JP2019113523A - 測定装置および測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品の被測定量の測定精度を向上させる。【解決手段】電流供給部１３ａ，１３ｂと電圧検出部１４ａ，１４ｂと処理部１５とを備え、処理部１５は、チップ抵抗１００の本体部の一端部に設けられた端子における本体部の一端部と他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する２つの第１供給位置にそれぞれ接続された第１出力端子７１ａ，７１ｂ、および本体部の他端部に設けられた端子における第２方向に沿って互いに離間する２つの第２供給位置にそれぞれ接続された第２出力端子７２ａ，７２ｂを介して各電流供給部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ供給される各測定用電流Ｉの各電流値と、電圧検出部１４ａ，１４ｂによって検出された電圧値Ｖとに基づいて複数の抵抗値を測定し、各抵抗値を数値処理した処理値をチップ抵抗１００の抵抗値として算出する。【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品の被測定量を測定する測定装置および測定方法に関するものである。

電子部品の被測定量を正確に測定する測定方法として４端子法が従来から知られている。電子部品として、例えば、本体部（抵抗体）の両端部に端子が設けられた抵抗器の抵抗値を４端子法で測定する際には、２本の電流供給用プローブを両端子にそれぞれ接触させて電子部品に測定用電流を供給し、２本の電圧検出用プローブを両端子にそれぞれ接触させて両端子間（本体部の両端部間）の電圧を検出し、検出した電圧の電圧値に基づいて抵抗値を測定する。ここで、測定用電流が電子部品（本体部）内を均一に流れない（電流密度が均一でない）ときには、電子部品の抵抗値を正確に測定することが困難となる。このような課題を改善可能な技術として、下記特許文献１および下記特許文献２には、構造に特徴を有する抵抗器の抵抗値を測定する測定方法が開示されている。

下記特許文献１に開示の抵抗器（以下、「第１の抵抗器」ともいう）は、抵抗体と抵抗体の両端部にそれぞれ接続された第１の導体および第２の導体と、各導体にそれぞれ接続された電流パッド部と、各導体にそれぞれ接続された電圧パッド部とを備えて構成されている。また、この第１の抵抗器では、各導体に複数のスリットが設けられている。この場合、各スリットは、第１の導体から抵抗体を通って第２の導体に向かうＸ方向（電流通路の方向）に垂直なＹ方向（幅方向）に沿って各導体を貫通するように形成されている。この第１の抵抗器では、各導体にスリットを形成したことで、導体内をＸ方向に流れる電流がスリット間を縫って分流し、電流が抵抗体内を均一に流れる。このため、この第１の抵抗器の抵抗値を測定する測定方法では、抵抗値を正確に測定することが可能となっている。

また、下記特許文献２に開示の抵抗器（以下、「第２の抵抗器」ともいう）は、直方体状の抵抗合金材で形成された抵抗体と、抵抗体の両端部に固定された直方体状のＣｕ材で形成された一対の電極とを備えて構成されている。また、各電極には、幅狭部が設けられている。この第２の抵抗器では、各電極に幅狭部を設けたことで、電極を流れる電流が整流されて抵抗体において均一な電流分布を得ることができる。このため、この第２の抵抗器の抵抗値を測定する測定方法では、抵抗値を正確に測定することが可能となっている。

特開２００７−２２１００６号公報（第５頁、第１図） 特開２０１１−１８７５９号公報（第５頁、第１図）

ところが、上記の測定方法には、改善すべき以下の課題が存在する。具体的には、上記の測定方法では、測定対象の抵抗器が特殊な形状を有しているため、上記したように、抵抗体に電流を均一に流す（均一な電流分布を得る）ことができ、これによって抵抗値を正確に測定することが可能となっている。しかしながら、特殊な形状を有していない一般的な形状の抵抗器に上記の測定方法を適用しても、その抵抗器の抵抗値を正確に測定することは困難である。したがって、電子部品の形状に拘わらず、被測定量の測定精度を向上な技術の開発が望まれている。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、電子部品の被測定量の測定精度を向上し得る測定装置および測定方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、第１出力端子および第２出力端子を有すると共に、本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子にそれぞれ接続される前記第１出力端子および前記第２出力端子を介して前記電子部品に測定用電流を供給する複数の電流供給部と、第１検出端子および第２検出端子を有すると共に、前記電子部品に前記測定用電流が供給されている状態で前記第１端子および前記第２端子にそれぞれ接続される前記第１検出端子および前記第２検出端子を介して電圧を検出する電圧検出部と、前記電圧検出部によって検出された電圧の電圧値および前記測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、前記測定部は、前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置にそれぞれ接続された前記各第１出力端子、および前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置にそれぞれ接続された前記各第２出力端子を介して前記各電流供給部によってそれぞれ供給される各前記測定用電流の各前記電流値と、前記電圧検出部によって検出された前記電圧値とに基づいて複数の前記被測定量を測定し、当該各被測定量を数値処理した処理値を前記電子部品の前記被測定量として算出する。

また、請求項２記載の測定装置は、本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子に第１供給用プローブおよび第２供給用プローブをそれぞれ接触させると共に当該第１端子および当該第２端子に第１検出用プローブおよび第２検出用プローブをそれぞれ接触させるプロービング機構と、前記第１供給用プローブおよび前記第２供給用プローブを介して前記電子部品に測定用電流を供給する電流供給部と、第１検出端子および第２検出端子を有すると共に、前記電子部品に前記測定用電流が供給されている状態で前記第１検出端子に接続された前記第１検出用プローブおよび前記第２検出端子に接続された前記第２検出用プローブを介して電圧を検出する電圧検出部と、前記電圧検出部によって検出された電圧の電圧値および前記測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、前記測定用電流をそれぞれ出力する複数の前記電流供給部と、当該各電流供給部に１つずつ接続された複数の前記第１供給用プローブと、当該各電流供給部に１つずつ接続された複数の前記第２供給用プローブとを備え、前記プロービング機構は、前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置に前記各第１供給用プローブをそれぞれ接触させると共に、前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置に前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる。

また、請求項３記載の測定装置は、請求項２記載の測定装置において、前記プロービング機構は、隣接する前記各第１供給位置同士の間隔と隣接する前記各第２供給位置同士の間隔とが等しい当該各第１供給位置および当該各第２供給位置に前記各第１供給用プローブおよび前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる。

また、請求項４記載の測定装置は、請求項２または３記載の測定装置において、前記プロービング機構は、前記電子部品の中心部を対称点として点対称の位置関係にある前記各第１供給位置および前記各第２供給位置に前記各第１供給用プローブおよび前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる。

また、請求項５記載の測定装置は、請求項２から４のいずれかに記載の測定装置において、前記プロービング機構は、前記電子部品の中心部を通って前記第１方向に直交する直線を対称軸として線対称の位置関係にある前記各第１供給位置および前記各第２供給位置に前記各第１供給用プローブおよび前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる。

また、請求項６記載の測定装置は、請求項２から５のいずれかに記載の測定装置において、前記プロービング機構は、前記第１端子における前記第２方向の中心部に規定された第１検出位置に前記第１検出用プローブを接触させると共に、前記第２端子における前記第２方向の中心部に規定された第２検出位置に前記第２検出用プローブを接触させる。

また、請求項７記載の前記測定部は、請求項２から６のいずれかに記載の測定装置において、前記測定部は、前記各電流供給部によってそれぞれ供給される各前記測定用電流の各前記電流値と前記電圧検出部によって検出された前記電圧値とに基づいて複数の前記被測定量を測定し、当該各被測定量を数値処理した処理値を前記電子部品の前記被測定量として算出する。

また、請求項８記載の前記測定部は、請求項１または７記載の測定装置において、前記測定部は、前記被測定量をそれぞれ測定する測定回路を前記各電流供給部の数と同数備え、前記各測定回路のいずれか１つは、当該各測定回路によってそれぞれ測定された前記各被測定量を数値処理して前記処理値を算出する請求項１または７記載の測定装置。

また、請求項９記載の前記測定部は、請求項１または７記載の測定装置において、前記測定部は、前記被測定量をそれぞれ測定する測定回路を前記各電流供給部の数と同数備えると共に、当該各測定回路によってそれぞれ測定された各前記被測定量を数値処理して前記処理値を算出する演算回路を備えて構成されている。

また、請求項１０記載の前記測定部は、請求項８または９記載の測定装置において、前記各測定回路に１つずつ割り当てられた複数の前記電圧検出部を備え、前記各測定回路は、前記割り当てられた電圧検出部によって検出された前記電圧値に基づいて前記被測定量を測定する。

また、請求項１１記載の前記測定部は、請求項１０記載の測定装置において、前記各電圧検出部は、各々の前記第１検出端子同士が互いに短絡されると共に、各々の前記第２検出端子同士が互いに短絡されている。

