JP2009150731A - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ループ形状に形成される配線の良不良を検査することができる基板検査装置及び基板検査方法の提供。
【解決手段】第一及び第二端子を有するとともにアンテナ機能を有するループ部が形成される配線を有する基板の検査装置であって、ループ部が形成された配線の第一端子と第二端子の間に、基準電流発生部２と電流検出手段５とが直列に接続される。ループ部を形成する一本の配線の所定部位に対して検査誘導電流を発生させる検査磁界供給部４と、検査磁界供給部４によるループ部で発生する検査誘導電流の電流方向に対して逆方向の基準誘導電流を、基準電流発生部２で発生させる基準磁界供給部３とを備え、検査磁界供給部４がループ部で検査誘導電流を発生させるとともに基準磁界供給部３が基準電流発生部２で基準誘導電流を発生させた場合に、電流検出手段５が検出する電流値を基に、該ループ部の良否の判定を行う判定手段８を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板検査装置及び基板検査方法に関し、より詳しくは、ループ形状に形成される配線の良不良を検査することができる基板検査装置及び基板検査方法に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
また、ループ形状とは、平面視において、単に円又は楕円形状に限定される配線だけでなく、三角形や四角形等の多角形状に形成される配線も含まれる。

従来、基板に形成される配線の導通や短絡の検査を行うための基板検査装置が複数提案されている。このような基板検査装置では、配線上に予め設定される二つの検査点に、導電性の検査用プローブを夫々接触させ、これらの検査用プローブを介して、配線に電力を供給する。そして、この基板検査装置は、供給される電力を基に、この配線の抵抗値を算出して、この配線の良不良を判定する。例えば、引用文献１には、配線に夫々検査用プローブを配置して、電力を供給し、配線や配線間の抵抗値を算出することで、配線の良不良を判定する基板検査装置が開示されている。
したがって、電気的検査を行う基板検査装置では、検査対象となる配線上に複数の検査用プローブが設置される必要があった。

近年、図６に示される如きループ回路１０１を有するカード１００が急速に普及している。このようなカード１００は、ループ回路１０１がアンテナの役割を果たし、ICチップ１０２が記憶素子の役割を果たしている。
このようなICカード１００では、前述の如く、アンテナの役割を果たすループ回路１０１が重要な役割を果たすため、このループ回路１０１の良不良が大きな問題となる。

一方で、基板検査装置には、磁束の変化を利用することで、配線の良不良を検出しようとする発明も提案されている。例えば、特許文献２に開示される基板検査装置では、電解メッキ用パターンから配線を夫々絶縁させるための打ち抜き処理のための工程を省くために、電解メッキ用パターンを残存させたままで配線の良不良検査を行うことができる技術が開示されている。
このような基板検査装置では、電気信号が流れるためのループ回路を形成し、このループ回路に対して略直角方向から磁束を与えることにより、ループ回路に発生する誘導起電力に応じる電流値を測定することにより、ループ回路の抵抗値を算出することにより、配線の良不良を判断している。

特開２００３−１７２７５７号公報 特開２００１―４１９９４号公報

ICカードや携帯電話が具備するループ回路を検査しようとした場合、ループ回路の両端に検査用プローブを夫々接触させ、これら検査用プローブを介して電力を供給することにより、ループ回路の良不良を検査することになる。
しかしながら、このような従来の検査方法では、ループ回路が断線している場合には、断線不良を検出することができるが、短絡している場合には不良を検出することができない問題点を有していた。

一方で、ループ回路の良不良を判断することから、特許文献２に開示される磁束を用いて、良不良を判断する基板検査装置の利用を検討することができる。
しかしながら、このような装置であっても、ループ回路自体に短絡が生じている場合には、同じように電流が生じてしまい、不良が発見できない問題を有していた。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、ループ形状に形成される配線、特に、複数回の輪を有するようなループ形状の配線の良不良を検査することができる基板検査装置及び基板検査方法を提供する。

