TWI583977B - 電特性檢測方法以及檢測裝置 - Google Patents

Description

電特性檢測方法以及檢測裝置

本發明係關於一種電特性檢測方法以及檢測裝置，其對嵌入在檢測對象基板內的構成三角形電路的三個電子零件中的兩個電子零件的電特性進行檢測。

隨著近年來基板製造技術的高速發展，在多層化的基板中內置有電容器、線圈等電子零件的內置型基板(嵌入式基板)的研發也在不斷推進。在這樣的微縮化且複雜化的基板中，可與外部裝置進行電連接的只有形成在基板上的接觸點，因此難以為了檢查等目的而檢測內置的電子零件的電特性。

另外，當在基板內設置有由第一~第三電子零件這三個電子零件連接為三角狀的三角形電路的情況下，為了正確地檢測構成該三角形電路的三個電子零件中的第一以及第二電子零件這兩個電子零件的電特性，需要排除剩餘的那個第三電子零件的影響來進行電特性的檢測。因此，需要將第三電子零件的兩側的連接部的電壓位準維持在相同位準，並且向第一以及第二電子零件供給用於檢測電特性的電力。關於這點，本申請人於本申請案之前提出了日本特願2011-255349號(未公開)的專利申請。

然而，即使將與第三電子零件的兩側的連接部連接的基板表面的兩個接觸點的電壓位準形成為相同位準，多數情況下，這些各個接觸點與第三電子零件的兩側的連接部之間的佈線路徑的電阻值不同。因此，第三電子零件的兩側的連接部的電壓位準不同，無法排除第三電子零件的影響，存在無法正確檢測第一以及第二電子零件的電特性的問題。

另外，作為現有技術文獻，例如可舉出專利文獻1、2。

【先前技術文獻】

【專利文獻】

專利文獻1：日本特開平8-211113號公報

專利文獻2：日本特開2006-250743號公報

因此，本發明所欲解決的問題是提供一種電特性檢測方法以及檢測裝置，能夠在設置於檢測對象基板內的構成三角形電路的第一~第三電子零件中充分抑制第三電子零件的影響而正確地檢測第一以及第二電子零件的電特性。

為了解決上述的問題，本發明的第一態樣是一種電特性檢測方法，在檢測對象基板內設置將第一~第三電子零件連接成三角狀的三角形電路，並且在上述檢測對象基板的表面設置有第一接觸點和多個第二以及第三接觸點，上述第一接觸點經由佈線路徑而電連接於相互電連接的上述第一電子零件的第一連接部以及上述第二電子零件的第一連接部，各個上述第二接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的上述第一電子零件的第二連接部以及上述第三電子零件的第一連接部，各個上述第三接觸點分別 經由佈線路徑而電連接於相互電連接的上述第二電子零件的第二連接部以及上述第三電子零件的第二連接部，上述電特性檢測方法是對上述第一電子零件以及上述第二電子零件的電特性進行檢測的電特性檢測方法，包括：接觸點選擇步驟，其中，從多個上述第二接觸點以及上述第三接觸點中，以上述第二接觸點與上述第三電子零件的上述第一連接部或者上述第一電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值、和上述第三接觸點與上述第三電子零件的上述第二連接部或者上述第二電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值為最接近的值的組合的方式，各選擇一個上述第二接觸點以及上述第三接觸點作為第一以及第二選擇接觸點；以及電特性檢測步驟，其中，經由與上述第一接觸點連接的探針、與上述第一選擇接觸點連接的探針以及與上述第二選擇接觸點連接的探針，來檢測上述第一電子零件以及上述第二電子零件的電特性。

另外，本發明的第二態樣是在上述第一態樣的電特性檢測方法中，在上述接觸點選擇步驟中，將與設置在上述檢測對象基板上的、構成佈線路徑的佈線以及通孔(through-hole)相關的設計數據預先記憶在規定的記憶部中，使規定的資訊處理部基於上述設計數據計算各個上述第二接觸點與上述第三電子零件的上述第一連接部或者上述第一電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值、以及各個上述第三接觸點與上述第三電子零件的上述第二連接部或者上述第二電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值，並將計算出的上述電阻值顯示在規定的顯示部上。

另外，本發明的第三態樣是在上述第二態樣的電特性檢測方法中，使上述資訊處理部基於記憶在上述記憶部中的上述設計數據製成佈線電路圖，並將上述佈線電路圖與計算出的上述電阻值一起顯示在上述顯示部上，其中上述佈線電路圖是將表示該等佈線路徑所包含的佈線以及通孔的佈線圖像要素以及通孔圖像要素加以連接，來表示各個上述第二接觸點與上述第三電子零件的上述第一連接部或者上述第一電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的結構以及各個上述第三接觸點與上述第三電子 零件的上述第二連接部或者上述第二電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的結構。

