JP2003185695A - 配線パターン検査方法および配線パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 配線パターンの損傷を防止し、且つ断線等の
検査精度を向上すること。 【解決手段】 この検査装置１００は、配線パターン５
０に第一プローブ１の電極１ａを対向させ、この電極１
ａと配線パターン５０との間の静電容量を静電容量計測
部１１により計測する。配線パターン５０に断線が生じ
た場合、当該配線パターン５０の面積が小さくなると共
に検出される静電容量も小さくなるから、判定部１２は
断線と判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、液晶パネルや回
路基板等の配線パターンの断線や短絡を検査するもので
あり、これらの配線パターンに損傷を与えず、且つ断線
等の検査精度を向上できる配線パターン検査方法及び装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、液晶パネル等に形成される電極パ
ターンの断線を検査する技術として、複数のプローブを
配線パターンに接触させ、電極パターンと対向する電極
との間に形成する静電容量を計測することで断線を検出
するものが知られている。図６は、従来の検査装置の一
例を示す構成図である。この検査装置５００は、配線パ
ターン５０１に対向する対向電極５０２と、配線パター
ン５０１の計測針５０４ａに接触する端子５０３を備え
た計測アーム５０４と、対向電極５０２と配線パターン
５０１との間の静電容量Ｃを計測する静電容量計５０５
と、理論的に計算した配線パターン５０１の静電容量値
を予め格納する良否判定条件格納部５０６と、静電容量
計５０５による計測結果から良否を判定する良否判定部
５０７と、良否判定結果を表示する良否表示部５０８と
から構成されている。

【０００３】この検査装置５００では、配線パターン５
０１の上方に所定間隔を以って対向電極５０２を位置さ
せると共に、計測アーム５０４の端子５０３を計測対象
である配線パターン５０１に接触させる。そして、対向
電極５０２と配線パターン５０１との間の静電容量Ｃを
静電容量計５０５で計測する。良否判定部５０７は、静
電容量Ｃの計測値と良否判定条件格納部５０６の理論容
量値とを比較し、その差が所定の範囲内であるか否かを
判断する。その結果は、良否表示部５０８に表示され
る。

【０００４】

【発明が解決短絡する課題】しかしながら、上記従来の
検査装置５００では、計測アーム５０４に取り付けた計
測針５０４ａを配線パターン５０１上の端子５０３に接
触させる必要があるため、配線パターン５０１を損傷さ
せる恐れがある。また、配線パターン５０１に対する端
子５０３の接触不良が生じ易いため、検査精度が低下す
るという問題点がある。

【０００５】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、配線パターンを損傷させず、且つ検査
精度を向上できる配線パターン検査方法および配線パタ
ーン検査装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明による配線パターン検査方法は、被検査
対象である配線パターンに対向する電極を有するプロー
ブを当該配線パターンに沿ってトレースし、電極と配線
パターンとの間の静電容量を非接触で計測し、この静電
容量から配線パターンの断線または短絡を検査するもの
である。

【０００７】静電容量を用いて非接触で配線の断線また
は短絡を検査することで、配線に損傷を与えない。ま
た、非接触であるため接触不良等の問題がなく、検査精
度を向上できる。

【０００８】つぎの発明による配線パターン検査方法
は、被検査対象である配線パターンに対向する電極を有
する第一プローブを当該配線パターンに沿ってトレース
する一方、この第一プローブとともに、被検査対象であ
る配線パターンに対向する電極を有する第二プローブを
配線パターンに沿ってトレースし、第二プローブにより
配線パターンと電極との間隔を非接触で計測し、この計
測結果に基づいて第一プローブの電極と配線パターンと
の間隔を一定に制御しつつ、第一プローブの電極と配線
パターンとの間の静電容量を非接触で計測し、この静電
容量から配線パターンの断線または短絡を検査するもの
である。

【０００９】非接触で第二プローブの電極と配線パター
ンとの間隔を計測し、この計測結果により第一プローブ
の電極と配線パターンとの間隔を一定に制御するので、
被検査対象のうねり等に起因して距離が変化することで
計測される静電容量に影響が及び、計測結果に誤差とし
て加わることを防止できる。このため、配線パターンの
断線または短絡を更に精度よく検査できる。また、非接
触で距離制御を行うため、配線パターンを損傷させるこ
とがない。

【００１０】つぎの発明による配線パターン検査方法
は、被検査対象である配線パターンに対向する電極を有
するプローブを当該配線パターンに沿ってトレースし、
プローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接
触で計測し、静電容量の変化量が、所定閾値以下の場
合、前記出力信号に基づいて配線パターンと電極との間
隔を計測し、この計測結果に基づいてプローブの電極と
配線パターンとの間隔を一定に制御し、所定閾値より大
きい場合、この出力信号に基づいて配線パターンの断線
または短絡を検査するものである。

