JP6821458B2

JP6821458B2 - 検査用データ作成装置および検査用データ作成方法

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Publication number: JP6821458B2
Application number: JP2017020189A
Authority: JP
Inventors: 悟朗竹内
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2017-02-07
Filing date: 2017-02-07
Publication date: 2021-01-27
Anticipated expiration: 2037-02-07
Also published as: JP2018128297A

Description

本発明は、検査対象基板に形成された回路網を構成する複数の回路要素を検査するための個別検査用データを作成する検査用データ作成装置および検査用データ作成方法に関するものである。

この種の検査用データ作成装置として、本願出願人は、下記の特許文献１に開示された検査用データ作成装置を既に提案している。この検査用データ作成装置は、検査対象基板に形成された回路網を構成する複数の回路要素をこの回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの個別検査用データを作成する処理部を備えている。この検査用データ作成装置では、処理部は、複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、複数の回路要素のうちの１つの回路要素を検査対象（検査対象部品）として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、故障状態の回路網に対して上記の検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および正常時検査結果と故障時検査結果とが相違しているときの検査内容を、この検査対象を検査するときの個別検査用データとする個別検査データ作成処理（個別検査用データ作成処理）を実行する。

したがって、この検査用データ作成装置によれば、検査対象基板に内蔵されているなどの理由により、自らの両端に検査ポイントが設定されていない回路要素（検査対象部品）の個別検査用データについても、個別検査用データの自動での作成率を十分に高めることが可能である。このため、この個別検査用データに基づく検査対象基板についての検査カバー率を十分に向上させることが可能となっている。

また、実際の検査対象基板に形成された回路網の回路要素（検査対象を含むすべての回路要素）は、例え正常であったとしても、それぞれのパラメータ値（例えば、回路要素が抵抗のときには抵抗値、コンデンサのときには容量値など）がそれぞれの製品仕様で規定された許容範囲内でばらつくことがある。

しかしながら、この検査用データ作成装置では、シミュレーションで求めた故障時検査結果と比較する正常時検査結果について、シミュレーションで求めた正常時検査結果そのものとするのではなく、この正常時検査結果に予め規定された値を加算して上限値を求めると共に、この予め規定された値を減算して下限値を求め、この求めた上限値以下で、かつ下限値以上の範囲を故障時検査結果と比較する正常時検査結果としている。これにより、この検査用データ作成装置では、シミュレーションで求めた故障時検査結果がシミュレーションで求めた正常時検査結果に対して予め規定された値を超えて相違する（つまり、正常時検査結果の上限値より大きかったり、正常時検査結果の下限値より小さかったりする）検査内容だけを、検査対象（回路要素）の故障を検出し得る個別検査用データとして作成する。

したがって、このようにしてこの検査用データ作成装置で作成した個別検査用データを実際の検査対象基板に対する検査を実行する基板検査装置に使用することにより、検査対象とする回路要素が故障しているときに、この検査対象が故障しているとの検査結果を十分に高い精度で得ることが可能となっている。

特開２０１６−１７３３５４号公報（第１１−２０頁、第１−５図）

ところが、上記の検査用データ作成装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。すなわち、この検査用データ作成装置では、相違するか否かの判定基準値としての上記の上限値や下限値を求める際の「予め規定された値」については、基板検査装置を使用する作業者が経験則に基づいて妥当な値を決定して使用するのが一般的である。このため、この検査用データ作成装置には、基板検査装置を使用する経験の浅い作業者にとって「予め規定された値」として妥当な値を決定するのが難しく、この結果、妥当な個別検査用データを作成することも容易ではないという改善すべき課題が存在している。

本発明は、かかる課題を改善するためになされたものであり、妥当な個別検査用データを容易に作成し得る検査用データ作成装置および検査用データ作成方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査用データ作成装置は、検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する処理部を備え、前記処理部が、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、前記複数の回路要素のうちの１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する検査用データ作成装置であって、前記処理部は、良品の前記検査対象基板の前記回路網に対して前記検査内容で実際に検査して得られた良品実測結果と前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果との第１差分値に基づいて判定基準値を算出する判定基準値算出処理を実行し、前記個別検査用データ作成処理において、前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果と前記故障時シミュレーション処理で求めた前記故障時検査結果との第２差分値を前記判定基準値と比較して、当該第２差分値が前記判定基準値を上回っているときに前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違していると判別して、このときの前記検査内容を前記個別検査用データとする。

