 感測器電極36超過了斷線位置的時刻，相位變化18〇度， 而檢測出從相反側（圖中右側）施加的信號的電壓值。因 此，藉由相位檢波器判別由感測器電極36檢測出的信號極鐵 性，而將極性翻轉的位置作爲斷線位置檢測出。將該檢測 結果和感測器電極36的位置資訊送到控制裝置，在控制裝 置中根據14些貧訊檢測出斷線位置。亦即，將電壓的相位 變化了 180度時的感測器f極36的位置作爲斷線位置 出。 、 另方面，在使感測器電極36沿短路圖案i4b移動的 情況下，檢測出第8圖的下側所示的電壓值。亦即，感測· 益電極36在短路B之前爲預定值的電壓值，由於越接近於 短路位置，越失去平衡，所以當來到短路位置的上方時， 表示急遽上升下降的峰值。並且’若超過短路β，重新回 到預定值的電壓值。亦即，在短路3的位置中檢測出電壓 值的峰值，制裝置中將檢測出該峰值電壓值時的感測器 電極36的位置作爲短路位置檢測出。 如此，使感測器電極沿著有缺陷的導電圖案移動，藉 由檢測出此時的電壓值，而可特定缺陷位置。 315982 19 1289674 另外，本實施例中，雖然移動感測器電極36，但是也 可移動玻璃基板12。另外，也可在檢查全部圖案有無缺陷 結束後進行缺陷位置的檢測，也可每次檢測出缺陷圖案時· 進行。另外，在將公共條連接到導電圖案14的情況下，也· 可將公共條用作第一電極。 [實施例4] 接著，說明作爲其他實施例的圖案檢查裝置1 〇。 該圖案檢查裝置1 0尤其用於液晶顯示面板中使用的 玻璃基板上配置的閘極圖案和Cs圖案的檢查。 < 在液晶顯示面板的製造工藝中，首先同時在玻璃基板 12上配置閘極圖案和cs圖案。閘極圖案是在玻璃基板上 以列狀配置的複數個導電圖案。CS圖案是與其交互配置成 列狀的導電圖案。由於該閘極圖案和CS圖案的距離極小 (例如，幾十um)，所以很容易產生短路。以下說明尤其 適用於該短路檢查的圖案檢查裝置1〇。 第9圖表示該圖案檢查裝置1 〇的概略俯視圖。 在被檢電路的玻璃基板12上彼此相鄰配置閘極圖案 50和Cs圖案52。另外，閘極圖案50和Cs圖案52都藉由 公共條54、58連接其一端。 在玻璃基板12的上方設置閘極用電極56、Cs用電極 60來作爲饋電電極。另外，將感測器電極62設置在被檢 電路的導電圖案上。 閘極用電極56是在檢查時設置在與閘極用公共條54 相反侧的閘極圖案50的一端的導電性板。其具有覆蓋全部 20 315982 1289674 閘極圖案50的一端的寬度，並且與全部閘極圖案5〇的一 端靜電麵合。但是，若爲覆蓋包含被檢電路的閘極圖案的 一個以上的閘極圖案的寬度，也可以是其他寬度。此時， 也可配合後述的感測器電極62朝γ方向的移動^移動日、。’ Cs用電㈣是檢查時設置在與Cs用公共條58相反 侧的Cs圖案52的一端的導電性板。其也與Cs圖案 電耦合’具有覆蓋全部Cs圖案52的一端的寬度：當然； 爲覆蓋包含被檢電路Cs圖案的一個以上的Cs_案^ 度，也可以是其他寬度。 見 感測器電極62是在檢查時定位於被檢電路的間 案50或Cs圖案52上方的導電性板，並與這些圖案靜 合。感測器電極62在檢查時可沿γ方向或向移動 此牯的位置貧訊送到未圖示的控制裝置後，進行儲存。 在感測器電極62中設置電壓值檢測器76，而檢 感測器電極62的位置的電壓值。將所檢測出的電|值與 測器62的位置資訊—起送到控制裝置後，進行儲存。12 電壓值檢測器76係由放大由感測器電極Μ檢測出的 交^信號的放大器78、及取出每一頻率的信號用的識靜 波^80所構成。由此，可以檢查出每個頻率的電屡值。另 ^ 還包括可判別所檢測出的信號的極性的相位檢波器 中未顯示）。 猎由閘極用電極56和閘極用公共條54對閘極圖案5〇 =加頻率fl的父流信號。