請求項１記載の発明は、第一及び第二端子を有するとともにアンテナ機能を有するループ部が形成される配線を有する基板を検査する基板検査装置であって、前記第一端子と前記第二端子の間に接続され、前記ループ部と直列接続される基準電流発生部と、前記第一端子と前記第二端子の間に接続されるとともに前記基準電流発生部と直列接続され、該第一及び第二端子間に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記ループ部を形成する一本の配線の所定部位に対して検査誘導電流を発生させる検査磁界供給部と、前記検査磁界供給部による前記ループ部で発生する検査誘導電流の電流方向に対して逆方向の基準誘導電流を、前記基準電流発生部で発生させる基準磁界供給部と、前記検査磁界供給部が前記ループ部で検査誘導電流を発生させるとともに前記基準磁界供給部が前記基準電流発生部で基準誘導電流を発生させた場合に、前記電流検出手段が検出する電流値を基に、該ループ部の良否の判定を行う判定手段を有することを特徴とする基板検査装置を提供する。
請求項２記載の発明は、前記検査磁界供給部と前記基準磁界供給部は、該検査磁界供給部と基準磁界供給部に磁界を生じさせるための電力を供給する電源と直列接続されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
請求項３記載の発明は、前記基準誘導電流の大きさは、不良を有さないループ部の検査誘導電流の大きさと不良を有するループ部の検査誘導電流の大きさの間の大きさに設定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置を提供する。
請求項４記載の発明は、前記検査磁界供給部は、前記ループ部の配線と略同じ幅を有する一本の所定長さを有する導線から形成され、前記検査磁界供給部は、所定間隔を有して前記ループ部の配線と対向して配置されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査装置を提供する。
請求項５記載の発明は、前記検査磁界供給部が複数設けられ、前記複数の検査磁界供給部は、前記ループ部の最外位置の配線及び／又は最内位置の配線に磁界を供給するように配置されていることを特徴とする請求項４記載の基板検査装置を提供する。
請求項６記載の発明は、第一及び第二端子を有するとともにアンテナ機能を有するループ部が形成される配線を有する基板を検査する基板検査方法であって、前記第一端子と前記第二端子の間に接続され、前記ループ部と直列接続される基準電流発生部と、前記第一端子と前記第二端子の間に接続されるとともに該基準電流発生部と直列接続され、該第一及び第二端子間に流れる電流を検出する電流検出手段を夫々接続し、前記ループ部を形成する一本の配線の所定部位に対して検査誘導電流を発生させる検査磁界供給部を配置し、前記検査磁界供給部による前記ループ部で発生する検査誘導電流の電流方向に対して逆方向の基準誘導電流を、前記基準電流発生部で発生させる基準磁界供給部を配置し、前記検査磁界供給部が前記ループ部で検査誘導電流を発生させるとともに前記基準磁界供給部が前記基準電流発生部で基準誘導電流を発生させ、前記電流検出手段が検出する電流値を基に、該ループ部の良否の判定を行うことを特徴とする基板検査方法を提供する。

請求項１又は６に記載の発明によれば、第一及び第二端子を有するとともにアンテナ機能を有するループ部が形成される配線を有する基板を検査する基板検査装置であって、第一端子と第二端子の間に、このループ部と直列接続される基準電流発生部と電流検出手段を接続し、さらに、このループ部を形成する一本の配線の所定部位に対して検査誘導電流を発生させる検査磁界供給部を配置する。また、検査磁界供給部による前記ループ部で発生する検査誘導電流の電流方向に対して逆方向の基準誘導電流を、基準電流発生部で発生させる基準磁界供給部を配置する。そして、検査磁界供給部がループ部で検査誘導電流を発生させるとともに基準磁界供給部が基準電流発生部で基準誘導電流を発生させた場合に、電流検出手段が検出する電流値を基に、ループ部の良否の判定を行うので、ループ形状に形成される配線、特に、複数回の輪を有するようなループ形状の配線の良不良を検査する。
このように検査対象となるループ部に直列接続される基準電流発生部を接続することで、ループ部の短絡不良を検査誘導電流と基準誘導電流の差分により、正確に且つ精度良く判定することができる。
請求項２記載の発明によれば、検査磁界供給部と基準磁界供給部は、該検査磁界供給部と基準磁界供給部に磁界を生じさせるための電力を供給する電源と直列接続されているので、検査磁界供給部と基準磁界供給部に供給される電力（電流）が同一で且つ同時に供給することができる。このため、検査誘導電流と基準誘導電流の差分を正確に算出することができる。
請求項３記載の発明によれば、基準誘導電流の大きさが、不良を有さないループ部の検査誘導電流の大きさと不良を有するループ部の検査誘導電流の大きさの間の大きさに設定されているので、電流検出手段が検出する電流値の正負により、ループ部の良否を判定することができる。このため、ループ部の良否判定を正確に且つ精度良く行うことができる。
請求項４記載の発明によれば、検査磁界供給部がループ部の配線と略同じ幅を有する一本の所定長さを有する導線から形成され、この検査磁界供給部が、所定間隔を有してループ部の配線と対向して配置されているので、確実にループ部の一本の配線の所定部位に対して磁界を供給することができる。
請求項５記載の発明によれば、検査磁界供給部が複数設けられ、複数の検査磁界供給部が、ループ部の最外位置の配線及び／又は最内位置の配線に磁界を供給するように配置されているので、検査磁界供給部の供給する磁界が隣接する配線に影響を与えることを防止することができ、検査磁界供給部が配線の所定部位に対して精度良く磁界を供給することができる。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明にかかる基板検査装置の概略構成図である。図２は、本基板検査装置が検査対象とする基板の配線の一実施形態を示す平面図である。図３は、本発明にかかる基板検査装置の検査方法を説明するための概略構成図である。図４は、本発明にかかる検査磁界供給部と基板の関係を示す一実施形態の部分側断面図である。
本基板検査装置１が検査対象とする基板１００は、上記の説明の如く、図２に示されるようにアンテナ機能を有するループ回路１０１が形成されており、このループ回路１０１の配線の良不良を検査する。
図２で示されるループ回路１０１は、一本の配線を渦巻き形状となるように形成され、基板１００の周縁に配置されている。なお、このループ回路１０１は、基板１００の周縁に配置されるように四重の略四角形が形成されている。
本明細書中では、基板検査装置１の説明の都合上、図２に示される如き配線が、一本の配線Ｗから形成され、第一端子Ａと第二端子Ｂが、四重の渦巻きに形成されるループ部Ｃの外側に配置されるループ回路Ｒを検査対象の配線とする。なお、本基板検査装置１の検査対象が、この検査対象の配線に限られるものではなく、ループ回路とその両端子を有する回路を形成する配線であれば限定されない。