請求項２記載の検査用データ作成方法は、検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する際に、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、前記複数の回路要素のうちの１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する検査用データ作成方法であって、良品の前記検査対象基板の前記回路網に対して前記検査内容で実際に検査して得られた良品実測結果と前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果との第１差分値に基づいて判定基準値を算出する判定基準値算出処理を実行し、前記個別検査用データ作成処理において、前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果と前記故障時シミュレーション処理で求めた前記故障時検査結果との第２差分値を前記判定基準値と比較して、当該第２差分値が前記判定基準値を上回っているときに前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違していると判別して、このときの前記検査内容を前記個別検査用データとする。

請求項１記載の検査用データ作成装置および請求項２記載の検査用データ作成方法では、良品の検査対象基板の回路網に対して１つの検査内容で実際に検査して得られた良品実測結果とこの検査内容での正常時シミュレーション処理で求めた正常時検査結果との第１差分値に基づいて判定基準値を算出する判定基準値算出処理を実行し、個別検査用データ作成処理において、上記の検査内容での正常時シミュレーション処理で求めた正常時検査結果とこの検査内容での故障時シミュレーション処理で求めた故障時検査結果との第２差分値を判定基準値と比較して、第２差分値が判定基準値を上回っているときに正常時検査結果と故障時検査結果とが相違していると判別して、この検査内容を個別検査用データとする。

したがって、この検査用データ作成装置および検査用データ作成方法によれば、正常時検査結果と故障時検査結果が相違するか否かの判定基準値としての上限値や下限値を求める際の「予め規定された値」を作業者の経験則に基づいて決定していた従来の検査用データ作成装置や検査用データ作成方法とは異なり、経験則によらずに求めることができる良品実測結果に基づいて判定基準値を決定することができる結果、基板検査装置を使用する経験の浅い作業者であっても、妥当な個別検査用データを容易に作成することができる。

検査用データ作成装置１１の構成図である。検査用データ作成装置１１の動作（検査用データ作成方法）を説明するための説明図である。検査用データ作成装置１１の動作（検査用データ作成方法）を説明するための検査用データ作成処理８０についてのフローチャートである。

以下、検査用データ作成装置および検査用データ作成方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

まず、検査用データ作成装置の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す検査用データ作成装置としての検査用データ作成装置１１は、一例として、入力部１２、処理部１３、記憶部１４および出力部１５を備え、入力部１２から入力される設計データ（検査対象基板となる回路基板についての設計データ）Ｄｄｅ、この回路基板に対する検査を実行する基板検査装置の仕様データＤｓｐ、および検査対象基板についての良品から予め取得した良品実測結果ＲＥｍに基づいて、検査対象基板に含まれている複数の回路網のそれぞれを構成する回路要素（例えば、抵抗やコンデンサやコイルやＩＣなどの個々の電子部品）を個別に検査する際に基板検査装置で使用される個別検査用データＤｔｅをシミュレーションで自動的に作成可能に構成されている。

なお、この設計データＤｄｅには、基板検査装置の検査対象となる回路基板（検査対象基板）に実装されるすべての電子部品の仕様を示す情報、電子部品同士を接続する導体パターンの形状を示す情報、導体パターンにおけるすべての電子部品の実装位置を示す情報、および回路要素の検査のために回路網毎に回路基板の表面に位置する導体パターン上の所定の位置に予め設けられた検査ポイントの位置を示す情報などが含まれているものとする。

また、この個別検査用データＤｔｅを使用する基板検査装置は、複数のプローブ、プローブ移動機構、種々の電気信号を生成可能な信号生成部および電気信号を測定する測定部を有して、プローブのうちの任意のプローブを出力プローブとして機能させることで検査のための電気信号（電圧や電流）をこの出力プローブを介して回路網の検査ポイントに出力する機能、プローブのうちの他の任意のプローブを入力プローブとして機能させることで上記の電気信号の回路網への出力に起因してこの回路網の検査ポイントに発生する電気信号をこの入力プローブを介して入力する機能、および入力プローブを介して入力した電気信号に基づいて（またはこの入力した電気信号および上記の出力した電気信号の双方に基づいて）回路網についてのパラメータを測定する機能を備えている。

