JP2017187439A - 処理装置、検査装置および処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査の信頼性を向上可能な基準値を算出する。【解決手段】導体パターン１０１の２つの供給点の間に供給している電流の電流値と導体パターン１０１の２つの検出点において検出される電圧値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理部７を備え、処理部７は、基準値算出処理において、各供給点を２つの電位に規定して導体パターン１０１を分割した各小片の電位を算出する第１処理と、導体パターン１０１内の通過面を特定する第２処理と、通過面を挟んで隣接する各小片間に流れる電流の合計値を各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、各小片の電位を電流の合計値が規定値であるときの電位に変換する第４処理と、各検出点に位置する各小片の変換後の電位の電位差を規定値で除算した値を基準値として算出する第５処理とを実行する。【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象の抵抗値についての基準値を算出する処理を実行する処理装置、その処理装置を備えた検査装置、および測定対象の抵抗値についての基準値を算出する処理を実行する処理方法に関するものである。

この種の検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した基板検査装置が知られている。この基板検査装置は、回路基板における導体パターンの抵抗値を４端子法または２端子法で測定し、その抵抗値に基づいて導体パターンの良否を検査可能に構成されている。この場合、この基板検査装置では、測定した導体パターンの抵抗値と記憶部に記憶されている抵抗値の基準値とを比較して導体パターンの良否を検査する。

この場合、一般的に、良品と考えられる回路基板（良品基板）の導体パターンを測定した抵抗値や、導体パターンの長さ（Ｌ）、幅（Ｗ）、厚み（ｄ）、および導体パターンの抵抗率（ρ）を数式（抵抗率の定義に基づく数式：Ｒ＝ρ×Ｌ／（ｄ×Ｗ））に代入して求めた抵抗値（Ｒ）が基準値として採用されている。

特開２０１３−１５４７４号公報（第６−８頁、第１図）

ところが、従来の基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、上記の基板検査装置では、良品基板の導体パターンを測定した抵抗値や、抵抗率の定義に基づく数式から求めた抵抗値を基準値としている。しかしながら、基板が良品であるか否かの判断は、主として、外観上の欠陥が存在するか否かに基づいて行われるため、良品基板として選択した回路基板が真に良品である保証はなく、この結果、この基準値を用いた検査の信頼性の向上が困難となるおそれがある。一方、四端子法において２つのソース端子（電流供給プローブ）に供給した電流は、導体パターンの幅方向に均一には流れない（不均一に流れる）ため、２つのセンス端子（電圧検出プローブ）を介して検出されるセンス端子間の電圧がこの影響を受けることとなる。この場合、導体パターンの長さが長いときには、導体パターンの両端部にそれぞれプロービングさせる各ソース端子の間の距離（以下「ソース端子間距離」ともいう）が、各ソース端子のそれぞれの近傍にプロービングさせるセンス端子とソース端子との間の距離（以下「ソース・センス端子間距離」ともいう）よりも十分に長いため、電流が導体パターンの幅方向に均一には流れないことによる電圧検出への影響が少なく抑えられる。しかしながら、導体パターンの長さが短いときや導体パターンが小径の円形のときには、ソース端子間距離とソース・センス端子間距離との差が小さくなって、電流が導体パターンの幅方向に均一には流れないことによる電圧検出への影響が大きくなる。したがって、ソース端子を介して供給する電流の電流値とセンス端子を介して検出された電圧に基づいて測定される抵抗値がソース端子やセンス端子のプロービング位置、つまり導体パターンの形状によって異なることとなる。しかしながら、従来の基板検査装置において基準値として用いられている抵抗率の定義に基づく数式から求められる抵抗値は、ソース端子およびセンス端子のプロービング位置や電流の流れ方が反映されていない。このため、抵抗率の定義に基づく数式から求めた基準値を用いる場合においても、検査の信頼性の向上が困難となるおそれがある。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査の信頼性を向上可能な基準値を算出し得る処理装置、検査装置および処理方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の処理装置は、測定対象の２つの供給点の間に電流を供給している供給状態で当該測定対象の２つの検出点において検出される電圧値と当該電流の電流値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理部を備えた処理装置であって、前記処理部は、前記基準値算出処理において、前記測定対象を複数の小片に分割すると共に前記各供給点の電位を異なる２つの電位に規定したときの当該各小片の電位をポアソン方程式から導かれる数式を用いて算出する第１処理と、前記供給状態において前記電流のすべてが通過する前記測定対象内の通過面を特定する第２処理と、前記通過面を挟んで隣接する前記各小片の間に流れる当該通過面に直交する向きの電流の合計値を前記各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、前記第１処理において求めた前記各小片の各電位を、前記電流の合計値が予め規定された規定値のときの各電位に変換する第４処理と、前記第４処理において変換した前記各小片の電位の中から前記各検出点にそれぞれ位置する各小片の各電位を特定して当該各電位の電位差を前記規定値で除算した値を、前記各供給点の間に前記規定値の電流を供給している状態における前記基準値として算出する第５処理とを実行する。

