KR101519556B1 - 패널의 사선부 검사장치 - Google Patents

패널의 사선부 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101519556B1
KR101519556B1 KR1020130136622A KR20130136622A KR101519556B1 KR 101519556 B1 KR101519556 B1 KR 101519556B1 KR 1020130136622 A KR1020130136622 A KR 1020130136622A KR 20130136622 A KR20130136622 A KR 20130136622A KR 101519556 B1 KR101519556 B1 KR 101519556B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
contact
contact type
type power
pattern electrode
Prior art date
Application number
KR1020130136622A
Other languages
English (en)
Inventor
정누리
김성진
이동준
Original Assignee
마이크로 인스펙션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마이크로 인스펙션 주식회사 filed Critical 마이크로 인스펙션 주식회사
Priority to KR1020130136622A priority Critical patent/KR101519556B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101519556B1 publication Critical patent/KR101519556B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/281Specific types of tests or tests for a specific type of fault, e.g. thermal mapping, shorts testing
    • G01R31/2812Checking for open circuits or shorts, e.g. solder bridges; Testing conductivity, resistivity or impedance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/07Non contact-making probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302Contactless testing
    • G01R31/303Contactless testing of integrated circuits
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

본 발명은 패널의 사선부 검사장치에 관한 것으로써, 패널의 사선부를 검사하기 위해 사선부로부터 연장된 단자연결부의 절연막 위를 접촉식 급전 프로브로 스캔하면서 비접촉 수전 프로브를 통해 사선부의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사함으로써 접촉식 급전 프로브에 의한 패턴전극의 손상을 방지할 뿐만 아니라 접촉식 급전 프로브를 통해 패턴전극간 간격이 조밀한 사선부의 패턴전극에 개별적으로 급전할 수 있어 정확한 검사와 검사의 성능을 향상시킬 수 있다.

