KR102046619B1

KR102046619B1 - 전기특성 검출방법 및 검출장치

Info

Publication number: KR102046619B1
Application number: KR1020130063807A
Authority: KR
Inventors: 무네히로 야마시타
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2012-06-08
Filing date: 2013-06-04
Publication date: 2019-11-19
Also published as: KR20130138119A; CN103487674A; CN103487674B; TWI583977B; TW201403099A; JP2013253902A; JP5991034B2

Abstract

(과제)
본 발명은, 검출대상기판 내에 설치된 델타회로를 구성하는 제1 내지 제3전자부품 중에서 제1 및 제2전자부품의 전기특성을, 제3전자부품의 영향을 충분히 억제하여 정확하게 검출할 수 있는 전기특성 검출방법 및 검출장치를 제공한다.
(해결수단)
검출대상기판(1)의 표면의 복수의 제2접촉점(7a∼7d) 및 제3접촉점(8a∼8d) 중으로부터, 상기 제2접촉점과 제3전자부품(예를 들면 임피던스 소자(5))의 제1접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 저항값과, 상기 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 제2접촉점 및 제3접촉점이 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택된다. 그리고 제1접촉점(6a, 6b), 제1선택접촉점 및 제2선택접촉점을 통하여 제1 및 제2전자부품(예를 들면 콘덴서(3, 4))의 전기특성이 검출된다.

Description

전기특성 검출방법 및 검출장치{ELECTRIC PROPERTY DETECTION METHOD AND ELECTRIC PROPERTY DETECTION APPARATUS}

본 발명은, 검출대상기판 내에 포함된 델타회로(delta回路)를 구성하는 3개의 전자부품 중에서 2개의 전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출방법(電氣特性檢出方法) 및 검출장치(檢出裝置)에 관한 것이다.

특히 최근에 기판제조기술이 발달함에 따라 다층화(多層化)된 기판에 콘덴서나 코일 등의 전자부품이 내장된 내장형 기판(임베디드 기판(embeded 基板))의 개발이 진행되고 있다. 이와 같은 미세화 되고 또한 복잡화 된 기판에 있어서, 외부장치와의 전기적인 접속을 할 수 있는 것은 기판 상에 형성되는 접촉점(接觸點)밖에 없기 때문에, 내장되는 전자부품의 전기특성을 검사 등을 하기 위하여 검출하는 것에는 곤란한 점이 많이 있다.

또한 기판 내에 3개의 제1 내지 제3전자부품이 델타 모양으로 접속되어 이루어지는 델타회로(delta回路)가 설치되어 있는 경우에, 그 델타회로를 구성하는 3개의 전자부품 중에서 2개의 제1 및 제2전자부품의 전기특성을 정확하게 검출하기 위해서는, 나머지 1개의 제3전자부품의 영향을 배제하여 전기특성의 검출을 할 필요가 있다. 이렇게 하기 위해서는, 제3전자부품에 있어서 양측의 접속부의 전압레벨을 동일한 레벨로 유지하면서, 제1 및 제2전자부품에 전기특성검출을 위한 전력을 공급할 필요가 있다. 이 점에 대하여, 본원 출원인은 아직까지 미공개된 일본국 특허출원 2011-255349호로서 본원보다 먼저 특허출원을 하였다.

그러나 제3전자부품의 양측 접속부와 접속된 기판표면의 2개 접촉점의 전압레벨을 동일한 레벨로 하더라도, 많은 경우에 그 각 접촉점과 제3전자부품의 양측 접속부 사이의 배선경로의 저항값이 서로 다르다. 이 때문에 제3전자부품의 양측 접속부의 전압레벨이 서로 달라서 제3전자부품의 영향을 배제하지 않고, 제1 및 제2전자부품의 전기특성을 정확하게 검출할 수 없다는 문제가 있다.

또 선행기술문헌으로서는, 예를 들면 특허문헌1, 2를 들 수 있다.

일본국 공개특허 특개평8-211113호 공보 일본국 공개특허 특개2006-250743호 공보

여기에서 본 발명이 해결하여야 하는 과제는, 검출대상기판 내에 설치된 델타회로를 구성하는 제1 내지 제3전자부품 중에서 제1 및 제2전자부품의 전기특성을, 제3전자부품의 영향을 충분히 억제하여 정확하게 검출할 수 있는 전기특성 검출방법 및 검출장치를 제공하는 것이다.