另外，本發明的第四態樣是在上述第一態樣的電特性檢測方法中，在上述接觸點選擇步驟中，使與設置在上述檢測對象基板上的、構成佈線路徑的佈線以及通孔相關的設計數據預先記憶在規定的記憶部中，使規定的資訊處理部基於上述設計數據來計算各個上述第二接觸點與上述第三電子零件的上述第一連接部或者上述第一電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值、以及各個上述第三接觸點與上述第三電子零件的上述第二連接部或者上述第二電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值，並基於上述計算的結果從多個上述第二接觸點以及上述第三接觸點中選擇上述第一選擇接觸點以及上述第二選擇接觸點。

另外，本發明的第五態樣是一種電特性檢測裝置，在檢測對象基板內設置將第一~第三電子零件連接成三角狀的三角形電路，並且在上述檢測對象基板的表面設置有第一接觸點和多個第二以及第三接觸點，上述第一接觸點經由佈線路徑而電連接於相互電連接的上述第一電子零件的第一連接部以及上述第二電子零件的第一連接部，各個上述第二接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的上述第一電子零件的第二連接部以及上述第三電子零件的第一連接部，各個上述第三接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的上述第二電子零件的第二連接部以及上述第三電子零件的第二連接部，上述電特性檢測裝置是對上述第一電子零件以及上述第二電子零件的電特性進行檢測的電特性檢測裝置，上述電特性檢測裝置具備：檢查夾具，上述檢查夾具具有分別與上述第一接觸點、上述第二接觸點以及上述第三接觸點連接的多個探針；檢測部，上述檢測部經由上述檢查夾具的上述探針來檢測上述第一電子零件以及上述第二電子零件的電特性；連接切換部，上述連接切換部對上述檢查夾具的上述探針與上述檢測部的電連接關係進行切換；以及控制部，上述控制部對上述檢測部以及上述連接切換部進行控制，其中，上述控制部從多個上述第二接觸點以及上述第三接觸點中，以上述第二接觸點與上述第三電子零件的上述第一連 接部或者上述第一電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值、和上述第三接觸點與上述第三電子零件的上述第二連接部或者上述第二電子零件的上述第二連接部之間的上述佈線路徑的電阻值為最接近的值的組合的方式，各選擇一個上述第二接觸點以及上述第三接觸點作為第一以及第二選擇接觸點，並且上述控制部控制上述檢查部以及上述連接切換部，經由與上述第一接觸點連接的上述探針、與上述第一選擇接觸點連接的上述探針以及與上述第二選擇接觸點連接的上述探針來檢測上述第一電子零件以及上述第二電子零件的電特性。

根據本發明的第一以及第五態樣，從檢測對象基板的表面的多個第二接觸點以及第三接觸點中，以第二接觸點與第三電子零件的第一連接部或者第一電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值、和第三接觸點與第三電子零件的第二連接部或者第二電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值為最接近的值的組合的方式，各選擇一個第二接觸點以及第三接觸點作為第一以及第二選擇接觸點。經由分別與第一接觸點連接的探針和與第一選擇接觸點以及第二選擇接觸點連接的探針來檢測第一以及第二電子零件的電特性。因此，可以將第三電子零件的兩側的連接部的電壓位準維持在實質上相同的位準，充分抑制第三電子零件的影響，可以正確地檢測第一以及第二電子零件的電特性。

根據本發明的第二態樣，檢測對象基板的表面的各個第二接觸點與第三電子零件的第一連接部或者第一電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值、以及各個第三接觸點與第三電子零件的第二連接部或者第二電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值基於與各佈線路徑中的佈線以及通孔相關的設計數據而被自動地計算並顯示在顯示部上，因此，基於該顯示部的顯示內容，操作者能夠容易地瞭解各個第二接觸點與第三電子零件的第一連接部或者第一電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值、以及各個第三接觸點與第三電子零件的第二連接部或者第二電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值，能夠容易地進行第一以及第二選 擇接觸點的選擇作業或者對選擇出的第一以及第二選擇接觸點的準確性的確認等。

