JP5165412B2 - 基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、測定データおよび検査用基準データに基づいて検査対象パターンの良否を検査して検査結果データを生成する基板検査装置に関するものである。

この種の基板検査装置として、検査対象の回路基板における配線パターン（以下、それぞれ「検査対象基板」および「検査対象パターン」ともいう）の抵抗値を測定してその良否を検査する基板検査装置が特開２００７−２１２１９４号公報に開示されている。この基板検査装置は、電流供給用の電流プローブおよび電圧測定用の電圧プローブが一体的に構成された検査用プローブを備えて、検査対象パターンの抵抗値を四端子法によって測定してその良否を検査可能に構成されている。具体的には、まず、一対の検査用プローブを検査対象パターンに接触させると共に、両電流プローブ間に電流発生部から検査用の電流を供給しつつ、両電圧プローブを介して電圧測定部によって検査対象パターンの両端間電圧を測定する。次いで、演算処理装置が電圧測定部による測定結果（電圧値）と、電流発生部から供給した電流の電流値とに基づいて検査対象パターンの抵抗値を演算して演算結果を保存する。続いて、保存した演算結果（抵抗値）と、検査用の基準値とを比較することにより、演算結果が基準値よりも小さいときには、その検査対象パターンが正常と判定して判定結果を表示装置に表示し、演算結果が基準値よりも大きいときには、その検査対象パターンが不良（断線している）と判定して判定結果を表示装置に表示する。これにより、検査対象基板の良否が検査される。
特開２００７−２１２１９４号公報（第６−１３頁、第１−７図）

ところが、従来の基板検査装置には、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の基板検査装置では、検査対象パターンに対する測定処理を実行して抵抗値を演算して保存すると共に、保存した演算結果（抵抗値）と基準値とに基づいて検査対象パターンの良否を判定する構成が採用されている。この場合、出願人は、検査対象パターンを正常と判定した良品の検査対象基板のなかに、例えば、検査対象パターンの厚みおよび幅が設計値通りのサイズとなっているもの、検査対象パターンの厚みが設計値とは異なるもの、および検査対象パターンの幅が設計値とは異なるものが存在するのを見出した。また、検査対象基板の良否を検査した際に保存した演算結果（抵抗値）を分析したところ、例えば、検査対象パターンが細過ぎることに起因して抵抗値が大きくなって不良と判定される検査対象基板が連続して製造されたとき（抵抗値が連続して不良判定範囲に含まれているとき）には、その直前に製造された良品の検査対象基板において、対応する検査パターンについての抵抗値が正常判定範囲内であるものの、やや大きな抵抗値となっているのを見出した。

したがって、出願人は、検査対象基板の検査時に保存した演算結果（抵抗値）を各検査対象基板に対する検査処理順、または、検査対象基板の製造順に並べて比較し、その推移（変化の傾向）を製造現場にフィードバックして、不良の配線パターンを有する回路基板が製造されるのを回避する管理方法を見出した。具体的には、一例として、例えば、演算結果が良品判定範囲内であるが、その値（抵抗値）が徐々に大きくなっているとの傾向があるときには、「配線パターンの厚みが薄くなるか、または、配線パターンの幅が細くなる傾向がある」との情報を検査対象基板の製造現場にフィードバックし、演算結果が良品判定範囲内であるが、その値（抵抗値）が徐々に小さくなっているとの傾向があるときには、「配線パターンの厚みが厚くなるか、または、配線パターンの幅が太くなる傾向がある」との情報を検査対象基板の製造現場にフィードバックすることにより、不良の配線パターンを有する回路基板が製造されるのを未然に防止することが可能となる。

しかしながら、従来の基板検査装置による検査時に保存した演算結果（抵抗値）に基づいて、出願人が見出した管理方法を実行する場合には、各検査対象基板毎の演算結果（抵抗値）を基準値と比較して、基準値に対して演算結果がどのように推移しているかを分析する非常に煩雑な作業が必要となる。したがって、検査対象基板についての測定結果（演算結果：この例では、抵抗値）を保存する構成の従来の基板検査装置には、出願人が見出した管理方法に従って測定値の推移を製造現場にフィードバックするのが困難であるという問題点が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象基板についての測定値の推移を容易に把握可能に検査結果データを生成し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、検査対象基板に形成された検査対象パターンについての電気的パラメータを測定して測定データを生成する測定部と、検査用基準データを記憶する記憶部と、前記測定データおよび前記検査用基準データに基づいて前記検査対象パターンの良否を判定して検査結果データを生成する処理部とを備えた基板検査装置であって、前記記憶部が、前記検査用基準データとして、正常判定範囲を区分けした２以上の第１の判定範囲、前記正常判定範囲の上限値を超える第１の不良判定範囲、および前記正常判定範囲の下限値を下回る第２の不良判定範囲の各範囲データを記憶し、前記処理部が、前記測定データが前記各第１の判定範囲のいずれかに含まれて前記検査対象パターンを正常と判定したときに、前記検査結果データとして、当該いずれかの第１の判定範囲を特定可能なデータを生成すると共に、複数枚の前記検査対象基板の検査時において、前記各第１の判定範囲のうちのいずれかに前記測定データが含まれていた所定の前記検査対象パターンについての当該測定データが規定数以上連続して他の前記第１の判定範囲に含まれているときに所定の報知処理を実行する。