상기의 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 제1국면에서는, 검출대상기판 내에, 제1 내지 제3전자부품이 델타(delta) 모양으로 접속된 델타회로(delta回路)가 설치됨과 아울러, 상기 검출대상기판의 표면에 제1접촉점과 복수의 제2 및 제3접촉점이 형성되고, 상기 제1접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제1접속부 및 상기 제2전자부품의 제1접속부와 배선경로(配線經路)를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제2접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제1접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제3접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제2전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제2접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출방법(電氣特性檢出方法)으로서, 복수의 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점 중으로부터, 상기 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값과, 상기 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점을 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택하는 접촉점 선택단계(接觸點選擇段階)와, 상기 제1접촉점에 접속된 프로브(probe)와, 상기 제1선택접촉점에 접속된 프로브 및 상기 제2선택접촉점에 접속된 프로브를 통하여 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출단계(電氣特性檢出段階)를 구비한다.

또한 본 발명의 제2국면에서는, 상기 제1국면에 관한 전기특성 검출방법에 있어서, 상기 접촉점 선택단계에서는, 상기 검출대상기판에 형성되는 배선경로를 구성하는 배선 및 스루홀(through hole)에 관한 설계데이터를 소정의 기억부(記憶部)에 미리 기억시켜 두고, 소정의 정보처리부(情報處理部)에, 상기 설계데이터에 의거하여 상기 각 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값, 및 상기 각 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값을 산출시키고, 산출한 그들의 저항값을 소정의 표시부(表示部)에 표시시킨다.

또한 본 발명의 제3국면에서는, 상기 제2국면에 관한 전기특성 검출방법에 있어서, 상기 접촉점 선택단계에서는, 상기 정보처리부에, 상기 각 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 구성, 및 상기 각 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 구성을 그들의 배선경로에 포함되는 배선 및 스루홀을 나타내는 배선화상요소 및 스루홀 화상요소를 연결시켜서 나타내는 배선회로도(配線回路圖)를, 상기 기억부에 기억된 상기 설계데이터에 의거하여 작성시키고, 그들의 배선회로도를 산출된 상기 저항값과 함께 상기 표시부에 표시시킨다.

또한 본 발명의 제4국면에서는, 상기 제1국면에 관한 전기특성 검출방법에 있어서, 상기 접촉점 선택단계에서는, 상기 검출대상기판에 형성되는 배선경로를 구성하는 배선 및 스루홀에 관한 설계데이터를 소정의 기억부에 미리 기억시켜 두고, 소정의 정보처리부에, 상기 설계데이터에 의거하여 상기 각 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값, 및 상기 각 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값을 산출시키고, 그 산출결과에 의거하여 복수의 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점 중으로부터 상기 제1선택접촉점 및 상기 제2선택접촉점을 선택시킨다.

또한 본 발명의 제5국면에서는, 검출대상기판 내에, 제1 내지 제3전자부품이 델타 모양으로 접속된 델타회로가 설치됨과 아울러, 상기 검출대상기판의 표면에 제1접촉점과 복수의 제2 및 제3접촉점이 형성되고, 상기 제1접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제1접속부 및 상기 제2전자부품의 제1접속부와 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제2접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제1접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제3접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제2전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제2접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출장치(電氣特性檢出裝置)로서, 상기 제1접촉점, 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점에 각각 접속되는 복수의 프로브를 구비하는 검사치구(檢査治具)와, 상기 검사치구의 상기 프로브를 통하여 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 검출부(檢出部)와, 상기 검사치구의 상기 프로브와 상기 검출부의 전기적인 접속관계를 절체(切替)하는 접속절체부(接續切替部)와, 상기 검출부 및 상기 접속절체부를 제어하는 제어부(制御部)를 구비하고, 상기 제어부는, 복수의 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점 중으로부터, 상기 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값과, 상기 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점을 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택함과 아울러, 상기 검사부 및 상기 접속절체부를 제어하고, 상기 제1접촉점에 접속된 상기 프로브와, 상기 제1선택접촉점에 접속된 상기 프로브 및 상기 제2선택접촉점에 접속된 상기 프로브를 통하여 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출한다.