根據本發明的第三態樣，基於記憶在記憶部的設計數據自動地製成佈線電路圖，並將該佈線電路圖與計算出的各個佈線路經的上述電阻值一起顯示在顯示部上，其中佈線電路圖是將表示該等佈線路徑所包含的佈線以及通孔的佈線圖像要素以及通孔圖像要素加以連接，來表示檢測對象基板的表面的各個第二接觸點與第三電子零件的第一連接部或者第一電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的結構以及各個第三接觸點與第三電子零件的第二連接部或者第二電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的結構。因此，基於該顯示部的顯示內容，操作者能夠容易地瞭解各個第二接觸點與第三電子零件的第一連接部或者第一電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的結構和電阻值、以及各個第三接觸點與第三電子零件的第二連接部或者第二電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的結構和電阻值，能夠更為容易地進行第一以及第二選擇接觸點的選擇作業或者對選擇出的第一以及第二選擇接觸點的正確性的確認等。

根據本發明的第四態樣，基於與各個佈線路徑中的佈線以及通孔相關的設計數據而自動地計算檢測對象基板的表面的各個第二接觸點與第三電子零件的第一連接部或者第一電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值、以及各個第三接觸點與第三電子零件的第二連接部或者第二電子零件的第二連接部之間的佈線路徑的電阻值，並基於這種計算結果自動地進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。因此，能夠減少與第一以及第二選擇接觸點的選擇作業相關的操作者的負擔。

1‧‧‧檢測對象基板

2‧‧‧電特性檢測裝置

3‧‧‧第一電容器

3a‧‧‧第一連接部

3b‧‧‧第二連接部

4‧‧‧第二電容器

4a‧‧‧第一連接部

4b‧‧‧第二連接部

5‧‧‧阻抗元件

5a‧‧‧第一連接部

5b‧‧‧第二連接部

6a、6b‧‧‧第一接觸點

7a~7d‧‧‧第二接觸點

8a~8d‧‧‧第三接觸點

9~11‧‧‧佈線路徑

21‧‧‧檢查夾具

22‧‧‧檢測部

22a‧‧‧電源部

22b‧‧‧電壓測量部

22c‧‧‧電流測量部

23‧‧‧連接切換部

24‧‧‧輸入接收部

25‧‧‧記憶部

26‧‧‧顯示部

27‧‧‧控制部

31、32‧‧‧佈線電路圖

31a、32a‧‧‧佈線圖像要素

31b、32b‧‧‧通孔圖像要素

31c、32c‧‧‧電子零件圖像要素

31d、32d‧‧‧連接部圖像要素

31e、32e‧‧‧接觸點圖像要素

P1~P10‧‧‧探針

圖1是示意性地示出作為本發明的一個實施形態的電特性檢測方法的檢測對象的檢測對象基板的結構等的圖。

圖2是表示應用本發明的一個實施形態的電特性檢測方法的電特性檢 測裝置的電結構的方塊圖。

圖3A示出由圖2的電特性檢測裝置製成的佈線電路圖，該佈線電路圖對應於從圖1的檢測對象基板內的第一電容器的第二連接部到各個第二接觸點為止的佈線路徑的結構。

圖3B示出由圖2的電特性檢測裝置製成的佈線電路圖，該佈線電路圖對應於從圖1的檢測對象基板內的第二電容器的第二連接部到各個第三接觸點為止的佈線路徑的結構對應。

圖4是表示利用圖2的電特性檢測裝置對圖1的檢測對象基板內的第一以及第二電容器的電特性進行檢測時的電路結構的圖。

參照圖1~圖4對應用本發明的一個實施形態的電特性檢測方法的電特性檢測裝置進行說明。

首先，基於圖1對作為本實施形態的電特性檢測裝置2的檢測對象的檢測對象基板1進行說明。該檢測對象基板1為將多個基板層疊而構成的層疊基板，如圖1所示，在其內部設置有被連接成三角狀而構成三角形電路的第一以及第二電容器3、4以及具有阻抗的阻抗元件(例如電感器)5。該第一以及第二電容器3、4對應於本發明的第一以及第二電子零件，阻抗元件對應於本發明的第三電子零件。第一電容器3的第一連接部3a與第二電容器4的第一連接部4a藉由佈線路徑連接，第一電容器3的第二連接部3b與阻抗元件5的第一連接部5a藉由佈線路徑連接，第二電容器4的第二連接部4b與阻抗元件5的第二連接部5b藉由佈線路徑連接。

在本實施形態中，對作為第一以及第二電容器3、4的電子零件具有相同的電特性(在此為電容器容量)的情況進行說明，但兩個電容器3、4的電容量也可以不同。另外，第一以及第二電容器3、4為第一以及第二電子零件的例示，並不限定於此。另外，阻抗元件5也是第三電子零件的例示，並不限定於此。