【００１１】通常は被検査対象のうねり等に起因した静
電容量の変動は比較的緩やかであり、断線や短絡に起因
した静電容量の変動は比較的急である。このため、静電
容量の変化量が所定閾値（実験等により決定）以下の場
合、配線パターンと電極と間隔が変化したものと判定し
て、当該間隔を一定に制御する。一方、静電容量の変化
量が所定閾値より大きい場合、断線または短絡が発生し
ていると判定する。このようにすれば、一つのプローブ
により前記間隔の制御および断線等の判定を行うことが
でき、検査精度をより向上できる。

【００１２】つぎの発明による配線パターン検査方法
は、被検査対象である配線パターンに対向する電極を有
するプローブを当該配線パターンに沿ってトレースし、
プローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接
触で計測して、その出力信号を所定周期で連続的に切り
換えて分岐出力し、一方で、この出力信号に基づいて配
線パターンと電極との間隔を計測し、この計測結果に基
づいてプローブの電極と配線パターンとの間隔を一定に
制御しつつ、他方で、この出力信号に基づいてプ配線パ
ターンの断線または短絡を検査するものである。

【００１３】即ち、この発明では、一つのプローブによ
り間隔の制御と、断線または短絡の判定を行う。このた
め、プローブの出力信号を周期的に分岐出力し、一方で
出力信号に基づいて配線パターンと電極との間隔を制御
しつつ、他方で出力信号に基づいて断線または短絡を検
査する。

【００１４】つぎの発明による配線パターン検査方法
は、被検査対象である配線パターンに対向する電極を有
する第一プローブを当該配線パターンに沿ってトレース
する一方、この第一プローブとともに、被検査対象であ
る配線パターンに対する間隔を静電容量以外の手段をも
って非接触で計測する第二プローブを配線パターンに沿
ってトレースし、第二プローブにより配線パターンとの
間隔を非接触で計測し、この計測結果に基づいて第一プ
ローブの電極と配線パターンとの間隔を一定に制御しつ
つ、第一プローブの電極と配線パターンとの間の静電容
量を非接触で計測し、この静電容量から配線パターンの
断線または短絡を検査するものである。

【００１５】即ち、静電容量以外の手段（例えばレーザ
光等）を用いて配線パターンとの間隔を計測し、この計
測結果に基づいて第一プローブの電極と配線パターンと
の間隔を制御する。断線や短絡については、第一プロー
ブによる静電容量の計測により判定を行う。このように
すれば、第一プローブと第二プローブとが干渉すること
なく併用でき、より検査精度を向上できる。また、いず
れも非接触で計測を行うので、配線パターンを損傷する
ことがない。

【００１６】つぎの発明による配線パターン検査装置
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有するプローブと、プローブの出力信号から電極
と配線パターンとの間の静電容量を計測する静電容量計
測手段と、配線パターンに沿って前記プローブを移動制
御する水平移動制御手段と、前記静電容量から配線パタ
ーンの断線または短絡を判定する判定手段とを備えたも
のである。

【００１７】この発明では、プローブは水平移動制御手
段により配線パターンに沿って移動制御される。この
間、静電容量計測手段は、プローブに設けた電極とこれ
に対向する配線パターンとの間の静電容量を計測する。
判定手段は、配線パターンに断線や短絡が生じた場合
は、静電容量が変化するので、これを捉えて断線等を判
定する。このように、静電容量を用いて非接触で配線の
断線または短絡を検査すれば、配線に損傷を与えず、検
査精度を向上できる。

【００１８】つぎの発明による配線パターン検査装置
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有する第一プローブおよび第二プローブと、第一
プローブおよび第二プローブの出力信号から電極と配線
パターンとの間の静電容量を計測する静電容量計測手段
と、第二プローブを配線パターンに対して垂直方向に移
動すると共に第二プローブの計測した静電容量に基づい
て配線パターンと電極との間隔を取得し、当該間隔が一
定になるように第一プローブを移動制御する垂直制御制
御手段と、第一プローブを配線パターンに沿って移動制
御する水平移動制御手段と、第一プローブの計測した静
電容量から配線パターンの断線または短絡を判定する判
定手段とを備えたものである。

【００１９】即ち第二プローブにより配線パターンとの
間隔を計測し、被検査対象のうねり等に起因した間隔の
変動を取得し、これに基づき、当該間隔が一定になるよ
うに第一プローブを制御する。これにより、第一プロー
ブは間隔変動による誤差を解消した状態で断線等の判定
を行うことができ、検査精度をより向上できる。

【００２０】つぎの発明による配線パターン検査装置
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有するプローブと、プローブを配線パターンに沿
って移動制御する水平移動制御手段と、プローブにより
計測した静電容量が所定閾値以下の場合、配線パターン
と電極との間隔が変化したと判定し、所定閾値より大き
い場合、断線または短絡が発生したと判定する判定手段
と、プローブを配線パターンに対して垂直方向に移動す
ると共に配線パターンと電極との間隔が変化したと判定
した場合、当該間隔が一定になるようにプローブを移動
制御する垂直移動制御手段とを備えたものである。