また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記処理部が、前記測定データが前記第１の不良判定範囲および前記第２の不良判定範囲のいずれかの不良判定範囲に含まれて前記検査対象パターンを不良と判定したときに、前記検査結果データとして、当該いずれかの不良判定範囲を特定可能なデータを生成する。

さらに、請求項３記載の基板検査装置は、請求項２記載の基板検査装置において、前記記憶部が、前記検査用基準データとして、前記第１の不良判定範囲を区分けした２以上の第２の判定範囲、および前記第２の不良判定範囲を区分けした２以上の第３の判定範囲の各範囲データをさらに記憶し、前記処理部が、前記測定データが前記各第２の判定範囲および前記各第３の判定範囲のいずれかの判定範囲に含まれて前記検査対象パターンを不良と判定したときに、前記検査結果データとして、当該いずれかの判定範囲を特定可能なデータを生成する。

請求項１記載の基板検査装置によれば、処理部が、正常判定範囲を区分けした２以上の第１の判定範囲のいずれかに測定データが含まれて検査対象パターンを正常と判定したときに、検査結果データとして、そのいずれかの第１の判定範囲を特定可能なデータを生成することにより、各検査対象基板に対する検査時に測定された抵抗値そのものを検査結果データとして保存する従来の基板検査装置とは異なり、そのデータで特定される第１の判定範囲を確認するだけで、各測定値を比較する煩雑な作業を行うことなく、検査対象パターンについての測定データが、正常判定範囲の範囲内における第１の不良判定範囲寄りの値、および正常判定範囲の範囲内における第２の不良判定範囲寄りの値のいずれであるかを具体的かつ容易に把握させることができる。したがって、この基板検査装置によれば、複数枚の検査対象基板の検査に際して、所定の検査対象パターンについての測定データが、正常判定範囲の範囲内における第１の不良判定範囲寄りの値から第２の不良判定範囲寄りの値に変化したとき、または、正常判定範囲の範囲内における第２の不良判定範囲寄りの値から第１の不良判定範囲寄りの値に変化したときに、その推移を具体的かつ容易に把握させることができるため、把握した内容に応じて、不良の検査対象基板が製造される可能性のあるときには、その製造現場（製造管理者）に対して迅速にフィードバックすることができる。これにより、不良の導体パターン（検査対象パターン）を有する不良の検査対象基板が製造される事態を回避することができる。また、この基板検査装置によれば、処理部が、複数枚の検査対象基板の検査時において、各第１の判定範囲のうちのいずれかに測定データが含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データが規定数以上連続して他の第１の判定範囲に含まれているときに所定の報知処理を実行することにより、検査対象基板の検査処理に不慣れなオペレータに対しても、検査対象パターンについての測定データが正常判定範囲の範囲内においてどのように推移しているかを具体的かつ容易に把握させることができる。

また、請求項２記載の基板検査装置によれば、処理部が、測定データが第１の不良判定範囲および第２の不良判定範囲のいずれかの不良判定範囲に含まれて検査対象パターンを不良と判定したときに、検査結果データとして、そのいずれかの不良判定範囲を特定可能なデータを生成することにより、検査対象パターンについての測定データが正常判定範囲の範囲内においてどのように推移しているかを具体的かつ容易に把握させることができるだけでなく、不良と判定された検査対象パターンについても、その測定値が正常判定範囲の上限値を超えて不良と判定されたのか、その測定値が正常判定範囲の下限値を下回って不良と判定されたのかを具体的かつ容易に認識させることができる。したがって、ただ単に不良との判定結果を出力する構成と比較して、不良の導体パターン（検査対象パターン）が形成された要因を具体的かつ容易に特定することができる。

さらに、請求項３記載の基板検査装置によれば、処理部が、第１の不良判定範囲を区分けした２以上の第２の判定範囲、および第２の不良判定範囲を区分けした２以上の第３の判定範囲のいずれかの判定範囲に測定データが含まれて検査対象パターンを不良と判定したときに、検査結果データとして、そのいずれかの判定範囲を特定可能なデータを生成することにより、検査対象パターンについての測定データが正常判定範囲の範囲内においてどのように推移しているかを具体的かつ容易に把握させることができるだけでなく、不良と判定された検査対象パターンについても、その測定値（例えば、抵抗値）が正常判定範囲の上限値に対してどの程度大きくて不良と判定されたのか、その測定値が正常判定範囲の下限値に対してどの程度小さくて不良と判定されたのかを具体的かつ容易に認識させることができる。したがって、ただ単に不良との判定結果を出力する構成と比較して、不良の導体パターン（検査対象パターン）が形成された要因を一層容易に特定することができる。