另外，在檢測對象基板1的表面上設置有至少一個(圖1例中為兩個)第一接觸點6a、6b(統稱時使用元件符號“6”)、多個(圖1例中為四個)第二接觸點7a~7d(統稱時使用元件符號“7”)以及多個(圖1例中為四個)第三接觸點8a~8d(統稱時使用元件符號“8”)。此外，在本實施形態中為了簡化說明，簡化了檢測對象基板1的結構來進行說明，但在通常的情況下，在檢測對象基板1內不僅設置有電容器3、4以及阻抗元件5，還設置有其它電子零件以及與其相伴的佈線(例如佈線圖案)等，並且在檢測對象基板1的表面上還設置有第一~第三接觸點6~8以外的多個接觸點。在此，接觸點7~8由設置在佈線的連接盤部或者附加在該連接盤部上的焊錫球等構成。

第一接觸點6經由佈線路徑9分別連接於第一電容器3的第一連接部3a以及第二電容器4的第一連接部4a。第二接觸點7經由佈線路徑10分別連接於第一電容器3的第二連接部3b以及阻抗元件5的第一連接部5a。第三接觸點8經由佈線路徑11分別連接於第二電容器4的第二連接部4b以及阻抗元件5的第二連接部5b。

接下來，參照圖2對電特性檢測裝置2的結構進行說明。如圖2所示，電特性檢測裝置2具備檢查夾具21、檢測部22、連接切換部23、輸入接收部24、記憶部25、顯示部26以及控制部27，用於對檢測對象基板1的第一以及第二電容器3、4的電特性(在本實施形態中為電容量)的檢測。控制部27與本發明的資訊處理部對應。此外，在本實施形態中，利用電特性檢測裝置2對第一以及第二電容器3、4的電容量進行檢測，但並不局限於此，也可以檢測各種電子零件的其它電特性(例如阻抗、電阻等)。

檢查夾具21具備與檢測對象基板1的第一~第三接觸點6~8分別接觸並連接的多個探針P1~P10(統稱時使用元件符號“P”)。此外，作為變形例，也可以對於各個接觸點6~8的一部分或者全部，各以多根探針P(例如，兩根)接觸。另外，在圖2所示的結構中為了簡化而進行了省略，但 檢查夾具21具有分別與檢測對象基板1的上表面側以及下表面側抵接的上側夾具部以及下側夾具部。在圖1的圖示例中，探針P1、P2分別接觸於第一接觸點6a、6b，探針P3~P6分別接觸於第二接觸點7a~7d，探針P7~P10分別接觸於第三接觸點8a~8d。

檢測部22具有電源部22a、電壓測量部22b以及電流測量部22c。電源部22a依據控制部27的控制並經由檢查夾具21的探針P將用於檢測第一以及第二電容器3、4的電容量的電力(例如，交流電流或者電流值週期性變動的直流變化電流)供給至檢測對象基板1的接觸點6~8間。電壓測量部22b依據控制部27的控制並經由檢查夾具21的探針P來測量施加至檢測對象基板1的接觸點6~8間的電壓，並將測量結果提供給控制部27。電流測量部22c依據控制部27的控制並經由檢查夾具21的探針P來測量供給至檢測對象基板1的接觸點6~8間的電流，並將測量結果提供給控制部27。

連接切換部23構成為具備依據控制部27的控制進行接通、關斷動作的多個開關元件，依據控制部27的控制對檢查夾具21的各個探針P與檢測部22的電源部22a、電壓測量部22b以及電流測量部22c之間的電連接關係進行切換。

輸入接收部24具有接收對電特性檢測裝置2的操作輸入的未圖示的操作部，並且具備從網路或者可拆式的記錄介質(碟狀記錄介質、可拆式的半導體記錄介質等)等取得資訊的未圖示的資訊取得部等。有關檢測對象基板1的結構的基板數據經由該輸入接收部24從網路或者可拆式的記錄介質等輸入。

記憶部25構成為具備半導體記憶體或者硬碟等，記憶有電特性檢測裝置2的檢測動作所需的各種數據。例如，記憶部25中記憶與檢測對象基板1的結構相關的基板數據。在該基板數據中包含與設置在檢測對象基板1上的、構成包含上述的佈線路徑9~11等的各個佈線路徑的佈線以及通孔的 三維配置構造(路徑上的各位置的位置資訊、形狀等)相關的設計數據。另外，在該設計數據中還含有與設置在各個佈線路徑上的各個連接部(例如，連接部3a、3b、4a、4b、5a、5b等)以及各個接觸點(例如，接觸點6~8等)相關的位置資訊。另外，在基板數據中含有與設置在檢測對象基板1上的佈線的電阻率以及通孔的電阻率相關的電阻率數據。