また、この基板検査装置は、検査用データ作成装置１１で作成された個別検査用データＤｔｅに基づいて上記の各機能を発揮させることで、回路網毎に設けられた複数の検査ポイントのうちの個別検査用データＤｔｅで示された検査ポイントを使用して、１または２以上の検査機能ｆｃのうちの個別検査用データＤｔｅで示された検査機能ｆｃで回路網（回路網に含まれている回路要素）を検査することが可能に構成されている。

これらの検査機能ｆｃの一例として、この基板検査装置は、回路網に設けられた一対の検査ポイント間のインピーダンスまたは抵抗値（本例では一例としてインピーダンス）を測定して、この回路網に含まれる回路要素（検査対象）を検査するインピーダンス検査機能、回路網に設けられた一対の検査ポイント間に電圧を印加すると共にこの電圧の印加時に、この一対の検査ポイント間に生じる電流（電流値や電流波形）や、回路網に設けられた他の一対の検査ポイント間に生じる電圧（電圧値や電圧波形）または電流（電流値や電流波形）を測定することで、この回路網に含まれている回路要素を検査する電圧検査（電圧印加検査）機能、および回路網に設けられた一対の検査ポイント間に電流を印加すると共にこの電流の印加時に、この一対の検査ポイント間に生じる電圧（電圧値や電圧波形）や、回路網に設けられた他の一対の検査ポイント間に生じる電圧（電圧値や電圧波形）または電流（電流値や電流波形）を測定することで、この回路網に含まれている回路要素を検査する電流検査（電流印加検査）機能を備えているものとする。したがって、検査用データ作成装置１１が入力する上記の基板検査装置についての仕様データＤｓｐには、基板検査装置が有するこのような検査機能ｆｃを示す情報が含まれると共に、回路要素を検査する際の回路網（この回路要素を含む規定の回路網）を示す情報が各回路要素に対応させて含まれているものとする。

また、良品実測結果ＲＥｍは、検査対象基板とする回路基板の良品を基板検査装置を用いて実際に検査することにより、具体的には、回路基板に存在する複数の回路網（正常回路網）のうちの検査対象とする回路要素を含むすべての回路網に対して、複数の検査機能ｆｃのうちの１つの検査機能ｆｃで、かつこの回路網内に存在する複数の検査ポイントのうちのこの１つの検査機能ｆｃに対応する検査ポイントにこの１つの検査機能ｆｃに対応する種類のプローブ（出力プローブおよび入力プローブのいずれか）を接触させて測定することを、検査機能ｆｃを変更しつつ実行することで検査内容毎に取得されるもの（実測結果）であり、予め取得されているものとする。この場合、この検査内容とは、このように基板検査装置が所定の回路網を構成する検査対象の回路要素を検査する際に、各検査機能ｆｃのうちのどの検査機能ｆｃを使用し、この検査機能ｆｃに対応して各プローブのうちのどれを出力プローブおよび入力プローブとして機能させ、かつこのように機能させる出力プローブおよび入力プローブをどの検査ポイントに接触させるのか、といった検査に関する検査条件を示す。

入力部１２は、一例として、外部インターフェース回路を備えて構成されて、外部装置から送信された設計データＤｄｅ、仕様データＤｓｐおよび良品実測結果ＲＥｍを受信して、処理部１３に出力する。

処理部１３は、一例として、コンピュータで構成されて、記憶部１４に記憶されている動作プログラムを読み出して実行することにより、入力部１２から出力される設計データＤｄｅ、仕様データＤｓｐおよび良品実測結果ＲＥｍを入力して記憶部１４に記憶させる記憶処理、記憶部１４に記憶されている設計データＤｄｅ、仕様データＤｓｐおよび良品実測結果ＲＥｍに基づいて個別検査用データＤｔｅをシミュレーションで作成する検査用データ作成処理８０（図３参照）、並びに作成した個別検査用データＤｔｅを出力部１５に出力する出力処理を実行する。