以下、本発明に係る基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す基板検査装置１は、本発明に係る基板検査装置の一例であって、測定部２、操作部３、表示部４、処理部５および記憶部６を備えて、検査対象基板１０に形成された各導体パターン（検査対象パターン：図示せず）についての電気的検査を実行して、その良否を検査可能に構成されている。測定部２は、一例として、一対の電流供給用プローブ、一対の電圧測定用プローブ、定電流源、および電圧測定部（共に図示せず）を備え、一例として、四端子法による抵抗値の測定処理（本発明における電気的パラメータの測定の一例）を実行可能に構成されている。また、測定部２は、測定結果（この例では、抵抗値）を示す測定データＤ１を生成して処理部５に出力する。操作部３は、検査処理の開始や停止を指示するための複数の操作スイッチを備え（図示せず）、スイッチ操作に応じた操作信号を出力する。表示部４は、処理部５の制御に従い、検査対象基板１０についての検査結果や、後述する各種のメッセージなどを表示する。

処理部５は、測定部２を制御して上記の抵抗値の測定処理を実行させると共に、測定部２から出力される測定データＤ１と、記憶部６に記憶されている検査用基準データＤ０とに基づいて上記の検査対象パターンの良否を判定する。この場合、この基板検査装置１では、後述するように、測定部２から出力された測定データＤ１（検査対象基板１０の各検査対象パターン毎の抵抗値）が、図２に示す正常判定範囲Ａ１、不良判定範囲Ａ２（本発明における「第１の不良判定範囲」の一例）および不良判定範囲Ａ３（本発明における「第２の不良判定範囲」の一例）のいずれに含まれているかに基づいてその良否を判定する構成が採用されている。

具体的には、この基板検査装置１では、上記の正常判定範囲Ａ１を５つに区分けした判定範囲Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｕ，Ａ１２Ｌ（本発明における「２以上の第１の判定範囲」の一例）と、正常判定範囲Ａ１の上限値を超える不良判定範囲Ａ２を２つに区分けした判定範囲Ａ２１，Ａ２２（本発明における「２以上の第２の判定範囲」の一例）と、正常判定範囲Ａ１の下限値を下回る不良判定範囲Ａ３を２つに区分けした判定範囲Ａ３１，Ａ３２（本発明における「２以上の第３の判定範囲」の一例）との９つの判定範囲のいずれに測定データＤ１が含まれているかを判別し、判定範囲Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｕ，Ａ１２Ｌのいずれかに測定データＤ１が含まれているときには、その検査対象パターンが正常であると判定し、判定範囲Ａ２１，Ａ２２，Ａ３１，Ａ３２のいずれかに測定データＤ１が含まれているときには、その検査対象パターンが不良であると判定する。

この場合、図２に示すように、各判定範囲Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｕ，Ａ１２Ｌ，Ａ２１，Ａ２２，Ａ３１，Ａ３２（以下、区別しないときには「判定範囲Ａ」ともいう）は、各々の抵抗値の範囲における下限値から上限値まで連続して、かつ各抵抗値の範囲が互いに重なり合わないように規定されている。なお、この基板検査装置１では、一例として、連続する各判定範囲Ａのうちの低抵抗値側の判定範囲Ａにおける上限値を超えた抵抗値は、その判定範囲Ａよりも１つ高抵抗側の判定範囲Ａに含まれ、高抵抗値側の判定範囲Ａにおける下限値を下回った抵抗値は、その判定範囲Ａよりも１つ低抵抗側の判定範囲Ａに含まれるものとして判別する。

また、処理部５は、上記の判定結果に基づいて検査結果データＤ２を生成し、生成した検査結果データＤ２を記憶部６に記憶させる。具体的には、図３に示すように、処理部５は、各検査対象パターンについての判定結果と併せて、その検査対象パターンについての測定データＤ１が含まれていたいずれかの判定範囲Ａを特定可能に検査結果データＤ２を生成する。さらに、処理部５は、複数枚の検査対象基板１０を検査する際に、後述するようにして、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、それまでに含まれていた判定範囲Ａとは相違する判定範囲Ａに規定数以上連続して含まれたとき（本発明における「各第１の判定範囲のうちのいずれかに測定データが含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データが規定数以上連続して他の第１の判定範囲に含まれているとき」との状態：一例として、１０枚以上の検査対象基板１０において連続してそれ以前の判定範囲Ａとは相違する判定範囲Ａ内の値となったとき）に、その旨を報知する報知処理（一例として、その旨を示すメッセージの表示処理）を実行する。

