JP6780859B2 - 基板検査装置、及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
静電容量C=I/(V×2πf) ・・・(1)
断線位置Posx=La×Cx/Cx_ref ・・・(2)
2 制御部
3,3U,3L 検査部
4,4U,4L 検査治具
5 表示部
9 電極板
11 筐体
12 基板固定装置
15 検査部移動機構
16 導体板
17 絶縁板
21 検査制御部
22 第一判定部
23 第一断線位置推定部
24 第二判定部
25 第二断線位置推定部
26 第三判定部
27 記憶部
31 容量測定部
32 交流電圧源
33 電流検出部
34 スキャナ部
100,100a 基板
101 キャリア(導体板)
102 プリプレグ(絶縁層)
103 銅箔
104 プリプレグ
105 配線層
106 積層配線層(基板)
C,Cp1,Cz1,Cz2,Cp2 静電容量
Cx,Cx1,Cx2 線間容量
Cx_lim_L 線間下限値
Cx_lim_LL 線間判別値
Cx_lim_U 線間上限値
Cx_ref 線間基準容量
Cz 配線容量
Cz_lim_L 配線下限値
Cz_lim_LL 配線判別値
Cz_lim_U 配線上限値
Cz_ref 配線基準容量
Cp1,Cz1,Cz2,Cp2 静電容量
f 周波数
I,Ix,Iz 電流
K1〜K6 工程
L11,L21 第一部分
L12,L22 第二部分
L13,L23 貫通配線
P 配線
P1 配線(第一配線)
P2 配線(第二配線)
Pd11,Pd21,Pd12,Pd22 パッド
Posx,Posz 断線位置
Pr プローブ
SW1,SW2,SW3 スイッチング素子
T1,T2 端子
V 電圧
Claims (18)
- 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記第一判定部は、前記線間容量が予め設定された範囲の上限値である線間上限値より大きいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の線幅が太いと判定する基板検査装置。 - 前記第一判定部は、前記線間容量が予め設定された範囲の下限値である線間下限値より小さいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の、線幅が細いかあるいは断線不良であると判定する請求項1に記載の基板検査装置。
- 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記第一判定部は、
前記線間容量が予め設定された範囲の下限値である線間下限値より小さく、かつ前記線間下限値よりも小さい値に予め設定された線間判別値よりも大きいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の線幅が細いと判定し、
前記線間容量が、前記線間判別値よりも小さいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線が断線不良であると判定する基板検査装置。 - 前記線間容量に基づき断線の位置を推定する第一断線位置推定部をさらに備える請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板検査装置。
- 前記第一断線位置推定部は、前記線間容量と予め設定された線間基準容量との比に基づき断線の位置を推定する請求項4に記載の基板検査装置。
- 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記容量測定部は、さらに、前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定し、
前記基板検査装置は、前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する第二判定部をさらに備え、
前記第二判定部は、前記配線容量が予め設定された範囲の上限値である配線上限値より大きいとき、前記第一配線の線幅が太いと判定する基板検査装置。 - 前記第二判定部は、前記配線容量が予め設定された範囲の下限値である配線下限値より小さいとき、前記第一配線の、線幅が細いかあるいは断線不良であると判定する請求項6に記載の基板検査装置。
- 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記容量測定部は、さらに、前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定し、
前記基板検査装置は、前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する第二判定部をさらに備え、
前記第二判定部は、
前記配線容量が予め設定された範囲の下限値である配線下限値より小さく、かつ前記配線下限値よりも小さい値に予め設定された配線判別値よりも大きいとき、前記第一配線の線幅が細いと判定し、
前記配線容量が前記配線判別値よりも小さいとき、前記第一配線が断線不良であると判定する基板検査装置。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記容量測定部は、さらに、前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定し、
前記基板検査装置は、
前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する第二判定部と、
前記第一判定部による判定結果と、前記第二判定部による判定結果とに基づいて、前記第一判定部によって判定された状態が生じている配線を判定する第三判定部とをさらに備える基板検査装置。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記容量測定部は、さらに、前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定し、
前記基板検査装置は、
前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する第二判定部と、
前記配線容量に基づき断線の位置を推定する第二断線位置推定部と、
前記第一配線の断線位置と、当該断線位置に対応する前記配線容量とを対応付ける断線容量情報を予め記憶する記憶部とをさらに備え、
前記第二断線位置推定部は、前記配線容量と前記断線容量情報とに基づき断線の位置を推定する基板検査装置。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査装置であって、
前記第一配線の一端部に接触するための第一プローブと、
前記第二配線の一端部に接触するための第二プローブと、
前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する容量測定部と、
前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する第一判定部とを備え、
前記容量測定部は、さらに、前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定し、