また、請求項１２記載の測定装置は、請求項１から１１のいずれかに記載の測定装置において、前記各電流供給部は、電流値が互いに同等の前記測定用電流をそれぞれ出力する。

また、請求項１３記載の測定方法は、本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子に複数の電流供給部の各第１出力端子および各第２出力端子をそれぞれ接続させると共に、前記第１端子および前記第２端子に電圧検出部の第１検出端子および第２検出端子をそれぞれ接続させ、前記各第１出力端子および前記各第２出力端子を介して前記電子部品に前記各電流供給部から出力された前記測定用電流が供給されている状態で前記第１検出端子および前記第２検出端子を介して前記電圧検出部によって検出された電圧の電圧値および当該測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定方法であって、前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置に前記各第１出力端子をそれぞれ接続させると共に、前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置に前記各第２出力端子をそれぞれ接続させ、前記各第１出力端子および前記各第２出力端子を介して前記各電流供給部によってそれぞれ供給される各前記測定用電流の各前記電流値と、前記電圧検出部によって検出された前記電圧値とに基づいて複数の前記被測定量を測定し、当該各被測定量を数値処理した処理値を前記電子部品の前記被測定量として算出する。

また、請求項１４記載の測定方法は、本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子に第１供給用プローブおよび第２供給用プローブをそれぞれ接触させると共に当該第１端子および当該第２端子に第１検出用プローブおよび第２検出用プローブをそれぞれ接触させ、前記第１供給用プローブおよび前記第２供給用プローブを介して前記電子部品に測定用電流を供給している状態で前記第１検出用プローブおよび前記第２検出用プローブを介して電圧を検出し、当該検出した電圧の電圧値および前記測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定方法であって、前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置に、前記測定用電流をそれぞれ出力する複数の電流供給部に１つずつ接続した複数の前記第１供給用プローブをそれぞれ接触させると共に、前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置に、前記各電流供給部に１つずつ接続した複数の前記第２供給用プローブをそれぞれ接触させて前記被測定量を測定する。

請求項１記載の測定装置、および請求項１３記載の測定方法では、電子部品の第１端子における第２方向に沿って離間する複数の第１供給位置に複数の電流供給部の各第１出力端子をそれぞれ接続させると共に、電子部品の第２端子における第２方向に沿って離間する複数の第２供給位置に各電流供給部の各第２出力端子をそれぞれ接続させて複数の電流供給部によってそれぞれ出力された測定用電流を電子部品に供給させて電子部品の被測定量を測定する。したがって、この測定装置および測定方法では、１つの第１供給位置および１つの第２供給位置に１つの電流供給部の第１出力端子および第２出力端子をそれぞれ接続させて１つの電流供給部から出力された測定用電流を電子部品に供給させて電子部品の被測定量を測定する従来の構成および方法と比較して、第２方向における電位の勾配を全体として緩やかにすることができる。このため、この測定装置および測定方法によれば、電圧検出部の第１検出端子および第２検出端子を接続させる検出位置が、第１端子および第２端子の第２方向において位置ずれした（ばらついた）としても、その位置ずれによる電圧値の変化を少なく抑えることができる。したがって、この測定装置および測定方法によれば、第１検出端子および第２検出端子を接続させる検出位置の位置ずれによる被測定量のばらつきを少なく抑えることができる結果、測定精度を十分に向上させることができる。また、この測定装置および測定方法によれば、第１端子における第２方向に沿って離間する複数の第１供給位置および第２端子における第２方向に沿って離間する複数の第２供給位置に測定用電流を供給することにより、１つの第１供給位置および１つの第２供給位置に測定用電流を供給する従来の構成および方法と比較して、測定処理における測定用電流の供給状態を、電子部品を実際に使用するときの測定用電流の供給状態に近づけることができるため、実際の使用状態における電子部品の被測定量を正確に測定することができる。

また、請求項１記載の測定装置、および請求項１３記載の測定方法によれば、各電流供給部によってそれぞれ供給される各測定用電流の各電流値と電圧検出部によって検出された電圧値とに基づいて複数の被測定量を測定し、各被測定量を数値処理した処理値を電子部品の被測定量として算出することにより、例えば、各電流供給部によってそれぞれ供給される各測定用電流の各電流値に差が生じている場合においても、各電流値に基づいて測定した複数の被測定量を数値処理することで、電子部品の被測定量としての処理値を正確に算出することができる。

また、請求項２記載の測定装置、および請求項１４記載の測定方法では、電子部品の第１端子における第２方向に沿って離間する複数の第１供給位置に複数の第１供給用プローブを接触させると共に、電子部品の第２端子における第２方向に沿って離間する複数の第２供給位置に複数の第２供給用プローブを接触させて複数の電流供給部によってそれぞれ出力された測定用電流を電子部品に供給させて電子部品の被測定量を測定する。したがって、この測定装置および測定方法では、１つの第１供給位置および１つの第２供給位置に第１供給用プローブおよび第２供給用プローブを１つずつ接触させて１つの電流供給部から出力された測定用電流を電子部品に供給させて電子部品の被測定量を測定する従来の構成および方法と比較して、第２方向における電位の勾配を全体として緩やかにすることができる。このため、この測定装置および測定方法によれば、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブを接触させる位置が、第１端子および第２端子の第２方向において位置ずれした（ばらついた）としても、その位置ずれによる電圧値の変化を少なく抑えることができる。したがって、この測定装置および測定方法によれば、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の位置ずれによる被測定量のばらつきを少なく抑えることができる結果、測定精度を十分に向上させることができる。また、この測定装置および測定方法によれば、第１端子における第２方向に沿って離間する複数の第１供給位置および第２端子における第２方向に沿って離間する複数の第２供給位置に測定用電流を供給することにより、１つの第１供給位置および１つの第２供給位置に測定用電流を供給する従来の構成および方法と比較して、測定処理における測定用電流の供給状態を、電子部品を実際に使用するときの測定用電流の供給状態に近づけることができるため、実際の使用状態における電子部品の被測定量を正確に測定することができる。

また、請求項３記載の測定装置によれば、隣接する各第１供給位置同士の間隔と隣接する各第２供給位置同士の間隔とが等しい各第１供給位置および各第２供給位置に各第１供給用プローブおよび各第２供給用プローブをそれぞれ接触させることにより、各第１供給位置同士の間隔と隣接する各第２供給位置同士の間隔が異なる構成および方法と比較して、第１端子側における第２方向の電位の勾配と、第２端子側における第２方向の電位の勾配とを等しくすることができる。この場合、第１端子側と第２端子側とで第２方向の電位の勾配が相違するときには、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブが第２方向にそれぞれ同じ量だけ位置ずれしたときの第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの各接触位置における各電位の電位差である電圧値と、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブが第２方向に位置ずれしていないときの第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの各接触位置における各電位の電位差である電圧値との差分値、つまり第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの第２方向での位置ずれによる電圧値の変化が、勾配の相違分だけ大きくなる。これに対して、この測定装置によれば、第１端子側および第２端子側における第２方向の電位の勾配が等しいため、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの第２方向での位置ずれによる電圧値の変化をさらに少なく抑えることができる結果、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の位置ずれによる被測定量のばらつきをさらに少なく抑えて、測定精度をさらに向上させることができる。

また、請求項４記載の測定装置によれば、電子部品の中心部を対称点として点対称の位置関係にある各第１供給位置および各第２供給位置に各第１供給用プローブおよび各第２供給用プローブをそれぞれ接触させることにより、第１端子側における第２方向の電位の勾配と、第２端子側における第２方向の電位の勾配とをさらに等しくすることができるため、第１端子側と第２端子側とで第２方向の電位の勾配が相違することに起因する第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の第２方向での位置ずれによる電圧値の変化を一層少なく抑えることができる。したがって、この測定装置によれば、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の第２方向での位置ずれによる被測定量のばらつきをさらに少なく抑えて、測定精度を一層向上させることができる。

また、請求項５記載の測定装置によれば、電子部品の中心部を通って第２方向に平行な直線を対称軸として線対称の位置関係にある各第１供給位置および各第２供給位置に各第１供給用プローブおよび各第２供給用プローブをそれぞれ接触させることにより、第１端子側における第２方向の電位の勾配と、第２端子側における第２方向の電位の勾配とをさらに等しくすることができるため、第１端子側と第２端子側とで第２方向の電位の勾配が相違することに起因する第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の第２方向での位置ずれによる電圧値の変化を一層少なく抑えることができる。したがって、この測定装置によれば、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の第２方向での位置ずれによる被測定量のばらつきをさらに少なく抑えて、測定精度を一層向上させることができる。

また、請求項６記載の測定装置では、第１端子における第２方向の中心部に規定した第１検出位置に第１検出用プローブを接触させると共に、第２端子における第２方向の中心部に規定された第２検出位置に第２検出用プローブを接触させる。この場合、例えば、２つの第１供給位置を第１端子の第２方向の両端部に規定し、２つの第２供給位置を第２端子の第２方向の両端部に規定したときには、第２方向の中心部において第２方向における電位の勾配が０となる。このため、この測定装置によれば、２つの第１供給位置を第１端子の第２方向の両端部にそれぞれ規定し、２つの第２供給位置を第２端子の第２方向の両端部にそれぞれ規定したときに、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置での位置ずれによる電圧値の変化をさらに少なく抑えて、被測定量の測定精度をさらに向上させることができる。