記憶部６は、上記の検査用基準データＤ０および検査結果データＤ２や、処理部５の動作プログラムなどを記憶する。この場合、検査用基準データＤ０は、正常判定範囲Ａ１および不良判定範囲Ａ２，Ａ３の各上限値および各下限値と、判定範囲Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１２Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｌ，Ａ２１，Ａ２２，Ａ３１，Ａ３２の各上限値および各下限値とをそれぞれ特定可能な範囲データとを含んで構成されている。

次に、基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法について、図面を参照して説明する。

まず、検査対象基板１０を検査位置にセットして操作部３の検査開始スイッチを操作する。この際には、処理部５が、測定部２を制御して、予め規定された手順に従い、検査対象基板１０における各検査対象パターンについての抵抗値の測定処理を開始する。具体的には、測定部２は、図示しないプローブ移動機構を制御して上記の一対の電流供給用プローブおよび一対の電圧測定用プローブを検査対象パターンの両端部に接触させると共に、両電流供給用プローブを介して定電流源から検査対象パターンに定電流を供給しつつ、両電圧測定用プローブを介して電圧測定部によって検査対象パターンの両端間電圧を測定する。次いで、測定部２は、定電流源から供給した定電流の電流値と電圧測定部によって測定された電圧値とに基づいて検査対象パターンの両端部間の抵抗値を演算し（「検査対象パターンについての電気的パラメータを測定」の一例）、演算結果に基づいて測定データＤ１を生成して処理部５に出力する。

これに応じて、処理部５は、記憶部６から検査用基準データＤ０を読み出すと共に、測定部２から出力された測定データＤ１（測定データＤ１の抵抗値）が、上記の判定範囲Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１２Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｌ，Ａ２１，Ａ２２，Ａ３１，Ａ３２のいずれに含まれているかを判別する。具体的には、図２に示すように、例えば、１枚目の検査対象基板１０では、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１の抵抗値Ｒ１が正常判定範囲Ａ１における判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている。したがって、処理部５は、その測定データＤ１が測定された検査対象パターンが正常であると判定すると共に、図３に示すように、その判定結果（この例では、正常（ＯＫ））と併せて、測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａ（この例では、判定範囲Ａ１１Ｕ）を特定可能に１枚目の検査対象基板１０についての検査結果データＤ２を生成する。

なお、実際の検査対象基板１０には複数の検査対象パターンが存在するが、本発明についての理解を容易とするために、図２では、各検査対象基板１０上の所定の１つの検査対象パターンについての測定データＤ１の抵抗値を図示している。この場合、抵抗値Ｒ１は、１枚目の検査対象基板１０における上記の所定の検査対象パターンについての測定データＤ１の抵抗値を表し、抵抗値Ｒ２は、２枚目の検査対象基板１０における上記の所定の検査対象パターンについての測定データＤ１の抵抗値を表している。同様して、本発明についての理解を容易とするために、図３では、各検査対象基板１０上の所定の１つの検査対象パターンについての判定結果と、その所定の１つの検査対象パターンについての測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａとを図示している。この場合、基板番号「１」の行は、１枚目の検査対象基板１０における上記の所定の検査対象パターンについてのデータを表し、基板番号「２」の行は、２枚目の検査対象基板１０における上記の所定の検査対象パターンについてのデータを表している。

この後、処理部５は、上記の所定の１つの検査対象パターンに対する一連の処理と同様にして、１枚目の検査対象基板１０における他の検査対象パターンの良否を判定して検査結果データＤ２を生成する。この際に、その検査対象基板１０におけるすべての検査対象パターンが正常のときには、処理部５は、その検査対象基板１０を正常（良品）と判定して、その検査対象基板１０についての検査処理を完了する。また、その検査対象基板１０におけるいずれかの検査対象パターンが不良のときには、処理部５は、その検査対象基板１０を不良と判定して、その検査対象基板１０についての検査処理を完了する。さらに、処理部５は、２枚目以降の検査対象基板１０についても、上記の１枚目の検査対象基板１０に対する一連の検査処理と同様の手順で各検査対象パターンの良否を検査することにより、その良否を検査して検査結果データＤ２を生成する。

この場合、この基板検査装置１では、処理部５が、上記の各検査対象基板１０に対する検査処理と並行して、各検査対象基板１０における各検査対象パターンについての測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａの推移を監視する処理を実行する。また、各検査対象基板１０における所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、それまでに含まれていた判定範囲Ａとは異なる判定範囲Ａに規定数以上連続して（一例として、１０枚以上連続して）含まれているような変化が生じたときには、その旨を報知する報知処理を実行する。

