KR101933547B1

KR101933547B1 - 비접촉 저항 검사기

Info

Publication number: KR101933547B1
Application number: KR1020120044565A
Authority: KR
Inventors: 조훈희; 김기태; 조인관
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-04-27
Filing date: 2012-04-27
Publication date: 2018-12-31
Also published as: KR20130121400A

Abstract

본 발명은 비접촉 저항 검사기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 비접촉 저항 검사기는 교류신호를 인가하는 신호 공급부와, 다수의 센서판을 포함하여 상기 교류신호가 인가된 검사대상에 의해 유기되는 정전용량의 변화를 센싱하는 센서유닛과, 상기 다수의 센서판 각각으로부터 검출신호를 검출하는 신호 처리부와, 상기 신호 처리부가 검출한 검출신호들을 비교하여 검출신호들의 전위 변화에 따른 전압 레벨에 기초한 저항 값을 산출하는 판정부를 포함하고, 상기 센서유닛은 상기 검사대상과 일정간격을 유지하기 위한 갭유지용 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

비접촉 저항 검사기{NON CONTACT RESISTANCE INSPECTING APPARATUS}

본 발명은 비접촉 저항 검사기에 관한 것으로 특히, 메모리 또는 평판디스플레이 제작시에 검사공정으로서 비접촉 방식으로 저항을 측정 및 검사 할 수 있는 비접촉 저항 검사기에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 음극관(Cathode Ray Tube:CRT)에서 플라즈마 디스플레이패널(Plasma Display Panel:PDP)장치, 유기 전계 발광 디스플레이(Organic Eltro Luminescence Display:OELD)장치 및 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display:LCD)장치와 같은 평판 디스플레이장치가 개발되어 사용되고 있다

이들 평판 디스플레이장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보인다.

특히, 평판 디스플레이장치 중에서도 액정 디스플레이장치는 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력 등과 같은 다양한 장점으로 가장 많이 사용되고 있다.

이러한 액정 디스플레이장치는 액정의 광학적 이방성(optical anisotropy)과 분극(polarization) 성질을 이용하여 구동되는데, 액정분자는 그 구조가 가늘고 길기 때문에 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.

이와 같이, 전기장을 이용하여 액정분자의 배열을 변화시키면, 액정의 광학적 이방성에 의해 액정분자의 배열 방향으로 빛이 굴절하여 영상을 표시할 수 있게 된다.

이러한 액정 디스플레이장치는 어레이기판에 게이트배선과 데이터배선과 박막트랜지스터(thin film transistor: TFT) 및 화소전극을 형성하는 어레이기판 제조공정과, 컬러필터기판에 블랙매트릭스와 컬러필터 및 공통전극을 형성하는 컬러필터기판 제조공정과, 어레이기판 및 컬러필터기판을 합착하여 셀 단위로 절단하고, 셀 단위의 어레이기판 및 컬러필터기판 사이에 액정을 주입하여 단위 패널을 형성하는 셀(cell) 공정과, 단위 패널에 구동집적회로(driving IC) 및 인쇄회로기판(PCB)을 부착하고 백라이트유닛(backlight unit)과 조립하는 모듈(module) 공정을 거쳐서 완성된다.

여기서, 각 공정을 진행하기 전에 다양한 검사공정이 진행되는데, 상기 검사공정은 전기적신호를 인가하는 전기검사와 카메라를 이용하여 외관을 검사하는 광학검사를 포함하며, 양질의 액정 디스플레이장치를 구현할 수 있도록 한다.

이러한 검사공정은 액정 디스플레이장치의 불량률과 폐기처분을 줄일 수 있으며, 비교적 리페어가 가능한 상태의 불량 기판을 조기에 색출할 수 있다는 점에서 그 중요성이 매우 크다.

일예로, 어레이기판 제조공정 또는 컬러필터기판 제조공정 중에 어레이기판 또는 컬러필터기판 상에 형성된 ITO박막을 레이저 삭마(laser ablation) 또는 에칭 페이스트(etching paste) 방식과 같은 삭마방식에 따라 부분적으로 제거할 수 있는데, 상기 검사공정을 통해 ITO 박막의 제거 유무를 확인하여 정상품인지를 판단한다.