本発明にかかる基板検査装置１の概略構成を説明する。
本基板検査装置１は、基準電流発生部２、基準磁界供給部３、検査磁界供給部４、電流検出手段５、電源６、磁界制御手段７、判定手段８を有してなる。

基準電流発生部２は、第一端子Ａと第二端子Ｂの間に接続され、ループ部Ｃと直列接続される。この基準電流発生部２では、後述する基準磁界供給部３から磁界の影響を受けて、基準誘導電流Irが発生する。
この基準電流発生部２は、基準磁界供給部３からの磁界の影響を受けて、誘導起電力による誘導電流が発生するように形成されており、例えば、コイルや導線を利用して形成することができる。
尚、詳細は後述するが、この基準電流発生部２の一端は、ループ部Ｃの第一端部Ａ又は第二端部Ｂに接続され、その他端は、電流検出手段５に接続される。

基準磁界供給部３は、基準電流発生部２で誘導電流が発生するように、基準電流発生部２へ磁界を供給する。この基準磁界供給部３は、所定間隔を有して基準電流発生部２と対向するように配置されている。
基準磁界供給部３は、例えば、コイルや導線を利用して形成することができる。
この基準磁界供給部３は、後述する電源６に接続されている。

検査磁界供給部４は、ループ部Ｃを形成する一本の配線の所定部位に対して、誘導起電力による検査誘導電流Ifを発生させる。
この検査磁界供給部４は、ループ部Ｃの一本の配線の所定部位に対してのみ磁界を供給することができるように形成される、又は、所定部位に隣接す配線に対して影響の小さい磁界を供給するように形成されることが好ましい。これは、ループ部Ｃの配線は渦巻状に形成されているため、検査磁界供給部４の磁界が隣接する配線に影響を与えると、ループ部Ｃの配線Ｗの短絡（隣接する配線同士の接触）を正確に検出できなくなるためである。

この検査磁界供給部４の一実施形態としては、ループ部Ｃの配線Ｗと略同じ幅を有する一本の所定長さを有する導線４１から形成されていることが好ましい。
例えば、図４で示される一実施形態では、一本の絶縁被覆部４２が被覆される導線４１を用いて検査磁界供給部４が形成されている。この実施形態では、絶縁被覆部４２が被覆されていない導線４１の一部を凹字状に折り曲げ、その底部４１ａを検査磁界供給部４として利用している。
この実施形態では、導線４１の長さＬが所定長さを形成しており、この底部４１ａが配線と平行に配置されることになる。
この図４で示される一実施形態では、２つの検査磁界供給部４が示されており、検査磁界供給部４である導線４１の底部４１ａを表面載置して保持する保持基板４４と、底部４１ａ以外の導線４１の磁界の影響を遮断するための電磁シールド部４３（例えば、珪素鋼板）が示されている。
なお、この基板ＣＢの裏側（紙面下側）には、電磁シールド部４５を備えている。

