TWI396852B - 觸控面板檢驗裝置 - Google Patents

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TWI396852B
TWI396852B TW099115328A TW99115328A TWI396852B TW I396852 B TWI396852 B TW I396852B TW 099115328 A TW099115328 A TW 099115328A TW 99115328 A TW99115328 A TW 99115328A TW I396852 B TWI396852 B TW I396852B
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Munehiro Yamashita
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Nidec Read Corp
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/07—Non contact-making probes
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means

Description

觸控面板檢驗裝置
本發明係關於觸控面板檢驗裝置，詳細而言係關於如下所述之觸控面板檢驗裝置：可藉由使用非接觸之供電電極及偵測電極，迅速且有效率地實施在觸控面板形成的配線之導通及短路檢驗，而不損傷觸控面板。
另，本發明不限於所謂的觸控面板，亦可對於如同觸控面板般具有在X軸方向及Y軸方向排列成矩陣狀的配線之檢驗對象物實施檢驗。
以往，對於稱為觸控面板(或觸控螢幕、觸控畫面)之檢驗對象物具有在ITO膜上形成且在X軸方向及Y軸方向形成並配置成矩陣狀的配線者而言，係分別以接觸子(針狀的導通探針)接觸配置在X軸方向與Y軸方向的各配線，來實施各配線之導通檢驗、及與相鄰接的配線之短路檢驗。
但是，在如此以接觸子接觸各配線而實施檢驗的方法中卻有下述問題：在ITO膜形成的配線與接觸子間不具穩定性，因氧化膜所致接觸電阻的不穩定性而無法正確測定電特性。又，因為接觸子與檢驗對象的配線壓接在一起，而有接觸子接觸配線所致凹痕形成之問題。
另一方面，有人提案如專利文獻1揭示之正確地檢驗觸控面板全體的電阻值等電特性之檢驗技術，能以較佳精度偵測組裝後的觸控面板上之既定觸控輸入位置。如此，已揭示檢驗組裝後的觸控面板的功能之電特性的技術。
但其並未揭示檢驗如上述組裝前的配線之導通及短路的技術。
又，習知存在有電漿顯示面板(PDP)等具有在表面上形成的配線之玻璃基板。PDP的玻璃基板在單方向具有多數條狀的配線形成。製造步驟中必須檢驗多數排列在單方向的配線之導通及短路。
對於此種PDP之檢驗裝置而言，有人提案如專利文獻2揭示之非接觸檢驗技術。此專利文獻2所揭示的非接觸檢驗技術中，將信號供給到成為檢驗對象的配線，並比較從此配線所偵測到的信號，與從距離此配線4或5圖案間隔的配線所偵測到的信號，來偵測差異量以實施檢驗。
但是，此專利文獻2所揭示的技術，可針對平行設置在單方向的配線實施檢驗，但無法檢驗如觸控面板般在x軸方向與y軸方向配置成矩陣狀的配線。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
專利文獻1：日本特開2005－274225號公報
專利文獻2：日本特開2006－200992號公報
本發明有鑒於以上實際情況，提供一種觸控面板檢驗裝置，即使檢驗對象物係如具有在x軸方向及y軸方向配置成矩陣狀之配線的觸控面板般檢驗物，亦可藉由以非接觸檢驗方式實施檢驗，來縮短檢驗時間而實施有效率的檢驗。