이때, 상기 ITO 박막의 제거 유무의 확인은 검사공정 중 전기검사로서, 어레이기판 또는 컬러필터기판의 배선 또는 패턴의 표면 저항을 측정하는 방법 중 하나로 4탐침법이 사용되고 있다. 상기 4탐침법은 기판 상에 형성된 배선 또는 패턴의 표면에 4개의 탐침을 일렬로 접촉시키고 외측의 두 탐침 사이에 전류가 흐를 때 내측의 두 탐침 사이에 형성되는 전위차를 측정하는 것으로, 전류와 전위차의 비에 의해 저항을 측정하는 방식이다.

그러나 상기 4탐침법은 탐침을 직접적으로 배선 또는 패턴에 접촉시키기 때문에 배선 또는 패턴의 표면에 손상을 야기하며, 검침영역이 제한되는 문제점이 있다.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 용량 결합(capacitive coupling) 효과를 이용한 비접촉식 방식으로 표면 저항을 측정할 수 있는 비접촉 저항 검사기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

특히, 본 발명은 도트 피치 크기의 센서판이 다수 배치된 센서유닛을 통해 정전용량 변화를 감지하는 비접촉 저항 검사기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 비접촉 저항 검사기는, 교류신호를 인가하는 신호 공급부와; 다수의 센서판을 포함하여 상기 교류신호가 인가된 검사대상에 의해 유기되는 정전용량의 변화를 센싱하는 센서유닛과; 상기 다수의 센서판 각각으로부터 검출신호를 검출하는 신호 처리부와; 상기 신호 처리부가 검출한 검출신호들을 비교하여 검출신호들의 전위 변화에 따른 전압 레벨에 기초한 저항 값을 산출하는 판정부를 포함하고, 상기 센서유닛은 상기 검사대상과 일정간격을 유지하기 위한 갭유지용 센서를 구비한다.

여기서, 상기 검사대상은 기판에 ITO, Ag, Al, Cu및 Au과 같은 전도성 물질로 형성된 도전전극인 것을 특징으로 한다.

상기 다수의 센서판은 제1 및 제2수신전극과, 발신전극으로 구성되어 상기 센서유닛의 검출면에 배치되는 것을 특징으로 한다.

상기 다수의 센서판은 검출면의 제1변 중심에서부터 제1변과 마주보는 제2변의 양 끝단 각각까지 서로 대칭되도록 사선 방향으로 배치되는 것을 특징으로 한다.

상기 다수의 센서판 각각은 상기 검사대상과의 간격을 측정하기 위한 홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 판정부는 미리 측정된 기준 검출신호들과 상기 신호 처리부에서 처리된 검출신호들을 상대 비교하여 허용범위 내이면 정상으로 판단하고, 허용밤위 밖이면 불량으로 판단하는 것을 특징으로 한다.

상기 검사대상의 표면을 유관으로 확인하기 위한 고해상도의 광학 카메라와, 촬상을 위한 리뷰 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.

위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 용량 결합(capacitive coupling) 효과를 이용한 비접촉식 방식으로 저항을 측정함으로써 가압 접촉에 의한 접촉불량이나 배선 또는 패턴의 손상을 방지할 수 있게 된다. 또한, 검사대상에 제한이 없고 제한영역 없이 모든 영역에 대해 저항을 측정할 수 있어 보다 효율적인 검사를 진행할 수 있다.

또한, 기준 검출신호들과 측정된 검출신호들을 상대 비교하여 불량 유무를 판단함으로써 보다 정밀한 측정을 할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 저항 검사기를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서유닛과 검사대상을 보여주는 단면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서유닛의 배면을 보여주는 도면.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 저항 검사기를 도시한 블럭도.

본 발명에 따른 비접촉 저항 검사기는 어레이기판, 컬러필터기판 또는 이들이 합착된 상태인 표시패널의 각종 배선과 패턴(이하 패턴이라 통일함)에 대한 표면 저항을 용량 결합(capacitive coupling) 효과를 통한 비접촉식으로 진행하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 설명의 편의를 위해 어레이기판, 컬러필터기판 또는 이들 기판이 액정층을 사이에 두고 대면 합착된 표시패널에 포함된 각종 배선과 패턴을 검사대상이라 한다.

