TWI418814B - 導電圖案檢查裝置 - Google Patents

Description

導電圖案檢查裝置

本發明係關於一種導電圖案檢查裝置，其係檢測形成於基板上並且在第一方向呈長形的導電圖案在對象範圍內的斷線位置。

習知在平板顯示器等領域中，大多使用在基板上配置複數個導電圖案之電路基板。該電路基板中，當導電圖案發生斷線或短路時便無法發揮原本之功能。因此，在製造電路基板時，係對各導電圖案進行關於斷線及短路之檢查。為了容易且高精度實施該檢查，習知曾提出多種檢查技術。

例如在專利文獻1,2中揭示有當判斷出導電圖案上發生斷線時，檢測該導電圖案中何處發生斷線之斷線位置的技術。

具體而言，專利文獻1中係揭示依序配置第一供電電極、檢查電極及第二供電電極，並且使此等三個電極沿著發生斷線之導電圖案(以下稱為「斷線圖案」)移動，此時依據檢查電極中感應之交流電壓值的變化來鑑別斷線位置的技術。

此外，專利文獻2中係揭示從斷線圖案之一端供應檢查信號，並且使檢測電極沿著斷線圖案移動且讀取檢查信號，將未檢測出讀取信號之位置鑑別為斷線部位的技術。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

[專利文獻1]日本特開2008-102031號公報

[專利文獻2]日本特開2006-284597號公報

但是，此種先前技術文獻1,2記載之技術，雖然在全部的導電圖案係以指定之間隔平行配置時有效，不過存在著當導電圖案之配置角度適當改變時則有應用困難的問題。

例如在平板顯示器中使用之基板上，設有實際顯示可視影像之像素區域。在該像素區域中，複數個導電圖案係以所指定的間隔平行配置。此外，在像素區域之外側，複數個導電圖案連接於驅動IC。此處，通常驅動IC之端子間距遠比像素區域中之導電圖案的配置間距小。因此，為了將複數個導電圖案連接於驅動IC，需要在像素區域之外側，將導電圖案之配置間距急遽狹窄。結果在像素區域之外側，許多導電圖案之配置間距逐漸縮小而傾斜配置。換言之，在像素區域之外側，各導電圖案係以不同之配置角度而配置。

為了使用先前技術文獻1,2記載之技術，進行在如此配置間距逐漸變化之斷線位置的鑑別，需要使電極沿著該傾斜之連接部而移動(追蹤)。但是如前所述，存在著各導電圖案之連接的配置角度不同，而無法輕易追蹤的問題。當然亦有記憶各導電圖案之配置角度，而使電極在其記憶之配置角度方向移動的方法。但是，此時存在著控制非常複雜之問題。

因此，本發明之目的非關於一種與導電圖案之配置態樣，而是提供一種可簡易地鑑別斷線位置之導電圖案檢查裝置。

本發明之導電圖案檢查裝置係在基板上於第一方向以間隔配置於複數個導電圖案中，在發生斷線之導電圖案中檢測斷線位置，其特徵係具有：施加單元，其係從發生斷線之導電圖案的一端施加交流電壓；感測器，其係在該基板上經由間隙而相對，並在橫跨該複數個導電圖案之方向移動；兩個以上之線狀電極，其係設於該感測器中，以彼此不同之方向延伸並且彼此電性絕緣，且分別與相對之導電圖案靜電結合；及控制部，其係依據兩個以上之線狀電極分別檢測的電壓信號之變動時序，來鑑別該斷線位置。

理想的態樣為兩個以上之線狀電極至少具有：第一線狀電極，其係延伸於與第一方向正交之第二方向；及第二線狀電極，其係延伸於對第一線狀電極傾斜之方向；該控制部依據該第一線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，鑑別斷線之第一方向位置，並依據該第一線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序及該第二線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，鑑別斷線之第二方向位置。此時，兩個以上之線狀電極進一步具有第三線狀電極，其係對第一線狀電極傾斜，並在傾斜於與第二線狀電極相反極性之方向延伸，該控制部應依據該第一線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，及該第二線狀電極或第三線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，鑑別斷線之第二方向位置。此時，進一步亦應分別使該第二線狀電極對第一線狀電極傾斜45°，使第三線狀電極對第一線狀電極傾斜-45°。