顯示部26依據控制部27的控制來顯示與電特性檢測裝置2的操作相關的操作資訊以及與檢測對象基板1相關的檢測結果等。

控制部27負責電特性檢測裝置2整體的控制，具體地說，進行接收經由輸入接收部24等的指示以及資訊、將接收到的資訊向記憶部25保存、以及對電源部22a、電壓測量部22b、電流測量部22c、連接切換部23以及顯示部26等的控制。

接下來，關於控制部27的控制動作進行說明，並且對該電特性檢測裝置2的動作進行說明。在控制部27的功能中，包括接觸點選擇功能以及電特性檢測功能。在此，在電特性檢測裝置2的動作步驟中包括接觸點選擇功能起作用的接觸點選擇步驟和電特性檢測功能起作用的電特性檢測步驟。在接觸點選擇步驟中，從設置在檢測對象基板1上的多個第二以及第三接觸點7、8中各選擇一個在用於檢測第一以及第二電容器3、4的電容器容量的電力供給中使用的接觸點7、8，詳細情況將在後文中描述。在電特性檢測步驟，經由所選擇的接觸點7、8等來進行第一以及第二電容器3、4的電容器容量的檢測。此外，在繼續對具有相同結構的同種類的檢測對象基板1進行電容器容量的檢測的情況下，對第二個及以後的檢測對象基板1，省略接觸點選擇步驟。

在控制部27的接觸點選擇功能中，從多個第二以及第三接觸點7、8中，以第二接觸點7與阻抗元件5的第一連接部5a之間的佈線路徑10的電阻值和第三接觸點8與阻抗元件5的第二連接部5b之間的佈線路徑11的電阻值成為最接近的值的組合的方式，各選擇一個第二接觸點7以及第 三接觸點8作為第一以及第二選擇接觸點。在此，作為判斷電阻值的接近度的指標，例如可以使用將比較對象的兩個電阻值之差除以這兩個電阻值中的任意一個電阻值而得出的商值。在此情況下，以該商值為最小的電阻值的組合的方式來選擇第一以及第二選擇接觸點。此外，作為變形例，也可以基於第二接觸點7與第一電容器3的第二連接部3b之間的佈線路徑10的電阻值和第三接觸點8與第二電容器4的第二連接部4b之間的佈線路徑11的電阻值來進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。

作為具體例，例如對阻抗元件5的第一連接部5a與第二接觸點7a~7d之間的各個佈線路徑10的電阻值分別為81.3mΩ、78.6mΩ、74.7mΩ、75.9mΩ，阻抗元件5的第二連接部5b與第三接觸點8a~8d之間的各佈線路徑11的電阻值分別為72.7mΩ、73.6mΩ、77.1mΩ、79.3mΩ的情況進行說明。在此情況下，由於第一連接部5a與第二接觸點7b之間的電阻值78.6mΩ與第二連接部5b與第三接觸點8d之間的電阻值79.3mΩ最為接近，因此第二接觸點7b被選擇為第一選擇接觸點，第三接觸點8d被選擇為第二選擇接觸點。

這種用於接觸點7、8的選擇的、各個第二接觸點7與第一連接部5a之間的佈線路徑10的電阻值以及各第三接觸點8與第二連接部5b之間的佈線路徑11的電阻值，利用控制部27基於預先記憶在記憶部25的上述的設計數據來計算。關於電阻值的計算，例如在第一連接部5a與第二接觸點7a之間為佈線路徑10的情況下，基於沿著第一連接部5a與第二接觸點7a之間的佈線路徑10的佈線路徑10的路徑長度、佈線路徑10上的佈線以及通孔的橫截面面積、以及佈線和通孔的電阻率來計算該佈線路徑10的電阻值。

另外，控制部27的接觸點選擇功能還包括製成示意性地表示設置在檢測對象基板1上的上述的佈線路徑10、11的結構的如圖3A以及圖3B所示的佈線電路圖31、32並顯示在顯示部26上的功能。該佈線電路圖31是連接佈線圖像要素31a、通孔圖像要素31b、電子零件圖像要素31c、連接部 圖像要素31d以及接觸點圖像要素31e而表示各個第二接觸點7與阻抗元件5的第一連接部5a之間的佈線路徑10的結構的圖，其中，佈線圖像要素31a、通孔圖像要素31b、電子零件圖像要素31c、連接部圖像要素31d以及接觸點圖像要素31e分別表示該佈線路徑10所含的佈線、通孔、阻抗元件5、第一連接部5a以及第二接觸點7。佈線電路圖32是連接佈線圖像要素32a、通孔圖像要素32b、電子零件圖像要素32c、連接部圖像要素32d以及接觸點圖像要素32e而表示各個第三接觸點8與阻抗元件5的第二連接部5b之間的佈線路徑11的結構的圖，其中佈線圖像要素32a、通孔圖像要素32b、電子零件圖像要素32c、連接部圖像要素32d以及接觸點圖像要素32e分別表示該佈線路徑11所含的佈線、通孔、阻抗元件5、第二連接部5b以及第三接觸點8。這樣的佈線電路圖31、32基於預先記憶在記憶部25中的上述的設計數據而製成。