記憶部１４は、一例として、ＨＤＤ（Hard Disk Drive ）や、ＲＡＭなどの半導体メモリなどで構成されている。また、記憶部１４には、処理部１３の動作プログラム（処理部１３に検査用データ作成処理８０を実行させるためのプログラムを含む）が予め記憶されると共に、設計データＤｄｅ、仕様データＤｓｐ、良品実測結果ＲＥｍおよび個別検査用データＤｔｅなどが記憶される。出力部１５は、一例として、外部インターフェース回路を備えて構成されて、処理部１３から出力される個別検査用データＤｔｅを入力すると共に、外部インターフェース回路に接続されている外部装置にこの個別検査用データＤｔｅを出力する。この個別検査用データＤｔｅは、基板検査装置が回路網を構成する検査対象の回路要素を検査する際の上記の検査内容を規定（特定）するものである。

次に、検査用データ作成装置１１の動作と共に、検査用データ作成方法について図面を参照して説明する。

検査用データ作成装置１１では、処理部１３が、図３に示す検査用データ作成処理８０を実行することにより、検査対象基板に実装されている回路要素のうちの検査対象となる回路要素（特定回路要素ともいう）を基板検査装置で検査する際の個別検査用データＤｔｅを自動的に作成するが、まず、この検査用データ作成処理８０（検査用データ作成方法）の基本的な原理について説明する。

この検査用データ作成方法では、１つの検査内容でのシミュレーション（検査シミュレーション）を、特定回路要素を含む１つの回路網（特定回路網ともいう）を構成するすべての回路要素が正常（回路要素のパラメータ値がカタログなどの仕様書に記載の公称値である状態）であるこの回路網（正常回路網ともいう）に対してこの正常回路網のネットリスト（正常回路ネットリスト）を使用して実行して（正常時シミュレーション処理を実行して）、シミュレーション結果（正常時検査結果）を求める。また、同じ検査内容でのシミュレーションを、この特定回路網を構成する回路要素のうちのいずれか１つのみを故障状態としたこの回路網（故障回路網ともいう）に対してこの故障回路網のネットリスト（故障回路ネットリスト）を使用して実行すること（故障時シミュレーション処理の実行）を、故障状態とする回路要素を変えながらすべての故障回路網に対して実行して（故障時シミュレーション処理を実行して）、このすべての故障回路網についてのシミュレーション結果（故障時検査結果）を求める。

そして、このようにして求めた検査内容毎の故障時検査結果の中に、同じ検査内容での正常時検査結果と相違するものが１つだけ存在している検査内容が存在しているときには、基板検査装置でこの１つの検査内容で規定される検査を特定回路網に対して実行することで、この１つの故障時検査結果が得られた故障回路網において故障状態とした１つの回路要素（特定回路要素）が正常であるか故障しているかを検査することができる。このことから、この１つの検査内容を、この特定回路網のこの１つの特定回路要素を基板検査装置で検査する際の個別検査用データＤｔｅとすることができる、という論理に基づいている。

検査用データ作成処理８０では、処理部１３は、まず、部品選択処理を実行する（ステップ８１）。この部品選択処理では、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている設計データＤｄｅに基づいて、検査対象基板に実装される回路要素のうちの検査対象とする特定回路要素（以下、検査対象部品ｏｂともいう）を１つ選択する。なお、この例では、理解を容易にするため、回路要素Ａ，Ｂ，Ｃだけで構成される回路網（特定回路網）のうちの回路要素Ａが検査対象部品ｏｂとして選択されたものとする。

次いで、処理部１３は、正常ネットリスト作成処理を実行する（ステップ８２）。この正常ネットリスト作成処理では、処理部１３は、ステップ８１において選択した検査対象部品ｏｂを含む特定回路網についての正常回路網のネットリストを正常回路ネットリストＮＥｎｏとして作成すると共に、検査対象部品ｏｂに対応させて記憶部１４に記憶させる。この場合、正常回路網とは、検査対象部品ｏｂを含む回路網に含まれる回路要素（本例では、回路要素Ａ，Ｂ，Ｃ）がすべて正常であるときの回路網をいうものとする。また、作成した正常回路ネットリストＮＥｎｏには、検査対象部品ｏｂを検査する際に使用する検査ポイントの情報（例えば、番号名）が含まれているものとする。

続いて、処理部１３は、故障ネットリスト作成処理を実行する（ステップ８３）。この故障ネットリスト作成処理では、処理部１３は、ステップ８２において作成した正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいて、特定回路網に含まれている回路要素Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれを単独で故障状態としたときの回路網を故障回路網として、この故障回路網のネットリストを故障回路ネットリストＮＥａｂとして作成すると共に、検査対象部品ｏｂに対応させて記憶部１４に記憶させる。