其他理想的態樣為在該基板上形成有：像素區域，其係複數個導電圖案以第一間隔配置於第一方向；及外部區域，其係設於該像素區域之外側，並具有以導電圖案間之間隔逐漸變化的方式配置該複數個導電圖案之區域；各個線狀電極至少具有縱跨該外部區域之長度，該控制裝置依據各個線狀電極檢測之電壓信號的變動時序，鑑別在該外部區域之斷線位置。

依本發明，使感測器在橫跨複數個導電圖案之方向上移動時，因為係依據兩個以上之線狀電極分別檢測的電壓信號之變動時序來鑑別斷線位置，所以，即使導電圖案之配置態樣不明，仍可簡易地鑑別斷線位置。

以下，就本發明之實施態樣參照圖式作說明。本實施態樣之導電圖案檢查裝置10係用於檢查形成於平板顯示器等使用之玻璃基板的導電圖案110是否良好的檢查裝置，特別是成為有效用於鑑別斷線位置之構成。在該導電圖案檢查裝置10詳細說明之前，先簡單說明本實施態樣中作為檢查對象之基板的構成。

第1圖係用於平板顯示器之基板的概略構成圖。該基板係由將複數個導電圖案110a配置於Y方向之第一層、將複數個導電圖案110b配置於X方向之第二層及介於第一層與第二層之間的絕緣層以Z方向疊層而構成。

形成於第一層之導電圖案110a及形成於第二層之導電圖案110b(以下，在不區別兩者時，省略添加之英文字母，而稱為「導電圖案110」)在像素區域E1中彼此交叉地配置。藉由該兩層之導電圖案110a,110b的交叉點而形成一個像素，藉由此等像素之集合而構成顯示可視影像之像素區域E1。導電圖案110以所指定的第一間隔平行排列於該像素區域E1內。

各導電圖案110在像素區域E1之外側連接於驅動IC(未顯示於圖式中)。該驅動IC之連接端子以遠比像素區域E1中之導電圖案110的配置間距小的間距而排列。因而複數個導電圖案110為了與驅動IC連接，而在像素區域E1之外側大幅縮小其配置間距。結果在像素區域E1之外側形成複數個導電圖案110以比第一間隔小之第二間隔而平行排列的連接區域E2、及導電圖案間之間隔從第一間隔逐漸變化成第二間隔之中間區域E3。在該中間區域E3中，幾乎所有之導電圖案110係對X軸或Y軸傾斜配置，且彼此鄰接之導電圖案110的配置角度不同。

在各導電圖案110之另一端(不連接於驅動IC之側的端部)設有導電焊墊112。該導電焊墊112所形成的寬度比導電圖案110寬，該導電焊墊112係用作各種檢查用信號之供應及檢測。

其次，就檢查形成於該基板之導電圖案110的導電圖案檢查裝置10之構成，參照第2圖作說明。第2圖係揭示本實施態樣之導電圖案檢查裝置10的概略構成圖。另外，第2圖中省略第二層之導電圖案110b的圖式。以下，依據該第2圖，僅就第一層之導電圖案110a的斷線位置之鑑別原理作說明，不過該鑑別原理對第二層之導電圖案110b亦同樣。

如前述，該導電圖案檢查裝置10係特別有效用於構成在發生斷線之導電圖案110中鑑別係在何處發生斷線的斷線位置之鑑別。另外，以下僅就鑑別斷線位置詳細說明，不過導電圖案檢查裝置10中除了斷線位置之鑑別功能之外，亦可搭載判斷有無斷線或短路之判斷功能、短路位置之鑑別功能等。

導電圖案檢查裝置10具有在斷線之導電圖案110中施加交流電壓的施加機構12及檢測該施加之交流電壓的兩種感測器(第一感測器18與第二感測器20)。施加機構12係從斷線之導電圖案110的一端(本實施態樣係導電焊墊112)施加檢查用之交流電壓的機構。該施加機構12例如由接觸於導電焊墊112之接觸端子14，及經由接觸端子14而供應交流電壓至導電圖案110之交流電源16等構成。另外，本實施態樣係使用接觸端子14以接觸的方式施加電壓，不過，亦可使用與導電圖案110靜電結合之電極，以不接觸的方式施加電壓。