具体的には、図２に示すように、一例として、１枚目の検査対象基板１０から５１枚目の検査対象基板１０まで、その測定データＤ１（抵抗値Ｒ１〜Ｒ５１）が判定範囲Ａ１１Ｕに含まれていた検査対象パターンについて、５２枚目以降の検査対象基板１０において、その測定データＤ１が判定範囲Ａ１２Ｕに含まれているときに、処理部５は、その測定データＤ１が判定範囲Ａ１２Ｕに含まれているようになってから１０枚目の検査対象基板１０（この例では、抵抗値Ｒ６１の測定データＤ１が測定された６１枚目の検査対象基板１０）の検査時に、測定データＤ１が判定範囲Ａ１２Ｕに含まれていると判別したとき（すなわち、５２枚目以降の１０枚の検査対象基板１０において連続して判定範囲Ａ１１Ｕとは異なる判定範囲Ａ１２Ｕに含まれているとき（本発明における「測定データが規定数以上連続して他の第１の判定範囲に含まれているとき」との状態の一例）に、その検査対象パターンの状態が変化している旨を表すメッセージを表示部４に表示させる。

この場合、例えば、検査対象基板１０の製造時において、上記の所定の検査対象パターンの厚みが、それ以前に製造した検査対象基板１０の所定の検査対象パターンの厚みよりもやや薄くなったり、上記の所定の検査対象パターンの幅がそれ以前に製造した検査対象基板１０の所定の検査対象パターンの幅よりもやや狭くなったりしたときには、その所定の検査対象パターンの抵抗値が大きくなる。この際には、上記の５２枚目以降の検査対象基板１０についての検査処理時のように、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、例えば、判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている状態から判定範囲Ａ１２Ｕに含まれている状態となる。また、例えば、パターニング時に検査対象基板１０に付着した塵埃等に起因して所定のパターンの厚みや幅が変化したとき（一時的な不良が生じたとき）には、５３枚目以降の検査対象基板１０についての検査時に測定される測定データＤ１は、５１枚目以前の検査対象基板１０についての測定データＤ１と同様に判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている状態に復帰するものの、例えば、パターニング時におけるエッチング液の濃度が濃過ぎたりエッチング液の温度が高過ぎたりしたとき（長期に亘って継続する不良が生じたとき）には、５３枚目以降の検査対象基板１０についての検査時に測定される測定データＤ１が判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている状態に復帰することなく、５２枚目の検査対象基板１０についての検査時に測定される測定データＤ１と同様にして判定範囲Ａ１２Ｕに含まれている状態が連続する。

したがって、この基板検査装置１では、上記したように、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、判定範囲Ａ１１Ｕとは異なる判定範囲Ａ１２Ｕに１０枚の検査対象基板１０において連続して含まれているときに、その判定結果が正常であったとしても、一例として「判定結果は正常ですが、検査対象パターン○○○の抵抗値がやや大きくなっています。このまま抵抗値が大きくなる傾向が続くと、やがて、検査対象パターン○○○が不良となるおそれがあります。製造管理者に連絡して下さい。」との内容で警告するメッセージを表示部４に表示させる（本発明における報知処理の一例）。これにより、基板検査装置１によって検査対象基板１０を検査しているオペレータが検査対象基板１０の製造管理者に対してメッセージの内容を報告することにより、製造ラインにおいて、検査対象パターンの抵抗値が大きくなる要因が究明されて改善される結果、不良の導体パターン（検査対象パターン）が形成される事態が回避される。

なお、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が１０枚の検査対象基板１０において連続して正常な判定範囲である判定範囲Ａ１２Ｕに含まれる状態となったときに本発明における処理の報知処理を実行する例について説明したが、この基板検査装置１では、それ以前に判定範囲Ａ１２Ｌ〜Ａ１２Ｕのいずれか（すなわち、正常判定範囲Ａ１）に含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、１０枚の検査対象基板１０において連続して判定範囲Ａ２１，Ａ２２のいずれか（すなわち、不良判定範囲Ａ２）に含まれる状態となったときにも、測定データＤ１が含まれる判定範囲が変化した旨のメッセージを表示する処理が実行される。さらに、この基板検査装置１では、それ以前に判定範囲Ａ２１，Ａ２２のいずれか（すなわち、不良判定範囲Ａ２）に含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、１０枚の検査対象基板１０において連続して判定範囲Ａ１２Ｌ〜Ａ１２Ｕのいずれか（すなわち、正常判定範囲Ａ１）に含まれる状態となったときにも、測定データＤ１が含まれる判定範囲が変化した旨のメッセージを表示する処理が実行される。したがって、上記の例のいずれのケースにおいても、検査対象基板１０における検査対象パターンの状態の推移を容易に把握することができる。

一方、例えば、検査対象基板１０の製造時において、上記の所定の検査対象パターンの厚みが、それ以前に製造した検査対象基板１０の所定の検査対象パターンの厚みよりもやや厚くなったり、上記の所定の検査対象パターンの幅がそれ以前に製造した検査対象基板１０の所定の検査対象パターンの幅よりもやや太くなったりしたときには、その所定の検査対象パターンの抵抗値が小さくなる。この際には、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、例えば、判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている状態から判定範囲Ａ１０に含まれている状態となる。また、例えば、パターニング時に検査対象基板１０に付着した塵埃等に起因して所定のパターンの厚みや幅が変化したときには、その後に検査する検査対象基板１０についての測定データＤ１は、異常が生じた検査対象基板１０についての測定データＤ１と同様に判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている状態に復帰するものの、例えば、パターニング時におけるエッチング液の濃度が薄過ぎたりエッチング液の温度が低過ぎたりしたときには、その後に検査される検査対象基板１０についての測定データＤ１が判定範囲Ａ１１Ｕに含まれている状態に復帰することなく、判定範囲Ａ１０に含まれている状態が連続する。