これにより本例では、処理部１３は、回路要素Ａだけを故障状態（つまり、残りの回路要素Ｂ，Ｃは正常）としたときの故障回路網のネットリストである故障回路ネットリストＮＥａｂＡ、回路要素Ｂだけを故障状態としたときの故障回路網のネットリストである故障回路ネットリストＮＥａｂＢ、および回路要素Ｃだけを故障状態としたときの故障回路網のネットリストである故障回路ネットリストＮＥａｂＣを作成する（図２参照）と共に、検査対象部品ｏｂに対応させて記憶部１４に記憶させる。この場合、故障回路ネットリストＮＥａｂＡ，ＮＥａｂＢ，ＮＥａｂＣ（以下、特に区別しないときには故障回路ネットリストＮＥａｂともいう）にも、検査対象部品ｏｂを検査する際に使用する検査ポイントの情報が含まれている。また、例えば、回路要素についての上記の故障状態とは、断線、短絡および定数間違いなどの種々の故障状態が考えられる。

次いで、処理部１３は、正常時シミュレーション処理を実行する（ステップ８４）。この正常時シミュレーション処理では、処理部１３は、ステップ８２において作成した正常回路網の正常回路ネットリストＮＥｎｏを用いて、この正常回路網に対して、検査内容１，２，３で示される各検査を順次、シミュレーションで実行することにより、検査内容１で検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ１、検査内容２で検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ２、および検査内容３で検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ３（以下、正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２，ＲＥｎｏ３を特に区別しないときには、正常時検査結果ＲＥｎｏともいう）をそれぞれ求めて（図２参照）、記憶部１４に記憶させる。

続いて、処理部１３は、故障時シミュレーション処理を実行する（ステップ８５）。この故障時シミュレーション処理では、処理部１３は、ステップ８３において作成したすべての故障回路網に対して、故障回路網に対応する故障回路ネットリストＮＥａｂを用いて検査内容１，２，３で示される各検査を順次、シミュレーションで実行することにより、各故障回路網についての検査内容１，２，３毎の故障時検査結果ＲＥａｂを求めて記憶部１４に記憶させる。

これにより本例では、処理部１３は、回路要素Ａだけが故障状態である故障回路網（故障回路ネットリストＮＥａｂＡで示される回路網）を検査内容１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＡ１、この同じ故障回路網を検査内容２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＡ２、およびこの同じ故障回路網を検査内容３で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＡ３（以下、故障時検査結果ＲＥａｂＡ１，ＲＥａｂＡ２，ＲＥａｂＡ３を特に区別しないときには、故障時検査結果ＲＥａｂＡともいう）をそれぞれ求めて（図２参照）、記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、回路要素Ｂだけが故障状態である故障回路網（故障回路ネットリストＮＥａｂＢで示される回路網）を検査内容１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＢ１、この同じ故障回路網を検査内容２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＢ２、およびこの同じ故障回路網を検査内容３で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＢ３（以下、故障時検査結果ＲＥａｂＢ１，ＲＥａｂＢ２，ＲＥａｂＢ３を特に区別しないときには、故障時検査結果ＲＥａｂＢともいう）をそれぞれ求めて（図２参照）、記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、回路要素Ｃだけが故障状態である故障回路網（故障回路ネットリストＮＥａｂＣで示される回路網）を検査内容１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＣ１、この同じ故障回路網を検査内容２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＣ２、およびこの同じ故障回路網を検査内容３で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂＣ３（以下、故障時検査結果ＲＥａｂＣ１，ＲＥａｂＣ２，ＲＥａｂＣ３を特に区別しないときには、故障時検査結果ＲＥａｂＣともいう）をそれぞれ求めて（図２参照）、記憶部１４に記憶させる。

次いで、処理部１３は、判定基準値算出処理を実行する（ステップ８６）。この判定基準値算出処理では、処理部１３は、後述の個別検査データ作成処理（ステップ８７）において、検査内容毎に、正常時検査結果ＲＥｎｏに対して、各故障時検査結果ＲＥａｂＡ，ＲＥａｂＢ，ＲＥａｂＣが相違しているか否かを判定するための判定基準値ＳＴを算出して記憶部１４に記憶させる。