第一感測器18及第二感測器20均係檢測施加之交流電壓者，控制部24依據該檢測結果鑑別斷線位置。該兩個感測器(第一感測器18與第二感測器20)中，第一感測器18用於鑑別在像素區域E1之斷線位置。第二感測器20用於鑑別在中間區域E3及連接區域E2之斷線位置。以下，將第二感測器20之檢查範圍的中間區域E3及連接區域E2稱為「外部區域」。

通常，在檢查前的階段，因為不清楚一個導電圖案110中究竟是在像素區域E1或是外部區域發生斷線，所以在鑑別斷線位置時，基本上是驅動第一感測器18及第二感測器20兩者。不過，當然依據任何一方感測器之檢測結果，明確瞭解在另一方感測器之檢查範圍內並未發生斷線時，亦可省略該另一方感測器之驅動。例如，以第一感測器18檢測出在像素區域E1內發生斷線時，亦可省略第二感測器20之檢查。

其次，就各感測器之構成詳細說明。在第一感測器18中設有與相對之導電圖案110靜電結合的檢測電極26。感測器驅動機構22使該檢測電極26始終與檢查對象之導電圖案110相對，並使第一感測器18沿著該導電圖案110從像素區域E1之一端向另一端移動。在移動時，檢測電極26所感應之電壓被放大器28放大後，輸入至控制部24。此外，與該電壓信號相對應，亦將第一感測器18之位置資訊輸入控制部24。控制部24將該檢測電極26所感應之電壓信號突變時的第一感測器18之位置鑑別為發生斷線之部位。

例如考慮使第一感測器18從導電焊墊112側(第2圖中之右側)的端部，朝向連接區域E2側(第2圖中之左側)的端部移動之情況。此時，當檢測電極26比斷線部位靠近導電焊墊112(靠近電壓之施加部位)時，因為在相對之導電圖案110中施加交流電壓，所以亦在與該導電圖案110靜電結合之檢測電極26上感應比較高之電壓。另外，檢測電極26伴隨移動而比斷線部位移動至遠離導電焊墊112之位置時，此時刻，檢測電極26與未施加電壓之導電圖案110相對。結果檢測電極26上幾乎不感應電壓，因而檢測之電壓信號的位準下降。控制部24將該信號位準下降時之第一感測器18的位置鑑別為發生斷線之部位。

在此，從以上的說明瞭解，為了以該第一感測器18檢測斷線，需要預先使檢測電極26始終位於檢查對象之導電圖案110的正上方。在全部之導電圖案110延伸於與X軸或Y軸平行之方向的像素區域E1中，使檢測電極26沿著斷線圖案移動比較容易。

但是，如中間區域E3，導電圖案110之配置角度各不相同，或是如中間區域E3及連接區域E2之邊界，導電圖案110在中途彎曲情況下，使檢測電極26沿著導電圖案110移動困難。當然亦有預先記憶導電圖案110之配置角度，而使檢測電極26在其記憶之配置角度方向移動的方法。但是此時存在著控制非常複雜的問題。

本實施態樣為了解決此種問題，係在外部區域(中間區域E3及連接區域E2)設有用於檢測斷線之第二感測器20。

該第二感測器20具有與相對之導電圖案110靜電結合的三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)。三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)相互延伸於不同之方向。具體而言，第一線狀電極30係延伸於與複數個導電圖案110之配置方向正交的方向(第2圖中之X軸方向)之線狀電極。第二線狀電極32及第三線狀電極34係夾著第一線狀電極30而線對稱地配置之線狀電極，且分別延伸於對第一線狀電極30傾斜+45°及-45°之方向。

該三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)均具有可縱跨外部區域之長度。因此，各線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)之X方向寬度與外部區域之X方向寬度大致相同。另外，圖式上係揭示三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)之頂端相互接觸，不過實際上，三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)並未接觸，而係相互電性絕緣。

設有該三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)之第二感測器20藉由感測器驅動機構22而移動於Y方向，亦即移動於橫跨複數個導電圖案110之方向。此時之移動位置與各線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)所檢測之電壓信號相關連地傳送至控制部24。控制部24依據該三個線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)分別檢測之電壓信號的變動時序，來鑑別斷線位置。就該鑑別之原理參照第3圖至第5圖作說明。