另外，如圖3A以及圖3B所示，顯示如上述那樣計算出的第一連接部5a與各個第二接觸點7a~7d之間的電阻值以及第二連接部5b與各個第三接觸點8a~8d之間的電阻值，使其分別對應於在顯示部26上的佈線電路圖31、32中的、與各個第二接觸點7a~7d對應的接觸點圖像要素31e以及與各個第三接觸點8a~8d對應的接觸點圖像要素32e。另外，進行用於將被選擇為第一以及第二選擇接觸點的第二接觸點7a~7d以及第三接觸點8a~8d與未被選擇的其它接觸點7a~7d、8a~8d進行區別的顯示。例如，被選擇為選擇接觸點的接觸點7a~7d、8a~8d所對應的接觸點圖像要素31e、32e以與未被選擇的其它接觸點7a~7d、8a~8d所對應的接觸點圖像要素31e、32e不同的顯示方式(例如，顯示顏色、閃爍-非閃爍、有無箭頭顯示等)進行顯示。

接下來，對控制部27的電特性檢測功能進行說明。在該電特性檢測功能中，首先控制連接切換部23，如圖4所示，在與第一接觸點6a、6b接觸的探針P1、P2中的、與任意一個第一接觸點6a、6b接觸的探針P1、P2(圖4的圖示例中為與接觸點6a接觸的探針P1)經由連接切換部23與檢測部22連接。另外，與第二接觸點7a~7d接觸的探針P3~P6中的、與被選擇 為第一選擇接觸點的任意一個第二接觸點7a~7d接觸的探針P3~P6(圖4的圖示例中為與接觸點7b接觸的探針P4)經由連接切換部23與檢測部22連接。另外，與第三接觸點8a~8d接觸的探針P7~P10中的、與被選擇為第二選擇接觸點的任意一個第三接觸點8a~8d接觸的探針P7~P10(圖4的圖示例中為與接觸點8d接觸的探針P10)經由連接切換部23與檢測部22連接。此時，探針P1、P4、P10以外的探針P與檢測部22的連接關係被連接切換部23關斷。

接著，在第一以及第二電容器3、4的第一連接部3a、4a與第二連接部3b、4b之間，經由接觸點6a、7b、8d以及探針P1、P4、P10由檢測部22的電源部22a施加用於檢測電容器容量的電力(在本實施形態中，例如為恒定輸出的交流電流)，利用電壓測量部22b以及電流測量部22c中的任意一方或者雙方檢測供給給電容器3、4的電壓以及電流中的任意一方或者雙方，並基於該檢測結果來檢測電容器3、4的電容器容量。

在此，能夠採用各種方法作為該電容器容量的檢測手法。例如，在本實施形態中，兩個電容器3、4的電容器容量相同，因此藉由對處於並聯關係的兩個電容器3、4的合成電容進行檢測，並將所檢測出的合成電容除以2，可得到各電容器3、4的電容器容量。關於電容器3、4的合成電容的測量手法，也可以採用各種手法，作為一個例子，例如可舉出下述方法：在向連接部3a、4a與連接部3b、4b之間施加交流電流時，測量連接部3a、4a與連接部3b、4b之間的電壓以及流過連接部3a、4a與連接部3b、4b之間的電流，基於這種電壓測量值以及電流測量值來計算合成電容。

此外，在本實施形態中，對第一以及第二電容器3、4的電容器容量相同的情況進行了說明，但在兩個電容器3、4的電容器容量不同的情況下，只要預先知曉兩個電容器3、4的電容比，就能夠基於該電容比和如上所述檢測出的兩電容器3、4的合成電容來得到各個電容器3、4的電容器容量。此外，在不清楚兩電容器3、4的電容比的情況下，例如可使用本申請人在之前的專利申請(日本特願2011-255349號)中記載的方法，藉由利用檢測 部22檢測兩個電容器3、4的電容比來得到各個電容器3、4的電容器容量。在此情況下，需要在檢測部22設置兩個電源部22a，並且電壓測量部22b以及電流測量部22c中的至少任意一方需要設置為兩個。另外，在此情況下，電容比的檢測也使用接觸點6a、6b的任意一方與如上述那樣設定的第一以及第二選擇接觸點(例如，接觸點7b、8d)來進行。

