KR101233070B1 - 비접촉 프로브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비접촉 프로브에 관한 것으로서, 비접촉 프로브를 이용하여 패널의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사할 때 검사가 불가능한 데드존이 발생되지 않고 검사할 수 있도록 하나의 급전전극과 다수의 센서전극으로 이루어져 다수의 센서전극이 화소부, 회로부 및 배선부에 배치되도록 함으로써 데드존을 최소화할 뿐만 아니라 센싱감도를 향상시켜 단락검사의 성능을 향상시킬 수 있으며, 불량위치를 구분할 수 있어 하여 복구를 위한 처리성능을 향상시킬 수 있다.

Description

비접촉 프로브{NON-CONTACT TYPE PROBE}
본 발명은 비접촉 프로브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 비접촉 프로브를 이용하여 패널의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사할 때 검사가 불가능한 데드존이 발생되지 않고 검사할 수 있도록 한 비접촉 프로브에 관한 것이다.
최근에는 디스플레이 패널은 해상도가 높아짐에 따라 패턴전극의 간격이 더욱더 감소하고 있을 뿐만 아니라 능동 매트릭스 타입의 디스플레이 패널들은 세로방향으로 배치된 데이터 패턴전극들과 수직방향으로 배치된 게이트 패턴전극들이 하나의 기판위에 형성되어 있어 있다.
이러한 디스플레이 패널에서 발생되는 패턴전극의 단선(open), 단락(short) 및 크로스 단락(cross short) 등의 불량을 검사하기 위해서는 패턴전극의 일측 끝단에서 신호를 인가하고 타측 끝단에서 신호를 검출하여 이때 검출된 신호의 크기가 정상적인 크기와 다르면 불량이 발생하였음을 판단하는 방식으로 검사하고 있다.
또한, 급전전극과 센서전극을 하나의 모듈로 구성한 비접촉 프로브를 이용하여 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 한 번의 스캔으로 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사함으로써 접촉불량이나 가압접촉에 의한 패턴전극의 손상없이 검사하고 있다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허 10-799161호(2008.01.29.공고)에 개시되어 있다.
위와 같이 비접촉 프로브를 통해 디스플레이 패널의 불량을 검사할 때 패널의 화소부에서 급전과 센싱이 이루어지게 될 경우 센서전극이 위치한 부위에 단선이 발생한 경우 단선을 감지할 수 없기 때문에 비접촉 프로브가 스캔되는 영역에서의 단선불량을 감지할 수 없는 데드존이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 창작된 것으로서, 비접촉 프로브를 이용하여 패널의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사할 때 검사가 불가능한 데드존이 발생되지 않고 검사할 수 있도록 하나의 급전전극과 다수의 센서전극으로 이루어진 비접촉 프로브를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 비접촉 프로브는 디스플레이 패널의 검사대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 감지 위한 비접촉 탐침전극과, 비접촉 탐침전극으로 교류전압을 급전하기 위한 급전부와, 비접촉 탐침전극에서의 전압변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 프로브에 있어서, 비접촉 탐침전극은 디스플레이 패널의 화소부에서 교류전압을 급전하기 위한 급전전극; 디스플레이 패널의 화소부에서 전압변화값을 감지하기 위한 화소부 센서전극; 검사대상 패턴전극의 구동을 위한 회로소자가 장착되는 회로부에서 전압변화값을 감지하기 위한 회로부 센서전극; 및 회로부와 연결되어 외부와 인터페이스하기 위한 배선부에서 전압변화값을 감지하기 위한 배선부 센서전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 배선부 센서전극은 배선부와 평행하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 화소부 센서전극과 회로부 센서전극과 배선부 센서전극의 두 개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 전압변화값을 입력받는 것을 특징으로 한다.
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본 발명은 비접촉 프로브를 이용하여 패널의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사할 때 검사가 불가능한 데드존이 발생되지 않고 검사할 수 있도록 하나의 급전전극과 다수의 센서전극으로 이루어져 다수의 센서전극이 화소부, 회로부 및 배선부에 배치되도록 함으로써 데드존을 최소화할 뿐만 아니라 센싱감도를 향상시켜 단락검사의 성능을 향상시킬 수 있으며, 불량위치를 구분할 수 있어 하여 복구를 위한 처리성능을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브의 사용상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브를 사용한 회로부의 검사상태를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 비접촉 프로브의 일 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브를 나타낸 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브의 사용상태를 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브를 사용한 회로부의 검사상태를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브는 비접촉 탐침전극(10), 급전부(20) 및 감지부(30)를 포함한다.
비접촉 탐침전극(10)은 디스플레이 패널(40)의 화소부(42)와 회로부(44)와 배선부(46)에 대응되어 검사대상 패턴전극(50)의 일단에서 비접촉으로 급전하고 전기적 변화를 감지한다.
도 2에 도시된 바와 같이 디스플레이 패널(40)은 게이트라인(52)의 패턴전극(50)과 데이터라인(51)의 패턴전극(50)이 배열되어 화소를 이루는 화소부(42)와, 게이트라인(52)의 패턴전극(50)의 구동을 위한 회로소자(미도시)가 장착되는 회로부(44)와, 회로부(44)와 연결되어 외부와 인터페이스하기 위한 배선부(46)를 포함한다.
