JPH0496342A

JPH0496342A - 抵抗検査装置

Info

Publication number: JPH0496342A
Application number: JP21385490A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Nakajima; 中島　芳廣
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1990-08-13
Filing date: 1990-08-13
Publication date: 1992-03-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は液晶表示素子基板等の抵抗検査装置に関し、特
に、断通判定方法を改良した抵抗検査装置に関する。

〔従来の技術〕

第３図は液晶表示素子基板の概略を示す平面図、第４図
は薄膜トランジスタの概略を示す断面図である。一般に
、液晶表示素子基板は、第３図に示すように、例えば、
基板１ａ上にゲート配線３ａが４８０本、ドレイン配線
４ａが互いに交叉して配線されており、このゲート配線
３ａ及びドレイン配線４ａの囲まれる部分には、それぞ
れ画素電極を駆動する薄膜のトランジスタ５が形成され
ている−６また、ゲート配線３ａ及びドレイン配線４ａ
の端部には、それぞれ、配線接続と検査用端子を兼用し
たゲート端子１，３及びドレイン端子２，４が形成され
ている８一方、薄膜トランジスタは、第４図に示すように、基板
上の絶縁層７を介ｊ−でゲートｔｉ６とドレイン電極１
０が形成され、グー１〜とトレインがオンの場合、この
ｌ・ランジスタが動作ｔ、、画素電極１１に電圧が印加
され、液晶板の表示素子が動作する。なお、非晶質シリ
コンＮ１８及びＮ１非晶質シリコンＮ９は薄膜で形成さ
れている。

ここで、ゲート配線及びドレイン配線での断線及び短絡
は、−カ所でもあると、液晶表示素子表示板としての機
能を果すことが出来ない。このため薄膜■・ランジスタ
基板の完了時に、ゲート配線及びトレイン配線の断線及
び短絡の検査を行い、不良を除いた後、後続のパネル組
立１稈に投入する。二とが行れている。

従来上述の断線及び短絡の検査は、抵抗検査装置により
行なわれていたにの抵抗検査装置は、図面には示さない
が、第３図に示ずグーＩ・端子〕、３及びドレイン端子
２，４と接触する複数の測定針をもつプロ・−ブカード
と、このプローブカードに接続さ自、る抵抗測定装置本
体及び制匹用のコンピュータとを有していた。そして、
これら測定針を対応する各端子対にそり、それ接触Ｌ、
抵抗値を測定することによって、各ゲート配線及びド）
／イン配線の断線及び短絡の有無を判定１−でいた。

〔発明が解決しようどする課題〕

１〜かしながら、従来の抵抗検査装ばによる断線あるい
は短絡における判定では、測定針と基板の測定用端子と
抵抗値が判定値を越えたとき、これを断線によるものか
、あるいは接触不良によるものか区別できないという問
題が起きた７例えば、Ｌ記１表示パネルあたりグー１−
４８０本ド１／イン７６８本での断線判定回数が１２４
８回／パネルにつぎ、数回の接触不良が起こることがあ
る。この、ことは、断線に関する判定の信頼性は極めて
低いと云える。このため、実際には断線ど判定されたパ
ネルについては、再測定や、場合によっては顕微鏡によ
るラインの目視確認を併用するなどの手段がとられてい
た。

本発明の目的は、かかる問題を解消すべく、極めて高信
頼度の抵抗検査装置を掃供する４：とである。

〔課題を解決するｌ、：めの手段〕

】１本発明の第１の抵抗検査装置は、四角形状の基板上
に縦横に並べて形成される配線と、この配線の端部に形
成される端子とを存する回路基板を搭載するステージと
、前記回路基板の一方向の両側にある前記端子と接触す
る複数の測定針をもつ２つのプローブカードとを有Ｉ７
、画側の前記端子の抵抗測定り、、前記配線の漸速を判
定する抵抗検査装置において、前記ステージと並べて配
置される砥石板を備え、前記抵抗測定１７、抵抗値が異
常のとき、前記測定子の接触部を研磨し、再度抵抗測定
することを特徴としている。

２、本発明の第２の抵抗検査装置は、前記プローブカー
ドの測定針で前記端子の所定位置を接触し、抵抗測定値
が異常のとき、再度、前記測定針を前記端子の所定位置
をずらして接触させ、抵抗測定することを特徴とＩ〜て
いる。

［実施例〕次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明による抵抗検査装置の一実施例を示す斜
視図、第２図は第１図の抵抗検査装置の動作を説明する
ための流れ図である。この抵抗検査装置は、同図に示す
ように、ステ・−ジに載置された基板１ａと並べて、そ
れぞｔｔのプローブカード１３に対応１−で、砥石板コ
２を配置したことである。そメ、以外の機構部は従来例
と同じである。