また、請求項２記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記処理部は、前記第２処理において、１つの平面を前記通過面として特定する。

また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の処理装置と、前記抵抗値を測定する測定部と、当該抵抗値および前記基準値に基づいて前記測定対象を検査する検査部とを備えている。

また、請求項４記載の処理方法は、測定対象の２つの供給点の間に電流を供給している供給状態で当該測定対象の２つの検出点において検出される電圧値と当該電流の電流値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理方法であって、前記基準値算出処理において、前記測定対象を複数の小片に分割すると共に前記各供給点の電位を異なる２つの電位に規定したときの当該各小片の電位をポアソン方程式から導かれる数式を用いて算出する第１処理と、前記供給状態において前記電流のすべてが通過する前記測定対象内の通過面を特定する第２処理と、前記通過面を挟んで隣接する前記各小片の間に流れる当該通過面に直交する向きの電流の合計値を前記各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、前記第１処理において求めた前記各小片の各電位を、前記電流の合計値が予め規定された規定値のときの各電位に変換する第４処理と、前記第４処理において変換した前記各小片の電位の中から前記各検出点にそれぞれ位置する各小片の各電位を特定して当該各電位の電位差を前記規定値で除算した値を、前記各供給点の間に前記規定値の電流を供給している状態における前記基準値として算出する第５処理とを実行する。

また、請求項５記載の処理方法は、請求項４記載の処理方法において、前記第２処理において、１つの平面を前記通過面として特定する。

請求項１記載の処理装置、請求項３記載の検査装置、および請求項４記載の処理方法では、各供給点を２つの電位に規定して測定対象を分割した各小片の電位を算出する第１処理と、測定対象内の通過面を特定する第２処理と、通過面を挟んで隣接する各小片間に流れる電流の合計値を各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、各小片の電位を電流の合計値が規定値であるときの電位に変換する第４処理と、各検出点に位置する各小片の変換後の電位の電位差を規定値で除算した値を基準値として算出する第５処理とを実行する。このため、この処理装置、検査装置および処理方法によれば、真に良品であるとの保証がない回路基板（良品基板として選択した回路基板）を用いて測定した抵抗値を基準値とする従来の構成および方法や、供給点と検出点との位置関係および電流の流れ方が反映されていない抵抗率の定義に基づく数式から求めた抵抗値を基準値とする従来の構成および方法とは異なり、供給点と検出点との位置関係、供給点に実際に供給する電流の電流値、および電流の流れ方を反映させて、基準値を論理的に算出することができる。このため、この検査装置によれば、この基準値を用いて測定対象の検査を行うことで、検査の信頼性を十分に向上させることができる。

また、請求項２記載の測定装置、請求項３記載の検査装置、および請求項５記載の処理方法によれば、第２処理において、１つ平面を通過面として特定することにより、その１つ平面に直交する方向に沿って各小片間に流れる電流だけを合計することで合計値を算出することができるため、例えば方向が異なる複数の平面を通過面として特定する構成および方法と比較して、合計値の算出を容易に行うことができる結果、基準値算出処理の効率を向上させることができる。