申請專利範圍第1項之發明，係提供一種觸控面板檢驗裝置，對於檢驗物具備平行設置有多數條狀配線的x軸配線、以及與該x軸配線成矩陣狀配置而平行設置有多數條狀配線的y軸配線者，檢驗該x軸配線與y軸配線之導通及短路，其特徵在於包含：第一信號供給機構，供給交流信號，用來實施成為該檢驗對象的x軸配線之導通檢驗；第二信號供給機構，供給交流信號，用來實施成為該檢驗對象的y軸配線之導通檢驗；第三信號供給機構，供給交流信號，用來實施成為該檢驗對象的x軸配線與相鄰接的y軸配線之短路檢驗；檢驗探頭部，具有用於檢驗該檢驗對象的配線之導通及短路，而供給來自各供給機構之交流信號的多數供電部，及偵測來自該配線之電信號的多數驗電部；移動機構，使該檢驗探頭部在該檢驗物的表面上朝既定軸方向移動；連接機構，使該檢驗探頭部的多數供電部及該多數驗電部，與該第一至第三信號供給機構電性連接；共通電極部，係相對於全部該多數x軸配線的一端部與該多數y軸配線的一端部均以非接觸的方式配置，並分別電性連接到該第一信號供給機構的一端及該第二信號供給機構的一端；以及判定機構，依據來自該檢驗探頭部的偵測信號，實施x軸配線與y軸配線各自之導通及短路檢驗；並且，該檢驗探頭部包含：第一供電部，以非接觸的方式配置在成為該檢驗對象的x軸配線之另一端部，並且與該第一信號供給機構的另一端電性連接；第一驗電部，以非接觸的方式配置在該x軸配線上，用來偵測成為該檢驗對象的x軸配線之電信號；多數第二供電部，各自以非接觸的方式配置在該多數y軸配線的另一端部，並與該第二信號供給機構的另一端或該第三信號供給機構的一端電性連接；多數第二驗電部，各自以非接觸的方式配置在該多數y軸配線上，並偵測該第二信號供給機構及/或該第三信號供給機構供給的交流信號所致之電信號；以及第三供電部，與該第三信號供給機構的另一端電性連接，並與成為該檢驗對象的x軸配線以非接觸的方式配置。
申請專利範圍第2項之發明，係提供如申請專利範圍第1項之觸控面板檢驗裝置，其特徵在於該第二信號供給機構供給到多數第二供電部的交流信號，分別係不同頻率的交流信號。
申請專利範圍第3項之發明，係提供如申請專利範圍1或2之觸控面板檢驗裝置，其特徵在於第一至第三信號供給機構所供給的交流信號均係不同頻率之交流信號。
申請專利範圍4記載之發明，係提供如申請專利範圍第1項之觸控面板檢驗裝置，其特徵在於該移動機構係在該y軸配線設置延伸的y軸方向移動。
藉由提供此等發明，可悉數解決上述問題。
依據申請專利範圍第1至4項中任一項之發明，可提供一種觸控面板檢驗裝置，即使檢驗對象物係如具有在x軸方向及y軸方向配置成矩陣狀之配線的觸控面板般檢驗物，亦可藉由以非接觸檢驗方式實施檢驗，來縮短檢驗時間而有效率地實施檢驗。
 (實施發明之最佳形態)
以下說明實施本發明的較佳形態。
本檢驗裝置可提昇對於如觸控面板般具有x軸方向與y軸方向之配置成矩陣狀的多數配線之基板或玻璃基板的檢驗效率。
首先說明成為本檢驗裝置之檢驗對象的觸控面板。
圖1係顯示成為本發明檢驗對象之觸控面板的一實施形態之概略上視圖。此圖1之觸控面板TP中，玻璃基板上各自配置有多數配置在x軸方向的x軸配線與配置在y軸方向的y軸配線。此圖1中x軸配線有14條(以符號所示之Line：X1～Line:X14)形成，y軸配線有8條(以符號所示之Line：Y1～Line:Y8)形成。
觸控面板TP的x軸配線與y軸配線，因為以此等配線覆蓋畫面上的觸控區域(以P1與P2覆的部分)而配置，所以如圖1所示在1條x軸配線(及y軸配線)有較寬部與較窄部反覆形成，形成覆蓋整個觸控區域。藉由如此形成，在使用觸控面板TP時，可偵測被觸碰之處(接觸處)係位於哪一x軸配線與哪一y軸配線上。
另，x軸配線與y軸配線並非各限定為14條與8條，可由觸控面板製造者適當調整。又，較寬部與較窄部的長度或其大小亦可由觸控面板製造者適當調整。
此等x軸配線與y軸配線，其一端形成有標籤(tag)部T使其可與驅動器等電子零件連接，並分別延伸形成與其他電子零件之電性連接部(標籤部T)。此標籤部T在上方視角中脫離觸控區域(P1～P2)之處形成，且能電性連接。圖1之觸控面板TP中，在面對紙面時的右側各自形成有(x軸配線與y軸配線之)標籤部T。此標籤部T可在觸控區域外同一處形成，亦可使x軸配線與y軸配線之標籤部T各自在周緣部形成。