이에 따라, 본 발명에 따른 비접촉 저항 검사기는 검사대상, 일예로 ITO, Ag, Al, Cu및 Au과 같은 전도성 물질로 형성되는 도전전극의 유전율 변화에 따른 정전용량의 변화를 감지하여 도전전극의 유무를 판단함으로써 불량을 여부를 확인할 수 있도록 한다. 또한 도전전극뿐 아니라 배선과 패턴에 대한 단선 또는 단락과 같은 불량 여부를 확인할 수도 있도록 한다.

이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 저항 검사기를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서유닛과 검사대상을 보여주는 단면도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 센서유닛의 배면을 보여주는 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이 비접촉 저항 검사기(100)는, 검사대상(P)이 안착되기 위한 스테이지부(110)와, 검사대상(P)으로부터 유기되는 자계변화를 센싱하는 센서유닛(120)과, 검사대상(P)을 촬상하기 위한 카메라부(160)와, 센서유닛(120) 및 카메라부(160)를 이동시키기 위한 이동기구부(170)를 포함한다.

스테이지부(110)는 검사대상(P)이 안착될 수 있도록 하는 것으로, 검사대상(P)을 진공압에 의해 흡착할 수 있는 구조로 형성될 수 있다.

센서유닛(120)은 검사대상(P)과 일정간격을 두고 서로 마주보도록 배치되어, 검사대상(P)의 유전율 변화에 따른 정전용량의 변화를 센싱하는 것을 특징으로 한다.

여기서 센서유닛(120)은, 도 2에 도시된 바와 같이 갭유지용 센서(121)를 포함하고, 상기 갭유지용 센서(121)를 이용하여 검사대상(P)과의 간격을 측정하며, 측정한 간격을 통해 검사대상과 일정간격(g)을 유지한다.

상기 센서유닛(120)의 배면에 해당되는 검출면(120a)에는, 도 3에 도시된 바와 같이 발신전극(123)과 수신전극(124)의 조합으로 구성된 다수의 센서판(126)이 검사대상(P)과 마주하도록 배치되는 구조를 가진다.

이때, 각 센서판(126)에는 갭유지용 센서(121)가 검사대상(P)과 각 센서판(126) 간의 간격을 측정하도록 하는 에어홀(air hole, 125)이 형성되어 있다.

여기서 발신전극(123)은 전원단자를 통해 교류신호를 공급받는다.

수신전극(124)은 제1 및 제2수신전극(124a, 124b)으로 이루어지는데, 제1수신전극(124a)은 발신전극(123)으로부터 방출된 전자기파를 수신하는 전극이고, 제2수신전극(124b)은 교류신호를 인가받은 검사대상(P)으로부터 방출된 전자기파를 수신하는 전극이다.

이러한 제1 및 제2수신전극(124a, 124b)은 서로 이격된 상태로, 검사대상(P)과 일정간격(g)을 유지하며 대향하도록 배치됨으로써 동일한 지점에서의 신호 값을 서로 비교할 수 있도록 한다. 즉, 주위환경으로 인한 잡음신호를 확인할 수 있도록 한다.

이와 같은 구조를 가지는 센서판(126)은, 도 3에 도시된 바와 같이 검사대상(P)과 대향하는 검출면(120a)의 제1변(120a1) 중심에서부터 제1변(120a1)과 마주보는 제2변(120a2)의 양 끝단 각각까지 서로 대칭되도록 사선 방향을 따라 다수 배치되는 것을 특징으로 한다.

이를 보다 상세하게 설명하면, 도시된 바와 같이 제1변(120a1)의 중심에 제1변(120a1)을 따라 서로 마주보는 두 개의 센서판, 일예로 센서판A 및 센서판B가 위치되고 센서판A에서부터 제2변(120a2)의 일 끝단까지, 그리고 센서판B에서부터 제2변(120a2)의 일 끝단에 대응되는 타 끝단까지 사선 방향으로 다수개가 배치될 수 있다.