第3圖至第5圖係揭示斷線位置鑑別情形圖。更詳細而言，第3圖揭示導電圖案110在傾斜於負側之範圍發生斷線時的斷線位置之鑑別情形，第4圖揭示導電圖案110在傾斜於正側之範圍發生斷線時的斷線位置之鑑別情形，第5圖揭示導電圖案110在延伸於X方向之範圍發生斷線時的斷線位置之鑑別情形。第3圖至第5圖中，於圖式左側揭示有線狀電極檢測之電壓信號。此外，在第3圖至第5圖中，於英文字母a至d的上側係揭示在時序a至時序d之線狀電極(第一線狀電極30、第二線狀電極32與第三線狀電極34)與發生斷線之導電圖案110的相對位置關係。顯示該相對位置關係之各圖中，圖式右側為導電焊墊112側。然後，在各圖中，將各導電圖案110中感應電壓之部分以粗線圖示，將因斷線而斷絕電壓供應之部分以細線圖示。

首先參照第3圖，說明導電圖案110在傾斜於負側之範圍發生斷線時的斷線位置之鑑別原理。此時，鑑別斷線位置主要係依據第一線狀電極30所檢測之電壓信號(以下稱為「第一檢測信號」)，以及傾斜於與導電圖案110相反極性(正側)之第二線狀電極32所檢測的電壓信號(以下稱為「第二檢測信號」)來進行。因而第3圖僅揭示第一線狀電極30與第二線狀電極32，而省略第三線狀電極34之圖式。

在時序a，第二感測器20位於初期位置。在該階段，第一線狀電極30及第二線狀電極32均未與施加電壓之導電圖案110相對。因而，在該階段，第一線狀電極30與第二線狀電極32中均未感應電壓，第一檢測信號與第二檢測信號均大致為0。

第二感測器20向Y方向移動時，在時序b，第一線狀電極30及第二線狀電極32之頂端到達與施加電壓之導電圖案110相對的位置。此時，藉由與該導電圖案110之靜電結合，第一線狀電極30及第二線狀電極32中感應指定位準之電壓。因此，在時序b之階段，第一檢測信號與第二檢測信號均上昇。

第二感測器20進一步移動，在時序c，第一線狀電極30到達斷線部位之正上方時，第一線狀電極30中感應之電壓位準降低，第一檢測信號下降。另外，因為第二線狀電極32仍然為與施加電壓之導電圖案110相對之狀態，所以第二檢測信號仍然維持指定位準。然後，第二感測器20進一步移動，在時序d，第二線狀電極32亦到達斷線部位之正上方時，第二檢測信號亦下降。

換言之，隨著第二感測器20之移動，第一線狀電極30到達斷線部位之正上方時，發生第一檢測信號下降。此外，第二線狀電極32到達斷線部位之正上方時，發生第二檢測信號下降。控制部24依據該兩個信號之下降時序來鑑別斷線部位。

亦即，第二感測器20從初期位置移動至第一線狀電極30到達斷線部位正上方之距離(在時序a至時序c之間的移動距離)仍然為初期位置至斷線部位之Y方向(導電圖案110之橫跨方向)的移動距離h1。因為初期位置已知，所以只要瞭解該第二感測器20之移動距離h1即可鑑別斷線部位之Y方向位置。然後，因為該移動距離h1可依據第一檢測信號之下降時序算出，所以控制部24依據該第一檢測信號之下降時序算出斷線部位之Y方向位置。

此外，因為第二線狀電極32對第一線狀電極30傾斜+45°，所以從第二線狀電極32頂端至斷線部位之X方向距離h2，與在時序d從第二線狀電極32頂端至斷線部位之Y方向距離h3相同。然後，該Y方向距離h3與第二感測器20從第一線狀電極30到達斷線部位之正上方移動至第二線狀電極32到達斷線部位之正上方的距離相等。該Y方向距離h3可依據第一檢測信號之下降時序及第二檢測信號之下降時序算出。因此，控制部24依據該第一檢測信號與第二檢測信號之下降時序算出斷線部位之X方向位置。

其次，參照第4圖，說明在導電圖案110傾斜於正側之範圍發生斷線時的斷線位置鑑別原理。此時，鑑別斷線位置主要係依據第一線狀電極30所檢測之電壓信號(第一檢測信號)與傾斜於與導電圖案110相反極性(負側)之第三線狀電極34所檢測的電壓信號(以下稱「第三檢測信號」)來進行。因而，第4圖中僅揭示第一線狀電極30與第三線狀電極34，而省略第二線狀電極32之圖示。