したがって、この基板検査装置１では、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、正常な判定範囲である判定範囲Ａ１１Ｕとは異なる判定範囲Ａ１０に１０枚の検査対象基板１０において連続して含まれているときに、その判定結果が正常であったとしても、一例として「判定結果は正常ですが、検査対象パターン○○○の抵抗値がやや小さくなっています。このまま抵抗値が小さくなる傾向が続くと、やがて、検査対象パターン○○○が不良となるおそれがあります。製造管理者に連絡して下さい。」との内容を警告するメッセージを表示部４に表示させる（本発明における報知処理の他の一例）。これにより、基板検査装置１によって検査対象基板１０を検査しているオペレータが検査対象基板１０の製造管理者に対してメッセージの内容を報告することにより、製造ラインにおいて、検査対象パターンの抵抗値が小さくなる要因が究明されて改善される結果、不良の導体パターン（検査対象パターン）が形成される事態が回避される。

なお、この基板検査装置１では、それ以前に判定範囲Ａ１２Ｌ〜Ａ１２Ｕのいずれか（すなわち、正常判定範囲Ａ１）に含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、１０枚の検査対象基板１０において連続して判定範囲Ａ３１，Ａ３２のいずれか（すなわち、不良判定範囲Ａ３）に含まれる状態となったときにも、測定データＤ１が含まれる判定範囲が変化した旨のメッセージを表示する処理が実行される。また、この基板検査装置１では、それ以前に判定範囲Ａ３１，Ａ３２のいずれか（すなわち、不良判定範囲Ａ３）に含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、１０枚の検査対象基板１０において連続して判定範囲Ａ１２Ｌ〜Ａ１２Ｕのいずれか（すなわち、正常判定範囲Ａ１）に含まれる状態となったときにも、測定データＤ１が含まれる判定範囲が変化した旨のメッセージを表示する処理が実行される。したがって、上記の例のいずれのケースにおいても、検査対象基板１０における検査対象パターンの状態の推移を容易に把握することができる。

さらに、上記の例では、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、１０枚以上の検査対象基板１０において連続してそれ以前の判定範囲Ａとは異なる判定範囲Ａに含まれているときに、所定のメッセージを表示させているが、本発明における「予め規定された数」は「１０」に限定されず、必要に応じて適宜変更することができる。この場合、上記の例のように、例えば、パターニング時におけるエッチング液の濃度や温度の変化に起因して測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａが変化する例では、１つの検査対象パターンだけでなく、検査対象基板１０上の複数の検査対象パターンの多くにおいて、同様の傾向が生じることとなる。したがって、例えば、１つまたは２つ程度の検査対象パターンにおいて、対応する測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａが変化したときには、その変化状態が上記のように１０枚以上連続したときにメッセージを表示させ、数多くの検査対象パターン（一例として、検査対象基板１０上のすべての検査対象パターン）において、対応する測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａが変化したときには、その変化状態が上記の例よりも少数枚の例えば５枚以上連続したときにメッセージを表示させる構成を採用することで、不良の検査対象基板１０が製造される事態を有効に回避することが可能となる。

一方、図２に示すように、例えば１０５枚目の検査対象基板１０における所定の検査対象パターンについての測定データＤ１（抵抗値Ｒ１０５）が判定範囲Ａ２１，Ａ２２，Ａ３１，Ａ３２のいずれか（すなわち、不良判定範囲Ａ２，Ａ３のいずれか）に含まれているときには、処理部５は、１０５枚目の検査対象基板１０における上記の所定の検査対象パターンが不良と判定する。この際に、図３に示すように、処理部５は、判定結果（この例では、不良（ＮＧ））と併せて、測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａ（この例では、判定範囲Ａ２１（不良判定範囲Ａ２））を特定可能に１０５枚目の検査対象基板１０についての検査結果データＤ２を生成する。また、処理部５は、表示部４を制御して、一例として「検査対象パターン○○○が不良です。」とのメッセージを表示させる。