또는 제1변(120a1)의 중심에 위치된 하나의 센서판에서부터 제2변(120a2)의 일 끝단과 제2변(120a2)의 일 끝단에 대응되는 타 끝단까지 사선 방향으로 다수개가 배치될 수 있다.

이와 같이 다수의 센서판(126)이 센서유닛(120)의 검출면(120a)에 V형상으로 배치됨으로써 센서유닛(120)이 이송됨에 따라 검출면(120a)에 대응되는 검사대상(P) 영역의 X축 방향과 이와 수직한 Y축 방향의 모든 지점을 스캔할 수 있게 된다.

카메라부(160)는 검사대상(P)의 표면을 유관으로 확인할 수 있도록 하는 고해상도의 광학 카메라(162)와 불량으로 판단된 지점을 촬상하기 위한 리뷰 카메라(164)로 구성될 수 있다.

이러한 카메라부(160)는 검사대상을 촬상한 촬상이미지를 저장할 수 있는 메모리를 포함할 수 있다.

이동기구부(170)는 검사대상(P)이 안착된 스테이지부(110)의 상부에 위치하며 센서유닛(120)과 카메라부(160)와 연결된 상태로, 스테이지부(110)에 설치된 제1레일(112)과 내부 레일(미도시)을 통해 X축 방향 또는 Y축 방향으로 센서유닛(120)과 카메라부(160)를 이동시킨다.

이러한 비접촉 저항 검사기를 도 4를 참조하여 보다 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 저항 검사기를 도시한 블록도로, 도 1 내지 도 3을 참조한다.

도 4에 도시된 바와 같이 비접촉 저항 검사기는, 센서유닛(120)과, 신호 공급부(130)와, 신호 처리부(140)와, 판정부(150)와, 표시부(190), 카메라부(160) 및 이동기구부(170)를 포함한다. 여기서, 도시하지는 않았지만 평판디스플레이용 저항 검사기는 저항 검사기의 각 구성요소를 제어하기 위한 제어부(CPU)와 도 1에서 전술한 스테이지부(도 1의 110)를 더 포함한다.

센서유닛(120)은 다수의 센서판(126), 서로 이웃한 두 개씩의 센서판(126a, 126b)을 이용하여 교류신호가 인가된 검사대상(P)에 의해 유기되는 정전용량의 변화를 센싱한다.

신호 공급부(130)는 1KHz 내지 100MHz의 주파수, 보다 바람직하게는 1.5MHz 내지 2MHz의 주파수를 가지는 교류신호를 발생하고 발생된 교류신호를 검사신호로서 검사대상(P)에 인가한다.

신호 처리부(140)는 다수의 센서판(126) 각각의 제1 및 제2수신전극(도 3의 124a, 124b) 각각으로부터 검출신호를 검출하는 역할을 한다.

이를 위한 신호 처리부(140)는 검출회로부(142)와 적분회로부(144)와 증폭회로부(146) 및 출력회로부(148)를 포함한다.

여기서, 검출회로부(142)는 서로 이웃한 센서판(126a, 126b) 각각으로부터 검사대상(P)과 센서판(126) 사이의 상태를 검출한다. 이때, 서로 이웃한 센서판, 일예로 제1 및 제2센서판(126a, 126b) 각각은 제1수신전극(A1-1, A2-1)과 제2수신전극(A1-2, A2-2)을 통해 신호를 검출한다.

적분회로부(144)는 검출회로부(142)에서 검출된 검출신호에서 노이즈 성분을 포함한 불필요한 신호 성분을 제거하기 위한 것으로, 저역통과 필터회로에 해당된다

증폭회로부(146)는 적분회로부(144)에서 출력된 검출신호를 증폭한다.

출력회로부(148)는 증폭회로부(146)에서 증폭된 검출신호를 정류하여 출력하는 정류회로에 해당된다.

판정부(150)는 신호 처리부(140)에서 처리된 검출신호를 디지털 신호로 변환하고, 디지털 신호로 변환된 검출신호들을 비교하여 검출신호들의 변화에 따라 센서유닛(120)에 대한 검사대상(도 1의 P)의 위치 및 검사대상(도 1의 P)의 상태, 즉 검출신호가 정해진 허용범위 내인지를 판단함으로써 단선 또는 단락과 같은 불량을 판단하고, 판단결과를 표시부(190)로 전달한다.