基板検査装置１の構成を示す構成図である。 基準値算出処理５０のフローチャートである。 導体パターン１０１に規定された供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２および検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２の位置を示す導体パターン１０１の平面図である。 導体パターン１０１における電位分布の状態を示す電位分布図である。 通過面Ｆｐの他の構成例を示す導体パターン１０１の平面図である。

以下、処理装置、検査装置および処理方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、検査装置の一例としての基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、例えば、回路基板１００に設けられている測定対象としての導体パターン１０１の抵抗値Ｒｍを４端子法で測定し、その抵抗値Ｒｍに基づいて導体パターン１０１の良否を検査可能に構成されている。具体的には、基板検査装置１は、基板保持部２、プロービング機構３、操作部４、測定部５、記憶部６および処理部７を備えて構成されている。この場合、記憶部６および処理部７によって処理装置が構成される。

基板保持部２は、図外のクランプ等を備え、検査対象の回路基板１００を保持可能に構成されている。

プロービング機構３は、処理部７の制御に従い、回路基板１００の導体パターン１０１における予め決められたプロービング位置に一対の電流プローブ３１および一対の電圧プローブ３２をプロービング（接触）させる。

操作部４は、各種のスイッチやキーを備えて構成され、これらが操作されたときに操作信号を出力する。

測定部５は、測定用電流（例えば、直流定電流）を出力する電源部と、電流プローブ３１を介して導体パターン１０１に測定用電流を供給したときに電圧プローブ３２を介して入力した電圧の電圧値を測定する電圧測定回路とを備え、処理部７の制御に従い、測定用電流の電流値と測定した電圧値とに基づいて抵抗値Ｒｍを測定する測定処理を実行する。

記憶部６は、各電流プローブ３１をそれぞれプロービングさせる導体パターン１０１上のプロービング位置（以下、「供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２」ともいい供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２を区別しないときには「供給点Ｐｓ」ともいう：図３参照）、および各電圧プローブ３２をプロービングさせる導体パターン１０１上のプロービング位置（以下、「検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２」ともいい検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２を区別しないときには「検出点Ｐｄ」ともいう：同図参照）を示すプロービング位置データＤｐを記憶する。また、記憶部６は、導体パターン１０１の形状を特定可能な導体パターンデータＤｃを記憶する。また、記憶部６は、処理部７が実行する基準値算出処理５０（図２参照）によって算出される基準値Ｒｓを記憶する。

処理部７は、操作部４から出力される操作信号に従って基板検査装置１を構成する各部を制御すると共に、各種の処理を実行する。具体的には、処理部７は、後述する基準値算出処理５０（処理方法に従った処理）を実行して基準値Ｒｓを算出する。また、処理部７は、検査部として機能し、測定部５によって測定された抵抗値Ｒｍおよび基準値Ｒｓに基づいて導体パターン１０１の良否を検査する検査処理を実行する。

次に、基板検査装置１を用いて、回路基板１００の導体パターン１０１を検査する検査方法について説明する。

導体パターン１０１の検査に先立ち、導体パターン１０１の良否を判定する際に導体パターン１０１の抵抗値Ｒｍと比較する基準値Ｒｓを基板検査装置１に算出させる。具体的には、操作部４を操作して基準値Ｒｓの算出を指示する。この際に、操作部４が操作信号を出力し、処理部７が、図２に示す基準値算出処理５０を実行する。

この基準値算出処理５０では、処理部７は、記憶部６から導体パターンデータＤｃを読み出して、導体パターンデータＤｃに基づいて導体パターン１０１の形状を特定する（ステップ５１）。次いで、処理部７は、導体パターン１０１を３次元空間における予め決められたＸＹＺ軸方向に沿って複数の微小な立方体（小片）に分割（３次元分割）する（ステップ５２）。この場合、処理部７は、一例として、一辺が１μｍの立方体の小片に導体パターン１０１を３次元分割する。

続いて、処理部７は、記憶部６からプロービング位置データＤｐを読み出して、プロービング位置データＤｐに基づいて供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２（図３参照）を特定する（ステップ５３）。次いで、処理部７は、供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２を異なる２つの電位に規定したときの各小片の電位を算出する（ステップ５４）。