本檢驗裝置(未圖示)具有第一信號供給機構21、第二信號供給機構22、第三信號供給機構23、檢驗探頭部3、移動機構、連接機構、共通電極部6與判定機構。
第一信號供給機構21係供給第一交流信號，其用來實施成為檢驗對象的x軸配線之導通檢驗。第一信號供給機構21係將相位180度不同的二種交流電源經由接地連接而構成(參考圖2所示的電源PW1與電源PW2)。
此第一信號供給機構21一端與共通電極部6電性連接，另一端與第一供電部71電性連接。因此，第一信號供給機構21係經由共通電極部6與第一供電部71，將檢驗用的交流信號供給到x軸配線。
第二信號供給機構22係供給第二交流信號，其用來實施成為檢驗對象的y軸配線之導通檢驗。此第二信號供給機構22與第一信號供給機構21相同，係將相位180度不同之二種交流電源，經由接地連接而構成。此第二信號供給機構22一端與共通電極部6電性連接，另一端與第二供電部72電性連接。因此，第二信號供給機構22係經由共通電極部6與第二供電部72將檢驗用的交流信號供給到y軸配線。
此第二信號供給機構22設為可對於在觸控面板TP形成的全部y軸配線實施導通檢驗。具體而言，則有設定與y軸配線數量相等之不同頻率的交流信號，並分別將各種頻率的交流信號供給到各y軸配線的方法，亦可將2種不同頻率的交流信號交互供給到相鄰接的y軸配線。
另，此第二信號供給機構22，宜準備相等於不同頻率之交流信號數量的多數交流信號源。
第三信號供給機構23係供給用來實施成為檢驗對象的x軸配線與相鄰接配置的y軸配線之短路檢驗的第三交流信號。
此第三信號供給機構23一端與第二供電部72電性連接，另一端與第三供電部73電性連接。因此，第三信號供給機構23係經由第二供電部72與第三供電部73，檢驗x軸配線與y軸配線之短路。
以下使用概略示意圖說明本檢驗裝置之檢驗原理。圖2係用來說明本檢驗裝置之檢驗方法的示意圖。本檢驗裝置將供電部A與供電部B以物理上非接觸的方式配置在配線W之兩端部，用來檢驗在玻璃基板上形成的配線W之導通。從供給180度不同之交流信號的交流電源PW1與交流電源PW2，將頻率相同但相位180度不同的交流信號分別供給到此供電部A與供電部B(參考圖3)。
從2種交流電源PW1、PW2供給的交流信號，將檢驗用的交流信號供給到供電部A(或供電部B)，當從供電部A(或供電部B)將此交流信號供給到配線W後，因為配線W與供電部A係電容耦合，故在配線W中產生相位前進90度的電流。此時，因為供電部A與供電部B將相位180度不同的交流信號供給到配線W，故當配線W無不良存在時(導通狀態良好時)，由於來自2種供電部供給的交流信號之影響，信號互相抵銷(參考圖3所示圖案施加電流)。
因此，配置用來偵測在配線W產生之信號的偵測電極部C，係偵測在0位準之信號。
假設，圖2所示的配線W上之電阻所示處存在有導通不良(斷線不良)，則偵測電極部C偵測到接受從供電部A供給之交流信號影響的信號，而可偵測導通不良。
另，此偵測電極部在圖2的實施形態中，係顯示2個偵測電極部(C、D)，但可為僅使用單邊的偵測電極部之構成，亦可為使用兩邊偵測電極部之構成。
第一信號供給機構21至第三信號供給機構23所供給的交流信號，亦可全部設定成不同頻率。此時，可在偵測到導通或短路不良時，標定哪一配線上是否存在有不良。
圖4係顯示本發明之檢驗裝置的檢驗探頭部3與共通電極部6的一實施形態。本發明之檢驗探頭部3，具有用於檢驗檢驗對象的配線之導通及短路，而供給來自各供給機構之交流信號的多數供電部，與偵測來自該配線之電信號的多數驗電部。
圖4所示的檢驗探頭部3具有第一供電部71，其以非接觸的方式配置在成為檢驗對象的x軸配線之另一端部，並且與第一信號供給機構21之另一端電性連接。
此第一供電部71配置位在檢驗探頭部3的x軸配線左端。藉由配置在此位置，共通電極部6與第一供電部71可實施從x軸配線的端點到端點之導通檢驗。
