JP2006200992A - 回路パターン検査装置およびその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 導電パターンの一方端部に検査信号を非接触で供給する給電部12を配し、その導電パターンの他方端部に検査信号を非接触で検知するためのオープンセンサ13を配する。さらに、その導電パターンから数パターン分、離れた距離にある導電パターンに、オープンセンサ13が配されたのと同一側の端に非接触状態でノイズセンサ19を配する。オープンセンサ13が検出した、検査信号とノイズとが混在した信号と、ノイズセンサが検出した、検査信号との混在のないノイズのみの信号を差動増幅器20に入力して、同相成分の信号であるノイズを除去することで、ノイズによる影響を排して、基板上に列状に配設された導電パターンの良否を非接触で確実に検査する。
【選択図】 図1
Description
3 基板
10 信号生成部
12 給電部
13 オープンセンサ
14 ステージ
15 制御部
16 駆動部
17 RAM
18 ROM
19 ノイズセンサ
20 増幅器
21 信号処理部
25 表示部
Claims (16)
- 基板に配された導電パターンの状態を検査する回路パターン検査装置であって、
検査対象となる導電パターンの第1の部位に検査信号を供給する信号供給手段と、
前記検査対象となる導電パターンの第2の部位より第1の信号を検出可能な第1の検出手段と、
前記検査対象となる導電パターンから少なくとも4乃至5パターン間隔離れた導電パターンより第2の信号を検出可能な第2の検出手段と、
前記第1の信号と第2の信号の差分を求める差分手段と、
前記差分手段で得られた差分信号の変化に基づいて前記導電パターンの良否を識別する識別手段とを備えることを特徴とする回路パターン検査装置。 - 前記差分手段は、前記検査信号に前記ノイズ信号が重畳した前記第1の信号より、前記ノイズ信号である前記第2の信号を除去することを特徴とする請求項1記載の回路パターン検査装置。
- 前記識別手段は、前記ノイズ信号が除去された信号をもとに前記導電パターンの断線状態を識別することを特徴とする請求項2記載の回路パターン検査装置。
- さらに、検査対象とする前記導電パターンを順次走査するよう、前記信号供給手段、前記第1の検出手段、および前記第2の検出手段を位置決め移動させる手段を備えることを特徴とする請求項3記載の回路パターン検査装置。
- 前記走査により、前記導電パターンの一方端部のすべてのパターンの先端近傍について前記導電パターンへの前記検査信号の供給と前記導電パターンよりの前記検査信号の検出を行うことを特徴とする請求項4記載の回路パターン検査装置。
- 前記信号供給手段は、前記導電パターンと一定間隔で対向するプレート部材を含み、前記プレート部材と前記導電パターン間の容量結合を介して非接触で前記検査信号を供給することを特徴とする請求項5記載の回路パターン検査装置。
- 前記第1の検出手段、および前記第2の検出手段各々は、前記導電パターンと一定間隔で対向するプレート部材を含み、前記プレート部材と前記導電パターン間の容量結合を介して非接触で信号を検出することを特徴とする請求項5記載の回路パターン検査装置。
- 基板に配された導電パターンの状態を検査する回路パターン検査装置における回路パターン検査方法であって、
検査対象となる導電パターンの第1の部位に検査信号を供給するステップと、
前記検査対象となる導電パターンの第2の部位より第1の信号を検出する第1の検出ステップと、
前記検査対象となる導電パターンから少なくとも4乃至5つ離れた導電パターンより第2の信号を検出する第2の検出ステップと、
前記第1の信号と第2の信号の差分を求める差分算出ステップと、
前記差分算出ステップで得られた差分信号の変化に基づいて前記導電パターンの良否を識別する識別ステップとを備えることを特徴とする回路パターン検査方法。 - 前記差分算出ステップでは、前記検査信号にノイズ信号が重畳した前記第1の信号より、前記ノイズ信号である前記第2の信号が除去されることを特徴とする請求項8記載の回路パターン検査方法。
- 前記識別ステップは、前記ノイズ信号が除去された信号をもとに前記導電パターンの断線状態を識別することを特徴とする請求項9記載の回路パターン検査方法。
- さらに、検査対象とする前記導電パターンを順次走査するよう、前記信号供給手段、前記第1の検出手段、および前記第2の検出手段を位置決め移動させるステップを備えることを特徴とする請求項8記載の回路パターン検査方法。
- 前記走査により、前記導電パターンの一方端部のすべてのパターンの先端近傍について前記導電パターンへの前記検査信号の供給と前記導電パターンよりの前記検査信号の検出を行うことを特徴とする請求項11記載の回路パターン検査方法。
- 前記信号供給手段は、前記導電パターンと一定間隔で対向するプレート部材を含み、前記プレート部材と前記導電パターン間の容量結合を介して非接触で前記検査信号を供給することを特徴とする請求項12記載の回路パターン検査方法。
- 前記第1の検出手段、および前記第2の検出手段各々は、前記導電パターンと一定間隔で対向するプレート部材を含み、前記プレート部材と前記導電パターン間の容量結合を介して非接触で信号を検出することを特徴とする請求項12記載の回路パターン検査方法。
- 請求項8乃至14のいずれかに記載の回路パターン検査方法をコンピュータ制御で実現するためのコンピュータプログラムを記憶するコンピュータ可読記録媒体。
- 請求項8乃至14のいずれかに記載の回路パターン検査方法をコンピュータ制御で実現するためのコンピュータプログラム列。
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