また、請求項７記載の測定装置によれば、各電流供給部によってそれぞれ供給される各測定用電流の各電流値と電圧検出部によって検出された電圧値とに基づいて複数の被測定量を測定し、各被測定量を数値処理した処理値を電子部品の被測定量として算出することにより、例えば、各電流供給部によってそれぞれ供給される各測定用電流の各電流値に差が生じている場合においても、各電流値に基づいて測定した複数の被測定量を数値処理することで、電子部品の被測定量としての処理値を正確に算出することができる。

また、請求項８記載の測定装置では、各電流供給部の数と同数の測定回路備えて測定部が構成され、各測定回路が、各電流供給部によってそれぞれ供給される各測定用電流の各電流値と電圧検出部によって検出された電圧値とに基づいて複数の被測定量をそれぞれ測定し、各測定回路のいずれか１つが、各被測定量を数値処理した処理値を電子部品の被測定量として算出する。つまり、この測定装置では、各測定回路が各被測定量を別々に測定し、各測定回路のいずれか１つが各被測定量を数値処理して処理値を算出する。このため、この測定装置によれば、１つの被測定量を測定する機能だけを有する簡易で安価な測定回路を用いて測定部を構成することができるため、測定装置の製造コストを低減させることができる。

また、請求項９記載の測定装置では、各電流供給部の数と同数の測定回路と演算回路とを備えて測定部が構成され、各測定回路が、各電流供給部によってそれぞれ供給される各測定用電流の各電流値と電圧検出部によって検出された電圧値とに基づいて複数の被測定量をそれぞれ測定し、演算回路が各被測定量を数値処理した処理値を電子部品の被測定量として算出する。つまり、この測定装置では、各測定回路が各被測定量を別々に測定し、演算回路が各被測定量を数値処理して処理値を算出する。このため、この測定装置によれば、１つの被測定量を測定する機能だけを有する簡易で安価な測定回路を複数用いて測定部を構成することができるため、測定装置の製造コストを低減させることができる。

また、請求項１０記載の測定装置によれば、各測定回路に１つずつ割り当てられた複数の電圧検出部を備え、各測定回路が、割り当てられた電圧検出部によって検出された電圧値に基づいて被測定量を測定することにより、例えば、電流供給部と電圧検出部と測定回路とを１つずつ備えた従来型の測定装置を複数用いてこの測定装置を構成することができるため、測定装置の製造コストを低減することができる。

また、請求項１１記載の測定装置によれば、各電圧検出部における各々の第１検出端子同士を互いに短絡させると共に、各電圧検出部における各々の第２検出端子同士を互いに短絡させたことにより、例えば、互いに短絡させた各第１検出端子を電子部品の第１端子における１つの検出位置に接続させると共に互いに短絡させた各第２検出端子を電子部品の第２端子における１つの検出位置に接続させたり、互いに短絡させた各第１検出端子に接続した１つの第１接続検出用プローブを第１端子における１つの検出位置に接触させると共に互いに短絡させた各第２検出端子に接続した１つの第２接続検出用プローブを第２端子における１つの検出位置に接触させたりすることで、各測定回路によって被測定量をそれぞれ測定する際に、同じ検出位置で検出した電圧値を用いることができるため、検出位置が異なることによる電圧値の相違が回避される結果、被測定量を正確に測定することができる。

また、請求項１２記載の測定装置では、各電流供給部が互いに同等の電流値の測定用電流をそれぞれ出力する。この場合、各電流供給部が出力する測定用電流の電流値が異なるときには、各電流値の差分値分だけ第２方向における電位の勾配が大きくなる。これに対して、この測定装置によれば、各電流供給部が出力する測定用電流の電流値が同等のため、第２方向における電位の勾配をより緩やかにすることができる。したがって、この測定装置によれば、第１検出端子および第２検出端子を接続させる位置の第２方向での位置ずれや、第１検出用プローブおよび第２検出用プローブの接触位置の第２方向での位置ずれによる被測定量のばらつきをより少なく抑えることができる結果、測定精度をより向上させることができる。

測定装置１の構成を示す構成図である。 チップ抵抗１００を実装した基板２００の構成を示す構成図である。 チップ抵抗１００の平面図である。 プローブユニット１１の平面図である。 チップ抵抗１００にプローブユニット１１をプロービングさせた状態を説明する説明図である。 測定装置１による測定処理におけるチップ抵抗１００の電位分布を説明する説明図である。 従来の測定方法による測定処理におけるチップ抵抗１００の電位分布を説明する説明図である。 電圧値Ｖの偏差とプローブ３１，３２の位置との関係を説明する説明図である。 測定装置１Ａの構成を示す構成図である。 測定装置１Ｂの構成を示す構成図である。 測定装置１Ｃの構成を示す構成図である。 測定装置１Ｄの構成を示す構成図である。

以下、測定装置および測定方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、測定装置の一例としての図１に示す測定装置１の構成について説明する。測定装置１は、電子部品の一例としての図２，３に示すチップ抵抗１００の抵抗値Ｒ（被測定量の一例）を測定可能に構成されている。

ここで、チップ抵抗１００は、図２に示すように、基板２００に実装される抵抗器であって、抵抗体で形成された本体部１０１と、本体部１０１の一端部（同図における左端部）に設けられた導電体で形成された端子１１１（第１端子に相当する）と、本体部１０１の他端部（同図における右端部）に設けられた導電体で形成された端子１１２（第２端子に相当する）とを備え、全体として柱状に構成されている。この場合、チップ抵抗１００は、同図に示すように、半田３００を用いて端子１１１，１１２を基板２００の導体パターン２０１に固定することによって基板２００に実装される。

また、測定装置１は、図１に示すように、プローブユニット１１、プロービング機構１２、電流供給部１３ａ，１３ｂ（以下、区別しないときには「電流供給部１３」ともいう）、電圧検出部１４および処理部１５を備えて構成されている。

プローブユニット１１は、図４に示すように、支持部２０と、支持部２０によって支持されたプローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２とを備えて構成されている。なお、同図では、プローブユニット１１の上面側（図５における上方）から、支持部２０を透過してプローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２を見た状態を図示している。

プローブ２１ａ，２１ｂ（以下、区別しないときには「プローブ２１」ともいう）は、第１供給用プローブに相当し、図１に示すように、電流供給部１３ａ，１３ｂの第１出力端子７１ａ，７１ｂ（以下、区別しないときには「第１出力端子７１」ともいう）にそれぞれ接続されると共に、チップ抵抗１００の端子１１１における２つの第１供給位置Ｐｓ１ａ，Ｐｓ１ｂ（図３参照：以下、区別しないときには「第１供給位置Ｐｓ１」ともいう）に接触して（プロービングさせられて）、電流供給部１３ａ，１３ｂからそれぞれ出力される測定用電流Ｉをチップ抵抗１００に供給するために用いられる。

プローブ２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「プローブ２２」ともいう）は、第２供給用プローブに相当し、図１に示すように、電流供給部１３ａ，１３ｂの第２出力端子７２ａ，７２ｂ（以下、区別しないときには「第２出力端子７２」ともいう）にそれぞれ接続されると共に、チップ抵抗１００の端子１１２における２つの第２供給位置Ｐｓ２ａ，Ｐｓ２ｂ（図３参照：以下、区別しないときには「第２供給位置Ｐｓ２」ともいい、上記した第１供給位置Ｐｓ１と第２供給位置Ｐｓ２とを区別しないときには「供給位置Ｐｓ」ともいう）に接触して、電流供給部１３ａ，１３ｂからそれぞれ出力される測定用電流Ｉを、プローブ２１ａ，２１ｂと共にチップ抵抗１００に供給するために用いられる。

プローブ３１は、第１検出用プローブに相当し、図１に示すように、電圧検出部１４の第１検出端子４１に接続されると共に、チップ抵抗１００の端子１１１における第１検出位置Ｐｄ１（図３参照）に接触して、チップ抵抗１００に対する測定用電流Ｉの供給によってチップ抵抗１００に生じる電圧値Ｖを検出するために用いられる。プローブ３２は、第２検出用プローブに相当し、図１に示すように、電圧検出部１４の第２検出端子４２に接続されると共に、チップ抵抗１００の端子１１２における第２検出位置Ｐｄ２（図３参照：（以下、第１検出位置Ｐｄ１と第２検出位置Ｐｄ２とを区別しないときには「検出位置Ｐｄ」ともいう）に接触して、プローブ３１と共に、チップ抵抗１００に生じる電圧値Ｖを検出するために用いられる。

ここで、この測定装置１では、図３に示すように、チップ抵抗１００の端子１１１における各第１供給位置Ｐｓが、チップ抵抗１００の本体部１０１の一端部と他端部とを結ぶ長さ方向Ａ（第１方向に相当する）に交差する（この例では直交する）幅方向Ｂ（第２方向に相当する）に沿って互いに離間する位置に規定されている。また、チップ抵抗１００の端子１１２における各第２供給位置Ｐｓ２ａが、幅方向Ｂに沿って互いに離間する位置に規定されている。また、各第１供給位置Ｐｓ１の間隔と各第２供給位置Ｐｓ２の間隔とが互いに等しくなるように規定されている。