Description

패널의 사선부 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING FAN-OUT OF PANEL}
본 발명은 패널의 사선부 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패널의 사선부를 검사하기 위해 사선부로부터 연장된 단자연결부 위를 접촉식 급전 프로브로 스캔하면서 비접촉 수전 프로브를 통해 사선부의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사하는 패널의 사선부 검사장치에 관한 것이다.
최근에 디스플레이 패널은 해상도가 높아짐에 따라 패턴전극의 간격이 더욱더 감소하고 있을 뿐만 아니라 능동 매트릭스 타입의 디스플레이 패널들은 세로방향으로 배치된 데이터 패턴전극들과 수직방향으로 배치된 게이트 패턴전극들이 하나의 기판위에 형성되어 있어 있다.
이러한 디스플레이 패널에서 발생되는 패턴전극의 단선(open), 단락(short) 및 크로스 단락(cross short) 등의 불량을 검사하기 위해서는 패턴전극의 일측 끝단에서 신호를 인가하고 타측 끝단에서 신호를 검출하여 이때 검출된 신호의 크기가 정상적인 크기와 다르면 불량이 발생하였음을 판단하는 방식으로 검사하고 있다.
또한, 급전전극과 센서전극을 하나의 모듈로 구성한 비접촉 프로브를 이용하여 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 한 번의 스캔으로 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사함으로써 접촉불량이나 가압접촉에 의한 패턴전극의 손상없이 검사하고 있다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허 10-799161호(2008.01.29.공고) "비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법"에 개시되어 있다.
위와 같은 비접촉 프로브를 통해 디스플레이 패널의 사선부에서 불량을 검사할 경우 사선부의 패턴전극 간격이 화소부의 패턴전극 간격보다 조밀하여 비접촉 프로브를 통해 급전할 경우 개별적인 패턴전극에 독립적으로 급전이 이루어지지 않아 정확한 검사가 이루어지지 않는 문제점이 있다.
특히, 사선부는 각각의 패턴전극들이 평행으로 배치되지 않고 서로 다른 각도로 배치되기 때문에 정확하게 불량이 발생된 패턴전극을 찾는데 어려움이 있다.
또한, 사선부에서 정확하게 검사를 하기 위해서는 급전장치와 센서전극이 패턴전극과 일렬로 배치되어야 하나 협소한 직선영역만이 존재하기 때문에 급전장치와 센서전극을 특별한 구성으로 배치해야하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 창작된 것으로서, 패널의 사선부를 검사하기 위해 사선부로부터 연장된 단자연결부 위를 접촉식 급전 프로브로 스캔하면서 비접촉 수전 프로브를 통해 사선부의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사하는 패널의 사선부 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 패널의 사선부 검사장치는 패널의 사선부로부터 연장된 단자연결부 위를 스캔하면서 패턴전극으로 급전하는 접촉식 급전 프로브; 패턴전극에 대응되게 비접촉으로 배치되어 접촉식 급전 프로브와 함께 스캔하면서 수전하는 제 1비접촉식 수전 프로브; 및 접촉식 급전 프로브를 통해 교류신호를 인가하면서 제 1비접촉식 수전 프로브를 통해 측정된 전압값을 입력받아 사선부의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 판단하는 제어부를 포함하되, 접촉식 급전 프로브와 제 1비접촉식 수전 프로브는 하나의 모듈로 구성되며, 모듈에는 패널의 화소부에 배치되어 비접촉으로 수전하는 제 2비접촉 수전 프로브를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 접촉식 급전 프로브는 유연한 와이어 프로브인 것을 특징으로 한다.
본 발명은 접촉식 급전 프로브로 교류전원을 급전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1비접촉식 수전 프로브는 단자연결부에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1비접촉식 수전 프로브는 두 개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 전기적 변화값을 출력하는 것을 특징으로 한다.
삭제
삭제
본 발명에서 제 2비접촉 수전 프로브는 화소부의 패턴전극과 나란하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 패널의 사선부 검사장치는 패널의 사선부를 검사하기 위해 사선부로부터 연장된 협소한 영역의 단자연결부 절연막 위를 접촉식 급전 프로브로 스캔하면서 비접촉 수전 프로브를 통해 사선부의 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 검사함으로써 접촉식 급전 프로브에 의한 패턴전극의 손상을 방지할 뿐만 아니라 접촉식 급전 프로브를 통해 패턴전극간 간격이 조밀한 사선부의 패턴전극에 개별적으로 급전할 수 있어 정확한 검사와 검사의 성능을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 패널의 사선부 검사장치는 접촉식 급전 프로브와 사선부를 검사하기 위한 비접촉식 수전 프로브 및 화소부를 검사하기 위한 비접촉 수전 프로브가 하나의 모듈로 구성됨으로써 사선부 검사 뿐만 아니라 화소부에 대한 단선 및 단락 검사를 수행할 수 있어 프로브 모듈의 활용도를 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치의 배치상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치의 접촉식 급전 프로브의 비접촉상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치의 접촉식 급전 프로브의 접촉상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치에서 제 