另，此第一供電部71係設為配置在x軸配線最端部的較寬部上。
在x軸配線上具有以非接觸方式配置的第一驗電部81，用來偵測成為檢驗對象的x軸配線之電信號。此第一驗電部81配置在相鄰接於第一供電部71的x軸配線之較寬部上。雖然配置此第一驗電部81之處只要是在第一供電部71與共通電極部6之間即可而無特別限定，但宜為在面板區域內之處。
另，第一供電部71與第一驗電部81係以非接觸的方式配置在同個x軸配線上。
第一驗電部81係如上所述配置在檢驗對象的x軸配線(1條x軸配線)上，但亦可設置第二個驗電部(輔助驗電部)用來偵測x軸配線之電信號。圖4中，可將輔助驗電部83配置在位於面板區域右端的x軸配線的較寬部上之處。
檢驗探頭部3具有多數第二供電部72，各自以非接觸的方式配置在多數y軸配線的另一端部，並與第二信號供給機構22的另一端或第三信號供給機構23的一端電性連接。
此第二供電部72設為與y軸配線之數量(圖1之實施例中為8個)相等，各第二供電部72各自與y軸配線以物理上非接觸的方式配置。
此第二供電部72連接到第二信號供給機構22與第三信號供給機構23，並藉由連接機構控制與其中任一方相連接，或與雙方相連接。
檢驗探頭部3具有多數第二驗電部82，其各自以非接觸的方式配置在多數y軸配線上，並偵測由第二信號供給機構22及/或第三信號供給機構23供給之交流信號所致電信號。
第二驗電部82設為與y軸配線之數量(圖1之實施例中為8個)相等，各第二驗電部82分別與y軸配線以物理上非接觸的方式配置。
圖4所示的檢驗探頭部3中，依據y軸配線的標籤部形狀，使得相對於4條y軸配線的第二供電部72與第二驗電部82，將第二供電部72配置在面對紙面時檢驗探頭部3的上側，並將第二驗電部82配置在對於此第二供電部72所配置的y軸配線之較寬部而言也為相鄰接位置之較寬部的上方。針對其餘4條y軸配線而言，第二驗電部82配置在面對紙面時檢驗探頭部3的下側，第二供電部72配置在對於此第二驗電部82配置的y軸配線之較寬部而言也為相鄰接位置之較寬部的上方。
檢驗探頭部3具有第三供電部73，其與第三信號供給機構23的另一端電性連接，並且與成為檢驗對象的x軸配線以非接觸的方式配置。
此第三供電部73與第一供電部71及第二供電部72配置在同個成為檢驗對象的x軸配線上。此第三供電部73形成配置在觸控區域內x軸配線約略中央部的較寬部上。
顯示本檢驗裝置之檢驗探頭部3的圖4中，以電極部X11顯示第一供電部71，以電極部X21顯示第一驗電部81，以電極部Y11、電極部Y21、電極部Y31、電極部Y41、電極部Y52、電極部Y62、電極部Y72、電極部Y82顯示多數第二供電部72，以電極部Y12、電極部Y22、電極部Y32、電極部Y42、電極部Y51、電極部Y61、電極部Y71、電極部Y81顯示第二驗電部82，以電極部X51顯示第三供電部73，以電極部X91顯示輔助驗電部83。
此等電極部形成具有與配線的較寬部相同大小左右的形狀(例如，圓形或矩形)。
檢驗探頭部3係以具有如上所述電極部之板狀部材形成，此檢驗探頭部3藉由在玻璃基板上移動而實施檢驗。首先如圖4，此檢驗探頭部3形成為具有x軸配線的長度與y軸配線之較寬部的2倍大小。
共通電極部6，係相對於多數x軸配線的一端部與該多數y軸配線的一端部均以非接觸的方式配置，並且分別電性連接到第一信號供給機構的一端與第二信號供給機構的一端。圖5的實施形態中，x軸配線的標籤部T與y軸配線的標籤部集中在玻璃基板上一處，並使此等標籤部T以全部物理上非接觸狀態的方式配置。另，此共通電極部6，亦可與後述檢驗探頭部同時移動，但與後述全部配線維持非接觸狀態。
本檢驗裝置係將檢驗探頭部3在檢驗物亦即玻璃基板的表面上朝既定軸方向(圖5中y軸配線的長軸方向v)移動。此移動機構可使用利用線性馬達等在直線軌道移動的機構。
本檢驗裝置具有將檢驗探頭部3的多數供電部及多數驗電部，與第一至第三信號供給機構電性連接的連接機構。此連接機構使用多數切換開關進行適當電性連接。
本檢驗裝置具有判定機構，其依據來自檢驗探頭部3的偵測信號，實施各x軸配線與y軸配線之導通及短路檢驗。