ここで、ＸＹＺ座標が（ｘ，ｙ，ｚ）の位置に位置している小片の電位Φ（ｘ，ｙ，ｚ）は、ポアソン方程式から導かれる次の数式（１）で表すことができる。
Φ(x,y,z)=1/6(Φ(x-1,y,z)+Φ(x+1,y,z)+Φ(x,y-1,z)+Φ(x,y+1,z)+Φ(x,y,z-1)+Φ(x,y,z+1))・・・数式（１）
なお、数式（１）において、Φ（ｘ−１，ｙ，ｚ）およびΦ（ｘ＋１，ｙ，ｚ）は、Ｘ軸方向に沿って（ｘ，ｙ，ｚ）に位置する小片の両側に隣接する２つの小片の電位を表し、Φ（ｘ，ｙ−１，ｚ）およびΦ（ｘ，ｙ＋１，ｚ）は、Ｙ軸方向に沿って（ｘ，ｙ，ｚ）に位置する小片の両側に隣接する２つの小片の電位を表し、Φ（ｘ，ｙ，ｚ−１）およびΦ（ｘ，ｙ，ｚ＋１）は、Ｚ軸方向に沿って（ｘ，ｙ，ｚ）に位置する小片の両側に隣接する２つの小片の電位を表している。また、小片が導体パターン１０１の端部（境界）に位置していないときには、隣接する小片が６個存在するが、小片が導体パターン１０１の端部（境界）に位置しているときには、隣接する小片が３個から５個となる。このため、導体パターン１０１の端部に位置している小片の電位Φ（ｘ，ｙ，ｚ）については、数式（１）の右辺に含まれる６個の小片の各電位のうちの隣接する小片分の電位だけを合計し、その合計値を、隣接する小片の数で除算するものとする。

処理部７は、ステップ５４において、上記した数式（１）を用いた緩和法によって各小片の電位Φ（ｘ，ｙ，ｚ）を算出する。具体的には、処理部７は、まず、供給点Ｐｓ１の電位（供給点Ｐｓ１に位置する各小片の電位）を例えば１Ｖに規定すると共に、供給点Ｐｓ２の電位（供給点Ｐｓ２に位置する各小片の電位）を例えば−１Ｖに規定する。続いて、処理部７は、供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２に位置する各小片にそれぞれ隣接する小片の電位を数式（１）を用いて算出する（１回目の算出工程）。次いで、処理部７は、１回目の算出工程で電位を求めた各小片にそれぞれ隣接する小片の電位を数式（１）を用いて求める（２回目の算出工程）。続いて、処理部７は、２回目の算出工程で電位を求めた各小片にそれぞれ隣接する小片の電位を数式（１）を用いて求める（３回目の算出工程）。以下、処理部７は、同様の算出工程を予め決められた回数に達するまで繰り返して実行する。これにより、図４に示すように、各小片の電位が算出される。この場合、同図では、同電位の小片の位置を等電位線で示している。なお、上記したステップ５１〜５４の処理が第１処理に相当する。

次いで、処理部７は、供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２の間に測定用電流を供給している状態（以下、「供給状態」ともいう）において、供給した測定用電流のすべてが通過する導体パターン１０１内の通過面Ｆｐを特定する（ステップ５５）。この場合、処理部７は、一例として、図３に示すように、供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２を結ぶ線に直交してＹ軸方向に沿った１つの平面を通過面Ｆｐとして特定する。なお、このステップ５５の処理が第２処理に相当する。

続いて、処理部７は、通過面Ｆｐを挟んで隣接する各小片の間に流れる通過面Ｆｐに直交する向きの電流の合計値Ｉｔを各小片の電位に基づいて算出する（ステップ５６）。この場合、隣接する２つの小片のうちの電流経路の上流側に位置する一方の小片のＸＹＺ座標を（ｘ，ｙ，ｚ）としたときに、その小片から電流経路の下流側に位置する他方の小片に流れる電流のＸ軸方向に沿った電流成分ｉｘ（ｘ，ｙ，ｚ）、Ｙ軸方向に沿った電流成分ｉｙ（ｘ，ｙ，ｚ）、およびＺ軸方向に沿った電流成分ｉｚ（ｘ，ｙ，ｚ）は、それぞれ次の数式（２）〜（４）で表すことができる。
ix(x,y,z)=Φ(x+1,y,z)-Φ(x,y,z) ・・・数式（２）
iy(x,y,z)=Φ(x,y+1,z)-Φ(x,y,z) ・・・数式（３）
iz(x,y,z)=Φ(x,y,z+1)-Φ(x,y,z) ・・・数式（４）