如第4圖所示，在時序a，為了鑑別斷線位置，而使位於初期位置之第二感測器20移動於Y方向。此處，在初期位置之階段，第一線狀電極30及第三線狀電極34均未與施加電壓之導電圖案110相對。因而在該階段，第一線狀電極30與第三線狀電極34中均未感應電壓，第一檢測信號與第三檢測信號之位準大致為0。

第二感測器20向Y方向移動，在時序b，第三線狀電極34超過斷線部位時，第三線狀電極34中感應指定位準之電壓，第三檢測信號上昇。另外，第一線狀電極30在此時刻，因為還未予施加電壓之導電圖案110相對，所以第一檢測信號仍然大致為0。

第二感測器20進一步向Y方向移動，在時序c，第一線狀電極30超過斷線部位時，第一線狀電極30中亦感應指定位準之電壓，第一檢測信號上昇。然後，第二感測器20進一步移動時，在時序d，第一線狀電極30及第三線狀電極34兩者同時到達與施加電壓之導電圖案110不相對之位置。結果第一檢測信號與第三檢測信號大致同時下降。

換言之，隨著第二感測器20之移動，第三線狀電極34超過斷線部位時第三檢測信號上昇。此外，第一線狀電極30超過斷線部位時第一檢測信號上昇。控制部24依據該兩個檢測信號之上昇時序來鑑別斷線部位。

亦即，從初期位置至第一線狀電極30超過斷線部位(從時序a至時序c)之間，第二感測器20移動之移動距離h1仍然為初期位置至斷線部位之Y方向的距離。因為初期位置已知，所以只要瞭解該第二感測器20之移動距離h1即可鑑別斷線部位之Y方向位置。因為該移動距離h1可依據第一檢測信號之下降時序算出，所以控制部24依據第一檢測信號之上昇時序算出斷線部位之Y方向位置。

此外，因為第三線狀電極34傾斜-45°，所以在第三線狀電極34超過斷線部位之時序(時序b)從第三線狀電極34頂端至斷線部位之X方向距離h2，與在該時序b從第三線狀電極34頂端至斷線部位之Y方向距離h3相同。然後，從第三線狀電極34頂端至斷線部位之Y方向距離h3，與從第三線狀電極34超過斷線部位至第一線狀電極30超過斷線部位之第二感測器20移動的距離相等。因為該Y方向距離h3可依據第三檢測信號之上昇時序及第一檢測信號之上昇時序算出，所以控制部24依據兩檢測信號之上昇時序算出斷線部位之X方向位置。

其次，參照第5圖說明導電圖案110在平行於X方向之範圍發生斷線時的斷線位置之鑑別原理。此時，亦可依據第一檢測信號及第二檢測信號鑑別斷線位置，亦可依據第一檢測信號及第三檢測信號鑑別斷線位置。

亦即，如第5圖所示，此時第一檢測信號在第一線狀電極30到達斷線部位之正上方的時刻僅瞬間上昇。換言之，第一檢測信號之上昇時序也是第一檢測信號之下降時序。

因此，依據第一檢測信號及第二檢測信號鑑別斷線位置情況下，與第3圖之情況同樣地，只須依據第一檢測信號之下降時序(上昇時序)算出斷線位置之Y方向位置，並依據第一檢測信號與第二檢測信號之下降時序算出斷線位置之X方向位置即可。

此外，依據第一檢測信號及第三檢測信號鑑別斷線位置情況下，與第4圖之情況相同地，只須依據第一檢測信號之上昇時序(下降時序)算出斷線位置之Y方向位置，並依據第一檢測信號與第三檢測信號之上昇時序算出斷線位置之X方向位置即可。

