JPH10206481A - 基板検査装置 - Google Patents

基板検査装置

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JPH10206481A
JPH10206481A JP9007929A JP792997A JPH10206481A JP H10206481 A JPH10206481 A JP H10206481A JP 9007929 A JP9007929 A JP 9007929A JP 792997 A JP792997 A JP 792997A JP H10206481 A JPH10206481 A JP H10206481A
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JP
Japan
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pattern
circuit board
detection
sensor
stimulators
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JP9007929A
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English (en)
Inventor
Hiroaki Okano
広明 岡野
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OKANO DENKI KK
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OKANO DENKI KK
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Publication date
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 導体回路基板の欠陥検査を非接触に行うに際
し、導体回路基板の反りの問題や、電気的雑音、走査機
構の機械的精度等の問題に個別に対処することなく簡易
に実行することの可能な検出精度の高い基板検査装置を
提供する。 【解決手段】 導体回路基板を非接触に電気的に付勢す
る一対のスティミュレータを同相または逆相で選択的に
駆動する。また導体回路基板に生起した電気的変化を検
出するセンサにより求められた検出パターンを、標準パ
ターンとの間で直接比較する。更に検出パターンの変化
勾配を示す微分データを求めることでそのパターン形状
を示す成分に着目してパターン比較を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、導体回路基板の欠
陥検出を、該導体回路基板とは非接触に、且つ高精度に
実行することのできる基板検査装置に関する。
【0002】
【関連する背景技術】近時、表面実装技術の発展と相俟
って導体回路基板(プリント基板)の微細化が進んでい
る。これに伴って、その微細な配線パターンの短絡や断
線を、予め高精度に検出することが強く要望されてい
る。このような要求に応えるべく本出願人は先に特願平
8−10338号にて、所定の電位基準面(接地基準
面)に位置付けられる導体回路基板に対して電気的に非
接触で、且つ所定の空間的距離を隔てて相対的に移動可
能に設けられる一対のスティミュレータを用いて上記導
体回路基板に所定の電磁波を印加し、この電磁波を受け
て前記導体回路基板に生起される電気的変化を検出する
センサを前記一対のスティミュレータ間に設け、前記導
体回路基板のとの相対移動によって前記センサにより求
められる検出パターンから前記導体回路基板の良否(欠
陥)を検査する非接触式の基板検査装置を提唱した。
【0003】この基板検査装置は、図1にその概念を示
すように、接地基準面をなす導体テーブル1上に載置さ
れ、所定の導体パターン2aを形成した導体回路基板2
(プリント基板)を、例えば吸引機3による負圧吸引に
よって保持し、その上方に所定の空間距離(ギャップ
G)を隔てて対向配置した検査ユニット4を相対的に移
動させる如く構成される。この検査ユニット4は、絶縁
性基板4aの一面に図2に示すように大面積の導電パタ
ーンからなる一対のスティミュレータ5a,5bと、こ
れらのスティミュレータ5a,5b間に位置して一次元
配列された複数の微小導電パターンからなるセンサ6
(センサアレイ)とを備えたものである。また絶縁性基
板4aの他面側にはIC等の電子部品7からからなる前
記スティミュレータ5a,5bの駆動回路やセンサ6に
接続される検出回路が実装される。
【0004】このように構成された基板検査装置によれ