이러한 판정부(150)는 서로 인접한 센서판, 일예로 제1 및 제2센서판(126a, 126b) 각각을 통한 제1검출신호와 제2검출신호를 차동으로 입력받은 차전압값을 근거로 불량 여부를 판단한다.

이때 판정부(150)는 미리 측정된 기준 검출신호들과 신호 처리부(140)에서 처리된 검출신호들을 상대 비교하여 허용 범위 내이면, 정상으로 판단하고 허용 범위 밖이면 불량으로 판단할 수도 있다. 상기 미리 측정된 기준 검출신호는 정상 상태의 검사대상으로부터 다수의 센서판을 이용하여 미리 검출한 신호들이다. 이는 검사대상과 센서판 사이의 정전 결합 상태는 주위 환경에 따라 변동성이 크고, 센서판으로부터 검출된 검출신호는 교류신호 값에 따라서도 변동성이 크기 때문에 미리 측정된 기준 검출신호들과 상대 비교함으로써 주위환경이나 검사대상에 공급되는 교류신호에 의한 영향을 상쇄하기 위함이다. 이를 통해 보다 정밀하고 신뢰성 있는 검사를 할 수 있게 된다.

이를 위한 판정부(150)는 평활화부(151), 거리축 매칭부(153), 차분값 산출부(155), 미소변화 강조부(157) 및 노이즈 평활화부(159)를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 평활화부(151)는 신호 처리부(140)에서 처리된 아날로그 검출신호를 디지털 검출신호로 변환한다.

거리축 매칭부(153)는 평활화부(151)에서 디지털 신호로 변환된 검출신호들의 전위변화를 측정하는데, 카운터에 의하여 측정되는 시간에 기초한 전위를 확인하고 이에 따른 변화를 측정한다.

미소변화 강조부(157)는 거리축 매칭부(153)의 전위변화에 따른 전위차를 증폭한다.

노이즈 평활화부(159)는 미소변화 강조부(157)에서 증폭된 신호에서 노이즈를 제거한다.

한편, 상기 판정부(150)는 검출신호들의 레벨 값에 기초한 정전용량의 변화를 산출하고, 이를 통해 저항 값을 측정하며, 측정된 결과 값을 표시부(190)로 전달한다.

여기서, 전술한 신호 공급부(130)와 신호 처리부(140) 및 판정부(150)는 센서유닛(120)과 별도로 구성되는 것으로 도시하였지만, 이에 한정되지 않고 일부 또는 전체를 포함하여 센서유닛(130)에 일체로 형성할 수도 있다.

이러한 비접촉 저항 검사기의 동작을 살펴보면, 센서유닛(120)이 이동기구부(170)에 의해 교류신호가 인가된 검사대상(도 1의 P)으로 이동되면 센서유닛(120)의 검지 가능범위에 존재하는 센서판(도 3의 126)과 검사대상(도 1의 P)이 정전 결합(electrostatic coupling)한다.

이에 따라, 센서유닛(120)이 교류신호가 인가된 검사대상(도 1의 P)의 유전율 값에 따른 전계 변화를 다수의 센서판(126)을 통해 센싱하고, 신호 처리부(140)가 센서유닛(120)의 검출면(120a)으로부터 검사대상(도 1의 P)과의 거리에 따른 검출신호를 검출한다.

그리고 판정부(150)가 검사대상의 위치 및 검출신호가 정해진 허용범위 내인지를 판단하여 불량 여부를 판단하거나, 검출신호들의 전압레벨 값을 통해 저항 값을 산출한다.

만약, 판정부(150)가 단락 또는 단선과 같은 불량을 판단할 경우, 카메라부(160)가 이동기구부(170)에 의해 검사대상의 단락 또는 단선이 발생된 지점으로 이송되어 보다 정확한 확인을 위한 이미지를 촬상한다.