【００２１】この発明では、判定手段がプローブにより
計測した静電容量が所定閾値以下の場合、配線パターン
と電極との間隔が変化したと判定し、垂直移動制御手段
により当該間隔が一定になるように制御を行う。一方、
静電容量の変化量が所定閾値より大きい場合、断線また
は短絡が発生していると判定する。このようにすれば、
一つのプローブにより前記間隔の制御および断線等の判
定を行うことができ、検査精度をより向上できる。

【００２２】つぎの発明による配線パターン検査装置
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有するプローブと、プローブの出力信号を所定周
期で切り換えて分岐出力する切換手段と、プローブを配
線パターンに対して垂直方向に移動すると共に分岐出力
した一方の静電容量に基づいて配線パターンと電極との
間隔を取得し、当該間隔が一定になるようにプローブを
移動制御する垂直移動制御手段と、プローブを配線パタ
ーンに沿って移動制御する水平移動制御手段と、分岐出
力した他方の静電容量から配線パターンの断線または短
絡を判定する判定手段とを備えたものである。

【００２３】即ち、プローブの出力信号を分岐出力し、
一つのプローブにより間隔の制御と、断線または短絡の
判定を行うと共に、垂直移動制御と断線等の判定とを同
時に行わないようにしたので、相互に干渉が起こらなく
なる。このため、検査精度を向上することができる。ま
た、一つのプローブで計測可能であるから、構成を簡略
化できる。

【００２４】つぎの発明による配線パターン検査装置
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有する第一プローブと、被検査対象である配線パ
ターンとの間隔を静電容量以外の手段をもって非接触で
計測する第二プローブと、第一プローブの出力信号から
電極と配線パターンとの間の静電容量を計測する静電容
量計測手段と、第二プローブの出力信号から第一プロー
ブの電極と配線パターンとの間隔を計測する間隔計測手
段と、第二プローブを配線パターンに対して垂直方向に
移動すると共に第二プローブの計測結果に基づいて配線
パターンと電極との間隔が一定になるように第一プロー
ブを移動制御する垂直移動制御手段と、第一プローブを
配線パターンに沿って移動制御する水平移動制御手段
と、第一プローブの計測した静電容量から配線パターン
の断線または短絡を判定する判定手段とを備えたもので
ある。

【００２５】この発明では、第二プローブに静電容量以
外の手段を採用して非接触で計測を行うようにしたの
で、第一プローブと干渉を起こさない。このため、検査
精度を向上できる。

【００２６】つぎの発明による配線パターン検査装置
は、上記構成において、更に、前記水平移動制御手段ま
たは垂直移動制御手段は、ボールネジ等の直動送り手段
と、圧電素子により構成した微小送り手段との組み合わ
せから構成される。

【００２７】微細な配線パターンの断線や短絡を確実に
検査するには、プローブが配線パターン上を正確にトレ
ースしている必要がある。一方、機械的な直動送り手段
では、その分解能に限界があるため、配線パターンの線
幅が小さくなると対応が困難になる。このため、微小送
りは圧電素子により行うことで分解能を高めれば、線幅
の小さい配線パターンにも対応できる。また、電極を配
線パターンに対向させることができるので、検査精度を
より高めることができる。垂直方向についても、分解能
が低いと誤差が計測時のノイズとなるが、圧電素子によ
り分解能を高めることにより、検査精度をより高くでき
る。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。また、この実施の形
態の構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、
或いは実質的に同一のものが含まれる。

【００２９】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１に係る検査装置を示す構成図である。この検査
装置１００は、液晶パネルのＴＦＴガラス基板５１等の
配線パターン５０に対向し、非接触で当該配線パターン
５０の静電容量を検出する第一プローブ１および第二プ
ローブ２と、第一プローブ１を支持すると共にZ方向
（垂直方向）で微小位置決めを行うＰＺＴ等からなる圧
電素子３と、この圧電素子３を保持する移動部材４と、
移動部材４に取り付けた位置検出器５と、移動部材４を
配線パターン５０と平行方向に微小位置決めする圧電素
子６と、この圧電素子６をナット７に固定したボールネ
ジ８と、ボールネジ８のネジ９に回転軸を連結したモー
タ１０とを備えている。なお、移動部材４はＸＹテーブ
ル構造のようにＸＹ方向（水平方向）に移動可能であ
り、図示しないがＹ軸方向に移動するためのボールネジ
および圧電素子（構造は上記Ｘ軸方向の移動用のものと
同じである）を更に有する。

【００３０】また、第一プローブ１の出力信号から静電
容量を計測する静電容量計測部１１と、計測した静電容
量から配線パターン５０の断線または短絡の有無を判定
する判定部１２と、判定部１２における断線等の条件を
格納する判定条件格納部１３と、判定結果を表示する表
示部１４と、モータ１０および圧電素子２，６を駆動制
御する制御部１５（静電容量計測機能を含む）と、検査
手順等の命令を出すコントローラー１６とを備えてい
る。