본 발명의 제1 및 제5국면에 의하면, 검출대상기판 표면의 복수의 제2접촉점 및 제3접촉점 중으로부터, 상기 제2접촉점과 제3전자부품의 제1접속부 또는 제1전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값과, 상기 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부 또는 제2전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 제2접촉점 및 제3접촉점이 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택된다. 그리고 제1접촉점에 접속된 프로브와, 제1선택접촉점 및 제2선택접촉점에 각각 접속된 프로브를 통하여 제1 및 제2전자부품의 전기특성이 검출된다. 이 때문에 제3전자부품의 양측 접속부의 전압레벨을 실질적으로 동일한 레벨로 유지하여, 제3전자부품의 영향을 충분하게 억제함으로써 제1 및 제2전자부품의 전기특성을 정확하게 검출할 수 있다.

본 발명의 제2국면에 의하면, 검출대상기판 표면의 각 제2접촉점과 제3전자부품의 제1접속부 또는 제1전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값, 및 각 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부 또는 제2전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값이 각 배선경로 중의 배선 및 스루홀에 관한 설계데이터에 의거하여 자동으로 산출되어 표시부에 표시된다, 이 때문에 그 표시부의 표시내용에 의거하여 작업자가 각 제2접촉점과 제3전자부품의 제1접속부 또는 제1전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값, 및 각 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부 또는 제2전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값을 용이하게 인식할 수 있어, 제1 및 제2선택접촉점의 선택작업 또는 선택된 제1 및 제2선택접촉점의 정확성의 확인 등을 용이하게 할 수 있다.

본 발명의 제3국면에 의하면, 검출대상기판 표면의 각 제2접촉점과 제3전자부품의 제1접속부 또는 제1전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 구성, 및 각 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부 또는 제2전자부품의 제2접속의 사이의 배선경로의 구성을 그들의 배선경로에 포함되는 배선 및 스루홀을 나타내는 배선화상요소 및 스루홀 화상요소를 연결시켜서 나타내는 배선회로도가 기억부에 기억된 설계데이터에 의거하여 자동으로 작성되고, 그들의 배선회로도가 산출된 각 배선경로의 상기한 저항값과 함께 표시부에 표시된다. 이 때문에 그 표시부의 표시내용에 의거하여 작업자가 각 제2접촉점과 제3전자부품의 제1접속부 또는 제1전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 구성과 저항값, 및 각 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부 또는 제2전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 구성과 저항값을 용이하게 인식할 수 있어, 제1 및 제2선택접촉점의 선택작업 또는 선택된 제1 및 제2선택접촉점의 정확성의 확인 등을 더 용이하게 할 수 있다.

본 발명의 제4국면에 의하면, 검출대상기판 표면의 각 제2접촉점과 제3전자부품의 제1접속부 또는 제1전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값, 및 각 제3접촉점과 제3전자부품의 제2접속부 또는 제2전자부품의 제2접속부 사이의 배선경로의 저항값이 각 배선경로 중의 배선 및 스루홀에 관한 설계데이터에 의거하여 자동으로 산출되고, 그 산출결과에 의거하여 제1 및 제2선택접촉점의 선택이 자동으로 이루어진다. 이 때문에 제1 및 제2선택접촉점의 선택작업에 관한 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

도1은, 본 발명의 1실시형태에 관한 전기특성 검출방법의 검출대상인 검출대상기판의 구성 등을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도2는, 본 발명의 1실시형태에 관한 전기특성 검출방법이 적용된 전기특성 검출장치의 전기적 구성을 나타내는 블럭도이다.
도3a는, 도2의 전기특성 검출장치에 의하여 작성된 배선회로도를 나타내고, 이 배선회로도는, 도1의 검출대상기판 내의 제1콘덴서의 제2접속부로부터 각각의 제2접촉점까지의 배선경로의 구성에 대응하고 있다.
도3b는, 도2의 전기특성 검출장치에 의하여 작성된 배선회로도를 나타내고, 이 배선회로도는, 도1의 검출대상기판 내의 제2콘덴서의 제2접속부로부터 각각의 제3접촉점까지의 배선경로의 구성에 대응하고 있다.
도4는, 도2의 전기특성 검출장치에 의하여 도1의 검출대상기판 내의 제1 및 제2콘덴서의 전기특성의 검출이 이루어질 때의 회로구성을 나타내는 도면이다.

도1 내지 도4를 참조하여 본 발명의 1실시형태에 관한 전기특성 검출방법이 적용된 전기특성 검출장치(電氣特性檢出裝置)에 대하여 설명한다.