次に、この抵抗検査装置の動作を説明づる。なお、ここ
では説明し易いように、グーＩ・配線における断線判定
にお６Ｊる実施例で説明する。まず、第２図の〔検査開
始〕で、プローブカード１３を基板１ａの一領域に位置
する。次に、動作Ａで、ステージ」ユに置かれた基板上
のゲート端子、３に、プローブカードが下降することよ
り、各測定針１４が接触する。次に、動作Ｂで、各配線
の抵抗値を測定する。次に、判定動作Ｃで、Ｙ　Ｅ　Ｓ
なら、動作りにより、プローブカード１３を引き上げ、
移動し、砥石板１２上に位置決めされる。次に、プロー
ブカード１３が下降し、測定針１４の先端部が砥石板１
２に接触する９次に、プローブカード１３と砥石板１２
とを相対的に移動し、測定針１４の先端部を研磨する。

次に、動作Ｅで、プローブカードを元の領域に戻し、更
に、各ゲート端子幅方向に沿って、例えば端子幅の１／
１０〜１／２程度にプローブカード１３ずらして、位置
決めする。次に、プローブカードを下降し、測定針を測
定端子に接触させる０次に、動作Ｆで、再び同じゲート
配線の抵抗値を測定する０次に、判定動作Ｇで、規定抵
抗値と比較し、断線があるか否かを判定する。もし、こ
こで、ＹＥＳなら、この領域での配線には断線があるこ
とであり、不良と判定する。また、この判定動作でＮｏ
ならば、測定針、あるいは端子の汚れによる接触不良で
あったことと判断し、動作り及び判定動作工に移行する
。次に、判定動作Ｉで、Ｎｏなら、動作Ｊで、プローブ
カードは隣接する領域に移動し、位置決めされる。以下
、動作Ａより順次繰返し動作して判定動作ＩでＹＥＳな
らこの基板の全域の導通検査は終了する。

このように、配線の導通試験毎に、断線が見つかる時点
で、測定針を砥石で研磨し、さらに、最初に接触した端
子の位置とずらして、接触させ、抵抗値を測定するので
、接触不良による断なのか、断線による断なのかの区別
が出来る。なお、上記実施例では、再測定とプローブ針
先端の研磨と及び再測定での端子上での測定針の位置の
移動の動作を一連で実施したが、どれか単独またはそれ
らの組み合せ動作でも、一定の効果は得られる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明では、測定針の先端部を研磨
する砥石板を設け、配線の導通試験で断線と判定された
とき、測定針の先端部を研磨して再検査する動作と、事
前の検査で測定針が接触した端子の位置からずらした位
置に接触させる動作を設けることによって、測定針の接
触不良により配線断とする誤判定がなくなるので、測定
の信頼度の高い抵抗検査装置が得られるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す抵抗検査装置の斜視図
、第２図は第１図の抵抗検査装置の動作を説明するため
の流れ図、第３図は液晶表示素子基板を示す平面図、第
４図は薄膜トランジスタの概略を示す図である。、３・・・ゲート端子、１ａ・・・基板、２．４・・・
ドレイン端子、３ａ・・・ゲート配線、４ａ・・・トレ
イン配線、５・・・トランジスタ、６・・・ゲート電極
、７・・・絶縁層、８・・・非晶質シリコン層、９・・
・Ｎ２非晶質シリコン層、１０・・・ドレイン電極、１
１・・・画素電極、１２・・・砥石板、１３・・・プロ
ーブカード、１４・・・測定針。

Claims

【特許請求の範囲】１、四角形状の基板上に縦横に並べて形成される配線と
、この配線の端部に形成される端子とを有する回路基板
を搭載するステージと、前記回路基板の一方向の両側に
ある前記端子と接触する複数の測定針をもつ２つのプロ
ーブカードとを有し、両側の前記端子の抵抗測定し、前
記配線の断通を判定する抵抗検査装置において、前記ス
テージと並べて配置される砥石板を備え、前記抵抗測定
し、抵抗値が異常のとき、前記測定子の接触部を研磨し
、再度抵抗測定することを特徴とする抵抗検査装置。２、前記プローブカードの測定針で前記端子の所定位置
を接触し、抵抗測定値が異常のとき、再度、前記測定針
を前記端子の所定位置をずらして接触させ、抵抗測定す
ることを特徴とする請求項１記載の抵抗検査装置。