此判定機構，依據從各驗電部偵測的檢驗信號，判定成為檢驗對象的x軸配線與y軸配線之導通及短路。
在判定成為檢驗對象的x軸配線之導通時，供給來自第一供電部71與共通電極部6的交流信號，並判定第一驗電部81所偵測的信號，係受到由第一供電部71供給的交流信號或共通電極部6供給的交流信號中何者之影響所致。另，受到兩供電部影響而使信號抵銷時判定為導通良好。
在判定成為檢驗對象的y軸配線之導通時，供給來自第二供電部72與共通電極部6的交流信號，並判定第二驗電部82所偵測的信號，係受到由第二供電部72供給的交流信號或共通電極部6供給的交流信號中何者之影響所致。另，受到兩供電部影響而使信號抵銷時判定為導通良好。
在判定成為檢驗對象的x軸配線與y軸配線之短路時，從第二供電部72與第三供電部73供給來自第三信號供給機構23之交流信號，並判定第二驗電部82所偵測的信號，係受到由第二供電部72供給的交流信號或第三供電部73供給的交流信號中何者之影響所致。此時，有短路不良存在時，來自第二供電部72與第三供電部73的交流信號相抵銷，或受到來自第二供電部72的信號之影響。
另，無短路不良存在時，則受到來自第三供電部73的信號之影響。
觸控面板TP的標籤部T，因為各配線的標籤部T係多數平行排列配置，故具有相鄰接之標籤部T短路不良的問題，尤有如圖1所示之y軸配線的標籤部T產生短路不良之情況。
此時將將交流信號供給到配置在檢驗對象的y軸配線與成為短路檢驗對象的y軸配線之第二供電部72，當第二驗電部82偵測到來自其他y軸配線的交流信號時，即偵測到短路不良。
又，偵測y軸配線短路的交流信號可設定為不同頻率的交流信號，亦能以交互設定為不同頻率的方式偵測短路。
以上說明，係顯示檢驗探頭部3藉由移動機構而朝y軸配線的長軸方向移動時的電極部與供電部之配置，當檢驗探頭部3係朝x軸配線的長軸方向移動時，則成為電極部與供電部之x軸與y軸對應交換之配置。
以上係本發明的觸控面板檢驗裝置之構成。
其次說明本檢驗裝置的動作。
將觸控面板TP配置在本檢驗裝置的既定位置，開始觸控面板TP之檢驗(參考圖5)。
如圖5所示，檢驗探頭部3藉由移動機構而向面朝紙面時的下方移動。
另，檢驗圖1之觸控面板TP時，在將第一供電部71與第一驗電部81配置到x軸配線上，並將各第二供電部72與第二驗電部82配置到y軸配線Line:Y1～Y4之y軸配線上的狀況下開始檢驗。
開始如上所述之檢驗時，檢驗x軸配線Line:X1之導通檢驗，與y軸配線Line:Y1～Y4之導通檢驗。
此時例如實施圖6所示的x軸配線之導通檢驗、如圖7所示的y軸配線之導通檢驗。
實施上述x軸配線與y軸配線之導通檢驗後，實施x軸配線(Line:X1)與此等y軸配線(line：Y1～Y8)之短路檢驗。
其次，檢驗探頭部3朝長軸方向v移動，以x軸配線Line:X2作為檢驗對象進行檢驗。此時，第一供電部71與第一驗電部81移動到配置在x軸配線Line:X2之較寬部上。
此時，與x軸配線Line:X1時同樣實施導通檢驗，實施與各y軸配線之短路檢驗。
x軸配線的檢驗對象變成x軸配線Line:X14，實施此導通檢驗後，接著，如圖9所示，實施y軸配線Line:Y5～Y8之導通檢驗。
在各檢驗步驟中偵測不良(導通不良或短路不良)。
以上係本發明之動作說明。
Line：X1～Line:X14．．．x軸配線
Line：Y1～Line:Y8．．．y軸配線
TP．．．觸控面板
3．．．檢驗探頭部
6．．．共通電極部
21．．．第一信號供給機構
22．．．第二信號供給機構
23．．．第三信號供給機構
71．．．第一供電部
72．．．第二供電部
73．．．第三供電部
81．．．第一驗電部
82．．．第二驗電部
83．．．輔助驗電部
A、B．．．供電部
C、D．．．偵測電極部
P1、P2．．．觸控區域
PW1、PW2．．．電源
T．．．標籤部
v．．．方向
W．．．配線
