JPH02230188A - 電極検査装置 - Google Patents
電極検査装置Info
- Publication number
- JPH02230188A JPH02230188A JP1050882A JP5088289A JPH02230188A JP H02230188 A JPH02230188 A JP H02230188A JP 1050882 A JP1050882 A JP 1050882A JP 5088289 A JP5088289 A JP 5088289A JP H02230188 A JPH02230188 A JP H02230188A
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- Japan
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- probe
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Links
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、液晶表示体基板透明電極パターンのショート
、断線検査に関する． ［従来の技術］ 従来、基板のショート、断線検査は、以下の２通りの方
式があった． （１）第６図に示す様に基板電極パターン５の１ピッチ
分ずらせたプローブ２本を用い、この２本のプローブ間
の電気的導通を検出しながら、基板電極パターンに対し
て直交する方向に接触走査して、ショートを検出する． （２）第７図に示すように、基板電極パターンごとにそ
の両端に１本ずつのプローブを配置し、すべての基扱電
極パターンに対して、あらかじめプローブを配置したプ
ローブボード３ｌを有し、一勢に基板電極パターンと接
触させ、相対するプローブ間の電気的導通状態を測定す
ることに′１り、基板電極パターン１本ずつのショート
、断線を検出する． ［発明が解決しようとする課題］ しかし、前記従来技術（１）の方式では、ショートしか
検出できず、断線の検出ができない．また（２）の方式
では、基板電極パターンとプローブとの位置合せ機能が
必要であり、装置に高い精度とアライメント機能が要求
される．また、ショート修正等のためにワーク外形基準
からの位置を記録する必要があるが、そのためには全て
のプローブ位置データを装置にブリセットせねばならず
、操作が繁雑になる等の問題点を有していた．そこで本
発明は、従来のこのような問題点を解決するため、基板
電極パターンの検査において、ショートと断線を検出し
、かつ欠陥の位置を、ワーク外形基準位置から容易に求
めることができ、さらに検査を短時間で行なうことを目
的としている， 〔課題を解決するための手段１ 上記問題点を解決するために、本発明の電極検査装置は
、液晶表示体の透明電極パターンで、その外周部にパタ
ーン１本おきに導通配線を配置した基板において、基板
電極パターンと直交する方向に、検査プローブを接触走
査させることにより基板電極パターンのショートと、断
線を検査することを特徴とする． 〔作 用］ 本発明の上記構成によれば，基板電極のショートと断線
を、高速で検出することができ、かつ、これを実現する
ための装置に要求される機械精度は低くてすみ、さらに
、基板外形基準位置からの欠陥位置の記録が容易である
． ［実 施 例］ 以下に、本発明の実施例を図面にもとすいて説明する．
第１図において液晶表示体基板４上に透明電極バクーン
５を有し、かつ、パターン外周部に１本おきに共通配線
３をほどこす．この共通電極３を基板４外周部まで延長
し、基板４外部より電圧印加プローブ１を接触させ、一
定の電圧を印加する．一方、前記共通電極３に対し透明
電極パターンの反対側近傍に、透明電極パターン５に直
交する方向に検出プローブ２を接触走査させる．ここで
透明１ｆ極パターンが正常な場合は、透明電極バクーン
１本おきに、印加電圧を検出し，第４図９の様な検出パ
ターンが得られる．一方、パターンに第２図７に示す様
なシュートがあった場合、第４図１０に示す様な信号が
得られ、正常パターンには見られなかったｂ′なるパル
スが検出される．この異常パルスを検出するために、正
常パルスの立上りエッチから、パターンピッチに相当す
る１２の位置に発生パルス巾より狭い１３なるウインド
ウをもうけ、このウインドウ中で電圧レベルを検出する
事によりショートがある事を認識することができる．な
お、ｌ２、ｌ３のウインドウ位置と巾は、プローブの走
査駆動系で使用する検出プローブ位置パルス１６を用い
て、発生させ，又、ワーク外形基準から、ショートまで
の位置もこのパルスを積算して、求めることができる．
又第３図に示す様な、断線が発生した場合は、第４図、
１ｌに示す様に正常パルスが欠落する．この検出方法も
前記ショート検出と同様な方法で、その発生を認識し、
ワーク外形基準からの位置を求める事ができる． 以上の電極検出方式に元付き第５図に示す様な電極検査
装置を考えることができる．基板２８を位置ビン２５で
位置し真空固定するテーブル２６を有し、前記共通電圧
を印加するプローブを基板下降接触させるための上下機