また、この測定装置１では、図３に示すように、各第１供給位置Ｐｓ１と各第２供給位置Ｐｓ２とが、チップ抵抗１００の中心部１００ａを対称点として点対称の位置関係となり、かつ中心部１００ａを通って長さ方向Ａに直交する直線を対称軸として線対称の位置関係となるように規定されている。

さらに、この測定装置１では、図３に示すように、チップ抵抗１００の端子１１１における第１検出位置Ｐｄ１が、端子１１１における幅方向Ｂの中心部Ｐｃ１に規定され、チップ抵抗１００の端子１１２における第２検出位置Ｐｄ２が端子１１２における幅方向Ｂの中心部Ｐｃ２（以下、中心部Ｐｃ１，Ｐｃ２を区別しないときには「中心部Ｐｃ」ともいう）に規定されている。

したがって、この測定装置１では、図４に示すように、プローブユニット１１における各プローブ２１，２２，３１，３２の位置関係が、チップ抵抗１００における各供給位置Ｐｓおよび各検出位置Ｐｄについての上記した位置関係と同じ位置関係に規定され、これによって各プローブ２１，２２，３１，３２を各供給位置Ｐｓおよび各検出位置Ｐｄにそれぞれ接触させることが可能となっている。

プロービング機構１２は、処理部１５の制御に従ってプローブユニット１１を移動させることにより、各プローブ２１，２２，３１，３２を各供給位置Ｐｓおよび各検出位置Ｐｄにそれぞれ接触させる。

電流供給部１３ａ，１３ｂは、定電流源であって、第１出力端子７１および第２出力端子７２をそれぞれ備えると共に、互いに等しい電流値の（電流値が互いに同等の）測定用電流Ｉを出力可能に構成され、処理部１５の制御に従い、出力した測定用電流Ｉを、第１出力端子７１に接続されたプローブ２１および第２出力端子７２に接続されたプローブ２２を介してチップ抵抗１００に供給する。この場合、電流供給部１３ａ，１３ｂは、別々の絶縁された電源で構成されている。また、電流供給部１３ａ，１３ｂは、各プローブ２１，２２を測定対象の被接触部（チップ抵抗１００の各供給位置Ｐｓ）に接触させていない状態では、互いに絶縁されている。したがって、この測定装置１では、電流供給部１３ａ，１３ｂのいずれか一方から他方への電流の回り込みが防止される。

電圧検出部１４は、第１検出端子４１および第２検出端子４２を備えると共に、第１検出端子４１に接続されたプローブ３１および第２検出端子４２に接続されたプローブ３２を介してチップ抵抗１００の電圧値Ｖ（具体的には、プローブ３１，３２が接触する第１検出位置Ｐｄ１と第２検出位置Ｐｄ２との間の電圧値Ｖ）を検出する。

処理部１５は、測定装置１を構成する各部を制御する。また、処理部１５は、測定部として機能し、電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖに基づいてチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを測定する。

次に、測定装置１を用いて、基板２００に実装されているチップ抵抗１００（図２参照）の抵抗値Ｒを測定する測定方法について、図面を参照して説明する。

まず、図外の載置台に基板２００を載置し、載置台に基板２００を固定する。次いで、図外の操作部を操作して測定の開始を指示する。これに応じて、処理部１５が、測定処理を開始する。この測定処理では、処理部１５は、プロービング機構１２を制御して、各プローブ２１，２２，３１，３２を下向きにした状態のプローブユニット１１を基板２００に向けて移動させる。

続いて、プローブユニット１１の移動により、図５に示すように、プローブユニット１１のプローブ２１ａ，２１ｂ，３１がチップ抵抗１００の端子１１１における第１供給位置Ｐｓ１ａ，Ｐｓ１ｂおよび第１検出位置Ｐｄ１にそれぞれ接触して、電流供給部１３ａ，１３ｂの第１出力端子７１ａ，７１ｂが第１供給位置Ｐｓ１ａ，Ｐｓ１ｂにそれぞれ接続されると共に、電圧検出部１４の第１検出端子４１が第１検出位置Ｐｄ１に接続される。また、プローブユニット１１のプローブ２２ａ，２２ｂ，３２がチップ抵抗１００の端子１１２における第２供給位置Ｐｓ２ａ，Ｐｓ２ｂおよび第２検出位置Ｐｄ２にそれぞれ接触して、電流供給部１３ａ，１３ｂの第２出力端子７２ａ，７２ｂが第２供給位置Ｐｓ２ａ，Ｐｓ２ｂにそれぞれ接続されると共に、電圧検出部１４の第２検出端子４２が第２検出位置Ｐｄ２に接続される。

次いで、処理部１５は、電流供給部１３ａ，１３ｂに対して測定用電流Ｉの出力を指示する。この際に、電流供給部１３ａ，１３ｂは、互いに等しい電流値の測定用電流Ｉをそれぞれ出力する。また、電流供給部１３ａから出力された各測定用電流Ｉは、第１出力端子７１ａに接続されたプローブ２１ａおよび第２出力端子７２ａに接続されたプローブ２２ａを介してチップ抵抗１００に供給される。また、電流供給部１３ｂから出力された各測定用電流Ｉは、第１出力端子７１ｂに接続されたプローブ２１ｂおよび第２出力端子７２ｂに接続されたプローブ２２ｂを介してチップ抵抗１００に供給される。

続いて、処理部１５は、電圧検出部１４に対して電圧値Ｖの検出を指示し、電圧検出部１４が、プローブ３１，３２を介して電圧値Ｖを検出する。次いで、処理部１５は、電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖと、電流供給部１３ａ，１３ｂから出力されている測定用電流Ｉの電流値とに基づいてチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを測定する。具体的には、処理部１５は、電流供給部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ供給される各測定用電流Ｉの各電流値と、電圧検出部によって検出された電圧値とに基づいて２つの抵抗値Ｒａ，Ｒｂを測定し、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理した処理値Ｒｐをチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとして算出する。

ここで、抵抗値Ｒａ，Ｒｂから処理値Ｒｐを算出する数値処理としては、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを平均（相加平均、相乗平均、調和平均等）する処理等の各種の数値処理が考えられるが、基板２００の実際の使用状態におけるチップ抵抗１００の抵抗値Ｒをシミュレーションして算出した理論値と、各種の数値処理によって算出した処理値Ｒｐとを比較する検証試験の結果、次の式（１）から算出した処理値Ｒｐが理論値に最も近いことを見いだした。このため、この構成および方法では、処理部１５が、数値処理として、次の式（１）から抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを算出する。
Ｒｐ＝１／（１／Ｒａ＋１／Ｒｂ）・・・・式（１）

一方、この測定装置１および測定方法では、上記したように、２つの電流供給部１３からそれぞれ出力された測定用電流Ｉが４つのプローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを介してチップ抵抗１００の端子１１１における幅方向Ｂに沿って離間する２つの第１供給位置Ｐｓ１ａ，Ｐｓ１ｂ、およびチップ抵抗１００の端子１１２における幅方向Ｂに沿って離間する２つの第２供給位置Ｐｓ２ａ，Ｐｓ２ｂに供給されている。この状態（以下、「第１の状態」ともいう）におけるチップ抵抗１００の等電位線のポイントを結んだ等電位線を図６に示す。また、比較例として、１つの電流供給部１３から出力された測定用電流Ｉが２つのプローブ２１ｂ，２２ｂを介して端子１１１における１つの第１供給位置Ｐｓ１ｂ、および端子１１２における１つの第２供給位置Ｐｓ２ｂに供給されている状態（従来の構成および方法における測定用電流Ｉの供給状態：以下、「第２の状態」ともいう）におけるチップ抵抗１００の等電位線のポイントを結んだ等電位線を図７に示す。また、第１の状態において、プローブ３１，３２を幅方向Ｂに沿って移動させつつ測定した各電圧値Ｖと、プローブ３１，３２が中心部Ｐｃに位置しているときに測定した電圧値Ｖとの偏差（中心部Ｐｃにおける電圧値Ｖと各位置における電圧値Ｖとの差分値の比率）、およびプローブ３１，３２の位置の関係（幅方向Ｂの電位の勾配を示す曲線：図８に実線で示す曲線）を図８に示す。また、第２の状態において、プローブ３１，３２を幅方向Ｂに沿って移動させつつ測定した各電圧値Ｖと、プローブ３１，３２が中心部Ｐｃに位置しているときに測定した電圧値Ｖとの偏差、およびプローブ３１，３２の位置の関係（同図に破線で示す曲線）を同図に示す。

図６〜図８から、第２の状態で測定用電流Ｉを供給する従来の構成および方法では、幅方向Ｂにおける電位の勾配が大きいのに対して、第１の状態で測定用電流Ｉを供給するこの測定装置１および測定方法では、幅方向Ｂにおける電位の勾配が全体して緩やかであることが明らかである。つまり、この測定装置１および測定方法では、検出位置の変化に対して電圧値Ｖの変化が少ないため、プローブ３１，３２を接触させる位置が端子１１１，１１２の幅方向Ｂにおいて位置ずれしたとしても、その位置ずれによる電圧値Ｖの変化を少なく抑えることができる。したがって、この測定装置１および測定方法では、プローブ３１，３２の接触位置のばらつきによる抵抗値Ｒのばらつきを少なく抑えて、測定精度を向上させることが可能となっている。