【００３１】圧電素子２，６には、グリーンシート法等
により製造される積層型の圧電素子を用いるのが好まし
い。当該積層型の圧電素子は、印加電圧に対して数μｍ
レベルで調整でき、応答力・発生力が極めて大きいた
め、フィードバック制御における安定性を高くできる。

【００３２】第一および第二プローブ１，２の先端に
は、配線パターン５０に対向するように電極１ａ、２ａ
が設けられている。なお、同図では移動部材４をブロッ
ク構造のように記載したが、アーム構造等の被検査対象
に応じた形状を適宜採用できる。前記第一プローブ１
は、断線を判定するためのものであり、第二プローブ２
は、第一プローブ１と配線パターン５０との間隔を所定
範囲に維持するための位置決め用のものである。第二プ
ローブ２の出力信号は制御部１５に送られる。制御部
は、出力信号から静電容量を計測し、その結果に基づい
て圧電素子３に所定の電圧を印加し、第一プローブ１と
配線パターン５０との間隔を一定に保つようにフィード
バック制御する。

【００３３】第二プローブ２の先端の電極２ａと配線パ
ターン５０との間の静電容量Ｃと、距離ｄとの関係は、
次式（１）で表される。 Ｃ＝ε_０・ε・ｓ／ｄ …（１） ε_０は真空の誘電率、εは空気の比誘電率、ｓは電極の
面積である。

【００３４】（１）式から判るように、静電容量Ｃによ
り距離ｄが変化するから、計測した静電容量Ｃに基いて
距離ｄを求め、当該距離ｄが一定になるように第一プロ
ーブ１の圧電素子３を制御することで、第一プローブ１
の先端の電極１ａと配線パターン５０との間隔を一定に
保つことができる。なお、Ｚ軸方向にも、モータおよび
ボールネジからなる位置決め装置を設けても良い（図示
省略）。

【００３５】コントローラー１６は、図示しない記憶装
置に配線パターン５０のパターン形状データを格納して
おり、この配線パターン５０のパターン形状に沿って第
一プローブ１をトレースするように、制御部１５に命令
する。第一プローブ１は、当該命令に従って配線パター
ン５０上を移動し、その過程で静電容量の変化を計測
し、断線や短絡を非接触で検査する。

【００３６】第一プローブ１の電極１ａと配線パターン
５０との間の静電容量Ｃと、電極面積ｓとの関係は、次
式（２）で表される。 ｓ＝Ｃ・ｄ／ε_０・ε …（２） ε_０は真空の誘電率、εは空気の比誘電率、ｄは電極と
配線パターンとの距離である。距離ｄは、上記のように
一定に制御される。

【００３７】具体的には、配線パターン５０に断線が生
じた場合、当該配線パターン５０の面積が電極１ａに比
べて小さくなるから、これと共に検出される静電容量も
小さくなる。また、配線パターン５０が短絡している場
合は、検出される静電容量が大きくなる。これらの判断
は、判定部１２により行われるが、静電容量の変化は配
線パターン５０の形成精度に影響されるので、断線や短
絡と判断する静電容量の変化量を閾値して設定し、これ
らの条件を判定条件格納部１３に格納しておく。

【００３８】なお、第一プローブ１は、ＴＦＴガラス基
板５１上に形成される初期位置マークを基準にしてトレ
ースを行う。図２は、初期位置設定の方法を示す説明図
である。ＴＦＴガラス基板５１上の任意位置には、ＸＹ
軸方向の基準となるマーク５３ｘ、５３ｙが形成され
る。各マーク５３ｘ、５３ｙは、２本の金属性の矩形パ
ターンで形成される。第一プローブ１によりこれらマー
ク５３ｘ、５３ｙの静電容量を検出すると、同図に示す
ように、２つの出力信号が取得される。制御部１５は、
この２つの出力信号のピーク値（５４）からこれらの中
間位置５５を演算し、初期位置として決定する。これを
ＸＹ軸方向で行うことにより、初期位置５６を決定でき
る。このように、TFTガラス基板５１に直接初期位置の
マーク５３を設けることで、検査用のテーブル等（図示
省略）に対するTFTガラス基板５１の位置決め精度を緩
和できる。このため、検査工程を簡単にできる。また、
配線パターンのトレース精度が向上するので、検査精度
をより向上できる。なお、マーク５３ｘ、５３ｙは、Ｔ
ＦＴガラス基板５１に形成されている配線パターン５０
を利用しても良い。