ば、例えば図3に示すように前記一対のスティミュレー
タ5a,5bを、その位相が逆相となる所定の交番電圧
にて励起して導電回路基板2に電磁波(電界)を印加
し、これによって導電回路基板2に生起される電気的変
化、例えば導電パターン2aの有無や大きさ、形状によ
って生じる電位的変化を前記センサ6により検出すれ
ば、例えば導体回路基板2の上の微細な導電パターン2
aを走査した場合、図4に示すような検出パターンが得
られる。従ってこの検出パターンを、例えば予め求めら
れている既知の導電回路基板の標準パターンと比較する
ことで、その良否を判定することが可能となる。
【0005】尚、図4は前記ギャップGによってその検
出レベルが変化する様子も示している。ちなみにセンサ
6による導電パターン2aに生じた変位電流の検出は、
導電パターン2aと前記センサ6との間を空間的に結合
する上記容量C3を流れる電流isを検出することに相当
する。この電流isは、スティミュレータ5a,5bにそ
れぞれ印加する交流信号をV1,V2とし、スティミュレ
ータ5a,5bと導電パターン2aとの間の容量C1,C5
にそれぞれ流れる電流をi1,i2すると is =jωC3(C1V1+C5V2)/(C1+C2+C3+
C4+C5+C6) となる。但し、 V1 =(i1/jωC1)+(i3/jωCA) V2 =(i2/jωC5)+(i3/jωCA) i3 = i1+i2 CA = C2+C3+C4+C6 である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで上述した如く
導電回路基板を走査して検出パターンを求める場合、そ
の機械的走査に伴う振動や前記ギャップGの変動、更に
は電気的な外来雑音の混入等によって前記センサ6によ
って求められる検出パターンに局部的なレベル変動が生
じることが否めない。特にセンサ6は、要求される検出
分解能が高くなるに従って微細パターン化される傾向に
あり、センサ面積の微少化に伴ってその検出感度自体も
低下する傾向にある。この為、外来雑音等の影響を受け
ることのない高精度な導体回路基板の検査、つまり欠陥
検出を行うには種々の工夫が必要となる。
【0007】特に同一仕様で製作された導体回路基板で
あっても、その加工精度の問題から完全に同一なものは
存在せず、また検査時における導体回路基板の反りが検
出パターンに含まれる誤差として生じる。更には導体回
路基板の位置決め精度や検査装置自体の機械的精度、電
気的雑音等が検出パターンの誤差として混入する。これ
らの誤差要因を個々に解消することは、実際上、殆ど不
可能であり、従って検出精度を高めるには何らかの工夫
を施して誤差の影響を軽減することが必要となる。
【0008】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、外来雑音等に起因する局部的な
レベル変動の影響を受けることなしに高精度な欠陥検出
を行い得る基板検査装置、特にセンサにより検出された
検出パターンに対する信号処理を工夫することで、簡易
にして効果的に高精度な欠陥検出を行い得るようにした
基板検査装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明は、交番信号により駆動されて導体回路基板
に所定の電磁波、具体的には電界を印加する一対のステ
ィミュレータと、上記電磁波(電界)を受けて前記導体
回路基板に生起する電気的変化を検出するセンサとを具
備した検出ユニットを、前記導体回路基板に対して所定
の空間的距離を隔てて位置付けて該導体回路基板と相対
的に移動走査し、この際、前記センサにより求められる
前記電気的変化の検出パターンから前記導体回路基板の
欠陥を検査する基板検査装置において、特に前記一対の
スティミュレータを同相または逆相で選択的に駆動する
手段を備えると共に、前記センサにより求められる前記
導体回路基板の検出パターンと予め求められた既知パタ
ーンとを比較して前記導体回路基板の欠陥部位を検出す
る第1の比較手段、および前記検出パターンの微分デー
タと前記既知パターンの微分データとを比較して前記導
体回路基板の欠陥部位を検出する第2の比較手段を備え
たことを特徴としている。
【0010】即ち、前記一対のスティミュレータを同相
または逆相で選択的に駆動することで同一の導体回路基
板であっても異なる検出パターンを得るようにして、該
導体回路基板における導体パターンの特徴がより顕著に
現れた検出パターンを用いて欠陥検査を実行するように
し、更には検出パターンと予め求められている既知パタ
ーンとのレベル的な比較(第1の比較手段)だけではな
く、上記各パターンをそれぞれ微分して求められる変化