其藉由將—端連接到閘極用電極 56、將另-端連接到閉極用公共纟54的間極用電源认來 315982 21 1289674 施加。另一方面，m ^ 9由Cs用電極6〇及Cs用公共 過Cs用電源66將頻率^9 λα a + 、’、 透 頰羊f2的交流信號施加至Cs圖案52。 閘極用電源64和Cs用堂、jspp ^ US用電源66都是中點接地。 R接著，說明間極圖案50和Cs圖案52的短路A和 β的檢測原理。此時，將$ 斷、、、炱 閘柽電極62定位於被檢電路的 閘極圖案50或Cs圖崇L •丄 '、 上。此日寸，感測器電極6 2芒士本 位於與圖案的中心若干偏移的位置上。電㈣2取好 該狀態下，從閘極用電源64和Cs用雷、7? ββ ^ i f 1 ^ ^ Ls用冤源66施加頻率 fl、f2的交流信號。並且， 肩羊 測哭雷朽R9沾且4 w电&值杈測益76檢測出感 、J ™電極62的母一頻率的電壓值。 此時’雖然在沒有短 上碭庫右韻至f⑽線B的正吊閘極圖案50 4應有頻率fl (閘極用電源的頻率） 應頻率f 2 ( Cs用雷、、/i μ μ十、 1 一/又有感 、半⑷Cs用^的頻率）的電壓。另外 的Cs圖案52上感應有頻率f2( c 、、、在正书 仁疋“感應頻率”的電壓（閘極用電源的頻率）。 率：;ΛV在有短路A的閘極圖帛5 0 a上還感應有頻 革fl_和頻率。的電壓。另外 、 厂:案广也感應有頻㈣和頻率-的兩個=S 二亦即’可判斷爲感應有頻率f2(Cs用電源的頻率）的 二的閉極圖案、感應有頻率n (閘極 電歷的CS®案產生短i 頂羊）的 接著，說明檢測有無斷線B的情況。 B 主、ο π ^ #細測有無斷線 ^兄下，者眼於所檢測出的電壓值。當開極圖案50、
Cs圖案52都爲正常圖案的情況下，檢測出預定值的電塵 315982 22 1289674 值。這是因爲從圖案的兩侧施加有反相位的電壓。由於存 在電壓的相位抵消，所以電壓值在圖案中心大致爲〇，隨 著接近於兩端會緩慢變高（變低）。因此，在與中心偏移若‘ · 干位置的感測器電極62的位置上，檢測出預定的電壓值· · (大於0 )。 另一方面，在有斷線的圖案5〇b、52b的情況下，由於 沒有相位抵消，所以檢測出比預定值高的電壓。亦即，將 檢測出比預定值高的電壓值的圖案作爲斷線圖案5〇卜5化 檢測出。 麵^ 另外，當感測器電極恰好處於斷線位置的情況下，或 錢線和斷線之間的情況下，不能由感測器電極檢測出電 壓值。但是，此時並未檢測出預定的電壓值，而檢測出〇 電壓值。因此，檢測出大致爲G的電壓值的導電圖案可以 作爲斷線圖案檢測出。 / 藉由使感測器電極62沿γ方向移動而得到第9圖右侧 所不的電壓值。亦即’當感測器電極62位於產生短路Α · 的Cs圖案52a上或閘極圖案5〇a上時’頻率η和頻率f2 的電壓都檢測出預定的值。 万面 备位於產生斷線的閘極圖案50b上時，頻 率fl的電壓值會變其。玄从 ^ 士 曰支冋另外，當位於產生斷線的CS圖案 52b上枯，檢測出頻率爲f2的高電壓。 位置資訊送到控制裝 線圖荦裝置中’根據這些¥訊檢測出短路圖案和斷 相案。亦即’將檢測出頻率爲fl的電壓的&圖案Μ 315982 23 1289674 或檢測出頻率爲f2的電壓的閘極圖案5〇作爲短路圖案檢 」另外，將檢測出比預定值高、或0電壓值的圖荦作爲 斷線圖案檢測出。 ▲、接著，說明檢測缺陷位置的情況。在檢測缺陷位置的· I1月况下’使感測益電極6 2沿著缺陷圖案移動。 若使感測器電極62沿短路圖案50a、52a移動，在感 測器電極6 2位於短路a的上方時檢測出最大的電壓值（第 u圖）。