本例では、処理部１３は、検査内容１については、記憶部１４に記憶されている良品実測結果ＲＥｍの中から、この特定回路網に対して同じ検査内容１で基板検査装置が実際に行った検査において実測された良品実測結果ＲＥｍ１を読み出すと共に、この良品実測結果ＲＥｍ１と正常時検査結果ＲＥｎｏ１との第１差分値Ｘ１（＝｜ＲＥｎｏ１−ＲＥｍ１｜）に基づいて判定基準値ＳＴ１を算出する。また、処理部１３は、検査内容２，３についても上記した検査内容１のときと同様にして、記憶部１４に記憶されている良品実測結果ＲＥｍの中から、この特定回路網に対して同じ検査内容２，３で基板検査装置が実際に行った検査において実測された良品実測結果ＲＥｍ２，３を読み出すと共に、この良品実測結果ＲＥｍ２と正常時検査結果ＲＥｎｏ２との第１差分値Ｘ２（＝｜ＲＥｎｏ２−ＲＥｍ２｜）に基づいて判定基準値ＳＴ２を算出すると共に、この良品実測結果ＲＥｍ３と正常時検査結果ＲＥｎｏ３との第１差分値Ｘ３（＝｜ＲＥｎｏ３−ＲＥｍ３｜）に基づいて判定基準値ＳＴ３を算出する。また、処理部１３は、算出した各判定基準値ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３（以下、特に区別しないときには、判定基準値ＳＴともいう）を記憶部１４に記憶させる。本例では一例として、処理部１３は、第１差分値Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３（以下、特に区別しないときには、第１差分値Ｘともいう）自体をそれぞれ判定基準値ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３として算出するものとする。

次いで、処理部１３は、個別検査データ作成処理を実行する（ステップ８７）。この個別検査データ作成処理では、処理部１３は、検査内容１，２，３毎に、正常時検査結果ＲＥｎｏに対して、各故障時検査結果ＲＥａｂＡ，ＲＥａｂＢ，ＲＥａｂＣが相違しているか否かを判定基準値ＳＴ１，２，３を用いて判定する。

具体的には、処理部１３は、検査内容１については、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と故障時検査結果ＲＥａｂＡ１との第２差分値ＸＡ１（＝｜ＲＥｎｏ１−ＲＥａｂＡ１｜）、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と故障時検査結果ＲＥａｂＢ１との第２差分値ＸＢ１（＝｜ＲＥｎｏ１−ＲＥａｂＢ１｜）、および正常時検査結果ＲＥｎｏ１と故障時検査結果ＲＥａｂＣ１との第２差分値ＸＣ１（＝｜ＲＥｎｏ１−ＲＥａｂＣ１｜）を算出する。次いで、各第２差分値ＸＡ１，ＸＢ１，ＸＣ１と、判定基準値ＳＴ１（この例では第１差分値Ｘ１）とを比較して、判定基準値ＳＴ１を上回る第２差分値が算出された故障時検査結果ＲＥａｂについては、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違していると判別し、一方、判定基準値ＳＴ１以下の第２差分値が算出された故障時検査結果ＲＥａｂについては、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違していないと判別する。

処理部１３は、同様にして、検査内容２についても、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と故障時検査結果ＲＥａｂＡ２との第２差分値ＸＡ２（＝｜ＲＥｎｏ２−ＲＥａｂＡ２｜）、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と故障時検査結果ＲＥａｂＢ２との第２差分値ＸＢ２（＝｜ＲＥｎｏ２−ＲＥａｂＢ２｜）、および正常時検査結果ＲＥｎｏ２と故障時検査結果ＲＥａｂＣ２との第２差分値ＸＣ２（＝｜ＲＥｎｏ２−ＲＥａｂＣ２｜）を算出する。次いで、各第２差分値ＸＡ２，ＸＢ２，ＸＣ２と、判定基準値ＳＴ２（この例では第１差分値Ｘ２）とを比較して、判定基準値ＳＴ２を上回る第２差分値が算出された故障時検査結果ＲＥａｂについては、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違していると判別し、一方、判定基準値ＳＴ２以下の第２差分値が算出された故障時検査結果ＲＥａｂについては、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違していないと判別する。