因而，從以上之說明瞭解，本實施態樣不論導電圖案110之配置角度係傾斜於正側、傾斜於負側或是在X方向，均可確實鑑別斷線位置。

另外，從以上之說明瞭解，依導電圖案110在斷線部位之配置角度的極性，鑑別斷線位置時利用之信號種類不同。因而在鑑別斷線位置時，也需要判斷導電圖案110之配置角度的極性。該極性判斷例如可依據第一檢測信號與第二檢測信號之上昇時序來進行。亦即，當導電圖案110之配置角度係負側(與第二線狀電極32之傾斜角度相反極性側)時，第一檢測信號與第二檢測信號大致同時上昇。另外，當導電圖案110之配置角度係正側(與第二線狀電極32之傾斜角度相同極性側)時，第二檢測信號之上昇時序比第一檢測信號之上昇時序延遲。因此，控制部24可依據該第一檢測信號與第二檢測信號之上昇時序來判斷導電圖案110之配置角度的極性。此外，按照同樣的原理，亦可依據第一檢測信號與第三檢測信號之下降時序進行配置角度之極性判斷。

此外，上述之說明係將第二線狀電極32及第三線狀電極34之配置角度分別設為對第一線狀電極30傾斜+45°、-45°，不過，當然亦可設定其他配置角度。使用其他配置角度θ情況下，只須使用對第3圖至第5圖中之Y方向距離h3乘上tan|θ|的值作為從線狀電極頂端至斷線部位之X方向距離h2即可(h2=h3Xtan|θ|)。

此外，上述之說明係設三個線狀電極，但是，只要具有兩個以上彼此傾斜於不同方向之線狀電極者，亦可為其他數量。不過，為了斷線位置算出的運算容易，至少應具有延伸於X方向(與導電圖案110之配置方向正交的方向)之線狀電極。

另外，即使僅設兩個線狀電極時，仍可以與設三個線狀電極時大致同樣之程序鑑別斷線位置。例如，考慮具有延伸於X方向之第一線狀電極30、及延伸於對該線狀電極傾斜+45°之方向的第二線狀電極32之情況。此時，在導電圖案110傾斜於負側(與第二線狀電極32相反極性側)，或是在導電圖案110延伸於X方向之範圍發生斷線情況下，可按照與使用第4圖與第6圖說明之情況同樣的原理來鑑別斷線位置。

另外，在導電圖案110傾斜於正側(與第二線狀電極32相同極性側)之範圍鑑別斷線位置情況下，需要附帶其他條件。就此參照第6圖與第7圖作說明。

首先，如第6圖所示，考慮導電圖案110之傾斜角度α未達+45°(α＜45°)的情況。此時，斷線部位之Y方向位置與使用第4圖說明之情況同樣地，可從初期位置至第一線狀電極30之檢測信號上昇時序的第二感測器20移動之移動距離h1獲得。

另外，此時斷線部位之X方向位置，與在第二線狀電極32位於斷線部位正上方的時刻(第6圖之時序d)，從第二線狀電極32之頂端至斷線部位的X方向距離h2相等。然後，該X方向距離h2與從第一線狀電極30位於斷線部位之正上方的時序(第6圖之時序b)至第二線狀電極32位於斷線部位之正上方的時序(第6圖之時序d)之間，第二感測器20移動的Y方向距離h3相等。此處，所謂第一線狀電極30位於斷線部位正上方之時序b，即是第一檢測信號上昇之時序。此外，所謂第二線狀電極32位於斷線部位正上方之時序d，即是第二檢測信號下降之時序。因此，導電圖案110之傾斜角度未達+45°情況下，可從第一檢測信號之上昇時序及第二檢測信號之下降時序獲得斷線部位之X方向位置。

其次，參照第7圖，考慮導電圖案110之傾斜角度α超過+45°(α＞45°)的情況。此時斷線部位之Y方向位置亦與使用第4圖說明的情況同樣地，可從初期位置至第一線狀電極30之檢測信號上昇時序的第二感測器20移動之移動距離h1獲得。

另外，此時斷線部位之X方向位置，與在第二線狀電極32位於斷線部位正上方的時刻(第7圖之時序c)，從第二線狀電極32之頂端至斷線部位的X方向距離h2相等。然後，該X方向距離h2與從第一線狀電極30位於斷線部位之正上方的時序(第7圖之時序b)至第二線狀電極32位於斷線部位之正上方的時序(第7圖之時序c)之間，第二感測器20移動的Y方向距離h3相等。此處，所謂第一線狀電極30位於斷線部位正上方之時序，即是第一檢測信號上昇之時序。此外，所謂第二線狀電極32位於斷線部位正上方之時序，即是第二檢測信號上昇之時序。因此，導電圖案110之傾斜角度超過+45°情況下，可從第一檢測信號之上昇時序及第二檢測信號之上昇時序獲得斷線部位之X方向位置。