この検査磁界供給部４は、複数設けられることが好ましい。これは、複数の検査磁界供給部４を設けることにより、ループ部Ｃを流れる電流量を大きくすることができ、より精度良く検査を行うことができるからである。
複数の検査磁界供給部４を設ける場合には、一本の導線４１から複数の凹字状の部位を形成するか、凹字状の部位を有する複数の導線４１を直列接続することにより、この凹字状部位を検査磁界供給部４として利用して、複数の検査磁界供給部４を形成することが好ましい。このように複数の検査磁界供給部４を直接接続で形成することにより、一つの電源で且つ同時に磁界を制御することができるようになるからである。

検査磁界供給部４は、ループ部Ｃの最外位置の配線や最内位置の配線の所定部位に配置されることが好ましい。これは、検査磁界供給部４が隣接する配線に与える影響をより確実に防止するためである。検査磁界供給部４が隣接する配線が少ない場所に配置されることにより、このような影響を防止することができる。
検査磁界供給部４が複数設けられる場合には、例えば、図２で示される如き略四角形のループ部Ｃであれば、少なくともその四辺の最外部と最内部に配置することが好ましい。

この検査磁界供給部４は、基準磁界供給部３と直列接続されるとともに、電磁誘導を生じさせるための一つの電源６と直列接続される。
このように検査磁界供給部４と基準磁界供給部３が、電源６に対して直列接続されることにより、一つの電源６の電圧変化に応じて磁束が変化することになり、電源６を制御することで検査磁界供給部４と基準磁界供給部３の磁界変化を同時に制御することができる。
このため、基準磁界供給部３に起因する基準誘導電流Irと検査磁界供給部４に起因する検査誘導電流Ifは、同時に発生することになる。

電流検出手段５は、第一端子Ａと第二端子Ｂの間に接続されるとともに、基準電流発生部２と直列接続され、第一端子Ａ及び第二端子Ｂ間に流れる電流を検出する。
この電流検出手段５は、第一端子Ａと第二端子Ｂの間に接続されているため、基準磁界供給部３により基準電流発生部２で発生する基準誘導電流Irと、検査磁界供給部４によりループ部Ｃの配線Ｗで発生する検査誘導電流Ifを検出することになる。
この電流検出手段５が検出する電流値は、後述する判定手段に送られる。
尚、この電流検出手段５と基準電流発生部２は直列接続され、直列接続部の両端には、基板ＣＢの第一端子Ａと第二端子Ｂに夫々導通接続される検査用プローブ４１が接続されている（図１参照）。

電流検出手段５が検出する電流について説明する。
電流検出手段５は、上記の如く、検査磁界供給部４によりループ部Ｃの配線に生じる検査誘導電流Ifと、基準磁界供給部３により基準電流発生部２で発生する基準誘導電流Irの合成を検出する（図４参照）。
ここで、検査誘導電流Ifは、基準誘導電流Irと逆方向に流れるように設定される。これは、検査誘導電流Ifと基準誘導電流Irが、直列接続される検査磁界供給部４と基準磁界供給部３により同時に磁界の変化が発生される誘導起電力によって生じることになるため、基準誘導電流Irを基準電流に設定することができるからである。具体的には、この基準誘導電流Irが、ループ部Ｃが良品である場合の検査誘導電流Ifよりも小さく、ループ部Ｃが不良である場合の検査誘導電流Ifよりも大きくなるように設定しておく。この場合であれば、電流検出手段５は、良品のループ部Ｃの場合には、電流値が正（I=If-Ir > 0）の検出を行い、不良品のループ部Ｃの場合には、電流値が負（I=If-Ir < 0）の検出を行うことになる。
これは、ループ部Ｃが短絡不良を有する場合には、配線Ｗの隣接する配線同士が接続された状態となるため、検査磁界供給部４によりループ部Ｃに発生する検査誘導電流Ifが、良品のループ部Ｃによる検査誘導電流Ifよりも小さくなるためである。このため、良品時の検査誘導電流If、基準誘導電流Ir、不良時の検査誘導電流Ifとこの順番で大小関係が成立することになる。
このことから、基準誘導電流Irが、良品の電流値（検査誘導電流If）と不良品の電流値（検査誘導電流If）の閾を示す電流値に設定されれば、電流検出手段５が検出する正負により、良品／不良品を判定することができる。
尚、基準誘導電流Irと検査誘導電流Ifの電流の流れを逆方向に設定した場合には、電流検出手段５が検出する電流値の正負は逆転する。