우선 도1에 의거하여 본 실시형태에 관한 전기특성 검출장치(2)의 검출대상인 검출대상기판(檢出對象基板)(1)에 대하여 설명한다. 이 검출대상기판(1)은 복수의 기판이 적층(積層)되어 구성된 적층기판이며, 그 내부에, 도1에 나타나 있는 바와 같이 델타(delta) 모양으로 접속되어 델타회로(delta回路)를 구성하는 제1 및 제2콘덴서(3, 4) 및 임피던스를 구비하는 임피던스 소자(예를 들면 인덕터))(5)가 설치되어 있다. 이 제1 및 제2콘덴서(3, 4)가 본 발명의 제1 및 제2전자부품에 대응하고 있고, 임피던스 소자가 본 발명의 제3전자부품에 대응하고 있다. 제1콘덴서(3)의 제1접속부(第一接續部)(3a)와 제2콘덴서(4)의 제1접속부(4a)가 배선경로(配線經路)에 의하여 접속되어 있고, 제1콘덴서(3)의 제2접속부(第二接續部)(3b)와 임피던스 소자(5)의 제1접속부(5a)가 배선경로에 의하여 접속되어 있고, 제2콘덴서(4)의 제2접속부(4b)와 임피던스 소자(5)의 제2접속부(5b)가 배선경로에 의하여 접속되어 있다.

본 실시형태에서는, 제1 및 제2콘덴서(3, 4)인 전자부품이 동일한 전기특성(여기에서는, 콘덴서 용량)을 구비하고 있는 경우에 대하여 설명하지만, 2개의 콘덴서(3, 4)의 용량이 서로 다르게 되어 있어도 좋다. 또한 제1 및 제2콘덴서(3, 4)는 제1 및 제2전자부품의 예시이며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한 임피던스 소자(5)에 대해서도 제3전자부품의 예시이며, 이것에 한정되는 것은 아니다.

또한 검출대상기판(1)의 표면에는, 적어도 1개(도1의 예에서는 2개)의 제1접촉점(第一接觸點)(6a, 6b)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「6」을 사용한다), 복수(도1의 예에서는 4개)의 제2접촉점(第二接觸點)(7a∼7d)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「7」을 사용한다) 및 복수(도1의 예에서는 4개)의 제3접촉점(第三接觸點)(8a∼8d)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「8」을 사용한다)이 형성되어 있다. 또 본 실시형태에서는 설명을 간략하게 하기 위하여 검출대상기판(1)의 구성을 간략화 하여 설명하고 있지만, 통상의 경우에는, 검출대상기판(1) 내에는 콘덴서(3, 4) 및 임피던스 소자(5)뿐만 아니라, 다른 전자부품 및 그것에 따르는 배선(예를 들면 배선패턴) 등이 형성됨과 아울러, 검출대상기판(1)의 표면에도 제1 내지 제3접촉점(6∼8) 이외의 복수의 접촉점이 형성된다. 여기에서 접촉점(7, 8)은, 배선에 형성된 랜드부(land部) 또는 그 랜드부에 부여된 솔더볼(solder ball) 등으로 구성된다.

제1접촉점(6)은, 제1콘덴서(3)의 제1접속부(3a) 및 제2콘덴서(4)의 제1접속부(4a)와 배선경로(9)를 통하여 각각 접속되어 있다. 제2접촉점(7)은, 제1콘덴서(3)의 제2접속부(3b) 및 임피던스 소자(5)의 제1접속부(5a)와 배선경로(10)를 통하여 각각 접속되어 있다. 제3접촉점(8)은, 제2콘덴서(4)의 제2접속부(4b) 및 임피던스 소자(5)의 제2접속부(5b)와 배선경로(11)를 통하여 각각 접속되어 있다.

다음에 도2를 참조하여 전기특성 검출장치(2)의 구성에 대하여 설명한다. 전기특성 검출장치(2)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 검사치구(檢査治具)(21), 검출부(檢出部)(22), 접속절체부(接續切替部)(23), 입력접수부(入力接受部)(24), 기억부(記憶部)(25), 표시부(表示部)(26) 및 제어부(制御部)(27)를 구비하고 있고, 검출대상기판(1)의 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 전기특성(본 실시형태에서는, 콘덴서 용량)의 검출에 사용된다. 제어부(27)는, 본 발명에 관한 정보처리부(情報處理部)에 대응하고 있다. 또 본 실시형태에서는, 전기특성 검출장치(2)에 의하여 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량을 검출하도록 하였지만, 이에 한정되지 않고 여러 가지 전자부품의 다른 전기특성(예를 들면 임피던스, 저항 등)을 검출하도록 하여도 좋다.