また、第２の状態で測定用電流Ｉを供給する構成および方法では、幅方向Ｂにおける電位の勾配が０となる位置が存在しないのに対して、第１の状態で測定用電流Ｉを供給するこの測定装置１および測定方法では、幅方向Ｂの中心部Ｐｃにおいて幅方向Ｂにおける電位の勾配が０となる。このため、第１検出位置Ｐｄ１および第２検出位置Ｐｄ２を幅方向Ｂの中心部Ｐｃに規定することで、プローブ３１，３２の接触位置が多少位置ずれしたとしても、その位置ずれによる電圧値Ｖの変化をより少なく抑えて、抵抗値Ｒの測定精度をさらに向上させることが可能となっている。

また、チップ抵抗１００が基板２００に実装された状態では、図２に示すように、チップ抵抗１００の端子１１１，１１２が基板２００の導体パターン２０１に面的に接触しているため、基板２００の実際の使用状態では、端子１１１，１１２と導体パターン２０１との接触部分全体から電流が供給される。これに対して、第１の状態および第２の状態では、端子１１１，１１２に点的に接触させたプローブ２１，２２を介して測定用電流Ｉを供給する。つまり、第１の状態および第２の状態では、実際の使用状態における電流の供給状態とは異なる状態で測定用電流Ｉが供給されることとなる。したがって、第１の状態および第２の状態で測定したチップ抵抗１００の抵抗値Ｒと基板２００の実際の使用状態で測定したチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとが異なるおそれがある。そこで、基板２００の実際の使用状態におけるチップ抵抗１００の抵抗値Ｒをシミュレーションして算出した理論値と、第１の状態で測定した抵抗値Ｒおよび第２の状態で測定した抵抗値Ｒとを比較したところ、第２の状態で測定した抵抗値Ｒが、理論値の５７．５％であるのに対して、第１の状態で測定した抵抗値Ｒは、理論値の９８．２％であった。つまり、第１の状態で測定用電流Ｉを供給するこの測定装置１および測定方法では、測定処理における測定用電流Ｉの供給状態を、チップ抵抗１００を実際に使用するときの測定用電流Ｉの供給状態に近づけることができるため、実際の使用状態におけるチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを正確に測定することが可能となっている。

一方、抵抗値Ｒの測定を終了した処理部１５は、抵抗値Ｒを図外の表示部に表示させると共に、抵抗値Ｒを図外の記憶部に記憶させる。続いて、処理部１５は、プロービング機構１２を制御して、プローブユニット１１を基板２００から離間する向き（初期位置）に移動させて、測定処理を終了する。次いで、他のチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを測定する際には、他の基板２００を載置台に載置して固定し、続いて、操作部を操作して測定の開始を指示して上記した測定処理を処理部１５に実行させる。

このように、この測定装置１および測定方法では、チップ抵抗１００の端子１１１における幅方向Ｂに沿って離間する２つの第１供給位置Ｐｓ１に２つのプローブ２１を接触させて各電流供給部１３の各第１出力端子７１を各第１供給位置Ｐｓ１にそれぞれ接続させると共に、チップ抵抗１００の端子１１２における幅方向Ｂに沿って離間する２つの第２供給位置Ｐｓ２に２つのプローブ２２を接触させて各電流供給部１３の各第２出力端子７２を各第２供給位置Ｐｓ２にそれぞれ接続させ、２つの電流供給部１３からそれぞれ出力された測定用電流Ｉをチップ抵抗１００に供給させてチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを測定する。したがって、この測定装置１および測定方法では、１つの第１供給位置Ｐｓ１および１つの第２供給位置Ｐｓ２にプローブ２１，２２を１つずつ接触させて１つの電流供給部１３から出力された測定用電流Ｉをチップ抵抗１００に供給させてチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを測定する従来の構成および方法と比較して、幅方向Ｂにおける電位の勾配を全体として緩やかにすることができる。このため、この測定装置１および測定方法によれば、プローブ３１，３２を接触させる接触位置（電圧検出部１４の第１検出端子４１および第２検出端子４２を接続させる検出位置）が、端子１１１，１１２の幅方向Ｂにおいて位置ずれした（ばらついた）としても、その位置ずれによる電圧値Ｖの変化を少なく抑えることができる。したがって、この測定装置１および測定方法によれば、プローブ３１，３２の接触位置の位置ずれによる抵抗値Ｒのばらつきを少なく抑えることができる結果、測定精度を十分に向上させることができる。また、この測定装置１および測定方法によれば、端子１１１における幅方向Ｂに沿って離間する２つの第１供給位置Ｐｓ１および端子１１２における幅方向Ｂに沿って離間する２つの第２供給位置Ｐｓ２に測定用電流Ｉを供給することにより、１つの第１供給位置Ｐｓ１および１つの第２供給位置Ｐｓ２に測定用電流Ｉを供給する従来の構成および方法と比較して、測定処理における測定用電流Ｉの供給状態を、チップ抵抗１００を実際に使用するときの測定用電流Ｉの供給状態に近づけることができるため、実際の使用状態におけるチップ抵抗１００の抵抗値Ｒを正確に測定することができる。

また、この測定装置１および測定方法では、各電流供給部１３が互いに同等の電流値の測定用電流Ｉをそれぞれ出力する。この場合、各電流供給部１３が出力する測定用電流Ｉの電流値が異なるときには、各電流値の差分値分だけ幅方向Ｂにおける電位の勾配が大きくなる。これに対して、この測定装置１および測定方法によれば、各電流供給部１３が出力する測定用電流Ｉの電流値が同等のため、幅方向Ｂにおける電位の勾配をより緩やかにすることができる。したがって、この測定装置１および測定方法によれば、プローブ３１，３２の接触位置の幅方向Ｂでの位置ずれによる抵抗値Ｒのばらつきをより少なく抑えることができる結果、測定精度をより向上させることができる。

また、この測定装置１および測定方法によれば、隣接する各第１供給位置Ｐｓ１同士の間隔と隣接する各第２供給位置Ｐｓ２同士の間隔とが等しい各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２に各プローブ２１，２２をそれぞれ接触させることにより、各第１供給位置Ｐｓ１同士の間隔と隣接する各第２供給位置Ｐｓ２同士の間隔が異なる構成および方法と比較して、端子１１１側における幅方向Ｂの電位の勾配と、端子１１２側における幅方向Ｂの電位の勾配とを等しくすることができる。この場合、端子１１１側と端子１１２側とで幅方向Ｂの電位の勾配が相違するときには、プローブ３１，３２が幅方向Ｂにそれぞれ同じ量だけ位置ずれしたときのプローブ３１，３２の各接触位置における各電位の電位差である電圧値Ｖと、プローブ３１，３２が幅方向Ｂに位置ずれしていないときのプローブ３１，３２の各接触位置における各電位の電位差である電圧値Ｖとの差分値、つまりプローブ３１，３２の幅方向Ｂでの位置ずれによる電圧値Ｖの変化が、勾配の相違分だけ大きくなる。これに対して、この測定装置１および測定方法によれば、端子１１１側および端子１１２側における幅方向Ｂの電位の勾配が等しいため、プローブ３１，３２の幅方向Ｂでの位置ずれによる電圧値Ｖの変化をさらに少なく抑えることができる結果、プローブ３１，３２の接触位置の位置ずれによる抵抗値Ｒのばらつきをさらに少なく抑えて、測定精度をさらに向上させることができる。

また、この測定装置１および測定方法によれば、チップ抵抗１００の中心部１００ａを対称点として点対称の位置関係にある各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２に各プローブ２１ａ，２１ｂおよび各プローブ２２ａ，２２ｂをそれぞれ接触させることにより、端子１１１側における幅方向Ｂの電位の勾配と、端子１１２側における幅方向Ｂの電位の勾配とをさらに等しくすることができるため、端子１１１側と端子１１２側とで幅方向Ｂの電位の勾配が相違することに起因するプローブ３１，３２の幅方向Ｂでの位置ずれによる電圧値Ｖの変化を一層少なく抑えることができる。したがって、この測定装置１および測定方法によれば、プローブ３１，３２の接触位置の幅方向Ｂでの位置ずれによる抵抗値Ｒのばらつきをさらに少なく抑えて、測定精度を一層向上させることができる。

また、この測定装置１および測定方法によれば、チップ抵抗１００の中心部１００ａを通って幅方向Ｂに平行な直線を対称軸として線対称の位置関係にある各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２に各プローブ２１ａ，２１ｂおよび各プローブ２２ａ，２２ｂをそれぞれ接触させることにより、端子１１１側における幅方向Ｂの電位の勾配と、端子１１２側における幅方向Ｂの電位の勾配とをさらに等しくすることができるため、端子１１１側と端子１１２側とで幅方向Ｂの電位の勾配が相違することに起因するプローブ３１，３２の幅方向Ｂでの位置ずれによる電圧値Ｖの変化を一層少なく抑えることができる。したがって、この測定装置１および測定方法によれば、プローブ３１，３２の接触位置の幅方向Ｂでの位置ずれによる抵抗値Ｒのばらつきをさらに少なく抑えて、測定精度を一層向上させることができる。