この場合、この例では、図３に示すように、通過面Ｆｐに直交する向きがＸ軸方向に沿った向きであるため、処理部７は、上記した数式（２）で表されるＸ軸方向に沿った各小片の電流成分ｉｘ(x,y,z) を通過面Ｆｐに面する全ての小片について合計して合計値Ｉｔを算出する。この場合、各小片間に流れる電流は、実際には、導体パターン１０１の導電率ρおよび小片の寸法（長さ、幅および高さ）によって規定される係数βを用いて算出されるが、処理部７は、この時点での計算を簡略化するため、係数βを「１」として算出する。なお、このステップ５６の処理が第３処理に相当する。

次いで、処理部７は、第１処理（ステップ５１〜５４）において算出した各小片の電位を、ステップ５６において算出した電流の合計値Ｉｔが予め規定された規定値のときの電位に変換する（ステップ５７）。つまり、規定値の測定用電流を供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２間に供給している供給状態における各小片の電位に変換する。具体的には、処理部７は、規定値が例えば１Ａに規定されているときには、合計値Ｉｔに対する１Ａの比率αと、導体パターン１０１の導電率ρおよび小片の寸法によって規定される係数βとを用いて（例えば、第１処理において算出した各小片の電位に比率αおよび係数βを乗算して）、第１処理において算出した各小片の電位を、合計値Ｉｔが１Ａとなる電位に変換する。なお、このステップ５７の処理が第４処理に相当する。

続いて、処理部７は、第４処理（ステップ５７）において変換した各小片の電位の中から検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２にそれぞれ位置する各小片の各電位（検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２の電位）を特定する（ステップ５８）。次いで、処理部７は、特定した検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２の各電位の電位差を算出し、続いて、その電位差を上記した規定値（この例では、１Ａ）で除算して、その値を基準値Ｒｓとして算出すると共に（ステップ５９）、基準値Ｒｓを記憶部６に記憶させて基準値算出処理５０を終了する。なお、ステップ５８，５９の処理が第５処理に相当する。以上により、導体パターン１０１についての基準値Ｒｓの算出が完了する。

この場合、基準値Ｒｓは、規定値の測定用電流を供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２間に供給している供給状態において検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２において検出されるべき電圧（検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２における各電位の電位差）と規定値とに基づいて測定されるべき抵抗値Ｒｍに相当する。

ここで、上記の基準値算出処理５０を実行することによって算出した基準値Ｒｓは、真に良品であるとの保証がない回路基板（良品基板として選択した回路基板）を用いて測定した抵抗値Ｒｍを基準値Ｒｓとする従来の構成および方法や、供給点Ｐｓと検出点Ｐｄとの位置関係および電流の流れ方が反映されていない抵抗率の定義に基づく数式から求めた抵抗値Ｒｍを基準値Ｒｓとする従来の構成および方法とは異なり、供給点Ｐｓと検出点Ｐｄとの位置関係、供給点Ｐｓに実際に供給する測定用電流の電流値、および電流の流れ方を反映させて、論理的に算出されている。このため、この基準値Ｒｓを用いて導体パターン１０１の検査を行うことで、検査の信頼性を十分に向上させることが可能となる。

次に、導体パターン１０１の検査を行うときには、基板保持部２に回路基板１００を保持させ、次いで、測定部５を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部７は、検査処理を実行する。

この検査処理では、処理部７は、記憶部６からプロービング位置データＤｐを読み出す。続いて、処理部７は、プロービング位置データＤｐに基づいて導体パターン１０１における供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２および検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２を特定する。