【００３９】移動部材４のボールネジ８による位置決め
精度は、バックラッシュ、ピッチング、ヨーイング、水
平または垂直真直度等の影響を受け、位置検出器５とし
てリニアスケールを用いてクローズド制御を行っても、
１００ｎｍ程度が限界である。このため、この検査装置
１００では、Ｘ軸およびＹ軸の制御において、圧電素子
６により当該位置決めを補完する。具体的には、コント
ローラー１６からの命令により制御部１５がモータ１０
を制御し、ボールネジ送りにより例えば１０μｍ程度の
分解能で位置決めを行う。そして、位置検出器５の出力
信号に基づいて制御部１５が圧電素子６を移動制御し、
数ｎｍ程度の分解能で詳細な位置決めを行う。このよう
にすれば、幅細の配線パターン５０であっても、確実な
トレースが可能になり、配線パターン５０の断線や短絡
を検査することができる。また、高い分解能で配線パタ
ーン５０に電極１ａを正確に対向させられるので、検査
精度をより向上できる。

【００４０】なお、図示しないが、第二プローブ２とし
て光学式距離センサを用いても良い。光源としては、半
導体レーザやＬＥＤ等を用いることができる。半導体レ
ーザを用いる場合、レーザ光をＴＦＴガラス基板５１や
ＣＦガラス基板に照射し、この反射光を受光素子により
受光する。なお、受光される反射光は、被計測対象が透
明電極であるため、全反射角を持ってレーザ光を照射す
るようにするが好ましい。反射光は、被計測対象が変位
することで受光素子における受光位置が変化する。受光
素子は当該変化に応じた信号を出力し、制御部１５に送
る。制御部１５では、圧電素子３に駆動電圧を印加し、
配線パターン５０と第一プローブ１の電極１ａとの間隔
ｄが一定になるように制御する。

【００４１】このように、静電容量以外の方法により距
離制御を行うようにすれば、第一プローブ１による静電
容量の計測と干渉しない。具体的には、配線パターン５
０の断線の存在によりその断線付近の静電容量が変化
し、この変化を距離変化と誤って認識して距離制御する
ような状態を回避できる。

【００４２】以上、この検査装置１００によれば、非接
触で配線パターン５０の断線や短絡を検査できるので、
配線パターン５０を損傷させず、且つ検査精度を向上で
きる。なお、この検査装置１００は、液晶パネルのみな
らず、一般的な回路基板の配線パターン等の断線検査に
も適用できる。

【００４３】（実施の形態２）図３は、この発明の実施
の形態２に係る検査装置を示す構成図である。この検査
装置２００は、一つのプローブ２０１により検査および
距離制御を行う点に特徴がある。この他の構成は、上記
実施の形態１の検査装置１００と略同一であるので、そ
の説明を省略する。プローブ２０１は、コントローラー
１６からの命令に基づいて配線パターン５０をトレース
し、プローブ２０１の電極２０１ａに対向する配線パタ
ーン５０の静電容量を計測している。このプローブ２０
１の出力信号は静電容量計測部１１にて監視されてお
り、判定部２０２では、配線パターン５０の断線或いは
短絡が原因により静電容量が変化しているのか、配線パ
ターン５０と電極２０１ａとの距離ｄが変化して静電容
量が変化しているのかを判断する。

【００４４】図４は、プローブの位置と検出される静電
容量との関係を示すグラフ図である。一般的に、電極２
０１ａと配線パターン５０との間隔ｄは緩やかに変化す
る傾向があり、一方、断線或いは短絡の場合は（例えば
図中断線２０３）、配線面積が比較的急に変化する傾向
にある。このため、電極２０１ａと配線パターン５０と
の間隔ｄが変化すると検出される静電容量も基準静電容
量Ｃｒに対して緩やかに変化するので、プローブ２０１
の出力信号の変化量は小さくなる（図中区間Ａ）。一
方、配線パターン５０に断線や短絡が発生した場合は、
配線面積が比較的急に変化するので、プローブ２０１の
出力信号も急に変化する（図中区間Ｂ）。

【００４５】判定部２０２は、出力信号を微分して変化
量が所定閾値より大きくなった時点で配線パターン５０
に断線や短絡が発生していると判定する。一方、プロー
ブ２０１の出力信号が所定閾値以下の場合には、断線等
は発生しておらず、電極２０１ａと配線パターン５０と
の間隔ｄが変化したものと判定して、出力信号を制御部
１５に分岐して出力する。制御部１５は、当該出力信号
に基づいて圧電素子３を駆動制御し、電極２０１ａと配
線パターン５０との間隔ｄを一定に制御する。断線等の
判定基準となる閾値は、その配線パターン５０における
静電容量の変化を予め計測して決定し、判定条件格納部
１３に格納しておく。

【００４６】以上の検査装置２００によれば、一つのプ
ローブ２０１により断線等の検査を非接触で行うことが
可能である。また、一つのプローブ２０１で計測するの
で、装置の構成が簡略化される。

