JP6674842B2 - センサ基板およびセンサ装置 - Google Patents
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Description
また本発明の他の態様のセンサ基板は、絶縁基板と、前記絶縁基板の一表面に配設された正負一対の検知電極と、前記絶縁基板に埋設された複数の貫通導体であって、前記検知電極の正極および負極の下面のそれぞれに、該貫通導体の上面が接合されている複数の貫通導体と、前記絶縁基板に埋設された、前記複数の貫通導体に対応する内層配線と、を備え、前記正負一対の検知電極は、櫛歯電極であり、前記検知電極の正極および負極それぞれの電極歯の先端または根元に、前記貫通導体が接合されており、前記内層配線は、前記正極に係る前記貫通導体に共通の内層配線と、前記負極に係る前記貫通導体に共通の内層配線と、を備えている。
図1(a)〜(e)は、本発明の第1の実施形態に係る多層構造のセンサ基板の構成の一例を示す図面である。図1(a)は、センサ基板1の上面図であり、図1(b)は、センサ基板1の第2層における配線の構成を示す図面であり、図1(c)は、センサ基板1の第3層における配線の構成を示す図面であり、図1(d)は、センサ基板1の第4層における発熱電極の構成を示す図面であり、図1(e)は、センサ基板1の裏面図である。また、図2は、図1(a)の切断面線A−Aにおける断面図である。
(第2の実施形態)
2,12 絶縁基板
2a,12a 第1面
3,4 検知電極
5a,5b,5c,5d ビア
6a,6b,6c,6d 接続端子
6e,6f,6g,6h 内部配線
7a,7b,7c,7d 内層配線
8、18 発熱電極
8a,8b 内部配線
9a,9b 接続パッド
10 センサ装置
13,14 検知電極
15a,15b,15c,15d ビア
16a,16b,16c,16d 接続端子
16e,16f,16g,16h 内部配線
17a,17b,17c,17d 内層配線
18a,18b 内部配線
19a,19b 接続パッド
20 全体制御部
30 煤検出部
41 第1故障検知部
42 第2故障検知部
43 第3故障検知部
44 第4故障検知部
50 ヒーター制御部
60 温度検知部
70 表示部
Claims (4)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の一表面に配設された正負一対の検知電極と、
前記絶縁基板に埋設された複数の貫通導体であって、前記検知電極の正極および負極の下面のそれぞれに、該貫通導体の上面が接合されている複数の貫通導体と、
前記絶縁基板に埋設された、前記複数の貫通導体に対応する内層配線と、を備え、
前記正負一対の検知電極は、櫛歯電極であり、
前記検知電極の正極および負極それぞれの電極歯の先端または根元に、前記貫通導体が接合されており、
前記内層配線は、前記貫通導体毎に1対1に対応づけて接続されていることを特徴とするセンサ基板。 - 絶縁基板と、
前記絶縁基板の一表面に配設された正負一対の検知電極と、
前記絶縁基板に埋設された複数の貫通導体であって、前記検知電極の正極および負極の下面のそれぞれに、該貫通導体の上面が接合されている複数の貫通導体と、
前記絶縁基板に埋設された、前記複数の貫通導体に対応する内層配線と、を備え、
前記正負一対の検知電極は、櫛歯電極であり、
前記検知電極の正極および負極それぞれの電極歯の先端または根元に、前記貫通導体が接合されており、
前記内層配線は、前記正極に係る前記貫通導体に共通の内層配線と、前記負極に係る前記貫通導体に共通の内層配線とを含んでいることを特徴とするセンサ基板。 - 請求項1または2に記載のセンサ基板と、
前記正負一対の検知電極における正極および負極に接合されている前記複数の貫通導体、および前記複数の貫通導体に対応する内層配線を含んで構成される回路における断線箇所の有無を判別する故障検知部と、
前記回路に電力を供給する電源と、を備えることを特徴とするセンサ装置。 - 前記故障検知部は、
前記正負一対の検知電極の正極または負極における、一の前記貫通導体に係る前記回路における断線箇所の有無の判別結果と、他の前記貫通導体に係る前記回路における断線箇所の有無の判別結果とに基づいて、該正極または負極において断線している区間を特定することを特徴とする請求項3に記載のセンサ装置。
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