また、この測定装置１および測定方法では、端子１１１における幅方向Ｂの中心部Ｐｃ１に規定した第１検出位置Ｐｄ１にプローブ３１を接触させると共に、端子１１２における幅方向Ｂの中心部Ｐｃ２に規定された第２検出位置Ｐｄ２にプローブ３２を接触させる。この場合、各第１供給位置Ｐｓ１を端子１１１の幅方向Ｂの両端部に規定し、各第２供給位置Ｐｓ２を端子１１２の幅方向Ｂの両端部に規定したときには、幅方向Ｂの中心部Ｐｃにおいて幅方向Ｂにおける電位の勾配が０となる。このため、この測定装置１および測定方法によれば、各供給位置Ｐｓを端子１１１，１１２の幅方向Ｂの両端部にそれぞれ規定したときに、プローブ３１，３２の接触位置の位置ずれによる電圧値Ｖの変化をさらに少なく抑えて、抵抗値Ｒの測定精度をさらに向上させることができる。

なお、測定装置および測定方法は、上記の構成および方法に限定されない、例えば、処理部１５が、電流供給部１３ａ，１３ｂのいずれか一方によって供給される測定用電流Ｉの電流値と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて測定した抵抗値Ｒａ，Ｒｂのいずれか一方のみからチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを算出する例について上記したが、他の構成および方法を採用することもできる。具体的には、出力している（チップ抵抗１００に供給している）測定用電流Ｉの電流値を検出可能に電流供給部１３ａ，１３ｂをそれぞれ構成する。また、処理部１５が次の処理を実行するように構成する。まず、処理部１５は、電流供給部１３ａによって検出された測定用電流Ｉの電流値と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて（電圧値Ｖを電流値で除算して）抵抗値Ｒａを測定すると共に、電流供給部１３ｂによって検出された測定用電流Ｉの電流値と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて（電圧値Ｖを電流値で除算して）抵抗値Ｒｂを測定する。次いで、処理部１５は、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理した処理値Ｒｐをチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとして算出する。この場合、処理部１５は、上記した式（１）から抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを算出する。

この構成および方法によれば、各電流供給部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ供給される各測定用電流Ｉの各電流値と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒａ，Ｒｂを測定し、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理した処理値Ｒｐをチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとして算出することにより、例えば、電流供給部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ供給される各測定用電流Ｉの各電流値に差が生じている場合においても、各電流値に基づいて測定した複数の抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理することで、チップ抵抗１００の抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを正確に算出することができる。

また、図９に示す測定装置１Ａ、およびこの測定装置１Ａによって実行される測定方法を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した測定装置１と同様の構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。この測定装置１Ａでは、出力している（チップ抵抗１００に供給している）測定用電流Ｉの電流値を検出する図外の電流検出部を備えて電流供給部１３ａ，１３ｂが構成されている。また、この測定装置１Ａは、同図に示すように、上記した処理部１５に代えて、測定部としても機能する処理部１５Ａを備えて構成されている。処理部１５Ａは、同図に示すように、電流供給部１３の数と同数（この例では、２つ）の測定回路５１ａ，５１ｂ（以下、区別しないときには「測定回路５１」ともいう）を備えて構成されている。

測定回路５１ａは、電流供給部１３ａによって供給される測定用電流Ｉの電流値（電流供給部１３ａの電流検出部によって検出された電流値）と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒａを測定する。また、測定回路５１ｂは、電流供給部１３ｂによって供給される測定用電流Ｉの電流値（電流供給部１３ｂの電流検出部によって検出された電流値）と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒｂを測定する。また、測定回路５１ｂは、抵抗値Ｒａ，Ｒｂ（各測定回路５１ａ，５１ｂによってそれぞれ測定された各被測定量）を数値処理した処理値Ｒｐをチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとして算出する。この場合、測定回路５１ｂは、数値処理として、上記した式（１）から抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを算出する。

この測定装置１Ａおよび測定方法では、測定回路５１ａ，５１ｂが、電流供給部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ供給される各測定用電流Ｉの各電流値と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒａ，Ｒｂ（複数の被測定量）をそれぞれ測定し、測定回路５１ｂが、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理した処理値Ｒｐを電子部品の被測定量として算出する。つまり、この構成および方法では、抵抗値Ｒａおよび抵抗値Ｒｂを測定回路５１ａ，５１ｂで別々に測定し、測定回路５１ａ，５１ｂのいずれか一方（この例では、測定回路５１ｂ）が抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理して処理値Ｒｐを算出する。このため、この構成および方法によれば、１つの抵抗値Ｒａを測定する機能だけを有する簡易で安価な測定回路を測定回路５１ａとして用いることができるため、測定装置１Ａの製造コストを低減させることができる。

また、図１０に示す測定装置１Ｂ、およびこの測定装置１Ｂによって実行される測定方法を採用することもできる。この測定装置１Ｂは、同図に示すように、上記した測定装置１Ａの処理部１５Ａに代えて、測定部としても機能する処理部１５Ｂを備え、他の構成要素については、測定装置１Ａと同様に構成されている。処理部１５Ｂは、同図に示すように、電流供給部１３の数と同数（この例では、２つ）の測定回路５１ｃ，５１ｄ（以下、区別しないときには「測定回路５１」ともいう）、および演算回路５２を備えて構成されている。

測定回路５１ｃは、電流供給部１３ａによって供給される測定用電流Ｉの電流値（電流供給部１３ａの電流検出部によって検出された電流値）と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒａを測定する。また、測定回路５１ｄは、電流供給部１３ｂによって供給される測定用電流Ｉの電流値（電流供給部１３ｂの電流検出部によって検出された電流値）と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒｂを測定する。また、演算回路５２は、抵抗値Ｒａ，Ｒｂ（各測定回路５１ａ，５１ｂによってそれぞれ測定された各被測定量）を数値処理した処理値Ｒｐをチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとして算出する。この場合、演算回路５２は、数値処理として、上記した式（１）から抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを算出する。

この測定装置１Ｂおよび測定方法では、測定回路５１ｃ，５１ｄが、電流供給部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ供給される各測定用電流Ｉの各電流値と電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒａ，Ｒｂ（複数の被測定量）をそれぞれ測定し、演算回路５２が抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理した処理値Ｒｐを電子部品の被測定量として算出する。つまり、この構成および方法では、抵抗値Ｒａおよび抵抗値Ｒｂを測定回路５１ａ，５１ｂで別々に測定し、演算回路５２が抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理して処理値Ｒｐを算出する。このため、この構成および方法によれば、１つの抵抗値Ｒａを測定する機能だけを有する簡易で安価な測定回路を共に測定回路５１ａ，５１ｂとして用いることができるため、測定装置１Ｂの製造コストを低減させることができる。

また、図１１に示す測定装置１Ｃ、およびこの測定装置１Ｃによって実行される測定方法を採用することもできる。この測定装置１Ｃでは、プローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２がユニット化されずに電流供給部１３ａ，１３ｂまたは電圧検出部１４ａ，１４ｂに接続されている。具体的には、同図に示すように、プローブ２１ａ，２１ｂが電流供給部１３ａの第１出力端子７１ａおよび電流供給部１３ｂの第１出力端子７１ｂにそれぞれ接続され、プローブ２２ａ，２２ｂが電流供給部１３ａの第２出力端子７２ａおよび電流供給部１３ｂの第２出力端子７２ｂにそれぞれ接続されている。また、プローブ３１が電圧検出部１４ａ，１４ｂの第１検出端子４１ａ，４１ｂに接続され、プローブ３２が電圧検出部１４ａ，１４ｂの第２検出端子４２に接続されている。この構成により、プローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２を個別にプロービングさせることが可能（手動によるプロービングが可能）となっている。このため、この測定装置１Ｃは、プローブユニット１１およびプロービング機構１２を備えない構成となっている。また、この測定装置１Ｃは、出力している測定用電流Ｉの電流値を検出する図外の電流検出部を備えて電流供給部１３ａ，１３ｂが構成されている。また、この測定装置１Ｃは、同図に示すように、処理部１５に代えて、上記した測定回路５１ａ，５１ｂを有して測定部としても機能する処理部１５Ａを備えて構成されている。また、この測定装置１Ｃは、処理部１５の各測定回路５１ａ，５１ｂに１つずつ割り当てられた２つの電圧検出部１４ａ，１４ｂ（以下、区別しないときには「電圧検出部１４」ともいう）を備えて構成されている。この例では、測定回路５１ａに電圧検出部１４ａが割り当てられ、測定回路５１ｂに電圧検出部１４ｂが割り当てられている。また、この測定装置１Ｃでは、同図に示すように、測定回路５１ａ、電流供給部１３ａおよび電圧検出部１４ａによって抵抗値Ｒａを測定する機能だけを有する従来型の測定装置６０ａが構成される。また、この測定装置１Ｃでは、同図に示すように、測定回路５１ｂ、電流供給部１３ｂおよび電圧検出部１４ｂによって抵抗値Ｒｂを測定する機能と、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理してチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとしての処理値Ｒｐを算出する機能とを有する非従来型の測定装置６０ｂが構成される。