構２１をもち、又、検出プローブを所定の位置に移動さ
せ，パターンと直角方向に走査させるＸ−Ｙアーム、２
３、２４を有する．この様な構成により、基板のショー
ト、断線の検出とその基板上での位置の認識を行なうこ
とができる． 〔発明の効果〕 本発明は以上説明したように、共通透明電極を有する基
板に対し，基板電極パターンと直交する方向に検査プロ
ーブを接触走査させ、共通電極に印加した電圧を検出す
ることにより、ショート、断線を検出でき、さらに、基
扱外形基準からの位置を求めることができる．
、断線検査に関する． ［従来の技術］ 従来、基板のショート、断線検査は、以下の２通りの方
式があった． （１）第６図に示す様に基板電極パターン５の１ピッチ
分ずらせたプローブ２本を用い、この２本のプローブ間
の電気的導通を検出しながら、基板電極パターンに対し
て直交する方向に接触走査して、ショートを検出する． （２）第７図に示すように、基板電極パターンごとにそ
の両端に１本ずつのプローブを配置し、すべての基扱電
極パターンに対して、あらかじめプローブを配置したプ
ローブボード３ｌを有し、一勢に基板電極パターンと接
触させ、相対するプローブ間の電気的導通状態を測定す
ることに′１り、基板電極パターン１本ずつのショート
、断線を検出する． ［発明が解決しようとする課題］ しかし、前記従来技術（１）の方式では、ショートしか
検出できず、断線の検出ができない．また（２）の方式
では、基板電極パターンとプローブとの位置合せ機能が
必要であり、装置に高い精度とアライメント機能が要求
される．また、ショート修正等のためにワーク外形基準
からの位置を記録する必要があるが、そのためには全て
のプローブ位置データを装置にブリセットせねばならず
、操作が繁雑になる等の問題点を有していた．そこで本
発明は、従来のこのような問題点を解決するため、基板
電極パターンの検査において、ショートと断線を検出し
、かつ欠陥の位置を、ワーク外形基準位置から容易に求
めることができ、さらに検査を短時間で行なうことを目
的としている， 〔課題を解決するための手段１ 上記問題点を解決するために、本発明の電極検査装置は
、液晶表示体の透明電極パターンで、その外周部にパタ
ーン１本おきに導通配線を配置した基板において、基板
電極パターンと直交する方向に、検査プローブを接触走
査させることにより基板電極パターンのショートと、断
線を検査することを特徴とする． 〔作 用］ 本発明の上記構成によれば，基板電極のショートと断線
を、高速で検出することができ、かつ、これを実現する
ための装置に要求される機械精度は低くてすみ、さらに
、基板外形基準位置からの欠陥位置の記録が容易である
． ［実 施 例］ 以下に、本発明の実施例を図面にもとすいて説明する．
第１図において液晶表示体基板４上に透明電極バクーン
５を有し、かつ、パターン外周部に１本おきに共通配線
３をほどこす．この共通電極３を基板４外周部まで延長
し、基板４外部より電圧印加プローブ１を接触させ、一
定の電圧を印加する．一方、前記共通電極３に対し透明
電極パターンの反対側近傍に、透明電極パターン５に直
交する方向に検出プローブ２を接触走査させる．ここで
透明１ｆ極パターンが正常な場合は、透明電極バクーン
１本おきに、印加電圧を検出し，第４図９の様な検出パ
ターンが得られる．一方、パターンに第２図７に示す様
なシュートがあった場合、第４図１０に示す様な信号が
得られ、正常パターンには見られなかったｂ′なるパル
スが検出される．この異常パルスを検出するために、正
常パルスの立上りエッチから、パターンピッチに相当す
る１２の位置に発生パルス巾より狭い１３なるウインド
ウをもうけ、このウインドウ中で電圧レベルを検出する
事によりショートがある事を認識することができる．な
お、ｌ２、ｌ３のウインドウ位置と巾は、プローブの走
査駆動系で使用する検出プローブ位置パルス１６を用い
て、発生させ，又、ワーク外形基準から、ショートまで
の位置もこのパルスを積算して、求めることができる．
又第３図に示す様な、断線が発生した場合は、第４図、
１ｌに示す様に正常パルスが欠落する．この検出方法も
前記ショート検出と同様な方法で、その発生を認識し、
ワーク外形基準からの位置を求める事ができる． 以上の電極検出方式に元付き第５図に示す様な電極検査
装置を考えることができる．基板２８を位置ビン２５で
位置し真空固定するテーブル２６を有し、前記共通電圧
を印加するプローブを基板下降接触させるための上下機
構２１をもち、又、検出プローブを所定の位置に移動さ
せ，パターンと直角方向に走査させるＸ−Ｙアーム、２
３、２４を有する．この様な構成により、基板のショー
ト、断線の検出とその基板上での位置の認識を行なうこ
とができる． 〔発明の効果〕 本発明は以上説明したように、共通透明電極を有する基
板に対し，基板電極パターンと直交する方向に検査プロ
ーブを接触走査させ、共通電極に印加した電圧を検出す
ることにより、ショート、断線を検出でき、さらに、基
扱外形基準からの位置を求めることができる．
第１図は、本発明に適応される液晶表示体基板バクーン
図、第２図は，基板ショートパターン図第３図は，基板