검사치구(21)는, 검출대상기판(1)의 제1 내지 제3접촉점(6∼8)에 각각 접촉되어 접속되는 복수의 프로브(probe)(P1∼P10)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「P」를 사용한다)를 구비하고 있다. 또 변형예로서, 각 접촉점(6∼8)의 일부 또는 전부에 프로브(P)를 복수 개(예를 들면 2개)씩 접촉시키도록 하여도 좋다. 또한 도2에 나타내는 구성에서는 간단화를 하기 위하여 생략하고 있지만, 검사치구(21)는, 검출대상기판(1)의 상면측 및 하면측에 각각 접촉되는 상측 치구부와 하측 치구부를 구비하고 있다. 도1에 나타나 있는 예에서는, 프로브(P1, P2)가 제1접촉점(6a, 6b)에 각각 접촉되고, 프로브(P3∼P6)가 제2접촉점(7a∼7d)에 각각 접촉되고, 프로브(P7∼P10)가 제3접촉점(8a∼8d)에 각각 접촉된다.

검출부(22)는, 전원부(電源部)(22a), 전압측정부(電壓測定部)(22b) 및 전류측정부(電流測定部)(22c)를 구비하고 있다. 전원부(22a)는, 제어부(27)의 제어에 의하여 검사치구(21)의 프로브(P)를 통하여 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량을 검출하기 위한 전력(예를 들면 교류전류 또는 주기적으로 전류값이 변동하는 직류변동전류)을 검출대상기판(1)의 접촉점(6∼8) 사이에 공급한다. 전압측정부(22b)는, 제어부(27)의 제어에 의하여 검사치구(21)의 프로브(P)를 통하여 검출대상기판(1)의 접촉점(6∼8) 사이에 부여된 전압을 측정하여 측정결과를 제어부(27)로 보낸다. 전류측정부(22c)는, 제어부(27)의 제어에 의하여 검사치구(21)의 프로브(P)를 통하여 검출대상기판(1)의 접촉점(6∼8) 사이에 공급되는 전류를 측정하여 측정결과를 제어부(27)로 보낸다.

접속절체부(23)는, 제어부(27)의 제어에 의하여 온, 오프 동작하는 복수의 스위칭 소자(switching 素子)를 구비하여 구성되어 있고, 제어부(27)의 제어에 의하여 검사치구(21)의 각 프로브(P)와, 검출부(22)의 전원부(22a), 전압측정부(22b) 및 전류측정부(22c) 사이의 전기적인 접속관계를 절체(切替)한다.

입력접수부(24)는, 전기특성 검출장치(2)에 대한 조작입력을 접수하는 도면에 나타내지 않은 조작부를 구비함과 아울러, 네트워크 또는 착탈식의 기록매체(디스크 모양 기록매체, 착탈식의 반도체 기록매체 등) 등으로부터 정보를 취득하는 도면에 나타내지 않은 정보취득부 등을 구비하고 있다. 검출대상기판(1)의 구성에 관한 기판데이터는, 이 입력접수부(24)를 통하여 네트워크 또는 착탈식의 기록매체 등으로부터 입력된다.

기억부(25)는, 반도체 메모리 또는 하드디스크 등을 구비하여 구성되어 있고, 전기특성 검출장치(2)의 검출동작에 필요한 각종 데이터가 기억되어 있다. 예를 들면 기억부(25)에는, 검출대상기판(1)의 구성에 관한 기판데이터가 기억된다. 이 기판데이터에는, 검출대상기판(1)에 형성되는 상기의 배선경로(9∼11) 등을 포함하는 각 배선경로를 구성하는 배선 및 스루홀(through hole)의 3차원적인 배선설치구조(경로 상의 각 위치의 위치정보, 형상 등)에 관한 설계데이터가 포함된다. 또한 그 설계데이터에는, 각 배선경로에 형성되는 각 접속부(예를 들면 접속부(3a, 3b, 4a, 4b, 5a, 5b 등) 및 각 접촉점(예를 들면 접촉점(6∼8) 등)에 관한 위치정보도 포함된다. 또한 기판데이터에는, 검출대상기판(1)에 형성되는 배선의 저항율(抵抗率) 및 스루홀의 저항율에 관한 저항율 데이터가 포함된다.

