JP2018040579A - 処理装置、検査システムおよび処理プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
2 検査装置
3 処理装置
23 処理部
101 電子部品
Pd 処理プログラム
Rm 測定値
Rf 適正値
Rp 規定値
Rr 基準値
Claims (6)
- 検査対象について測定された被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する際に用いる当該基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を実行する処理部を備え、
前記処理部は、前記変更処理において、複数の前記検査対象について測定された各前記測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする処理装置。 - 前記処理部は、前記変更処理において、前記規定値と前記適正値との差分値が予め決められた閾値以上のときに当該規定値を当該適正値に変更する請求項1記載の処理装置。
- 検査対象について測定した被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する検査処理を実行する検査装置と、前記良否の検査において用いる前記基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を実行する処理部を有する処理装置とを備え、
前記検査装置は、複数の検査対象についての前記検査処理において測定した当該各検査対象の各前記測定値を前記処理装置に出力し、
前記処理部は、前記変更処理において、前記検査装置から出力された前記各測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする検査システム。 - 前記処理部は、前記変更処理において、前記規定値と前記適正値との差分値が予め決められた閾値以上のときに当該規定値を当該適正値に変更する請求項3記載の検査システム。
- 前記検査装置は、前記変更処理の前に実行した前記検査処理についての検査済みの前記検査対象についての前記検査処理を前記適正値を用いて再実行する請求項3または4記載の検査システム。
- 検査対象について測定された被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する際に用いる当該基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を処理部に実行させる処理プログラムであって、
複数の前記検査対象について測定された各前記測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする処理を前記変更処理において前記処理部に実行させる処理プログラム。
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