また、処理部１３は、検査内容３についても、正常時検査結果ＲＥｎｏ３と故障時検査結果ＲＥａｂＡ３との第２差分値ＸＡ３（＝｜ＲＥｎｏ３−ＲＥａｂＡ３｜）、正常時検査結果ＲＥｎｏ３と故障時検査結果ＲＥａｂＢ３との第２差分値ＸＢ３（＝｜ＲＥｎｏ３−ＲＥａｂＢ３｜）、および正常時検査結果ＲＥｎｏ３と故障時検査結果ＲＥａｂＣ３との第２差分値ＸＣ３（＝｜ＲＥｎｏ３−ＲＥａｂＣ３｜）を算出する。次いで、各第２差分値ＸＡ３，ＸＢ３，ＸＣ３と、判定基準値ＳＴ３（この例では第１差分値Ｘ３）とを比較して、判定基準値ＳＴ３を上回る第２差分値が算出された故障時検査結果ＲＥａｂについては、正常時検査結果ＲＥｎｏ３と相違していると判別し、一方、判定基準値ＳＴ３以下の第２差分値が算出された故障時検査結果ＲＥａｂについては、正常時検査結果ＲＥｎｏ３と相違していないと判別する。以下、第２差分値ＸＡ１，ＸＡ２，ＸＡ３について特に区別しないときには、第２差分値ＸＡともいい、また第２差分値ＸＢ１，ＸＢ２，ＸＢ３について特に区別しないときには、第２差分値ＸＢともいい、第２差分値ＸＣ１，ＸＣ２，ＸＣ３について特に区別しないときには、第２差分値ＸＣともいうものとする。

上記の判別の結果、図２に示すように、検査内容１でのシミュレーション結果では、□マークを付した故障時検査結果ＲＥａｂＡ１のみが正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違し、検査内容２でのシミュレーション結果では、故障時検査結果ＲＥａｂＡ２,ＲＥａｂＢ２,ＲＥａｂＣ２のいずれも正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違しておらず、検査内容３でのシミュレーション結果では、□マークを付した故障時検査結果ＲＥａｂＡ３,ＲＥａｂＢ３の２つが正常時検査結果ＲＥｎｏ３と相違している状態となったとする。

この場合、検査内容１は、検査対象部品ｏｂとして選択された回路要素Ａのみが故障しているか否かをシミュレーションによって検出することができるものとなっている。このことから、処理部１３は、この回路要素Ａが正常であるか故障しているかを基板検査装置で検査する際の個別検査用データＤｔｅとしてこの検査内容１を選択して記憶部１４に記憶させる。一方、検査内容２でのシミュレーションでは回路要素Ａ，Ｂ，Ｃのいずれの故障状態についても検出することができないことから、処理部１３は、検査内容２については、個別検査用データＤｔｅとして使用しないものとする。また、検査内容３でのシミュレーションでは、回路要素Ａ，Ｂのいずれかが故障している状態を検出することはできるものの、回路要素Ａ，Ｂのいずれが故障しているかを特定することができないことから、処理部１３は、検査内容３については、個別検査用データＤｔｅとして使用しないものとする。

したがって、この例では、このステップ８７での個別検査データ作成処理の実行により、検査対象部品ｏｂとして選択された回路要素Ａの個別検査用データＤｔｅとして、検査内容１が記憶部１４に記憶される。なお、上記の例において、仮に、検査内容１においても、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違する故障時検査結果ＲＥａｂが存在しないときには、処理部１３は、検査対象部品ｏｂとして選択された回路要素Ａの個別検査用データＤｔｅは作成できない旨を記憶部１４に記憶させる。

続いて、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている設計データＤｄｅに基づいて、検査対象基板に実装される回路要素のうちの検査対象とするすべての回路要素（検査対象部品ｏｂ）について、ステップ８２〜ステップ８７の各処理を実行したか否かを判別し（ステップ８８）、すべての検査対象部品ｏｂに対するこれらの処理の実行が完了していないときには、上記したステップ８１に戻って、ステップ８１〜ステップ８７を繰り返す。これにより、検査用データ作成装置１１は、検査対象基板に存在しているすべての検査対象部品ｏｂのうちの多くの検査対象部品ｏｂについての個別検査用データＤｔｅをシミュレーションで作成する。また、処理部１３は、すべての検査対象部品ｏｂに対するステップ８２〜ステップ８７の各処理の実行が完了したときには、検査用データ作成処理８０を完了させる。最後に、処理部１３は、出力処理を実行して、検査用データ作成処理８０で作成して記憶部１４に記憶させている各検査対象部品ｏｂについての個別検査用データＤｔｅを読み出して出力部１５に出力する。