導電圖案110之傾斜角度α與第二線狀電極32之傾斜角度相等(α=45°)情況下，在第二線狀電極32超過斷線部位之時刻，第二檢測信號僅瞬間上昇。換言之，第二檢測信號之上昇時序與第二檢測信號之下降時序大致相同。因此，使用第6圖與第7圖而說明之兩個原理中，使用任何一個均可獲得斷線部位之X方向位置。

換言之，從以上的說明瞭解，即使是兩個線狀電極，藉由適當變更利用之時序，可鑑別斷線部位。另外，斷線部位之鑑別係利用上昇時序或是下降時序，只要依據第一檢測信號及第二檢測信號之下降時序與上昇時序的一致性作判斷即可。

10．．．導電圖案檢查裝置

12．．．施加機構

14．．．接觸端子

16．．．交流電源

18．．．第一感測器

20．．．第二感測器

22．．．感測器驅動機構

24．．．控制部

26．．．檢測電極

28．．．放大器

30．．．第一線狀電極

32．．．第二線狀電極

34．．．第三線狀電極

40．．．放大器

42．．．放大器

44．．．放大器

110．．．導電圖案

110a．．．導電圖案

110b．．．導電圖案

112．．．導電焊墊

E1．．．像素區域

E2．．．連接區域

E3．．．中間區域

h1．．．移動距離

h2．．．X方向距離

h3．．．Y方向距離

第1圖係本發明之實施態樣中作為檢查對象的基板之概略圖。

第2圖係本發明之實施態樣的導電圖案檢查裝置之概略構成圖。

第3圖係本實施態樣之斷線位置鑑別原理的說明圖。

第4圖係本實施態樣之斷線位置鑑別原理的說明圖。

第5圖係本實施態樣之斷線位置鑑別原理的說明圖。

第6圖係其他實施態樣之斷線位置鑑別原理的說明圖。

第7圖係其他實施態樣之斷線位置鑑別原理的說明圖。

30．．．第一線狀電極

32．．．第二線狀電極

110．．．導電圖案

h1．．．移動距離

h2．．．X方向距離

h3．．．Y方向距離

Claims (5)

1. 一種導電圖案檢查裝置，係在基板上於第一方向以間隔配置於複數個導電圖案中，在發生斷線之導電圖案中檢測斷線位置，其特徵係具有：施加單元，其係從發生斷線之導電圖案的一端施加交流電壓；感測器，其係在該基板上經由間隙而相對，並在橫跨該複數個導電圖案之方向移動；兩個以上之線狀電極，其係設於該感測器中，以彼此不同之方向延伸並且彼此電性絕緣，且分別與相對之導電圖案靜電結合；及控制部，其係依據兩個以上之線狀電極分別檢測的電壓信號之變動時序，來鑑別該斷線位置。
2. 如申請專利範圍第1項之導電圖案檢查裝置，其中兩個以上之線狀電極至少具有：第一線狀電極，其係延伸於與第一方向正交之第二方向；及第二線狀電極，其係延伸於對第一線狀電極傾斜之方向；該控制部依據該第一線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，鑑別斷線的第一方向位置，並依據該第一線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序及該第二線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，鑑別斷線的第二方向位置。
3. 如申請專利範圍第2項之導電圖案檢查裝置，其中兩個以上之線狀電極進一步具有第三線狀電極，其係對第一線狀電極傾斜，並在傾斜於與第二線狀電極相反極性之方向延伸，該控制部依據該第一線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，及該第二線狀電極或該第三線狀電極所檢測之電壓信號的變動時序，鑑別斷線的第二方向位置。
4. 如申請專利範圍第3項之導電圖案檢查裝置，其中分別使該第二線狀電極對第一線狀電極傾斜45°，該第三線狀電極對第一線狀電極傾斜-45°。
5. 如申請專利範圍第1項之導電圖案檢查裝置，其中在該基板上形成有：像素區域，其係複數個導電圖案以第一間隔配置於第一方向；及外部區域，其係設於該像素區域之外側，並具有以導電圖案間之間隔逐漸變化的方式配置該複數個導電圖案的區域；各個線狀電極至少具有縱跨該外部區域之長度，該控制裝置依據各個線狀電極檢測之電壓信號的變動時序，鑑別在該外部區域之斷線位置。