次いで、処理部７は、プロービング機構３を制御して、供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２に電流プローブ３１をそれぞれプロービングさせると共に、検出点Ｐｄ１，Ｐｄ２に電圧プローブ３２をそれぞれプロービングさせる。

続いて、処理部７は、測定部５を制御して測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部５は、各電流プローブ３１を介して測定用電流を供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２に供給する。また、測定部５は、測定用電流を供給している供給状態において、各電圧プローブ３２を介して入力した電圧の電圧値を測定する。次いで、測定部５は、測定用電流の電流値と測定した電圧値とに基づいて抵抗値Ｒｍを測定する。

続いて、処理部７は、記憶部６から基準値Ｒｓを読み出す。次いで、処理部７は、測定部５によって測定された抵抗値Ｒｍと基準値Ｒｓとを比較して導体パターン１０１の良否を判定する。この場合、処理部７は、例えば、抵抗値Ｒｍが、基準値Ｒｓに予め決められた値を加算した上限値と基準値Ｒｓから予め決められた値を減算した下限値とで規定される基準範囲内のときには、導体パターン１０１が良好と判定し、抵抗値Ｒｍが基準範囲外のときには、導体パターン１０１が不良（欠損や短絡が存在する）と判定する。この場合、この基板検査装置１では、上記した基準値算出処理５０を実行することによって適正な基準値Ｒｓを算出することが可能となっている。このため、この基板検査装置１では、検査の信頼性を十分に向上させることが可能となっている。

このように、この処理装置、基板検査装置１および処理方法では、各供給点Ｐｓを２つの電位に規定して導体パターン１０１を分割した各小片の電位を算出する第１処理と、導体パターン１０１内の通過面Ｆｐを特定する第２処理と、通過面Ｆｐを挟んで隣接する各小片間に流れる電流の合計値Ｉｔを各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、各小片の電位を電流の合計値Ｉｔが規定値であるときの電位に変換する第４処理と、各検出点Ｐｄに位置する各小片の変換後の電位の電位差を規定値で除算した値を基準値として算出する第５処理とを実行する。このため、この処理装置、基板検査装置１および処理方法によれば、真に良品であるとの保証がない良品基板として選択した回路基板を用いて測定した抵抗値Ｒｍを基準値Ｒｓとする従来の構成および方法や、供給点Ｐｓと検出点Ｐｄとの位置関係および電流の流れ方が反映されていない抵抗率の定義に基づく数式から求めた抵抗値Ｒｍを基準値Ｒｓとする従来の構成および方法とは異なり、供給点Ｐｓと検出点Ｐｄとの位置関係、供給点Ｐｓに実際に供給する測定用電流の電流値、および測定用電流の流れ方を反映させて、基準値Ｒｓを論理的に算出することができる。このため、この基板検査装置１によれば、この基準値Ｒｓを用いて導体パターン１０１の検査を行うことで、検査の信頼性を十分に向上させることができる。

また、この処理装置、基板検査装置１および処理方法によれば、第２処理において、１つ平面を通過面Ｆｐとして特定することにより、その１つ平面に直交する方向に沿って各小片間に流れる電流だけを合計することで合計値Ｉｔを算出することができるため、例えば方向が異なる複数の平面を通過面Ｆｐとして特定する構成および方法と比較して、合計値Ｉｔの算出を容易に行うことができる結果、基準値算出処理５０の効率を向上させることができる。

なお、処理装置、検査装置および処理方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、供給点Ｐｓ１，Ｐｓ２を結ぶ線に直交してＹ軸方向に沿った１つの平面を通過面Ｆｐとして特定する例について上記したが（図３参照）、図５に示すように、Ｙ軸方向に沿った複数の平面とＸ軸方向に沿った複数の平面とを通過面Ｆｐとして特定することもできる。この場合、このような通過面Ｆｐを採用したときには、上記した数式（２）で表されるＸ軸方向に沿った各小片の電流成分ｉｘ（ｘ，ｙ，ｚ）をＹ軸方向に沿った各平面に面する全ての小片について合計すると共に、上記した数式（３）で表されるＹ軸方向に沿った各小片の電流成分ｉｙ（ｘ，ｙ，ｚ）をＸ軸方向に沿った各平面に面する全ての小片について合計し、各平面についての合計値をさらに合計して合計値Ｉｔを算出する。