如上所述，根據本實施形態，在檢測第一以及第二電容器3、4的電容器容量時，從多個第二接觸點7a~7d以及第三接觸點8a~8d中，以第二接觸點7a~7d與阻抗元件5的第一連接部5a之間的佈線路徑10的電阻值和第三接觸點8a~8d與阻抗元件5的第二連接部5b之間的佈線路徑11的電阻值為最接近的值的組合的方式，各選擇一個第二接觸點7a~7d以及第三接觸點8a~8d作為第一以及第二選擇接觸點。另外，經由與任意一個第一接觸點6連接的探針P1、P2、與被分別選擇為第一選擇接觸點以及第二選擇接觸點的任意一個第二接觸點7a~7d以及第三接觸點8a~8d分別連接的探針P3~P6以及探針P7~P10來檢測第一以及第二電容器3、4的電容器容量。因此，可以將阻抗元件5的兩側的連接部5a、5b的電壓位準維持在實質上相同的位準，充分抑制阻抗元件5的影響，可以正確地檢測第一以及第二電容器3、4的電容器容量。

另外，在選擇第一以及第二選擇接觸點時，各個第二接觸點7a~7d與連接部5a之間的佈線路徑10的電阻值以及各個第三接觸點8a~8d與連接部5b之間的佈線路徑11的電阻值基於與各個佈線路徑10、11中的佈線以及通孔相關的設計數據等而被自動計算，基於這種計算結果自動地進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。因此，能夠減少與第一以及第二選擇接觸點的選擇作業相關的操作者的負擔。

另外，在選擇第一以及第二選擇接觸點時，示意性地表示各個第二接觸點7a~7d與連接部5a之間的佈線路徑10的結構以及各個第三接觸點8a~8d與連接部5b之間的佈線路徑11的結構的佈線電路圖31、32基於設計數據而被自動地製成，並與計算得出的佈線路徑10、11的上述的電阻值一 起顯示在顯示部26上。因此，基於該顯示部26的顯示內容，操作者能夠容易地瞭解各個第二接觸點7a~7d與連接部5a之間的佈線路徑10的結構和電阻值、以及各個第三接觸點8a~8d與連接部5b之間的佈線路徑11的結構和電阻值，能夠容易地對選擇出的第一以及第二選擇接觸點的正確性進行確認等。

接下來，對上述的實施形態的結構的變形例進行說明。在上述的結構中，使控制部27自動進行從多個第二接觸點7a~7d以及第三接觸點8a~8d中選擇第一以及第二選擇接觸點，但也可以是由操作者進行第一以及第二選擇接觸點的選擇，並將選擇出的內容經由輸入接收部24輸入至電特性檢測裝置2。在此情況下，例如藉由參照由控制部27給出的表示各個第二接觸點7a~7d與連接部5a之間的佈線路徑10的結構以及各個第三接觸點8a~8d與連接部5b之間的佈線路徑11的結構的上述的佈線電路圖31、32、以及佈線路徑10、11的電阻值，操作者能夠容易地進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。

另外，在上述的實施形態中，將設置在檢測對象基板1上的佈線路徑中的、使控制部27進行電阻值的計算以及佈線電路圖的製成的對象部分預先設定為各個第二接觸點7a~7d與連接部5a之間的佈線路徑10以及各第三接觸點8a~8d與連接部5b之間的佈線路徑11。作為關於這點的變形例而言，可以根據由操作者經由輸入接收部24輸入的指示來確定(設定輸入)設置在檢測對象基板1上的佈線路徑中的、使控制部27進行電阻值的計算以及佈線電路圖的製成的對象部分。

1‧‧‧檢測對象基板

3‧‧‧第一電容器

3a‧‧‧第一連接部

3b‧‧‧第二連接部

4‧‧‧第二電容器

4a‧‧‧第一連接部

4b‧‧‧第二連接部

5‧‧‧阻抗元件

5a‧‧‧第一連接部

5b‧‧‧第二連接部

6a、6b‧‧‧第一接觸點

7a~7d‧‧‧第二接觸點

8a~8d‧‧‧第三接觸點

9~11‧‧‧佈線路徑

P1~P10‧‧‧探針

Claims (5)