1비접촉식 프로브를 통해 측정한 파형을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 패널의 사선부 검사장치의 일 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치를 나타낸 블록구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치의 배치상태를 설명하기 위한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치의 접촉식 급전 프로브의 비접촉상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치의 접촉식 급전 프로브의 접촉상태를 설명하기 위한 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치에서 제 1비접촉식 프로브를 통해 측정한 파형을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 패널의 사선부 검사장치는 접촉식 급전 프로브(10), 제어부(20) 및 제 1비접촉식 수전 프로브(30)를 비롯하여 제 2비접촉식 수전 프로브(40)를 포함한다.
본 발명에서 검사하기 위한 패널(100)의 사선부(120)는 도 2에 도시된 바와 같이 패널(100)에서 화상이 표현되는 화소부(110)의 패턴전극(102)을 구동 회로보드(미도시)와 연결하기 위해 화상이 표현되지 않는 비표시 영역에서 하나의 군(群)으로 모여질 수 있도록 경사지게 연장된 영역을 가리키며, 사선부(120)로부터 연장된 단자연결부(130)를 통해 구동 회로보드(미도시)와 연결된다.
접촉식 급전 프로브(10)는 패널(100)의 사선부(120)로부터 연장된 단자연결부(130) 위를 스캔하면서 패턴전극(102)으로 급전한다.
접촉식 급전 프로브(10)는 절연막(104)이 형성된 경우 절연막(104) 위를 스캔한다.
이때 접촉식 급전 프로브로(10)는 유연한 와이어 프로브를 사용하여 패턴전극(102)으로 교류전원을 급전한다.
유연한 와이어 프로브는 본 출원인이 특허권자인 등록특허 1047519호의 "유연한 와이어를 이용한 접촉식 프로브"에 개시된 스캔하는 스캔방향 관성모멘트가 스캔방향의 수직방향 관성모멘트보다 적은 횡단면을 갖는 프로브이다.
본 발명에서 접촉식 급전 프로브(10)는 도 3에 도시된 바와 같이 단자연결부(130)의 패턴전극(102)과 전면에 형성된 절연막(104) 위를 스캔하면서 접촉에 의한 패턴전극(102)의 손상을 방지하면서도 패턴전극(102)에 대해 개별적으로 교류전원을 급전할 수 있다.
반면, 도 4에 도시된 바와 같이 절연막(104)이 형성되지 않은 패턴전극(102)에 대해서도 직접 접촉하면서 스캔하여 개별적으로 교류전원을 급전할 수 있다.
제 1비접촉식 수전 프로브(30)는 패턴전극(102)에 대응되게 비접촉으로 배치되어 접촉식 급전 프로브(10)와 함께 스캔하면서 수전한다.
이때 제 1비접촉식 수전 프로브(30)는 접촉식 급전 프로브(10)와 함께 단자 연결부(130)에 배치되며, 두 개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 비교기(50)를 통해 전기적 변화값을 출력한다.
또한, 접촉식 급전 프로브(10)와 제 1비접촉식 수전 프로브(30)는 하나의 모듈로 구성하여 하나의 스캔장비(미도시)를 통해 함께 스캔하면서 패턴전극(102)으로 급전하고 수전할 수 있도록 구성할 수 있다.
제어부(20)는 접촉식 급전 프로브(10)를 통해 교류신호를 인가하면서 제 1비접촉식 수전 프로브(30)를 통해 측정된 전압값을 입력받아 사선부(120)의 패턴전극(102)에 대한 단선 및 단락을 판단한다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이 제 1비접촉식 수전 프로브(30)를 통해 측정한 파형을 살펴볼 때 접촉식 급전 프로브(10)를 통해 패턴전극(102)에 교류전원을 인가한 후 'A'와 같이 정상적인 전압값보다 높게 측정될 경우에는 패턴전극(102)에 단선이 발생한 경우로써 패턴전극(102)의 전체적인 면적이 작아지면서 급전된 전하가 좁은 면적에 형성되어 전압상승 효과가 발생하여 정상값보다 높게 측정된다.
반면에, 'B'와 같이 정상적인 전압값보다 낮게 측정될 경우에는 패턴전극(102)에 단락이 발생한 경우로써 패턴전극(102)의 전체적인 면적인 증가하면서 급전된 전하가 넓은 면적에 형성되어 전압하강 효과가 발생하여 정상값보다 낮게 측정된다.
한편, 화소부(110)의 패턴전극(102)과 나란하게 배치되어 비접촉으로 수전하는 제 2비접촉 수전 프로브(40)가 접촉식 급전 프로브(10)와 제 1비접촉식 수전 프로브(30)와 함께 하나의 모듈로 구성될 수 있다.
따라서, 제어부(20)는 화소부(110)에서 화소부용 접촉식 급전 프로브(미도시)를 통해 교류신호를 인가하면서 제 2비접촉식 수전 프로브(40)를 통해 측정된 전압값을 입력받아 화소부(110)의 패턴전극(102)에 대한 단선 및 단락을 판단할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의한 패널의 사선부 검사장치에 따르면, 패널(100)의 사선부(120)를 검사하기 위해 사선부(120)로부터 연장된 협소한 영역의 단자연결부(130) 위를 접촉식 급전 프로브(10)로 스캔함으로써 패턴전극(102) 간격이 조밀한 사선부(120)의 패턴전극(102)에 개별적으로 급전하면서 단선 및 단락을 검사할 수 있다.
한편, 본 발명에 의한 패널의 사선부 검사장치는 접촉식 급전 프로브(10)와 사선부(120)를 검사하기 위한 제 1비접촉식 수전 프로브(30) 및 화소부(110)를 검사하기 위한 제 2비접촉 수전 프로브(40)가 하나의 모듈로 구성됨으로써 사선부(120) 검사 뿐만 아니라 화소부(110)에 대한 단선 및 단락 검사를 수행할 수 있어 프로브 모듈의 활용도를 높일 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 접촉식 급전 프로브 20 : 제어부
30 : 제 1비접촉식 수전 프로브 40 : 제 2비접촉식 수전 프로브
50 : 비교기 100 : 패널
102 : 패턴전극 104 : 절연막
110 : 화소부 120 : 사선부
130 : 단자연결부