X11、X21、X51、X91、Y11、Y12、Y21、Y22、Y31、Y32、Y41、Y42、Y51、Y52、Y61、Y62、Y71、Y72、Y81、Y82．．．電極部
圖1係顯示成為本發明檢驗對象之觸控面板的一實施形態之概略上視圖。
圖2係說明本檢驗裝置之檢驗方法的概略示意圖。
圖3係說明本檢驗裝置之檢驗方法用顯示從交流信號與圖案(配線)偵測到的交流信號之圖表。
圖4係顯示本發明檢驗裝置之檢驗探頭部3與共通電極部6的一實施形態。
圖5係顯示本檢驗裝置實施時的狀態之概略上視圖。
圖6係顯示實施x軸配線之導通檢驗時的概略上視圖。另，檢驗對象的x軸配線在圖1的Line：X6顯示。
圖7係顯示實施y軸配線之導通檢驗時的概略上視圖。另，檢驗對象的y軸配線在圖1的Line：Y1顯示。
圖8係顯時實施x軸配線與y軸配線之短路檢驗時的概略上視圖。另，檢驗對象的x軸配線在圖1的Line：X1顯示，y軸配線在圖1的Line：Y1顯示。
圖9係顯示實施y軸配線之導通檢驗時的概略上視圖。另，檢驗對象的y軸配線在圖1的Line：Y8顯示。
Line：X1～Line:X14．．．x軸配線
Line：Y1～Line:Y8．．．y軸配線
TP．．．觸控面板
3．．．檢驗探頭(部)
6．．．共通電極部(共有電極部)
v．．．方向
X11、X21、X51、X91、Y11、Y12、Y21、Y22、Y31、Y32、Y41、Y42、Y51、Y52、Y61、Y62、Y71、Y72、Y81、Y82．．．電極部

Claims (4)

  1. 一種觸控面板檢驗裝置，其檢驗物具備：x軸配線，平行設置有多數條狀配線；及y軸配線，與該x軸配線成矩陣狀配置，且平行設置有多數條狀配線；該觸控面板檢驗裝置用以檢驗該檢驗物之該x軸配線與y軸配線之導通及短路，其特徵在於包含：第一信號供給機構，供給交流信號，用來進行成為檢驗對象的該x軸配線之導通檢驗；第二信號供給機構，供給交流信號，用來進行成為檢驗對象的該y軸配線之導通檢驗；第三信號供給機構，供給交流信號，用來進行成為檢驗對象的該x軸配線與相鄰接的該y軸配線之短路檢驗；檢驗探頭部，具有：多數供電部，為了檢驗該檢驗對象的配線之導通及短路，而供給來自各供給機構之交流信號；及多數驗電部，用於偵測來自該配線之電信號；移動機構，使該檢驗探頭部在該檢驗物的表面上朝既定軸方向移動；連接機構，使該檢驗探頭部的多數供電部及該多數驗電部，與該第一至第三信號供給機構電性連接；共通電極部，係相對於該多數x軸配線的一端部與該多數y軸配線的一端部均以非接觸的方式配置，並分別電性連接到該第一信號供給機構的一端及該第二信號供給機構的一端；以及判定機構，依據來自該檢驗探頭部的偵測信號，實施x軸配線與y軸配線各自之導通及短路檢驗；並且，該檢驗探頭部包含：第一供電部，以非接觸的方式配置在成為該檢驗對象的x軸配線之另一端部，並且與該第一信號供給機構的另一端電性連接；第一驗電部，以非接觸的方式配置在該x軸配線上，用來偵測成為該檢驗對象的x軸配線之電信號；多數第二供電部，各自以非接觸的方式配置在該多數y軸配線的另一端部，並與該第二信號供給機構的另一端或該第三信號供給機構的一端電性連接；多數第二驗電部，各自以非接觸的方式配置在該多數y軸配線上，並偵測該第二信號供給機構及/或該第三信號供給機構供給的交流信號所致之電信號；以及第三供電部，與該第三信號供給機構的另一端電性連接，並與成為該檢驗對象的x軸配線以非接觸的方式配置。
  2. 如申請專利範圍第1項之觸控面板檢驗裝置，其中，該第二信號供給機構供給到多數第二供電部的交流信號，分別係不同頻率的交流信號。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之觸控面板檢驗裝置，其第一至第三信號供給機構所供給的交流信號均係不同頻率之交流信號。
  4. 如申請專利範圍第1項之觸控面板檢驗裝置，其中，該移動機構係在該y軸配線設置延伸的y軸方向移動。
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