基準誘導電流Irは、上記の如く、良品の場合の検査誘導電流Ifと不良品の場合の検査誘導電流Ifの間に設定される電流値に設定されるため、この所望の基準誘導電流Irの値が得られるように基準電流発生部２と基準磁界供給部３を調整しておく。

電源６は、基準磁界供給部３と検査磁界供給部４に時間的に変化する電力を供給する。この電源６は、例えば、交流電源を利用することができる。
なお、電源６は、基準磁界供給部３と検査磁界供給部４と直列接続されている。
磁界制御手段７は、電源６の出力を制御する。この磁界制御手段７を適宜調整することにより、検査磁界供給部４と基準磁界供給部３の磁界の変化を起こさせる。

判定手段８は、電流検出手段５が検出する電流値を基に、ループ部Ｃの良不良を判定する。この判定手段８が行う判定は、上記の如く、基準誘導電流Irが基準となり、電流検出手段５が検出する電流値の正負により、ループ部Ｃの良不良を判定する。
具体例としては、基準誘導電流Irが、良品のループ部Ｃの検査誘導電流Ifより小さく、不良品のループ部Ｃの検査誘導電流Ifより大きく設定されている場合には、電流検出手段５が正の電流値を検出した場合には、ループ部Ｃが良品である旨判定し、電流検出手段５が負の電流値を検出した場合には、ループ部Ｃが不良品である旨判定する。
判定手段８による判定結果は、ディスプレイなどの表示手段（図示せず）により表示されることになる。

次に本発明にかかる基板検査装置の動作について説明する。
まず、検査対象となる基板を用意し、第一端子Ａと第二端子Ｂに夫々検査用プローブ５１を接続する。そして、第一端子Ａと第二端子Ｂの間に流れる電流を測定することができるように、電流検出手段５を第一及び第二端子間に接続する（図５参照）。
このとき、電流検出手段５と基準電流発生部２は直列接続されているとともに、第一端子Ａと第二端子Ｂの間に直列配置されている。
このとき、予め基準誘導電流Irが、良品の場合の検査誘導電流Ifと不良品の場合の検査誘導電流Ifの間に設定される電流値に設定されるよう、この所望の基準誘導電流Irの値が得られるように基準電流発生部２と基準磁界供給部３を調整しておく。

次に、所定のループ部Ｃの位置に検査磁界供給部４を複数配置する。この図５で示される一実施形態では、７個の検査磁界供給部４が配置されており、ループ部Ｃの最外の配線Ｗの３辺（紙面に向かって、上側の配線、右側の配線、下側の配線）に１個ずつ配置されている。また、ループ部Ｃの最内の配線Ｗの４辺（紙面に向かって、上側、下側、右側、左側の各配線）に１個ずつ配置されている。
このように検査磁界供給部４が複数配置されることにより、検査精度を向上させている。また、このとき、各検査磁界供給部４は、導線４１の底部４１ａが配線Ｗと所定間隔を有して、平行になるように配置されている。

次に、磁界制御手段７が所定の時間的な変化を促す信号を電源６へ送信する。この信号を受けて、電源６は時間的な変化を行う電流Isを供給する。このため、電源６により時間的変化を有する電流が、基準磁界供給部３と検査磁界供給部４に供給されることになり、基準磁界供給部３と検査磁界供給部４は同時に所定の変化を有する磁界を発生する。
この時間的に変化する磁界により、ループ部Ｃの所定位置の上方に配置される検査磁界供給手段４から時間的変化を有する磁界が発生し、その下方に配置される配線Ｗでは、誘導起電力による検査誘導電流Ifが発生する。また、この時間的に変化する磁界により、基準磁界供給部３から時間的変化を有する磁界が発生し、基準電流発生部２がでは、誘導起電力による基準誘導電流Irが発生する。
このとき、電源６による供給される電流Isは、直列接続される基準磁界供給部３と検査磁界供給部４に同時に供給されることになり、夫々の誘導電流（基準誘導電流Irと検査誘導電流If）が同時に発生することになる。

配線Ｗに電流（検査誘導電流If）が流れ且つ基準電流発生部２に電流（基準誘導電流Ir）が流れると、第一端子Ａと第二端子Ｂは電気的に接続されているので、これら端子間を電流Iが流れることになる。