Claims (8)

  1. 패널의 사선부로부터 연장된 단자연결부 위를 스캔하면서 패턴전극으로 급전하는 접촉식 급전 프로브;
    상기 패턴전극에 대응되게 비접촉으로 배치되어 상기 접촉식 급전 프로브와 함께 스캔하면서 수전하는 제 1비접촉식 수전 프로브; 및
    상기 접촉식 급전 프로브를 통해 교류신호를 인가하면서 상기 제 1비접촉식 수전 프로브를 통해 측정된 전압값을 입력받아 상기 사선부의 상기 패턴전극에 대한 단선 및 단락을 판단하는 제어부를 포함하되,
    상기 접촉식 급전 프로브와 상기 제 1비접촉식 수전 프로브는 하나의 모듈로 구성되며,
    상기 모듈에는 상기 패널의 화소부의 패턴전극과 나란하게 배치되어 비접촉으로 수전하는 제 2비접촉 수전 프로브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널의 사선부 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 접촉식 급전 프로브는 유연한 와이어 프로브인 것을 특징으로 하는 패널의 사선부 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 접촉식 급전 프로브로 교류전원을 급전하는 것을 특징으로 하는 패널의 사선부 검사장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 1비접촉식 수전 프로브는 상기 단자연결부에 배치되는 것을 특징으로 하는 패널의 사선부 검사장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 제 1비접촉식 수전 프로브는 두 개의 전극쌍으로 이루어져 차동방식으로 전기적 변화값을 출력하는 것을 특징으로 하는 패널의 사선부 검사장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제 2비접촉 수전 프로브는 상기 화소부의 상기 패턴전극과 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 패널의 사선부 검사장치.
KR1020130136622A 2013-11-12 2013-11-12 패널의 사선부 검사장치 KR101519556B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130136622A KR101519556B1 (ko) 2013-11-12 2013-11-12 패널의 사선부 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130136622A KR101519556B1 (ko) 2013-11-12 2013-11-12 패널의 사선부 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101519556B1 true KR101519556B1 (ko) 2015-05-14

Family

ID=53394498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130136622A KR101519556B1 (ko) 2013-11-12 2013-11-12 패널의 사선부 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101519556B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100799161B1 (ko) * 2006-07-20 2008-01-29 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR20080098087A (ko) * 2007-05-04 2008-11-07 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치
KR20110083196A (ko) * 2010-01-14 2011-07-20 마이크로 인스펙션 주식회사 터치패널의 검사장치
KR101233070B1 (ko) * 2011-09-30 2013-02-25 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 프로브

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100799161B1 (ko) * 2006-07-20 2008-01-29 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR20080098087A (ko) * 2007-05-04 2008-11-07 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치
KR20110083196A (ko) * 2010-01-14 2011-07-20 마이크로 인스펙션 주식회사 터치패널의 검사장치
KR101233070B1 (ko) * 2011-09-30 2013-02-25 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 프로브

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100799161B1 (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
TWI396852B (zh) 觸控面板檢驗裝置
KR100599499B1 (ko) 기판검사 장치 및 기판검사 방법
WO2011021567A1 (ja) 導電パターン検査装置及び検査方法
JP6248406B2 (ja) 検査装置及び検査方法
KR20050084001A (ko) 회로 패턴 검사 장치 및 회로 패턴 검사 방법
KR101233070B1 (ko) 비접촉 프로브
KR101519556B1 (ko) 패널의 사선부 검사장치
KR102260861B1 (ko) 인쇄회로기판의 검사장치 및 그 제어방법
KR20080098088A (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
WO2004057350A1 (ja) 回路パターン検査装置及びパターン検査方法
TW200537112A (en) Circuit pattern testing apparatus and circuit pattern testing method
KR100948062B1 (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브
KR101430040B1 (ko) 절연검사장치 및 절연검사방법
KR101537563B1 (ko) 비접촉 프로브를 이용한 패턴전극의 결함 위치 검출 방법
CN109073695A (zh) 基板的配线路径的检查方法及检查系统
JP5380370B2 (ja) 検査装置
KR101823317B1 (ko) 패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법
KR100416962B1 (ko) 비접촉식 전압감지장치
KR101271439B1 (ko) 정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치
JP5580247B2 (ja) パターン検査装置
JP2013217841A (ja) 導電パターン検査装置
JP5828697B2 (ja) 回路基板検査装置および回路基板検査方法
JP2008134114A (ja) 検査装置および検査方法
KR20080092523A (ko) 접촉식 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 도선의 단선 및단락 검사장치 및 그 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180102

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190102

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191218

Year of fee payment: 6