另一方面，若使感測器電極62沿斷線圖案5〇b、 52b移動，則當感測器電極⑽位於斷線b的上方時相位# =轉180度（第11圖）。控制裝置中，根據電壓值（相位 檢波結果）和感測器電極6 2的位置資訊檢測出短路或斷線 的位置。 口如此，根據本實施例，由於從圖案的兩端施加交流信 故信號施加率很高。因&，檢測的信號很難受嗓音的 衫響，可以進行高精密度的檢查。另外，由於即使爲低電 壓的交流信號也可進行檢查，所以不需要放電因應措施 等，可以進行簡單的檢查。 另外，可以容易地檢測出容易產生短路的閘極圖案和 Cs圖案的短路。而且，藉由使感測器電極62沿γ方向移 動’而可同時進行有無短路或斷線的檢查。 另外，本實施例中，雖然使用了有閘極用公共條54 的玻璃基板12，但是當然也可以是沒有閘極用公共條54 的玻璃基板12。在沒有閘極用公共條54的情況下，也可 以在閘極圖案50的兩端設置與閘極圖案的端部靜電耦合 315982 24 1289674 的一對閘極用電極56。 [貫施例5 ] 、接著，使用第12圖說明其他實施例。其也是適用於檢· 測閘極圖案和Cs圖案的短路的圖案檢查裝置丨〇。 · 其根據電流值進行有無缺陷的檢測。 在該圖案檢查裝置10中，也可將感測器電極62連接 到閘極用電源64和Cs用電源66的中點。 接著，說明使用該圖案檢查裝置1〇的有無缺陷（短路 或斷線）的檢查。 ⑩ 此時，將感測器電極62定位於被檢電路的閘極圖案 5〇或Cs圖案52上。並且，藉由各自的電極％、6〇和公 共條54、58將交流信號施加至閘極圖案5〇和&圖案52。 此時，將感測器電極62連接到兩電源64、66的中:。在 此情況下，藉由連接感測器電極62和電源64、66的線， 而形成兩個電路…和IL。若是沒有短路A或斷線B的正 常圖案，則流通於該IR和IL的電流值大致相等，且爲逆春 向。因此，在正常圖案的情況下，電流檢測器68、7〇中檢 測出大致爲0的電流值。 但疋，在感測器電極62位於產生短路a的圖案5〇&、 52b上的情況下，由於電壓的平衡受到破壞（以和辽中的 電流值不相等），所以兩個電流檢測器68、7〇中檢測出高 的電流值。將此時的電流值和感測器電極62的位置資訊二 起儲存到控制裝置中。 ' 另外’在有斷線B的情況下也檢測出高的電流值。但 315982 25 1289674 是，此時與產了斷線B的圖幸χη6Λϊ闰安m ^ 口茶不同的圖案用的電流檢測器 爲大致0的電流值。亦即，在關士岡安 1仕閘極圖案有斷線的情況下， 在間極用電流檢測器6 8中檢測出高的電流值，在C s用電. 流檢測器7 0中檢測出大致爲0的電流值。相反地，在c S · 圖案有斷線的情況下，在Cs用電流檢測器中檢測出高的電 流值，在閘極用電流檢測器68中檢測出大致爲0的電流 值。 因此’在閘極用電流檢測器68、cs用電流檢測器70 兩者檢測出高的電流值的情況下，可判斷爲短路，僅在閘鲁 極用電流檢測器68、Cs用電流檢測器70的其中一個檢測 出高電流值的情況下，可判斷爲斷線。 口此藉由使感測态電極6 2沿Y方向移動，而可同時 進行有無斷線和短路的檢查。 在特定斷線位置的情況下，也可使感測器電極62沿著 有斷線的圖案移動。由於從圖案的兩側施加反相位的電 壓，所以以斷線位置爲邊界相位不同。因此，透過相位檢_ 波裝置（圖中未顯示）等觀察相位的變化而可特定斷線位 置。另外，由於斷線位置中，電流值大致爲〇，所以也可 以將檢測出大致爲〇的電壓值的位置特定爲斷線位置。 如此，根據本實施例，由於從圖案的兩端施加交流信 號’所以k號施加率很高。因此，所檢測出的信號很難受 噪音的影響，可進行高精密度的檢查。另外，由於即使是 低電壓的交流信號也可進行檢查，所以不需要放電等的因 應措施’可以簡單地進行檢查。 