특히 디스플레이 패널(40)은 드라이버 회로가 내장된 액티브 매트릭스 타입의 평판표시소자(FPD)로써 회로부(44)에는 드라이버 회로소자가 장착된다.
본 발명에 의한 비접촉 탐침전극(10)은 급전전극(12), 화소부 센서전극(14), 회로부 센서전극(16) 및 배선부 센서전극(18)을 포함한다.
급전전극(12)은 디스플레이 패널(40)의 화소부(42)에서 검사대상 패턴전극(50)으로 교류전압을 인가한다.
화소부 센서전극(14)은 두 개의 전극쌍으로 이루어져 디스플레이 패널(40)의 화소부(42)에서 두 개의 전극쌍으로부터 차동방식으로 전압변화값을 감지한다.
회로부 센서전극(16)은 두 개의 전극쌍으로 이루어져 검사대상 패턴전극(50)의 구동을 위한 회로소자가 장착되는 회로부(44)에서 두 개의 전극쌍으로부터 차동방식으로 전압변화값을 감지한다.
배선부 센서전극(18)은 두 개의 전극쌍으로 이루어져 회로부(44)와 연결되어 외부와 인터페이스하기 위한 배선부(46)에서 배선부(46)와 평행으로 배치되어 두 개의 전극쌍으로부터 차동방식으로 전압변화값을 감지한다.
급전부(20)는 비접촉 탐침전극(10)으로 교류전압을 급전하고, 센서부(30)는 비접촉 탐침전극(10)의 화소부 센서전극(14), 회로부 센서전극(16) 및 배선부 센서전극(18)에서 감지된 전압변화값을 측정한다.
따라서, 비접촉 프로브의 급전부(20)를 통해 급전전극(12)에 교류전압을 급전한 후 비접촉 탐침전극(10)의 화소부 센서전극(14), 회로부 센서전극(16) 및 배선부 센서전극(18)에서 감지되는 전압변화값을 출력하여 패턴전극(50)의 단선 및 단락을 비롯하여 회로부(44)에서의 단락 및 화소부(42)에서의 단락을 검사할 수 있도록 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 프로브를 사용한 회로부의 검사상태를 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이 디스플레이 패널(40)의 회로부(44)에서 단락 불량이 발생한 경우 게이트라인(52)에 급전전극(12)을 통해 교류전압이 인가될 경우 배선부 센서전극(18)의 두 개의 전극쌍 중에서 하나의 전극에만 교류전압이 인가되어 두 전극으로 각각 입력되는 신호의 크기가 달라져 배선부 센서전극(18)의 파형은 상승한다.
그러나, 회로부 센서전극(16)에서는 단락 불량으로 급전된 패턴의 면적이 증가하게 됨에 따라 정상값보다 낮은 전압이 회로부(44)의 패턴에 인가되어 급전된 패턴 위에 있는 전극과 급전되지 않은 패턴 위에 있는 전극으로 각각 들어오는 신호들의 크기의 차이가 줄어들어 정상일 때보다 회로부 센서전극(16)의 파형은 하강한다.
이렇게 회로부(44)에 단락 불량이 발생한 경우에는 배선부 센서전극(18)은 상승하고 회로부 센서전극(16)의 하강하게 되어 이로써 회로부(44)의 단락 불량을 검출하게 된다.
이와 같은 본 발명의 비접촉 프로브에 의하면, 화소부 센서전극(14)이 스캔하는 영역의 패턴전극(50)에서 단선 불량이 발생하더라도 회로부 센서전극(16)에 의해 패턴전극(50)의 단선 불량을 검출할 수 있어 검사가 불가능한 데드존을 최소화할 수 있다.
또한, 회로부 센서전극(16)을 통해 화소부(42)의 패턴전극(50)보다 넓은 면적의 회로부(44)에서 전압변화값을 감지함에 따라 감도가 향상되어 디스플레이 패널(40)의 가운데서 발생된 단락 불량을 용이하게 검출할 수 있다.
그리고, 회로부(44)에는 화소부(42)의 패턴전극(50)과만 연결되고 배선부(46)와는 끊어진 패턴과 배선부(46)와는 연결되지만 화소부(42)의 패턴전극(50)과는 끊어진 패턴이 존재함에 따라 배선부 센서전극(18)을 통해 회로부(44) 내부의 단락 불량을 판단할 수 있도록 함으로써 디스플레이 패널(40)의 복구시 복구를 위한 처리성능을 향상시킬 수 있다.
즉, 단락 불량의 위치가 회로부(44)인지 화소부(42)인지 파악할 수 있어 각각의 위치에 따른 불량위치의 탐색 및 처리 속도를 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 비접촉 탐침전극 12 : 급전전극
14 : 화소부 센서전극 16 : 회로부 센서전극
18 : 배선부 센서전극 20 : 급전부
30 : 감지부 40 : 디스플레이 패널
42 : 화소부 44 : 회로부
46 : 배선부 50 : 패턴전극
51 : 데이터라인 52 : 게이트라인

Claims (5)

  1. 디스플레이 패널의 검사대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 감지 위한 비접촉 탐침전극과, 상기 비접촉 탐침전극으로 교류전압을 급전하기 위한 급전부와, 상기 비접촉 탐침전극에서의 전압변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 프로브에 있어서,
    상기 비접촉 탐침전극은 상기 디스플레이 패널의 화소부에서 상기 교류전압을 급전하기 위한 급전전극;
    상기 디스플레이 패널의 화소부에서 두개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 상기 전압변화값을 감지하기 위한 화소부 센서전극;
    상기 검사대상 패턴전극의 구동을 위한 회로소자가 장착되는 회로부에서 두개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 상기 전압변화값을 감지하기 위한 회로부 센서전극; 및
    상기 회로부와 연결되어 외부와 인터페이스하기 위한 배선부에서 두개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 상기 전압변화값을 감지하기 위한 배선부 센서전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 프로브.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 배선부 센서전극은 상기 배선부와 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 프로브.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 화소부 센서전극과 상기 회로부 센서전극과 상기 배선부 센서전극의 두 개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 전압변화값을 입력받는 것을 특징으로 하는 비접촉 프로브.
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