표시부(26)는, 제어부(27)의 제어에 의하여 전기특성 검출장치(2)의 조작에 관한 조작정보 및 검출대상기판(1)에 관한 검출결과 등이 표시된다.

제어부(27)는 전기특성 검출장치(2) 전체의 제어를 담당하는 것으로서, 구체적으로는, 입력접수부(24) 등을 통하여 지시 및 정보의 접수, 접수한 정보의 기억부(25)에 대한 보존, 전원부(22a), 전압측정부(22b), 전류측정부(22c), 접속절체부(23) 및 표시부(26)의 제어 등을 한다.

다음에 제어부(27)의 제어동작에 관한 설명을 하면서, 이 전기특성 검출장치(2)의 동작에 대하여 설명한다. 제어부(27)의 기능에는, 접촉점 선택기능(接觸點選擇機能) 및 전기특성 검출기능(電氣特性檢出機能)이 포함된다. 여기에서 전기특성 검출장치(2)의 동작단계에는, 접촉점 선택기능이 주도하는 접촉점 선택단계와, 전기특성 검출기능이 주도하는 전기특성 검출단계가 포함되어 있다. 상세한 것은 후술하겠지만, 접촉점 선택단계에서는, 검출대상기판(1)에 형성되는 복수의 제2 및 제3접촉점(7, 8) 중으로부터 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량을 검출하기 위한 전력공급에 사용되는 접촉점(7, 8)이 1개씩 선택된다. 전기특성 검출단계에서는, 그 선택된 접촉점(7, 8) 등을 통하여 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량의 검출이 이루어진다. 또 동일한 구성을 구비하는 동일한 종류의 검출대상기판(1)에 대하여 콘덴서 용량의 검출이 계속하여 이루어지는 경우에는, 2매째 이후의 검출대상기판(1)에 대해서는 접촉점 선택단계는 생략된다.

제어부(27)의 접촉점 선택기능에서는, 복수의 제2 및 제3접촉점(7, 8) 중으로부터 상기 제2접촉점(7)과 임피던스 소자(5)의 제1접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 저항값과, 상기 제3접촉점(8)과 임피던스 소자(5)의 제2접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 저항값이, 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 제2접촉점(7) 및 제3접촉점(8)이 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택된다. 여기에서 저항값의 가까움을 판단하는 지표로서는, 예를 들면 비교대상의 2개의 저항값 차이를, 그 2개의 저항값 중에서 어느 일방(一方)의 저항값으로 나눗셈을 한 값을 사용하더라도 좋다. 이 경우에 그 나눗셈을 한 값이 가장 작은 저항값의 조합이 되도록 제1 및 제2선택접촉점이 선택된다. 또 변형예로서, 제2접촉점(7)과 제1콘덴서(3)의 제2접속부(3b) 사이의 배선경로(10)의 저항값과, 제3접촉점(8)과 제2콘덴서(4)의 제2접속부(4b) 사이의 배선경로(11)의 저항값에 의거하여 제1 및 제2선택접촉점의 선택을 하더라도 좋다.

구체적인 예로서, 예를 들면 임피던스 소자(5)의 제1접속부(5a)와 제2접촉점(7a∼7d) 사이의 각 배선경로(10)의 저항값이 각각 81.3mΩ, 78.6mΩ, 74.7mΩ, 75.9mΩ이고, 임피던스 소자(5)의 제2접속부(5b)와 제3접촉점(8a∼8d) 사이의 각 배선경로(11)의 저항값이 각각 72.7mΩ, 73.6mΩ, 77.1mΩ, 79.3mΩ인 경우에 대하여 설명한다. 이 경우에 제1접속부(5a)와 제2접촉점(7b) 사이의 저항값 78.6mΩ과, 제2접속부(5b)와 제3접촉점(8d) 사이의 저항값 79.3mΩ이 가장 가깝기 때문에, 제2접촉점(7b)이 제1선택접촉점으로서 선택되고, 제3접촉점(8d)이 제2선택접촉점으로서 선택된다.

이 접촉점(7, 8)의 선택에 사용되는 각 제2접촉점(7)과 제1접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 저항값, 및 각 제3접촉점(8)과 제2접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 저항값은, 기억부(25)에 미리 기억된 상기의 설계데이터에 의거하여 제어부(27)에 의하여 산출된다. 저항값의 산출은, 예를 들면 제1접속부(5a)와 제2접촉점(7a) 사이의 배선경로(10)의 경우에, 제1접속부(5a)와 제2접촉점(7a) 사이의 배선경로(10)에 따른 배선경로(10)의 경로길이, 배선경로(10) 상의 배선과 스루홀의 단면적 및 배선과 스루홀의 저항율에 의거하여 그 배선경로(10)의 저항값이 산출된다.