また、上記の例では、第３処理において、導体パターン１０１の導電率ρおよび小片の寸法によって規定される係数βを「１」として各小片間に流れる電流を算出し、第４処理において、導体パターン１０１の導電率ρおよび小片の寸法によって実際に規定される係数βを用いて電位の変換を行っているが、第３処理において、実際に規定される係数βを用いて各小片間に流れる電流を算出し、第４処理において、係数βを「１」として電位の変換を行う構成および方法を採用することもできる。

また、基準値算出処理５０のステップ５４において、処理部７が、数式（１）を用いた緩和法によって各小片の電位Φ（ｘ，ｙ，ｚ）を算出する際に、予め決められた回数に達するまで算出工程を繰り返す例について上記したが、隣接する各小片の各電位の比率や各電位の差が予め決められた値以下となるまで算出工程を繰り返す構成および方法を採用することもできる。

１ 基板検査装置
５ 測定部
６ 記憶部
７ 処理部
５０ 基準値算出処理
１０１ 導体パターン
Ｆｐ 通過面
Ｉｔ 合計値
Ｐｄ１，Ｐｄ２ 検出点
Ｐｓ１，Ｐｓ２ 供給点
Ｒｍ 抵抗値
Ｒｓ 基準値

Claims (5)

1. 測定対象の２つの供給点の間に電流を供給している供給状態で当該測定対象の２つの検出点において検出される電圧値と当該電流の電流値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理部を備えた処理装置であって、
   前記処理部は、前記基準値算出処理において、前記測定対象を複数の小片に分割すると共に前記各供給点の電位を異なる２つの電位に規定したときの当該各小片の電位をポアソン方程式から導かれる数式を用いて算出する第１処理と、
   前記供給状態において前記電流のすべてが通過する前記測定対象内の通過面を特定する第２処理と、
   前記通過面を挟んで隣接する前記各小片の間に流れる当該通過面に直交する向きの電流の合計値を前記各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、
   前記第１処理において求めた前記各小片の各電位を、前記電流の合計値が予め規定された規定値のときの各電位に変換する第４処理と、
   前記第４処理において変換した前記各小片の電位の中から前記各検出点にそれぞれ位置する各小片の各電位を特定して当該各電位の電位差を前記規定値で除算した値を、前記各供給点の間に前記規定値の電流を供給している状態における前記基準値として算出する第５処理とを実行する処理装置。
2. 前記処理部は、前記第２処理において、１つの平面を前記通過面として特定する請求項１記載の処理装置。
3. 請求項１または２記載の処理装置と、前記抵抗値を測定する測定部と、当該抵抗値および前記基準値に基づいて前記測定対象を検査する検査部とを備えている検査装置。
4. 測定対象の２つの供給点の間に電流を供給している供給状態で当該測定対象の２つの検出点において検出される電圧値と当該電流の電流値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理方法であって、
   前記基準値算出処理において、前記測定対象を複数の小片に分割すると共に前記各供給点の電位を異なる２つの電位に規定したときの当該各小片の電位をポアソン方程式から導かれる数式を用いて算出する第１処理と、
   前記供給状態において前記電流のすべてが通過する前記測定対象内の通過面を特定する第２処理と、
   前記通過面を挟んで隣接する前記各小片の間に流れる当該通過面に直交する向きの電流の合計値を前記各小片の電位に基づいて算出する第３処理と、
   前記第１処理において求めた前記各小片の各電位を、前記電流の合計値が予め規定された規定値のときの各電位に変換する第４処理と、
   前記第４処理において変換した前記各小片の電位の中から前記各検出点にそれぞれ位置する各小片の各電位を特定して当該各電位の電位差を前記規定値で除算した値を、前記各供給点の間に前記規定値の電流を供給している状態における前記基準値として算出する第５処理とを実行する処理方法。
5. 前記第２処理において、１つの平面を前記通過面として特定する請求項４記載の処理方法。

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