이때, 검사자는 카메라부(160)의 광학카메라(도 1의 162)를 통해 검사대상을 육안으로 확인하고, 카메라부(160)의 리뷰카메라(도 1의 164)가 검사대상의 소정 지점을 촬상한다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 비접촉 저항 검사기를 적용하여 용량 결합(capacitive coupling) 효과를 이용한 비접촉식 방식으로 저항을 측정함으로써 접촉에 따른 접촉불량이나 배선 또는 패턴의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 종래 제한된 측정범위를 가지는 저항 검사기와 달리 검사대상의 모든 영역에서 저항을 측정할 수 있는 이점이 있다.

특히, ITO박막과 같이 도전 박막의 두께가 얇고 격자상수의 변화가 작을수록 저항 값이 작은데, 이와 같은 미세 도전 잔막에 대한 저항을 측정할 수 있으므로 어레이기판 또는 컬러필터기판에서 페스트 에칭(paste etching) 또는 레이저 삭마(laser ablation)를 통해 부분적으로 ITO박막과 같은 도전 박막을 제거한 경우에도 제거된 부분의 저항을 측정하여 잔막의 유무를 확인할 수 있는 이점이 있다.

한편, 메모리 소자의 검사공정에서도 본 발명에 따른 비접촉 저항 검사기를 적용할 수 있다.

즉, 이상과 같은 본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 자유로운 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위 및 이와 균등한 범위 내에서의 본 발명의 변형을 포함한다.

100: 비접촉 저항 검사기 P: 검사대상
110: 스테이지부 120: 센서유닛
126: 센서판 130: 신호 공급부
140: 신호 처리부 150: 판정부

Claims

교류신호를 인가하는 신호 공급부와;
다수의 센서판을 포함하여 상기 교류신호가 인가된 검사대상에 의해 유기되는 정전용량의 변화를 센싱하는 센서유닛과;
상기 다수의 센서판 각각으로부터 센싱되는 상기 정전용량의 변화에 따른 제 1 검출신호와, 상기 센서판의 검출면으로부터 상기 검사대상과의 거리에 따른 제 2 검출신호를 검출하는 신호 처리부와;
상기 신호 처리부가 검출한 상기 제 1 및 제 2 검출신호들을 비교하여 불량여부를 판단하는 판정부
를 포함하고,
상기 다수의 센서판은 제1 및 제2수신전극과 발신전극을 포함하며,
상기 제 1 수신전극은 상기 발신전극으로부터 방출된 제 1 전자기파를 수신하며, 상기 제 2 수신전극은 상기 검사대상으로부터 방출된 제 2 전자기파를 수신하며,
상기 신호 처리부에서는 상기 제 1 검출신호를 통해 상기 제 1 전자기파와 상기 제 2 전자기파와 상기 센서유닛과 상기 검사대상과의 거리에 따른 상기 제 2 검출신호를 검출하며,

상기 센서유닛은 상기 검사대상과 일정간격을 유지하기 위한 갭유지용 센서를 더욱 포함하는 비접촉 저항 검사기.
제 1 항에 있어서,
상기 검사대상은
기판에 ITO, Ag, Al, Cu및 Au과 같은 전도성 물질로 형성된 도전전극인 비접촉 저항 검사기.
제 1 항에 있어서,
상기 다수의 센서판은
상기 센서유닛의 상기 검출면에 배치되는 비접촉 저항 검사기.
제 3 항에 있어서,
상기 다수의 센서판은
상기 검출면의 제1변 중심에서부터 상기 제1변과 마주보는 제2변의 양 끝단 각각까지 서로 대칭되도록 사선 방향으로 배치되는 비접촉 저항 검사기.
제 3 항에 있어서,
상기 다수의 센서판 각각은
상기 검사대상과의 간격을 측정하기 위한 홀을 포함하는 비접촉 저항 검사기.
제 1항에 있어서,
상기 판정부는
미리 측정된 기준 검출신호들과 상기 신호 처리부에서 처리된 검출신호들을 상대 비교하여 허용범위 내이면 정상으로 판단하고, 허용범위 밖이면 불량으로 판단하는 비접촉 저항 검사기.
제 1항에 있어서,
상기 검사대상의 표면을 유관으로 확인하기 위한 고해상도의 광학 카메라와, 촬상을 위한 리뷰 카메라를 포함하는 비접촉 저항 검사기.