このように、この検査用データ作成装置１１および検査用データ作成方法では、ステップ８７での個別検査データ作成処理において、検査内容１，２，３毎に、正常時検査結果ＲＥｎｏに対して、各故障時検査結果ＲＥａｂＡ，ＲＥａｂＢ，ＲＥａｂＣが相違しているか否かを判定する際に、検査対象基板についての良品から予め取得した良品実測結果ＲＥｍに基づいてステップ８６での判定基準値算出処理で算出した判定基準値ＳＴを利用して判定する。

したがって、この検査用データ作成装置１１および検査用データ作成方法によれば、相違するか否かの判定基準値としての上限値や下限値を求める際の「予め規定された値」を作業者の経験則に基づいて決定していた従来の検査用データ作成装置や検査用データ作成方法とは異なり、経験則によらずに求めることができる良品実測結果ＲＥｍに基づいて判定基準値ＳＴを決定することができる結果、基板検査装置を使用する経験の浅い作業者であっても、妥当な個別検査用データＤｔｅを容易に作成することができる。

なお、上記の検査用データ作成装置１１および検査用データ作成方法では、ステップ８６での判定基準値ＳＴの算出において、良品実測結果ＲＥｍと正常時検査結果ＲＥｎｏとの第１差分値Ｘ自体を判定基準値ＳＴとして算出して、ステップ８７での個別検査データ作成処理において、この判定基準値ＳＴと、正常時検査結果ＲＥｎｏと各故障時検査結果ＲＥａｂＡ，ＲＥａｂＢ，ＲＥａｂＣとの第２差分値ＸＡ，ＸＢ，ＸＣとを比較する構成を採用しているが、これに限定されるものではない。例えば、ステップ８６での判定基準値ＳＴの算出において、良品実測結果ＲＥｍと正常時検査結果ＲＥｎｏとの第１差分値Ｘに基づいて、具体的には第１差分値Ｘについての正常時検査結果ＲＥｎｏに対する比率の絶対値を算出して判定基準値ＳＴとし、ステップ８７での個別検査データ作成処理において、第２差分値ＸＡ，ＸＢ，ＸＣに基づいて、具体的には第２差分値ＸＡ，ＸＢ，ＸＣについての正常時検査結果ＲＥｎｏに対する比率の絶対値を算出して、この算出した比率の絶対値を上記のようにして算出した比率の絶対値で構成される判定基準値ＳＴと比較する構成を採用することもできる。

１１検査用データ作成装置
８０検査用データ作成処理
８１部品選択処理
８２正常ネットリスト作成処理
８３故障ネットリスト作成処理
８４正常時シミュレーション処理
８５故障時シミュレーション処理
８６判定基準値算出処理
８７個別検査データ作成処理

Claims

検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する処理部を備え、
前記処理部が、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、前記複数の回路要素のうちの１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する検査用データ作成装置であって、
前記処理部は、良品の前記検査対象基板の前記回路網に対して前記検査内容で実際に検査して得られた良品実測結果と前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果との第１差分値に基づいて判定基準値を算出する判定基準値算出処理を実行し、
前記個別検査用データ作成処理において、前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果と前記故障時シミュレーション処理で求めた前記故障時検査結果との第２差分値を前記判定基準値と比較して、当該第２差分値が前記判定基準値を上回っているときに前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違していると判別して、このときの前記検査内容を前記個別検査用データとする検査用データ作成装置。
検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する際に、
前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、
前記複数の回路要素のうちの１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、
および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する検査用データ作成方法であって、
良品の前記検査対象基板の前記回路網に対して前記検査内容で実際に検査して得られた良品実測結果と前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果との第１差分値に基づいて判定基準値を算出する判定基準値算出処理を実行し、
前記個別検査用データ作成処理において、前記正常時シミュレーション処理で求めた前記正常時検査結果と前記故障時シミュレーション処理で求めた前記故障時検査結果との第２差分値を前記判定基準値と比較して、当該第２差分値が前記判定基準値を上回っているときに前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違していると判別して、このときの前記検査内容を前記個別検査用データとする検査用データ作成方法。