勾配を比較することで(第2の比較手段)、雑音等に起
因する特異なパターン変化分を除外して導体パターンの
相違点を見出すようにしたことを特徴としている。
【0011】特に検出パターンの連続する2サンプルの
検出レベルが連続して増大または減少するときの変化勾
配だけを求めることで、雑音等に起因する特異なパター
ン変化分を除外した微分データを求めることを特徴とし
ている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態に係る基板検査装置について説明する。図5は
実施形態に係る基板検査装置の概略構成図であり、10
は前述した一対のスティミュレータ5a,5bと一次元
配列された複数のセンサ6を備えた検査ユニットであ
り、11は上記一対のスティミュレータ5a,5bを同
相または逆相出選択的に駆動する駆動部である。また図
中12は、上記検査ユニット10を導体回路基板2に対
して相対的に移動させて該導体回路基板2を走査する走
査機構である。
【0013】この走査機構12は、固定的に設けられた
検査ユニット10に対して基準テーブル1を移動させ、
該基準テーブル1上に固定保持された導体回路基板2を
移動させるものであっても良く、逆に基準テーブル1上
に固定された導体回路基板2に対して検査ユニット10
側を移動させるものであってもよい。またその移動方向
については、少なくとも互いに直交する2方向に前記導
体回路基板2を走査するように定めておけばよい。この
際、例えば各方向に往復走査して検出パターンを求める
ことで、走査の向きに依存する検出パターンの誤差を相
殺するようにすることが望ましい。
【0014】さて上述した如く一対のスティミュレータ
5a,5bを同相または逆相で選択的に駆動した状態で
導体回路基板2に生起された電気的変化を、その走査に
伴って前記センサ6(センサアレイ)にて検出して求め
られる検出パターンは、サンプル・パターンメモリ13
に格納されて欠陥検出処理に供せられる。即ち、予め状
態確認されて良品として判定された導体回路基板2の標
準パターン(比較基準パターン)は、例えば検査開始に
先立って前記検査ユニット10にて走査して求められ、
標準パターンメモリ14に格納されている。この標準パ
ターンメモリ14に格納される標準パターンは、前述し
たスティミュレータ5a,5bの同相駆動時における標
準パターン、および逆相駆動時の標準パターンとしてそ
れぞれ求められており、前記駆動部11によるスティミ
ュレータ5a,5bの駆動モード(同相/逆相)に応じ
て選択的に用いられる。
【0015】ちなみに導体回路基板2における微小間隔
を隔てた2条の幅広の導体パターン2aを走査した場
合、例えば図6に模式的に示すように一対のスティミュ
レータ5a,5bを逆相駆動した場合には、図中実線で
示すような検出パターンAが求められ、一対のスティミ
ュレータ5a,5bを同相駆動した場合には、図中破線
で示すような検出パターンBが求められる。つまり一対
のスティミュレータ5a,5bを同相駆動するか、或い
は逆相駆動するかによって導体回路基板2上に生起する
電気的変化が異なり、センサ6を介して求められる検出
パターンの形状が変化する。しかもそのパターン形状
は、導体回路基板2の導電パターン2aの幅や形状的な
特徴に応じた変化を示す。従っていずれの動作モードで
スティミュレータ5a,5bを駆動するかを、例えば検
査対象とする導電回路基板2の仕様等に応じて決定した
り、或いは両方の動作モードでスティミュレータ5a,
5bを駆動し、各動作モード毎に以下に示すパターン比
較による欠陥検出処理を進めるようにすればよい。
【0016】さて比較器15は、例えば図7(a)に模式
的に示すように、前記サンプル・パターンメモリ13に
格納された検査パターンDと、標準パターンメモリ14
に予め格納されている標準パターンRとを相互に比較す
る。即ち、比較器13は、基本的には対応する走査位置
毎に各パターンD,R間の信号レベル差Δを図7(b)に
示すように求め、例えばそのレベル差Δが所定の閾値T
を越えているとき、その走査位置をパターン不整合部を
特定する情報として出力する。具体的には導体回路基板
2の走査領域において標準パターンとのレベル差が大き
い部位を赤色表示する等して、検出パターンに違いが生
じた部位を欠陥検出部位として表示するものとなってい
る。このような欠陥検出部位の表示は、前述したように
スティミュレータ5a,5bの駆動モードに応じて行わ
れる。
【0017】しかしながら、このようなパターンD,R
間の直接的なレベル比較によって求められるレベル差の
変化は、図7(b)に示すように比較的緩慢であり、走査
位置のずれ等の影響を受け易い。しかも各パターンD,
Rの検出レベル自体、導体回路基板2の反り等の影響を
