JP6368855B2 - センサ基板およびセンサ装置 - Google Patents
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Description
図1(a)〜(e)は、本発明の第1の実施形態に係る多層構造のセンサ基板の構成の一例を示す図面である。図1(a)は、センサ基板1aの上面図であり、図1(b)は、センサ基板1aの第2層における配線の構成を示す図面であり、図1(c)は、センサ基板1aの第3層における配線の構成を示す図面であり、図1(d)は、センサ基板1aの第4層における発熱電極の構成を示す図面であり、図1(e)は、センサ基板1aの裏面図である。また、図2は、図1(a)の切断面線A−Aにおける断面図である。
図6(a)〜(d)は、本発明の第2の実施形態に係る多層構造のセンサ基板の構成の一例を示す図面である。図6(a)は、センサ基板1bの上面図であり、図6(b)は、センサ基板1bの第2層の配線の構成を示す図面であり、図6(c)は、センサ基板1bの第3層の発熱電極の構成を示す図面であり、図6(d)は、センサ基板1bの裏面図である。また、図7は、図6(a)の切断面線B−Bにおける断面図である。
以下では、第1の実施形態および第2の実施形態に係る検知電極の変形例について説明する。図8(a)〜(c)は、検知電極3a〜3dまたは検知電極13a〜13dにおける電極形状および配置に関する変形例を示す図である。
図9は、本発明の第3の実施形態であるセンサ基板およびセンサ装置を示す平面図であり、図10は、図9の切断面線A−Aにおける断面図であり、図11は、図9の切断面線B−Bにおける断面図である。センサ基板101は、溝部120が設けられた主面102aを有する絶縁基板102と、溝部120の側面に、溝部120の延びる方向に沿って一定の間隔を空けて設けられた一対の対向電極部分103a,103bを有する一対の検知電極103A,103Bと、絶縁基板102に埋設された発熱電極104と、を備える。
図15(a),(b)は、第4の実施形態に係る多層構造のセンサ基板の構成の一例を示す図面である。図15(a)は、センサ基板1cの上面図であり、図15(b)は、図15(a)の切断面線D−Dにおける断面図である。図15(a),(b)に示すセンサ基板1cと、上記図6〜図7で示したセンサ基板1bとは、溝部220の有無が異なるだけで、他の共通の構成については、同じ参照符号を用いて説明を省略する。
図16(a),(b)は、第5の実施形態に係る多層構造のセンサ基板の構成の一例を示す図面である。図16(a)は、センサ基板1dの上面図であり、図16(b)は、図16(a)の切断面線E−Eにおける断面図である。図16(a),(b)に示す実施形態と、上記図1〜図2で示したセンサ基板1aとは、溝部320の有無が異なるだけで、他の共通の構成については、同じ参照符号を用いて説明を省略する。
2,12,102 絶縁基板
2a,12a 第1面
3a,3b,3c,3d,13a,13b,13c,13d 検知電極
4a,4b,4c,4d,14a,14b,14c,14d 電極端子
5a,5b,5c,5d,8a,8b,15a,15c,18a,18b,105 内部配線
6a,6b,6c,6d,16a,16c 内層配線
7,17,104 発熱電極
9a,9b,19a,19b,103c 接続パッド
10,110 センサ装置
20 全体制御部
31 第1煤検出部
32 第2煤検出部
33 第3煤検出部
34 第4煤検出部
35 第5煤検出部
36 第6煤検出部
40 ヒーター制御部
50 温度検知部
60 表示部
102a 主面
103,103A,103B 検知電極
103a,103b 対向電極部分
103c 接続パッド
103e,103f 表面電極部分
104 発熱電極
106 リード端子
111 電源部
120,121,220,320 溝部
120a 一側面
120b 他側面
120c 底面
Claims (11)
- 粒子状物質を検知するセンサ基板であって、
絶縁基板と、
前記絶縁基板に配設された、複数組の正負一対の柱状の検知電極であって、該複数組の正負一対の柱状の検知電極の正極および負極それぞれの一部が、前記絶縁基板の一表面に露出している複数組の正負一対の柱状の検知電極と、
前記絶縁基板の内部に埋設された、前記複数組の正負一対の柱状の検知電極の全ての正極および負極に1対1で対応する内層配線と、
前記絶縁基板の内部に埋設されている、前記粒子状物質を分解し得る温度に発熱する発熱電極と、を備えることを特徴とするセンサ基板。 - 前記複数組の正負一対の柱状の検知電極の正極および負極それぞれの前記一部を除く残部が、前記絶縁基板の内部に埋設されており、
前記複数組の正負一対の柱状の検知電極の正極および負極それぞれの一部は、該正極および負極それぞれの上面であり、該上面が前記絶縁基板の一表面と面一に露出していることを特徴とする請求項1に記載のセンサ基板。 - 前記複数組の正負一対の柱状の検知電極の正極および負極が、それぞれ円柱状、四角柱状または八角柱状であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ基板。
- 前記複数組の正負一対の柱状の検知電極の正極および負極の前記絶縁基板の一表面に露出している形状が、互いに相似形であることを特徴とする請求項3に記載のセンサ基板。
- 前記絶縁基板には、前記複数組の正負一対の柱状の検知電極の電極間には溝部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ基板。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のセンサ基板と、
前記内層配線を介して前記複数組の正負一対の柱状の検知電極および前記発熱電極に電力を供給する電源と、を備えるセンサ装置。 - 前記絶縁基板は、溝部が設けられた主面を有し、
前記複数組の正負一対の柱状の検知電極は、前記溝部に対向して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ基板。 - 前記複数組の正負一対の柱状の検知電極は、前記溝部の底面側端部まで延びていることを特徴とする請求項7に記載のセンサ基板。
- 前記複数組の正負一対の柱状の検知電極は、前記絶縁基板に埋設されていることを特徴とする請求項7または8に記載のセンサ基板。
- 前記溝部において、開口幅は、底面幅よりも広いことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載のセンサ基板。
- 請求項7〜10のいずれか1項に記載のセンサ基板と、
前記複数組の正負一対の柱状の検知電極および前記発熱電極に電位を供給する電源部と、を備えることを特徴とするセンサ装置。
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