【００４７】また、図５は、実施の形態２に係る検査装
置の変形例を示す構成図である。この検査装置２５０
は、切換部２０４によりプローブ２０１の出力信号を所
定周期（例えば５０Ｈｚ）で切り換え、制御部１５およ
び静電容量計測部１１に交互に分岐して出力する。制御
部１５は、プローブ２０１の出力信号に基づいて上記同
様に圧電素子６の制御を行う。一方、判定部１２は、プ
ローブ２０１の出力信号に基づいて配線パターン５０の
断線または短絡の判定を行う。係る構成の検査装置２５
０であっても、一つのプローブ２０１により非接触で位
置制御および断線等の判定を行える。また、同時に同じ
プローブからの出力信号に基づいて制御を行わないの
で、相互の干渉を防止できる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の配線パ
ターン検査方法では、被検査対象である配線パターンに
対向する電極を有するプローブを当該配線パターンに沿
ってトレースし、電極と配線パターンとの間の静電容量
を非接触で計測し、この静電容量から配線パターンの断
線または短絡を検査するので、配線に損傷を与えること
なく、検査精度を向上できる。

【００４９】また、この発明の配線パターン検査方法で
は、被検査対象である配線パターンに対向する電極を有
する第一プローブを当該配線パターンに沿ってトレース
する一方、この第一プローブとともに、被検査対象であ
る配線パターンに対向する電極を有する第二プローブを
配線パターンに沿ってトレースし、第二プローブにより
配線パターンと電極との間隔を非接触で計測し、この計
測結果に基づいて第一プローブの電極と配線パターンと
の間隔を一定に制御しつつ、第一プローブの電極と配線
パターンとの間の静電容量を非接触で計測し、この静電
容量から配線パターンの断線または短絡を検査するの
で、配線パターンの断線や短絡を精度よく検査でき、且
つ配線パターンの損傷を防止できる。

【００５０】また、この発明の配線パターン検査方法で
は、被検査対象である配線パターンに対向する電極を有
するプローブを当該配線パターンに沿ってトレースし、
プローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接
触で計測して、その出力信号が、静電容量の変化量を基
準として、所定閾値以下の場合、前記出力信号に基づい
て配線パターンと電極との間隔を計測し、この計測結果
に基づいてプローブの電極と配線パターンとの間隔を一
定に制御し、所定閾値より大きい場合、この出力信号に
基づいて配線パターンの断線または短絡を検査するの
で、一つのプローブにより前記間隔の制御および断線等
の判定を行うことができ、検査精度をより向上できる。
また、前記間隔を制御するためのプローブが不要である
ため、装置構成を簡単にできる。

【００５１】また、この発明の配線パターン検査方法で
は、プローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を
非接触で計測し、その出力信号を所定周期で連続的に切
り換えて分岐出力し、一方で、この出力信号に基づいて
配線パターンと電極との間隔を計測し、この計測結果に
基づいてプローブの電極と配線パターンとの間隔を一定
に制御しつつ、他方で、この出力信号に基づいてプ配線
パターンの断線または短絡を検査するので、一つのプロ
ーブにより電極と配線パターンとの間隔を一定に制御し
つつ、当該配線パターンの断線や短絡を精度よく検査で
きる。また、非接触であるため、配線パターンを損傷さ
せることがない。

【００５２】また、この発明の配線パターン検査方法で
は、第一プローブとともに、被検査対象である配線パタ
ーンに対する間隔を静電容量以外の手段をもって非接触
で計測する第二プローブを配線パターンに沿ってトレー
スし、第二プローブにより配線パターンとの間隔を非接
触で計測し、この計測結果に基づいて第一プローブの電
極と配線パターンとの間隔を一定に制御しつつ、第一プ
ローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接触
で計測し、この静電容量から配線パターンの断線または
短絡を検査するので、検査精度を向上でき、且つ配線パ
ターンを損傷することがない。

【００５３】また、この発明の配線パターン検査装置で
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有するプローブと、プローブの出力信号から電極
と配線パターンとの間の静電容量を計測する静電容量計
測手段と、配線パターンに沿って前記プローブを移動制
御する水平移動制御手段と、前記静電容量から配線パタ
ーンの断線または短絡を判定する判定手段とを備えたの
で、配線に損傷を与えず、検査精度を向上できる。

【００５４】また、この発明の配線パターン検査装置で
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有する第一プローブおよび第二プローブと、第一
プローブおよび第二プローブの出力信号から電極と配線
パターンとの間の静電容量を計測する静電容量計測手段
と、第二プローブを配線パターンに対して垂直方向に移
動すると共に第二プローブの計測した静電容量に基づい
て配線パターンと電極との間隔を取得し、当該間隔が一
定になるように第一プローブを移動制御する垂直制御制
御手段と、第一プローブを配線パターンに沿って移動制
御する水平移動制御手段と、第一プローブの計測した静
電容量から配線パターンの断線または短絡を判定する判
定手段とを備えたので、検査精度を向上し、配線パター
ンの損傷を防止できる。