受け易いので、上述したレベル差Δは多分に誤差を含み
易い。
【0018】そこで本装置における第2の比較器16で
は、前記サンプル・パターンメモリ13および標準パタ
ーンメモリ14にそれぞれ格納された検出パターンDと
標準パターンEの、微分回路17,18を介してそれぞ
れ微分処理して求められる微分データを相互に比較する
ようにしている。即ち、上記各微分回路17,18は前
記検出パターンDおよび標準パターンEをそれぞれ微分
処理することで、各パターンD,Rの走査方向について
の変化勾配を求めている。そして比較器16では前記パ
ターンD,Rの微分データで示される変化勾配に着目
し、これを相互に比較することで該パターンD,R間の
相対的なレベル差を除去してそのパターン形状の異なる
部位を見出している。
【0019】従って仮に前記各パターンD,Rの信号レ
ベルが等しく、そのレベル差Δが検出されない場合であ
っても、変化勾配の違いからパターン形状自体の違いを
見出すことが可能となり、逆に各パターンD,Rの信号
レベル差Δが大きい場合であっても、その変化勾配が殆
ど等しい場合には同一パターン形状をなす部分であると
判定することが可能となる。つまり検出誤差を含む各パ
ターンD,Rの信号レベル自体に左右されることなく、
そのパターン形状の違いから導体回路基板2における導
電パターン2aの欠陥部分を検出することが可能とな
る。
【0020】また前記各微分回路17,18において
は、例えば次のような信号処理によりパターンD,Rの
微分データを求めることで、外来雑音等に起因して検出
パターンDに生じる特異なパターン成分を除去してい
る。即ち、微分回路17,18では、例えば検出パター
ンD,Rの走査方向に連続する2つのサンプルデータ着
目して図8に示すようにその変化分が連続して増大また
は減少しているかを調べ、その連続性が確認されたとき
にだけ該パターンD,Rの変化勾配を求めるようにして
いる。
【0021】具体的には微分回路17,18において
は、検査パターンDにおいて走査方向に連続する2つの
サンプルデータの増減量を調べ、その増減の方向が連続
して等しい場合にのみ、2サンプル離れた点の検出レベ
ルの差から、図8に示すようにその変化勾配を微分デー
タとして求めている。換言すれば連続する2つのサンプ
ルデータの増減の向きが変化しているような場合には、
その変化が雑音等に起因する特異なレベル変化成分を含
むものとして、その後の比較処理対象から除外してい
る。
【0022】即ち、図8に示すように2つのデータ(検
出レベル)が連続して増大している場合(DATA0<DATA
1<DATA2)、或いは逆に連続して減少している場合
(DATA0<DATA1<DATA2)、これを本来的な検出パタ
ーン成分であるとして上記2つのサンプルデータDATA
0,DATA2間のレベル差から、その変化勾配θを θ = tan-1(b/a) として求めている。但し、bは2サンプル離れたサンプ
ルデータDATA0,DATA2の差であり、aは2サンプルの
間隔である。
【0023】かくしてこのような微分処理によれば、雑
音等に起因する特異な形状のパターン部分を、欠陥検出
における比較処理対象から除外することができ、導電回
路基板2における導電パターン2aの特徴を示すパター
ン成分(パターン形状を示す変化勾配)だけに着目し
て、高精度にパターン比較を行うことが可能となる。ち
なみに上述したようにして求められる微分データ(パタ
ーン形状を示す変化勾配)を比較するに際しては、例え
ば同一走査位置における変化勾配の極性が異なる点をパ
ターン形状の相違点として検出し、その点を導体パター
ン2aの欠陥部位として検出するようにすればよい。更
には所定の閾値を設定し、検出パターンの変化勾配の極
性が異なる点における該変化勾配の差を求め、その差が
上記閾値を越えた場合にのみ、その点を導体パターン2
aの欠陥部位として検出するようにしてもよい。このよ
うにすれば、導体回路基板2の反り等に起因してその走
査方向にセンサ6による検出レベルが変化するような場
合であっても、そのレベル変化に拘わりなくパターン比
較を行うことが可能となる。従って簡易にして検出精度
の向上を図ることが可能となる。
【0024】尚、実際に本装置を用いて導体回路基板2
の欠陥検査を行うに際しては、検出パターンDと標準パ
ターンRとの直接比較を省略して、前述した微分データ
によるパターン比較だけを行うようにしてもよい。また
一対のスティミュレータ5a,5bの駆動モードを変え
ながら上述した微分データに基づくパターン比較を行う
ようにしてもよい。更には導体回路基板2の種別に応じ
て最適なパターン比較の手順が見出されている場合に
は、スティミュレータ5a,5bの駆動モードを特定し