また、この測定装置１Ｃでは、電圧検出部１４ａ，１４ｂにおける各々の第１検出端子４１ａ，４１ｂ同士が互いに短絡された状態で１つのプローブ３１に接続されると共に、電圧検出部１４ａ，１４ｂにおける各々の第２検出端子４２ａ，４２ｂ同士が互いに短絡された状態で１つのプローブ３２に接続されている。なお、第１検出端子４１ａ，４１ｂを２つのプローブ３１に別々に接続すると共に、第２検出端子４２ａ，４２ｂを２つのプローブ３２に別々に接続し、チップ抵抗１００の端子１１１における２つの第１検出位置Ｐｄ１に各プローブ３１をそれぞれ接触させると共に、チップ抵抗１００の端子１１２における２つの第２検出位置Ｐｄ２に各プローブ３２をそれぞれ接触させる構成を採用することもできる。

また、この測定装置１Ｃでは、測定回路５１ａが、電流供給部１３ａによって供給される測定用電流Ｉの電流値（電流供給部１３ａの電流検出部によって検出された電流値）と、測定回路５１ａに割り当てられている電圧検出部１４ａによって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒａを測定し、測定回路５１ｂが、電流供給部１３ｂによって供給される測定用電流Ｉの電流値（電流供給部１３ｂの電流検出部によって検出された電流値）と、測定回路５１ｂに割り当てられている電圧検出部１４ｂによって検出された電圧値Ｖとに基づいて抵抗値Ｒｂを測定する。また、測定回路５１ｂは、上記した式（１）を用いて抵抗値Ｒａ，Ｒｂを数値処理した処理値Ｒｐをチップ抵抗１００の抵抗値Ｒとして算出する。

この測定装置１Ｃによれば、各測定回路５１ａ，５１ｂに１つずつ割り当てられた２つの電圧検出部１４ａ，１４ｂを備え、各測定回路５１ａ，５１ｂが、割り当てられた電圧検出部１４によって検出された電圧値Ｖに基づいて被測定量を測定することにより、例えば、電流供給部１３と電圧検出部１４と測定回路５１とを１つずつ備えた従来型の２つの測定装置６０ａ，６０ｂを用いてこの測定装置１Ｃを構成することができるため、測定装置１Ｃの製造コストを低減することができる。

また、この測定装置１Ｃによれば、電圧検出部１４ａ，１４ｂにおける各々の第１検出端子４１ａ，４１ｂ同士を互いに短絡させると共に、電圧検出部１４ａ，１４ｂにおける各々の第２検出端子４２ａ，４２ｂ同士を互いに短絡させたことにより、例えば、互いに短絡させた第１検出端子４１ａ，４１ｂに接続した１つのプローブ３１をチップ抵抗１００の端子１１１に接触させ、互いに短絡させた第２検出端子４２ａ，４２ｂに接続した１つのプローブ３２をチップ抵抗１００の端子１１２に接触させることで、測定回路５１ａ，５１ｂによって抵抗値Ｒａ，Ｒｂを測定する際に、同じ検出位置Ｐｄで検出した電圧値Ｖを用いることができるため、検出位置Ｐｄが異なることによる電圧値Ｖの相違が回避される結果、抵抗値Ｒａ，Ｒｂを正確に測定することができる。

また、図１２に示すように、上記した測定装置１Ｃの処理部１５Ａに代えて、上記した測定回路５１ｃ，５１ｄおよび演算回路５２を有して測定部としても機能するする処理部１５Ｂを備えて構成され、他の構成要素については、測定装置１Ｃと同様に構成された測定装置１Ｄ、およびこの測定装置１Ｄによって実行される測定方法を採用することもできる。なお、この測定装置１Ｄでは、同図に示すように、測定回路５１ｃ、電流供給部１３ａおよび電圧検出部１４ａによって抵抗値Ｒａを測定する機能だけを有する従来型の測定装置６０ａが構成され、測定回路５１ｄ、電流供給部１３ｂおよび電圧検出部１４ｂによって抵抗値Ｒｂを測定する機能だけを有し測定装置６０ａと同じ構成である従来型の測定装置６０ａが構成される。

また、２つの電流供給部１３を備えて、端子１１１における２つの第１供給位置Ｐｓ１および端子１１２における２つの第２供給位置Ｐｓ２に各プローブ２１，２２をそれぞれ接触させて（２つの第１供給位置Ｐｓ１および２つの第２供給位置Ｐｓ２に各第１出力端子７１および各第２出力端子７２をそれぞれ接続させて）、各電流供給部１３から出力された測定用電流Ｉを４つの供給位置Ｐｓ１，Ｐｓ２に供給させて電圧値Ｖを検出する例について上記したが、３つ以上の電流供給部を備えて、端子１１１における３つ以上（電流供給部の数と同数）の第１供給位置Ｐｓ１および端子１１２における３つ以上（電流供給部の数と同数）の第２供給位置Ｐｓ２に各電流供給部１３から出力された測定用電流Ｉを供給させて電圧値Ｖを検出する構成および方法を採用することもできる。また、この構成を採用するときには、３つ以上の電流供給部の数と同数の測定回路５１を備えた構成およびこの構成によって実行される測定方法や、３つ以上の各測定回路５１に１つずつ割り当てられた複数（測定回路５１の数と同数）の電圧検出部１４を備えた構成およびこの構成によって実行される測定方法を採用することもできる。

また、上記した測定装置１，１Ａ，１Ｂにおいて、ユニット化されていないプローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２を用いると共に、プロービング機構１２を備えない構成を採用することもできる。また、上記した測定装置測定装置１Ｃ，１Ｄにおいて、プローブ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２をユニット化したプローブユニット１１を用いると共に、プロービング機構１２を用いてプロービングを行う構成を採用することもできる。

また、各電流供給部１３が同等の電流値の測定用電流Ｉを出力する例について上記したが、各電流供給部１３が異なる電流値の測定用電流Ｉを出力する構成および方法を採用することもできる。

また、各第１供給位置Ｐｓ１同士の間隔と各第２供給位置Ｐｓ２同士の間隔とが等しくなるように各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２を規定した例について上記したが、各第１供給位置Ｐｓ１同士の間隔と各第２供給位置Ｐｓ２同士の間隔とが異なるように各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２を規定する構成および方法を採用することもできる。

また、各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２がチップ抵抗１００の中心部１００ａを対称点として点対称で、かつ各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２がチップ抵抗１００の中心部１００ａを通って長さ方向Ａに直交する直線を対称軸として線対称となるように各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２を規定した例について上記したが、各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２が点対称および線対称のいずれか一方の位置関係を満たすように各第１供給位置Ｐｓ１および各第２供給位置Ｐｓ２を規定する構成および方法を採用することもできる。

また、端子１１１における幅方向Ｂの中心部Ｐｃ１を第１検出位置Ｐｄ１として規定し、端子１１２における幅方向Ｂの中心部Ｐｃ２を第２検出位置Ｐｄ２として規定する例について上記したが、中心部Ｐｃ１以外の位置を第１検出位置Ｐｄ１として規定したり、中心部Ｐｃ２以外の位置を第２検出位置Ｐｄ２として規定したりする構成および方法を採用することもできる。

また、プローブユニット１１をプロービング機構１２に移動させて各プローブ２１，２２，３１，３２を各供給位置Ｐｓおよび各検出位置Ｐｄに接触させる方法について上記したが、別体に構成した各プローブ２１，２２，３１，３２を各供給位置Ｐｓおよび各検出位置Ｐｄに手動で接触させる方法を採用することもできる。

また、電子部品の一例としてのチップ抵抗１００における被測定量の一例としての抵抗値Ｒを測定する測定装置１に適用した例について上記したが、他の電子部品における他の被測定量を測定する各種の測定装置に適用することができる。例えば、他の電子部品としてのインダクタ素子における他の被測定量としてのインダクタンス値を測定する測定装置や、他の電子部品としてのコンデンサの容量値を他の被測定量として測定する測定装置に適用することができる。