【００５５】また、この発明の配線パターン検査装置で
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有するプローブと、プローブを配線パターンに沿
って移動制御する水平移動制御手段と、プローブにより
計測した静電容量が所定閾値以下の場合、配線パターン
と電極との間隔が変化したと判定し、所定閾値より大き
い場合、断線または短絡が発生したと判定する判定手段
と、プローブを配線パターンに対して垂直方向に移動す
ると共に配線パターンと電極との間隔が変化したと判定
した場合、当該間隔が一定になるようにプローブを移動
制御する垂直移動制御手段とを備えたので、一つのプロ
ーブにより前記間隔の制御および断線等の判定を行うこ
とができ、検査精度をより向上できる。

【００５６】また、この発明の配線パターン検査装置で
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有するプローブと、プローブの出力信号を所定周
期で切り換えて分岐出力する切換手段と、プローブを配
線パターンに対して垂直方向に移動すると共に分岐出力
した一方の静電容量に基づいて配線パターンと電極との
間隔を取得し、当該間隔が一定になるようにプローブを
移動制御する垂直移動制御手段と、プローブを配線パタ
ーンに沿って移動制御する水平移動制御手段と、分岐出
力した他方の静電容量から配線パターンの断線または短
絡を判定する判定手段とを備えたので、相互干渉を防止
し、より検査精度を高めることができる。また、一つの
プローブで計測できるので、構成が簡略化される。

【００５７】また、この発明の配線パターン検査装置で
は、被検査対象である配線パターンに非接触で対向する
電極を有する第一プローブと、 被検査対象である配線
パターンとの間隔を静電容量以外の手段をもって非接触
で計測する第二プローブと、第一プローブの出力信号か
ら電極と配線パターンとの間の静電容量を計測する静電
容量計測手段と、第二プローブの出力信号から第一プロ
ーブの電極と配線パターンとの間隔を計測する間隔計測
手段と、第二プローブを配線パターンに対して垂直方向
に移動すると共に第二プローブの計測結果に基づいて配
線パターンと電極との間隔が一定になるように第一プロ
ーブを移動制御する垂直制御制御手段と、第一プローブ
を配線パターンに沿って移動制御する水平移動制御手段
と、第一プローブの計測した静電容量から配線パターン
の断線または短絡を判定する判定手段とを備えたので、
第一プローブと第二プローブとが干渉を起こさないの
で、検査精度を向上できる。

【００５８】また、この発明の配線パターン検査装置
は、水平移動制御手段または垂直移動制御手段は、ボー
ルネジ等の直動送り手段と、圧電素子により構成した微
小送り手段との組み合わせから構成されるので、検査精
度をより高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に係る検査装置を示す
構成図である。

【図２】初期位置設定の方法を示す説明図である。

【図３】この発明の実施の形態２に係る検査装置を示す
構成図である。

【図４】プローブの位置と検出される静電容量との関係
を示すグラフ図である。

【図５】この発明の実施の形態２に係る検査装置の変形
例を示す構成図である。

【図６】従来の検査装置の一例を示す構成図である。

【符号の説明】 １００ 検査装置 ５０ 配線パターン １ 第一プローブ ２ 第二プローブ ３ 圧電素子 ４ 移動部材 ５ 位置検出器 ６ 圧電素子 ８ ボールネジ １０ モータ １１ 静電容量計測部 １２ 判定部 １３ 判定条件格納部