26 315982 1289674 ^ Cs^qV J/" ^ ^ ^ ^ ® ^ 4 LS圖案的短路。 [實施例6] 檢測第13圖說明其他實施例。其用於更容易地· 饱成ί出閘極圖案和Cs圖案的短路。 “該檢查裝置10檢測具有引出電極82的閘極圖案5〇 和糟由公共條58連接一端的Cs圖案52的短路。 將輸出、生成交流信號的電源64的兩端連接 公共條58。感測器電極62是具有與引出電極大翁 至相同見度的導電性板’在檢測出短路時，定位於連接到 被檢電路的導電圖案的引出電極82的上方，而與引出 極82靜電耦合。 將電源64的一端連接到公共條58,將另一端連接到 感測器電極6 2，在公共條5 8和電源6 4之間設置用以檢測 電流值的電流檢測器68。 接著，說明該圖案檢查裝置10的短路檢測原理。在檢鲁 測有無短路的情況下，將感測器電極62 $位於與被檢電路 的閘極圖案50連接的引出電極82上方。並且，從電源64 輸出父流信號。將電源20的一端連接到公共條58，將另 一端連接到感測器電極62。 此時，公共條58與Cs圖案52電性物理連接。另外， 感測器電極62係透過引出電極82與閘極圖案5〇電性連 接。因此，在閘極圖案50和Cs圖案52沒有短路的情況下， 未流通電流。因此，在感測器電極62位於正常圖案上的情 315982 27 1289674 況下，檢測出大致爲〇的電流值。 A—々f A :面右閘極圖案50和CS圖案52短路’則經由 短路部A流通電流。t卜，+ β、 在感測器電極62處於短路圖案· 上的f月況下，檢測出高的電流值。 因此’若使感測器電極6?、、儿 13圖的右側所示的雷泣枯 ^ …丁认 亦即，在正常的閘極圖案5〇 的f月況下’檢測出大致致ΡΙ Μ兩丄 4的電流值，在產生短路的閘極 圖案5 0 a的情況下，檢測中古 仅列出阿的電流值。；在控制裝置中， ^據此㈣電流值和❹"電極62的位置資訊來檢測有《 :短路亦即’將與檢測出高電流值時的感測器電極62 電性連接的閘極圖幸Μ #致 0茶作爲有短路的圖案檢測出。 如此’根據本實施例，可藉由一個電源檢測出有無短 路。 【圖式簡單說明】 第1圖疋作爲本發明的實施例的圖案檢查裝置的概略 側視圖； 第2圖疋作爲本發明的實施例的圖案檢查裝置的概略 俯視圖； 第3圖是顯示斷線位置檢測原理的圖； 第4圖是顯示短路位置檢測原理的圖； 第5圖是作爲其他實施例的圖案檢查裝置的概略俯視 圖； 第6圖是作爲其他實施例的圖案檢查裝置的概略俯視 圖； 28 315982 1289674 第7圖是顯示斷線位置檢測原理的圖； 第8圖是顯示短路位置檢測原理的圖； 苐9圖是作爲其他實施例的圖案檢查裝置的概略俯視 圖； 第10圖是顯示出短路位置檢測原理的圖； 第11圖是顯示出斷線位置檢測原理的圖； 第12圖是作爲其他實施例的圖案檢查裝置的概略俯 視圖； 苐13圖是作爲其他實施例的圖案檢查裝置的概略俯 視圖。 【主要元件符號說明】 10 圖案檢查裝置 12 玻璃基板 14 導電圖案 14a 斷線圖案 14b 短路圖案 16 饋電電極 18 、 36 、 62 感測器電極 20 、 40 、 42 、 64 、 66 電源 22 、 68 、 70 電流檢測器 30 、 54 、 58 公共條 32 第一電極 34 第二電極 44、76 電壓值檢測器 48、8a 識別濾波器 50 、 50a 、 50b 閘極圖案 52 、 52a 、 52b Cs圖案 56 閘極用電極 60 Cs用電極 315982 29 1289674 78 放大器 82 引出電極 A 斷線 B 短絡 fl、 f2 頻率
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