前記基板検査装置は、
前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する第二判定部と、
前記導体板に接触するための第三プローブとをさらに備え、
前記導体板は、前記基板の他方の面に絶縁層を介して付着されている基板検査装置。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査方法であって、
(a)前記第一配線の一端部に第一プローブを接触させる工程と、
(b)前記第二配線の一端部に第二プローブを接触させる工程と、
(c)前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する工程と、
(d)前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する工程とを含み、
前記(d)工程は、前記線間容量が予め設定された範囲の上限値である線間上限値より大きいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の線幅が太いと判定する基板検査方法。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査方法であって、
(a)前記第一配線の一端部に第一プローブを接触させる工程と、
(b)前記第二配線の一端部に第二プローブを接触させる工程と、
(c)前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する工程と、
(d)前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する工程とを含み、
前記(d)工程は、
前記線間容量が予め設定された範囲の下限値である線間下限値より小さく、かつ前記線間下限値よりも小さい値に予め設定された線間判別値よりも大きいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の線幅が細いと判定し、
前記線間容量が、前記線間判別値よりも小さいとき、前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線が断線不良であると判定する基板検査方法。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査方法であって、
(a)前記第一配線の一端部に第一プローブを接触させる工程と、
(b)前記第二配線の一端部に第二プローブを接触させる工程と、
(c)前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する工程と、
(d)前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する工程と、
(e)前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定する工程と、
(f)前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する工程とを含み、
前記(f)工程は、前記配線容量が予め設定された範囲の上限値である配線上限値より大きいとき、前記第一配線の線幅が太いと判定する基板検査方法。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査方法であって、
(a)前記第一配線の一端部に第一プローブを接触させる工程と、
(b)前記第二配線の一端部に第二プローブを接触させる工程と、
(c)前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する工程と、
(d)前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する工程と、
(e)前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定する工程と、
(f)前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する工程とを含み、
前記(f)工程は、
前記配線容量が予め設定された範囲の下限値である配線下限値より小さく、かつ前記配線下限値よりも小さい値に予め設定された配線判別値よりも大きいとき、前記第一配線の線幅が細いと判定し、
前記配線容量が前記配線判別値よりも小さいとき、前記第一配線が断線不良であると判定する基板検査方法。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査方法であって、
(a)前記第一配線の一端部に第一プローブを接触させる工程と、
(b)前記第二配線の一端部に第二プローブを接触させる工程と、
(c)前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する工程と、
(d)前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する工程と、
(e)前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定する工程と、
(f)前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する工程と、
(g)前記(d)工程による判定結果と、前記(f)工程による判定結果とに基づいて、前記(d)工程によって判定された状態が生じている配線を判定する工程とを含む基板検査方法。 - 互いに隣接して対向する第一配線と第二配線とが形成された基板を検査する基板検査方法であって、
(a)前記第一配線の一端部に第一プローブを接触させる工程と、
(b)前記第二配線の一端部に第二プローブを接触させる工程と、
(c)前記第一プローブ及び前記第二プローブを介して前記第一配線と前記第二配線との間の静電容量を線間容量として測定する工程と、
(d)前記線間容量に基づいて前記第一配線と前記第二配線とのうち少なくとも一方の配線の状態を判定する工程と、
(e)前記基板の一方の面を覆うように対向配置された導体板と、前記第一配線との間の静電容量を配線容量として測定する工程と、
(f)前記配線容量に基づいて前記第一配線の状態を判定する工程と、
(h)前記配線容量に基づき断線の位置を推定する工程と、
(i)前記第一配線の断線位置と、当該断線位置に対応する前記配線容量とを対応付ける断線容量情報を予め記憶する工程とを含み、
前記(h)工程は、前記配線容量と前記断線容量情報とに基づき断線の位置を推定する基板検査方法。 - (1)前記導体板をキャリアとして用い、前記導体板と、絶縁層と、前記第一配線と前記第二配線とをこの順に積層して基板を形成する工程と、
(2)前記基板から前記導体板を除去する工程とをさらに含み、
前記工程(1)の実行後であって、かつ前記工程(2)の実行前に前記工程(e)を実行する請求項14〜17のいずれか1項に記載の基板検査方法。
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