また、上記の例では、電流供給部１３ａに接続したプローブ２１ａ，２２ａをチップ抵抗１００における第１供給位置Ｐｓ１ａおよび第２供給位置Ｐｓ２ａにそれぞれ接触（電流供給部１３ａの第１出力端子７１ａおよび第２出力端子７２ａを第１供給位置Ｐｓ１ａおよび第２供給位置Ｐｓ２ａにそれぞれ接続）させ、電流供給部１３ｂに接続したプローブ２１ｂ，２２ｂをチップ抵抗１００における第１供給位置Ｐｓ１ｂおよび第２供給位置Ｐｓ２ｂにそれぞれ接触（電流供給部１３ｂの第１出力端子７１ｂおよび第２出力端子７２ｂを第１供給位置Ｐｓ１ｂおよび第２供給位置Ｐｓ２ｂにそれぞれ接続）させて、測定用電流Ｉをチップ抵抗１００長さ方向Ａに平行な方向に流しているが、例えば、電流供給部１３ａに接続したプローブ２１ａ，２２ａを第１供給位置Ｐｓ１ａおよび第２供給位置Ｐｓ２ｂにそれぞれ接触（電流供給部１３ａの第１出力端子７１ａおよび第２出力端子７２ａを第１供給位置Ｐｓ１ａおよび第２供給位置Ｐｓ２ｂにそれぞれ接続）させ、電流供給部１３ｂに接続したプローブ２１ｂ，２２ｂを第１供給位置Ｐｓ１ｂおよび第２供給位置Ｐｓ２ａにそれぞれ接触（電流供給部１３ｂの第１出力端子７１ｂおよび第２出力端子７２ｂを第１供給位置Ｐｓ１ｂおよび第２供給位置Ｐｓ２ａにそれぞれ接続）させて、測定用電流Ｉをチップ抵抗１００長さ方向Ａに対して交差する方向に流す構成および方法を採用することもできる。

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ 測定装置
１１ プローブユニット
１２ プロービング機構
１３ａ，１３ｂ 電流供給部
１４，１４ａ，１４ｂ 電圧検出部
１５，１５Ａ，１５Ｂ 処理部
２１ａ，２１ｂ プローブ
２２ａ，２２ｂ プローブ
３１ プローブ
３２ プローブ
４１，４１ａ，４１ｂ 第１検出端子
４２，４２ａ，４２ｂ 第２検出端子
５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ 測定回路
５２ 演算回路
７１ａ，７１ｂ 第１出力端子
７２ａ，７２ｂ 第２出力端子
１００ チップ抵抗
１００ａ 中心部
１０１ 本体部
１１１，１１２ 端子
Ａ 長さ方向
Ｂ 幅方向
Ｉ 測定用電流
Ｐｃ１，Ｐｃ２ 中心部
Ｐｓ１ａ，Ｐｓ１ｂ 第１供給位置
Ｐｓ２ａ，Ｐｓ２ｂ 第２供給位置
Ｒ，Ｒａ，Ｒｂ 抵抗値抵抗値
Ｒｐ 処理値

Claims (14)

1. 第１出力端子および第２出力端子を有すると共に、本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子にそれぞれ接続される前記第１出力端子および前記第２出力端子を介して前記電子部品に測定用電流を供給する複数の電流供給部と、第１検出端子および第２検出端子を有すると共に、前記電子部品に前記測定用電流が供給されている状態で前記第１端子および前記第２端子にそれぞれ接続される前記第１検出端子および前記第２検出端子を介して電圧を検出する電圧検出部と、前記電圧検出部によって検出された電圧の電圧値および前記測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、
   前記測定部は、前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置にそれぞれ接続された前記各第１出力端子、および前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置にそれぞれ接続された前記各第２出力端子を介して前記各電流供給部によってそれぞれ供給される各前記測定用電流の各前記電流値と、前記電圧検出部によって検出された前記電圧値とに基づいて複数の前記被測定量を測定し、当該各被測定量を数値処理した処理値を前記電子部品の前記被測定量として算出する測定装置。
2. 本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子に第１供給用プローブおよび第２供給用プローブをそれぞれ接触させると共に当該第１端子および当該第２端子に第１検出用プローブおよび第２検出用プローブをそれぞれ接触させるプロービング機構と、前記第１供給用プローブおよび前記第２供給用プローブを介して前記電子部品に測定用電流を供給する電流供給部と、第１検出端子および第２検出端子を有すると共に、前記電子部品に前記測定用電流が供給されている状態で前記第１検出端子に接続された前記第１検出用プローブおよび前記第２検出端子に接続された前記第２検出用プローブを介して電圧を検出する電圧検出部と、前記電圧検出部によって検出された電圧の電圧値および前記測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、
   前記測定用電流をそれぞれ出力する複数の前記電流供給部と、当該各電流供給部に１つずつ接続された複数の前記第１供給用プローブと、当該各電流供給部に１つずつ接続された複数の前記第２供給用プローブとを備え、
   前記プロービング機構は、前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置に前記各第１供給用プローブをそれぞれ接触させると共に、前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置に前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる測定装置。
3. 前記プロービング機構は、隣接する前記各第１供給位置同士の間隔と隣接する前記各第２供給位置同士の間隔とが等しい当該各第１供給位置および当該各第２供給位置に前記各第１供給用プローブおよび前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる請求項２記載の測定装置。
4. 前記プロービング機構は、前記電子部品の中心部を対称点として点対称の位置関係にある前記各第１供給位置および前記各第２供給位置に前記各第１供給用プローブおよび前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる請求項２または３記載の測定装置。
5. 前記プロービング機構は、前記電子部品の中心部を通って前記第１方向に直交する直線を対称軸として線対称の位置関係にある前記各第１供給位置および前記各第２供給位置に前記各第１供給用プローブおよび前記各第２供給用プローブをそれぞれ接触させる請求項２から４のいずれかに記載の測定装置。
6. 前記プロービング機構は、前記第１端子における前記第２方向の中心部に規定された第１検出位置に前記第１検出用プローブを接触させると共に、前記第２端子における前記第２方向の中心部に規定された第２検出位置に前記第２検出用プローブを接触させる請求項２から５のいずれかに記載の測定装置。
7. 前記測定部は、前記各電流供給部によってそれぞれ供給される各前記測定用電流の各前記電流値と前記電圧検出部によって検出された前記電圧値とに基づいて複数の前記被測定量を測定し、当該各被測定量を数値処理した処理値を前記電子部品の前記被測定量として算出する請求項２から６のいずれかに記載の測定装置。
8. 前記測定部は、前記被測定量をそれぞれ測定する測定回路を前記各電流供給部の数と同数備え、
   前記各測定回路のいずれか１つは、当該各測定回路によってそれぞれ測定された前記各被測定量を数値処理して前記処理値を算出する請求項１または７記載の測定装置。
9. 前記測定部は、前記被測定量をそれぞれ測定する測定回路を前記各電流供給部の数と同数備えると共に、当該各測定回路によってそれぞれ測定された各前記被測定量を数値処理して前記処理値を算出する演算回路を備えて構成されている請求項１または７記載の測定装置。
10. 前記各測定回路に１つずつ割り当てられた複数の前記電圧検出部を備え、
    前記各測定回路は、前記割り当てられた電圧検出部によって検出された前記電圧値に基づいて前記被測定量を測定する請求項８または９記載の測定装置。
11. 前記各電圧検出部は、各々の前記第１検出端子同士が互いに短絡されると共に、各々の前記第２検出端子同士が互いに短絡されている請求項１０記載の測定装置。
12. 前記各電流供給部は、電流値が互いに同等の前記測定用電流をそれぞれ出力する請求項１から１１のいずれかに記載の測定装置。
13. 本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子に複数の電流供給部の各第１出力端子および各第２出力端子をそれぞれ接続させると共に、前記第１端子および前記第２端子に電圧検出部の第１検出端子および第２検出端子をそれぞれ接続させ、前記各第１出力端子および前記各第２出力端子を介して前記電子部品に前記各電流供給部から出力された前記測定用電流が供給されている状態で前記第１検出端子および前記第２検出端子を介して前記電圧検出部によって検出された電圧の電圧値および当該測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定方法であって、
    前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置に前記各第１出力端子をそれぞれ接続させると共に、前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置に前記各第２出力端子をそれぞれ接続させ、前記各第１出力端子および前記各第２出力端子を介して前記各電流供給部によってそれぞれ供給される各前記測定用電流の各前記電流値と、前記電圧検出部によって検出された前記電圧値とに基づいて複数の前記被測定量を測定し、当該各被測定量を数値処理した処理値を前記電子部品の前記被測定量として算出する測定方法。
14. 本体部の一端部および他端部に第１端子および第２端子がそれぞれ設けられた電子部品における当該第１端子および当該第２端子に第１供給用プローブおよび第２供給用プローブをそれぞれ接触させると共に当該第１端子および当該第２端子に第１検出用プローブおよび第２検出用プローブをそれぞれ接触させ、前記第１供給用プローブおよび前記第２供給用プローブを介して前記電子部品に測定用電流を供給している状態で前記第１検出用プローブおよび前記第２検出用プローブを介して電圧を検出し、当該検出した電圧の電圧値および前記測定用電流の電流値に基づいて前記電子部品の被測定量を測定する測定方法であって、
    前記第１端子における前記本体部の前記一端部と前記他端部とを結ぶ第１方向に交差する第２方向に沿って互いに離間する複数の第１供給位置に、前記測定用電流をそれぞれ出力する複数の電流供給部に１つずつ接続した複数の前記第１供給用プローブをそれぞれ接触させると共に、前記第２端子における前記第２方向に沿って互いに離間する複数の第２供給位置に、前記各電流供給部に１つずつ接続した複数の前記第２供給用プローブをそれぞれ接触させて前記被測定量を測定する測定方法。

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