同様にして、例えば１１０枚目の検査対象基板１０における所定の検査対象パターンについての測定データＤ１（抵抗値Ｒ１１０）が判定範囲Ａ２２（すなわち、不良判定範囲Ａ２）に含まれているときには、処理部５は、１１０枚目の検査対象基板１０における上記の所定の検査対象パターンが不良と判定し、その判定結果（この例では、不良（ＮＧ））と併せて、測定データＤ１が含まれている判定範囲Ａ（この例では、判定範囲Ａ２２（不良判定範囲Ａ２））を特定可能に１１０枚目の検査対象基板１０についての検査結果データＤ２を生成する。また、処理部５は、表示部４を制御して、一例として「検査対象パターン○○○が不良です。」とのメッセージを表示させる。これにより、メッセージを見たオペレータは、その検査対象基板１０のいずれの検査対象パターンに不良が生じているかを容易に認識することができる。

このように、この基板検査装置１によれば、処理部５が、正常判定範囲Ａ１を区分けした５つの判定範囲Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｕ，Ａ１２Ｌ（２以上の第１の判定範囲）のいずれかに測定データＤ１が含まれて検査対象パターンを正常と判定したときに、検査結果データＤ２として、そのいずれかの判定範囲Ａを特定可能なデータを生成することにより、各検査対象基板に対する検査時に測定された抵抗値そのものを検査結果データとして保存する従来の基板検査装置とは異なり、そのデータで特定される判定範囲Ａを確認するだけで、各測定値を比較する煩雑な作業を行うことなく、検査対象パターンについての測定データＤ１が、正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ２（第１の不良判定範囲）寄りの値、および正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ３（第２の不良判定範囲）寄りの値のいずれであるかを具体的かつ容易に把握させることができる。したがって、この基板検査装置１によれば、複数枚の検査対象基板１０の検査に際して、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ２寄りの値から不良判定範囲Ａ３寄りの値に変化したとき、または、正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ３寄りの値から不良判定範囲Ａ２寄りの値に変化したときに、その推移を具体的かつ容易に把握させることができるため、把握した内容に応じて、不良の検査対象基板が製造される可能性のあるときには、その製造現場（製造管理者）に対して迅速にフィードバックすることができる。これにより、不良の導体パターン（検査対象パターン）を有する不良の検査対象基板１０が製造される事態を回避することができる。

また、この基板検査装置１によれば、処理部５が、測定データＤ１が不良判定範囲Ａ２（第１の不良判定範囲）および不良判定範囲Ａ３（第２の不良判定範囲）のいずれかの不良判定範囲に含まれて検査対象パターンを不良と判定したときに、検査結果データＤ２として、そのいずれかの不良判定範囲を特定可能なデータを生成することにより、検査対象パターンについての測定データＤ１が正常判定範囲Ａ１の範囲内においてどのように推移しているかを具体的かつ容易に把握させることができるだけでなく、不良と判定された検査対象パターンについても、その測定値（この例では、抵抗値）が正常判定範囲Ａ１の上限値を超えて不良と判定されたのか、その測定値（抵抗値）が正常判定範囲Ａ１の下限値を下回って不良と判定されたのかを具体的かつ容易に認識させることができる。したがって、ただ単に不良との判定結果を出力する構成と比較して、不良の導体パターン（検査対象パターン）が形成された要因を具体的かつ容易に特定することができる。

さらに、この基板検査装置１によれば、処理部５が、不良判定範囲Ａ２を区分けした２つの判定範囲Ａ２１，Ａ２２（２以上の第２の判定範囲）、および不良判定範囲Ａ３を区分けした判定範囲Ａ３１，Ａ３２（２以上の第３の判定範囲）のいずれかの判定範囲に測定データＤ１が含まれて検査対象パターンを不良と判定したときに、検査結果データＤ２として、そのいずれかの判定範囲を特定可能なデータを生成することにより、検査対象パターンについての測定データＤ１が正常判定範囲Ａ１の範囲内においてどのように推移しているかを具体的かつ容易に把握させることができるだけでなく、不良と判定された検査対象パターンについても、その測定値（この例では、抵抗値）が正常判定範囲Ａ１の上限値に対してどの程度大きくて不良と判定されたのか、その測定値（抵抗値）が正常判定範囲Ａ１の下限値に対してどの程度小さくて不良と判定されたのかを具体的かつ容易に認識させることができる。したがって、ただ単に不良との判定結果を出力する構成と比較して、不良の導体パターン（検査対象パターン）が形成された要因を一層容易に特定することができる。