第一端子Ａと第二端子Ｂ間には電流検出手段５が接続されているので、電流検出手段５はこの電流Iを検出する。そして、電流検出手段５が検出した電流値は、判定手段８に送られる。このとき、基準誘導電流Irは、良品の場合の検査誘導電流Ifと不良品の場合の検査誘導電流Ifの間に設定されているので、電流検出手段５の検出する電流値が正負の値により、ループ部Ｃの良不良を判定することができる。

判定手段８は、受信する電流値を基に、判定を行う。このとき、判定手段８は、上記の如き基準誘導電流Irが設定されていれば、電流検出手段５が正の電流値であれば、ループ部Ｃが「良品（不良無し）」と判定し、電流検出手段５が負の電流値であれば、ループ部Ｃが「不良品（不良有り）」と判定する。
以上が本発明にかかる基板検査装置の動作の説明である。

本発明にかかる基板検査装置の概略構成図である。 本基板検査装置が検査対象とする基板の配線の一実施形態を示す平面図である。 本発明にかかる基板検査装置の検査方法を説明するための概略構成図である。 本発明にかかる検査磁界供給部と基板の関係を示す一実施形態の部分側断面図である。 本発明にかかる基板検査装置を用いる場合の一実施形態を示す平面図である。 ICカードの位置実施形態を示す。

符号の説明

１・・・・・基板検査装置
２・・・・・基準電流発生部
３・・・・・基準磁界供給部
４・・・・・検査磁界供給部
５・・・・・電流検出手段
８・・・・・判定手段
Ａ・・・・・第一端子
Ｂ・・・・・第二端子
Ｒ・・・・・ループ部

Claims (6)

1. 第一及び第二端子を有するとともにアンテナ機能を有するループ部が形成される配線を有する基板を検査する基板検査装置であって、
   前記第一端子と前記第二端子の間に接続され、前記ループ部と直列接続される基準電流発生部と、
   前記第一端子と前記第二端子の間に接続されるとともに前記基準電流発生部と直列接続され、該第一及び第二端子間に流れる電流を検出する電流検出手段と、
   前記ループ部を形成する一本の配線の所定部位に対して検査誘導電流を発生させる検査磁界供給部と、
   前記検査磁界供給部による前記ループ部で発生する検査誘導電流の電流方向に対して逆方向の基準誘導電流を、前記基準電流発生部で発生させる基準磁界供給部と、
   前記検査磁界供給部が前記ループ部で検査誘導電流を発生させるとともに前記基準磁界供給部が前記基準電流発生部で基準誘導電流を発生させた場合に、前記電流検出手段が検出する電流値を基に、該ループ部の良否の判定を行う判定手段を有することを特徴とする基板検査装置。
2. 前記検査磁界供給部と前記基準磁界供給部は、該検査磁界供給部と基準磁界供給部に磁界を生じさせるための電力を供給する電源と直列接続されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
3. 前記基準誘導電流の大きさは、不良を有さないループ部の検査誘導電流の大きさと不良を有するループ部の検査誘導電流の大きさの間の大きさに設定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置。
4. 前記検査磁界供給部は、前記ループ部の配線と略同じ幅を有する一本の所定長さを有する導線から形成され、
   前記検査磁界供給部は、所定間隔を有して前記ループ部の配線と対向して配置されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査装置。
5. 前記検査磁界供給部が複数設けられ、
   前記複数の検査磁界供給部は、前記ループ部の最外位置の配線及び／又は最内位置の配線に磁界を供給するように配置されていることを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
6. 第一及び第二端子を有するとともにアンテナ機能を有するループ部が形成される配線を有する基板を検査する基板検査方法であって、
   前記第一端子と前記第二端子の間に接続され、前記ループ部と直列接続される基準電流発生部と、前記第一端子と前記第二端子の間に接続されるとともに該基準電流発生部と直列接続され、該第一及び第二端子間に流れる電流を検出する電流検出手段を夫々接続し、
   前記ループ部を形成する一本の配線の所定部位に対して検査誘導電流を発生させる検査磁界供給部を配置し、
   前記検査磁界供給部による前記ループ部で発生する検査誘導電流の電流方向に対して逆方向の基準誘導電流を、前記基準電流発生部で発生させる基準磁界供給部を配置し、
   前記検査磁界供給部が前記ループ部で検査誘導電流を発生させるとともに前記基準磁界供給部が前記基準電流発生部で基準誘導電流を発生させ、
   前記電流検出手段が検出する電流値を基に、該ループ部の良否の判定を行うことを特徴とする基板検査方法。

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