1. 一種電特性檢測方法，在檢測對象基板內設置有將第一~第三電子零件連接成三角狀的三角形電路，並且在上述檢測對象基板的表面設置有第一接觸點和多個第二以及第三接觸點，該第一接觸點經由佈線路徑而電連接於相互電連接的該第一電子零件的第一連接部以及該第二電子零件的第一連接部，各個該第二接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的該第一電子零件的第二連接部以及該第三電子零件的第一連接部，各個該第三接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的該第二電子零件的第二連接部以及該第三電子零件的第二連接部，該電特性檢測方法是對該第一電子零件以及該第二電子零件的電特性進行檢測的電特性檢測方法，其特徵在於，該電特性檢測方法包括：接觸點選擇步驟，其中，從多個該第二接觸點以及該第三接觸點中，以該第二接觸點與該第三電子零件的該第一連接部或者該第一電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值、和該第三接觸點與該第三電子零件的該第二連接部或者該第二電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值為最接近的值的組合的方式，各選擇一個該第二接觸點以及該第三接觸點作為第一以及第二選擇接觸點；以及電特性檢測步驟，其中，經由與該第一接觸點連接的探針、與該第一選擇接觸點連接的探針以及與該第二選擇接觸點連接的探針，來檢測該第一電子零件以及該第二電子零件的電特性。
2. 如申請專利範圍第1項之電特性檢測方法，其特徵在於，在該接觸點選擇步驟中，將與設置在該檢測對象基板上的、構成佈線路徑的佈線以及通孔相關的設計數據預先記憶在規定的記憶部中，使規定的資訊處理部基於該設計數據計算各個該第二接觸點與該第三電子零件的該第一連接部或者該第一電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值、以及各個該第三接觸點與該第三電子零件的該第二連接部或者該第二電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值，並將計算出的該電阻值顯示在規定的顯示部上。
3. 如申請專利範圍第2項之電特性檢測方法，其特徵在於，在該接觸點選擇步驟中，使該資訊處理部基於記憶在該記憶部中的該設計數據製成佈線電路圖，並將該佈線電路圖與所計算出的該電阻值一起顯示在該顯示部上，其中該佈線電路圖是將表示該等佈線路徑所包含的佈線以及通孔的佈線圖像要素以及通孔圖像要素加以連接，來表示各個該第二接觸點與該第三電子零件的該第一連接部或者該第一電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的結構、以及各個該第三接觸點與該第三電子零件的該第二連接部或者該第二電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的結構。
4. 如申請專利範圍第1項之電特性檢測方法，其特徵在於，在該接觸點選擇步驟中，使與設置在該檢測對象基板上的、構成佈線路徑的佈線以及通孔相關的設計數據預先記憶在規定的記憶部中，使規定的資訊處理部基於該設計數據來計算各個該第二接觸點與該第三電子零件的該第一連接部或者該第一電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值、以及各個該第三接觸點與該第三電子零件的該第二連接部或者該第二電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值，並基於該計算的結果從多個該第二接觸點以及該第三接觸點中選擇該第一選擇接觸點以及該第二選擇接觸點。
5. 一種電特性檢測裝置，在檢測對象基板內設置有將第一~第三電子零件連接成三角狀的三角形電路，並且在該檢測對象基板的表面設置有第一接觸點和多個第二以及第三接觸點，該第一接觸點經由佈線路徑而電連接於相互電連接的該第一電子零件的第一連接部以及該第二電子零件的第一連接部，各個該第二接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的該第一電子零件的第二連接部以及該第三電子零件的第一連接部，各個該第三接觸點分別經由佈線路徑而電連接於相互電連接的該第二電子零件的第二連接部以及該第三電子零件的第二連接部，該電特性檢測裝置是對該第一電子零件以及該第二電子零件的電特性進行檢測的電特性檢測裝置， 其特徵在於，該電特性檢測裝置具備：檢查夾具，該檢查夾具具有分別與該第一接觸點、該第二接觸點以及該第三接觸點連接的多個探針；檢測部，該檢測部經由該檢查夾具的該探針來檢測該第一電子零件以及該第二電子零件的電特性；連接切換部，該連接切換部對該檢查夾具的該探針與該檢測部的電連接關係進行切換；以及控制部，該控制部對該檢測部以及該連接切換部進行控制，該控制部從多個該第二接觸點以及該第三接觸點中，以該第二接觸點與該第三電子零件的該第一連接部或者該第一電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值、和該第三接觸點與該第三電子零件的該第二連接部或者該第二電子零件的該第二連接部之間的該佈線路徑的電阻值為最接近的值的組合的方式，各選擇一個該第二接觸點以及該第三接觸點作為第一以及第二選擇接觸點，並且該控制部控制該檢查部以及該連接切換部，經由與該第一接觸點連接的該探針、與該第一選擇接觸點連接的該探針以及與該第二選擇接觸點連接的該探針來檢測該第一電子零件以及該第二電子零件的電特性。