また、この基板検査装置１によれば、処理部５が、複数枚の検査対象基板１０の検査時において、各判定範囲Ａのうちのいずれかに測定データＤ１が含まれていた所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が規定数以上（上記の例では、１０枚以上）連続して他の判定範囲Ａに含まれているときに所定のメッセージを表示部４に表示させる報知処理を実行することにより、検査対象基板の検査処理に不慣れなオペレータに対しても、検査対象パターンについての測定データが正常判定範囲の範囲内においてどのように推移しているかを具体的かつ容易に把握させることができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、本発明における電気的パラメータは、抵抗値に限定されず、電圧値、電流値、周波数および位相などの各種値がこれに含まれる。また、上記の基板検査装置１では、各検査対象基板１０における所定の検査対象パターンについての検査結果データＤ２を記憶部６に記憶させ、その検査結果データＤ２に基づいて、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が規定数以上（この例では、１０枚以上）の検査対象基板１０において連続して他の判定範囲Ａに含まれているときに、所定のメッセージを表示させる構成を採用しているが、本発明はこれに限定されず、基板検査装置１においては、検査結果データＤ２を記憶部６に記憶させるだけで、この検査結果データＤ２に基づいて、外部装置（例えば、管理用のパーソナルコンピュータ）が、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が規定数以上の検査対象基板１０において連続して他の判定範囲Ａに含まれているか否かを判別して、上記の所定のメッセージを表示させる構成を採用することができる（基板検査装置１および外部装置によって本発明に係る「基板検査装置」を構成する例）。

このような構成を採用した場合においても、基板検査装置１によって生成された検査結果データＤ２に「測定データＤ１がいずれかの判定範囲Ａに含まれたかを特定可能なデータ」が含まれているため、上記の例と同様にして、そのデータで特定される判定範囲Ａを確認するだけで、各測定値を比較する煩雑な作業を行うことなく、検査対象パターンについての測定データＤ１が、正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ２（第１の不良判定範囲）寄りの値、および正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ３（第２の不良判定範囲）寄りの値のいずれであるかを具体的かつ容易に把握させることができる。したがって、この基板検査装置１によれば、複数枚の検査対象基板１０の検査に際して、所定の検査対象パターンについての測定データＤ１が、正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ２寄りの値から不良判定範囲Ａ３寄りの値に変化したとき、または、正常判定範囲Ａ１の範囲内における不良判定範囲Ａ３寄りの値から不良判定範囲Ａ２寄りの値に変化したときに、その推移を具体的かつ容易に把握させることができるため、把握した内容に応じて、不良の検査対象基板が製造される可能性のあるときには、その製造現場（製造管理者）に対して迅速にフィードバックすることができる。これにより、不良の導体パターン（検査対象パターン）を有する不良の検査対象基板１０が製造される事態を回避することができる。

基板検査装置１の構成を示すブロック図である。 各検査対象基板１０毎の所定の検査対象パターンについての測定データＤ１の分布の一例について説明するための説明図である。 検査結果データＤ２の一例について説明するための説明図である。

符号の説明

１ 基板検査装置
２ 測定部
５ 処理部
６ 記憶部
１０ 検査対象基板
Ａ１ 正常判定範囲
Ａ２，Ａ３ 不良判定範囲
Ａ１０，Ａ１１Ｕ，Ａ１２Ｕ，Ａ１１Ｌ，Ａ１２Ｌ，Ａ２１，Ａ２２，Ａ３１，Ａ３２ 判定範囲
Ｄ０ 検査用基準データ
Ｄ１ 測定データ
Ｄ２ 検査結果データ
Ｒ１，Ｒ２・・ 抵抗値

Claims (3)

1. 検査対象基板に形成された検査対象パターンについての電気的パラメータを測定して測定データを生成する測定部と、検査用基準データを記憶する記憶部と、前記測定データおよび前記検査用基準データに基づいて前記検査対象パターンの良否を判定して検査結果データを生成する処理部とを備えた基板検査装置であって、
   前記記憶部は、前記検査用基準データとして、正常判定範囲を区分けした２以上の第１の判定範囲、前記正常判定範囲の上限値を超える第１の不良判定範囲、および前記正常判定範囲の下限値を下回る第２の不良判定範囲の各範囲データを記憶し、
   前記処理部は、前記測定データが前記各第１の判定範囲のいずれかに含まれて前記検査対象パターンを正常と判定したときに、前記検査結果データとして、当該いずれかの第１の判定範囲を特定可能なデータを生成すると共に、複数枚の前記検査対象基板の検査時において、前記各第１の判定範囲のうちのいずれかに前記測定データが含まれていた所定の前記検査対象パターンについての当該測定データが規定数以上連続して他の前記第１の判定範囲に含まれているときに所定の報知処理を実行する基板検査装置。
2. 前記処理部は、前記測定データが前記第１の不良判定範囲および前記第２の不良判定範囲のいずれかの不良判定範囲に含まれて前記検査対象パターンを不良と判定したときに、前記検査結果データとして、当該いずれかの不良判定範囲を特定可能なデータを生成する請求項１記載の基板検査装置。
3. 前記記憶部は、前記検査用基準データとして、前記第１の不良判定範囲を区分けした２以上の第２の判定範囲、および前記第２の不良判定範囲を区分けした２以上の第３の判定範囲の各範囲データをさらに記憶し、
   前記処理部は、前記測定データが前記各第２の判定範囲および前記各第３の判定範囲のいずれかの判定範囲に含まれて前記検査対象パターンを不良と判定したときに、前記検査結果データとして、当該いずれかの判定範囲を特定可能なデータを生成する請求項２記載の基板検査装置。

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