てその比較手順だけを実行子、これによってその比較処
理を効率的に進めることも勿論可能である。またスティ
ミュレータ5a,5bの駆動モードの選択や、パターン
比較法の選択をマニュアル的に設定して基板検査を実行
することも勿論可能であるが、シーケンシャルに設定さ
れた手順に従って自動的に実行するようにしてもよい。
その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施することができる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、一
対のスティミュレータを同相または逆相で選択的に駆動
すると共に、センサにより求められた検出パターンを、
標準パターンとの間で直接比較することのみならず、検
出パターンの変化勾配を示す微分データを求めることで
そのパターン形状を示す成分に着目してパターン比較を
行うので、種々の外乱要因を効果的に排除して導体回路
基板の欠陥検出を高精度に行うことが可能となる。特に
導体回路基板の反りの問題や、電気的雑音、走査機構の
機械的精度等の問題に個別に対処することなく、センサ
により求められた検出パターンに対する処理の工夫だけ
で、簡易にして効果的にその検出精度を高めることがで
きる等の実用上多大なる効果が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される非接触式の基板検査装置の
概略的な構成を示す図。
【図2】図1に示す基板検査装置における一対のスティ
ミュレータとセンサの導電パターンの関係を示す図。
【図3】図1に示す基板検査装置の原理的な作動形態を
示す図。
【図4】図1に示す基板検査装置による検出パターン特
性を示す図。
【図5】本発明の一実施形態に係る基板検査装置の概略
構成図。
【図6】一対のスティミュレータを同相または逆相駆動
した際の検出パターンの違いを模式的に示す図。
【図7】検出パターンDと標準パターンRとの比較処理
の概念を示す図。
【図8】検出パターンの微分処理による特異なパターン
変化点の削除と変化勾配の算出の概念を示す図。
【符号の説明】
1 導体テーブル 2 導体回路基板(プリント基板) 2a 導電パターン 3 吸引機 4 検査ユニット 5a,5b スティミュレータ 6 センサ(センサアレイ) 10 検査ユニット 11 駆動部(同相/逆相) 12 走査機構 13 サンプル・パターンメモリ 14 標準パターンメモリ 15 第1の比較器 16 第2の比較器 17,18 微分回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導体回路基板に所定の電磁波を印加する
    一対のスティミュレータと、上記電磁波を受けて前記導
    体回路基板に生起される電気的変化を検出するセンサと
    を具備し、前記導体回路基板に対して所定の空間的距離
    を隔てて位置付けられて該導体回路基板と相対的に移動
    走査されて前記センサにより求められる前記電気的変化
    の検出パターンから前記導体回路基板の欠陥を検査する
    基板検査装置であって、 前記一対のスティミュレータを同相または逆相で選択的
    に駆動する手段と、前記センサにより求められる前記導
    体回路基板の検出パターンと予め求められた既知パター
    ンとを比較して前記導体回路基板の欠陥部位を検出する
    第1の比較手段と、前記検出パターンの微分データと前
    記既知パターンの微分データとを比較して前記導体回路
    基板の欠陥部位を検出する第2の比較手段とを具備した
    ことを特徴とする基板検査装置。
  2. 【請求項2】 前記検出パターンおよび前記既知パター
    ンの微分データは、走査方向に対する検出パターンの変
    化勾配として求められることを特徴とする請求項1に記
    載の基板検査装置。
  3. 【請求項3】 前記検出パターンおよび前記既知パター
    ンの微分データは、走査方向に連続する2サンプルの検
    出レベルが連続して増大または減少するときの変化勾配
    として求めることを特徴とする請求項1に記載の基板検
    査装置。
JP9007929A 1997-01-20 1997-01-20 基板検査装置 Pending JPH10206481A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003027688A1 (fr) * 2001-09-20 2003-04-03 Oht Inc. Testeur et procede de test

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