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査対象である配線パターンに対向す
   る電極を有するプローブを当該配線パターンに沿ってト
   レースし、電極と配線パターンとの間の静電容量を非接
   触で計測し、この静電容量から配線パターンの断線また
   は短絡を検査する配線パターン検査方法。
2. 【請求項２】 被検査対象である配線パターンに対向す
   る電極を有する第一プローブを当該配線パターンに沿っ
   てトレースする一方、この第一プローブとともに、被検
   査対象である配線パターンに対向する電極を有する第二
   プローブを配線パターンに沿ってトレースし、 第二プローブにより配線パターンと電極との間隔を非接
   触で計測し、この計測結果に基づいて第一プローブの電
   極と配線パターンとの間隔を一定に制御しつつ、第一プ
   ローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接触
   で計測し、この静電容量から配線パターンの断線または
   短絡を検査する配線パターン検査方法。
3. 【請求項３】 被検査対象である配線パターンに対向す
   る電極を有するプローブを当該配線パターンに沿ってト
   レースし、 プローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接
   触で計測し、静電容量の変化量が、 所定閾値以下の場合、前記出力信号に基づいて配線パタ
   ーンと電極との間隔を計測し、この計測結果に基づいて
   プローブの電極と配線パターンとの間隔を一定に制御
   し、 所定閾値より大きい場合、この出力信号に基づいて配線
   パターンの断線または短絡を検査する配線パターン検査
   方法。
4. 【請求項４】 被検査対象である配線パターンに対向す
   る電極を有するプローブを当該配線パターンに沿ってト
   レースし、 プローブの電極と配線パターンとの間の静電容量を非接
   触で計測して、その出力信号を所定周期で連続的に切り
   換えて分岐出力し、一方で、この出力信号に基づいて配
   線パターンと電極との間隔を計測し、この計測結果に基
   づいてプローブの電極と配線パターンとの間隔を一定に
   制御しつつ、他方で、この出力信号に基づいてプ配線パ
   ターンの断線または短絡を検査する配線パターン検査方
   法。
5. 【請求項５】 被検査対象である配線パターンに対向す
   る電極を有する第一プローブを当該配線パターンに沿っ
   てトレースする一方、この第一プローブとともに、被検
   査対象である配線パターンに対する間隔を静電容量以外
   の手段をもって非接触で計測する第二プローブを配線パ
   ターンに沿ってトレースし、 第二プローブにより配線パターンとの間隔を非接触で計
   測し、この計測結果に基づいて第一プローブの電極と配
   線パターンとの間隔を一定に制御しつつ、第一プローブ
   の電極と配線パターンとの間の静電容量を非接触で計測
   し、この静電容量から配線パターンの断線または短絡を
   検査する配線パターン検査方法。
6. 【請求項６】 被検査対象である配線パターンに非接触
   で対向する電極を有するプローブと、 プローブの出力信号から電極と配線パターンとの間の静
   電容量を計測する静電容量計測手段と、 配線パターンに沿って前記プローブを移動制御する水平
   移動制御手段と、 前記静電容量から配線パターンの断線または短絡を判定
   する判定手段と、を備えた配線パターン検査装置。
7. 【請求項７】 被検査対象である配線パターンに非接触
   で対向する電極を有する第一プローブおよび第二プロー
   ブと、 第一プローブおよび第二プローブの出力信号から電極と
   配線パターンとの間の静電容量を計測する静電容量計測
   手段と、 第二プローブを配線パターンに対して垂直方向に移動す
   ると共に第二プローブの計測した静電容量に基づいて配
   線パターンと電極との間隔を取得し、当該間隔が一定に
   なるように第一プローブを移動制御する垂直制御制御手
   段と、 第一プローブを配線パターンに沿って移動制御する水平
   移動制御手段と、 第一プローブの計測した静電容量から配線パターンの断
   線または短絡を判定する判定手段と、を備えた配線パタ
   ーン検査装置。
8. 【請求項８】 被検査対象である配線パターンに非接触
   で対向する電極を有するプローブと、 プローブを配線パターンに沿って移動制御する水平移動
   制御手段と、 プローブにより計測した静電容量が所定閾値以下の場
   合、配線パターンと電極との間隔が変化したと判定し、
   所定閾値より大きい場合、断線または短絡が発生したと
   判定する判定手段と、 プローブを配線パターンに対して垂直方向に移動すると
   共に配線パターンと電極との間隔が変化したと判定した
   場合、当該間隔が一定になるようにプローブを移動制御
   する垂直移動制御手段と、 を備えた配線パターン検査装置。
9. 【請求項９】 被検査対象である配線パターンに非接触
   で対向する電極を有するプローブと、 プローブの出力信号を所定周期で切り換えて分岐出力す
   る切換手段と、 プローブを配線パターンに対して垂直方向に移動すると
   共に分岐出力した一方の静電容量に基づいて配線パター
   ンと電極との間隔を取得し、当該間隔が一定になるよう
   にプローブを移動制御する垂直移動制御手段と、 プローブを配線パターンに沿って移動制御する水平移動
   制御手段と、 分岐出力した他方の静電容量から配線パターンの断線ま
   たは短絡を判定する判定手段と、を備えた配線パターン
   検査装置。
10. 【請求項１０】 被検査対象である配線パターンに非接
    触で対向する電極を有する第一プローブと、 被検査対象である配線パターンとの間隔を静電容量以外
    の手段をもって非接触で計測する第二プローブと、 第一プローブの出力信号から電極と配線パターンとの間
    の静電容量を計測する静電容量計測手段と、 第二プローブの出力信号から第一プローブの電極と配線
    パターンとの間隔を計測する間隔計測手段と、 第二プローブを配線パターンに対して垂直方向に移動す
    ると共に第二プローブの計測結果に基づいて配線パター
    ンと電極との間隔が一定になるように第一プローブを移
    動制御する垂直移動制御手段と、 第一プローブを配線パターンに沿って移動制御する水平
    移動制御手段と、 第一プローブの計測した静電容量から配線パターンの断
    線または短絡を判定する判定手段と、を備えた配線パタ
    ーン検査装置。
11. 【請求項１１】 更に、前記水平移動制御手段または垂
    直移動制御手段は、ボールネジ等の直動送り手段と、圧
    電素子により構成した微小送り手段との組み合わせから
    構成される請求項６〜１０のいずれか一つに記載の配線
    パターン検査装置。