断線パターン図、第４図は、電極検出信号図、第５図は
、電極検査装置概略図．第６図は、従来のショート検出
説明図．第７図は、従来のショート、断線検出説明図． ・共通電圧印加プローブ ・検出プローブ ・パターンショート部 ・パターン断線部 ・正常パターン検出信号 ・ショートパターン検出信号 ・断線パターン検出信号 ・断線検出装置 ・断線検出ウインドウ ・検出プローブ位置パルス 以 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三郎（他１名）鵞４旧 １２口 ″！ｓ口 ″！４３口
図、第２図は，基板ショートパターン図第３図は，基板
断線パターン図、第４図は、電極検出信号図、第５図は
、電極検査装置概略図．第６図は、従来のショート検出
説明図．第７図は、従来のショート、断線検出説明図． ・共通電圧印加プローブ ・検出プローブ ・パターンショート部 ・パターン断線部 ・正常パターン検出信号 ・ショートパターン検出信号 ・断線パターン検出信号 ・断線検出装置 ・断線検出ウインドウ ・検出プローブ位置パルス 以 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三郎（他１名）鵞４旧 １２口 ″！ｓ口 ″！４３口
Claims (1)
- 液晶表示体の透明電極パターンで、その外周部にパター
ン１本おきに共通電極配線を配置した液晶表示体基板に
おいて、該基板電極パターンと直交する方向に検査プロ
ーブを接触走査させる事により基板電極パターンのショ
ートと、断線を検査することを特徴とする、電極検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1050882A JPH02230188A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 電極検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1050882A JPH02230188A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 電極検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02230188A true JPH02230188A (ja) | 1990-09-12 |
Family
ID=12871101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1050882A Pending JPH02230188A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 電極検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02230188A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6369580B1 (en) | 1999-01-21 | 2002-04-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrode pattern inspection device and method for detecting voltage variation |
| WO2016033892A1 (zh) * | 2014-09-04 | 2016-03-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 确定光栅器件中的短路点的位置的方法 |
-
1989
- 1989-03-02 JP JP1050882A patent/JPH02230188A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6369580B1 (en) | 1999-01-21 | 2002-04-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrode pattern inspection device and method for detecting voltage variation |
| WO2016033892A1 (zh) * | 2014-09-04 | 2016-03-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 确定光栅器件中的短路点的位置的方法 |
| US9857612B2 (en) | 2014-09-04 | 2018-01-02 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Method for determining location of short-circuit point in raster device |
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