또한 제어부(27)의 접촉점 선택기능에는, 검출대상기판(1)에 형성되는 상기의 배선경로(10, 11)의 구성을 모식적으로 나타내는 도3a 및 도3b에 나타나 있는 바와 같은 배선회로도(配線回路圖)(31, 32)를 작성하여 표시부(26)에 표시시키는 기능이 포함되어 있다. 이 배선회로도(31)는, 각 제2접촉점(7)과 임피던스 소자(5)의 제1접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 구성을, 그 배선경로(10)에 포함되는 배선, 스루홀, 임피던스 소자(5), 제1접속부(5a) 및 제2접촉점(7)을 각각 나타내는 배선화상요소(31a), 스루홀 화상요소(3lb), 전자부품 화상요소(31c), 접속부 화상요소(31d) 및 접촉점 화상요소(31e)를 연결시켜서 나타낸 것이다. 배선회로도(32)는, 각 제3접촉점(8)과 임피던스 소자(5)의 제2접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 구성을, 그 배선경로(11)에 포함되는 배선, 스루홀, 임피던스 소자(5), 제2접속부(5b) 및 제3접촉점(8)을 각각 나타내는 배선화상요소(32a), 스루홀 화상요소(32b), 전자부품 화상요소(32c), 접속부 화상요소(32d) 및 접촉점 화상요소(32e)를 연결시켜서 나타낸 것이다. 이러한 배선회로도(31, 32)는, 기억부(25)에 미리 기억된 상기의 설계데이터에 의거하여 작성된다.

또한 표시부(26)에 표시되는 배선회로도(31, 32) 중의 각각의 제2접촉점(7a∼7d)에 대응하는 접촉점 화상요소(31e) 및 각각의 제3접촉점(8a∼8d)에 대응하는 접촉점 화상요소(32e)에 각각 대응시켜서, 도3a 및 도3b에 나타나 있는 바와 같이, 상기와 같이 산출된 제1접속부(5a)와 각각의 제2접촉점(7a∼7d) 사이의 저항값, 및 제2접속부(5b)와 각각의 제3접촉점(8a∼8d) 사이의 저항값이 표시된다. 그리고 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택된 제2접촉점(7a∼7d) 및 제3접촉점(8a∼8d)을 선택하지 않은 다른 접촉점(7a∼7d, 8a∼8d)과 구별하기 위한 표시가 이루어진다. 예를 들면 선택접촉점에 선택된 접촉점(7a∼7d, 8a∼8d)에 대응하는 접촉점 화상요소(31e, 32e)가, 선택되지 않은 다른 접촉점(7a∼7d, 8a∼8d)에 대응하는 접촉점 화상요소(31e, 32e)와 다르게 이루어진 표시태양(예를 들면 표시색, 점멸-비점멸, 화살표 표시의 유무 등)에 의하여 표시된다.

다음에 제어부(27)의 전기특성 검출기능에 대하여 설명한다. 이 전기특성 검출기능에서는, 우선 접속절체부(23)가 제어되어, 도4에 나타나 있는 바와 같이 제1접촉점(6a, 6b)에 접촉된 프로브(P1, P2) 중에서 어느 하나의 제1접촉점(6a, 6b)에 접촉된 프로브(P1, P2)(도4에 나타나 있는 예에서는, 접촉점(6a)에 접촉된 프로브(P1))가 접속절체부(23)를 통하여 검출부(22)에 접속된다. 또한 제2접촉점(7a∼7d)에 접촉된 프로브(P3∼P6) 중에서 제1선택접촉점으로서 선택된 어느 하나의 제2접촉점(7a∼7d)에 접촉된 프로브(P3∼P6)(도4에 나타나 있는 예에서는, 접촉점(7b)에 접촉된 프로브(P4))가 접속절체부(23)를 통하여 검출부(22)에 접속된다. 또한 제3접촉점(8a∼8d)에 접촉된 프로브(P7∼P10) 중에서 제2선택접촉점으로서 선택된 어느 하나의 제3접촉점(8a∼8d)에 접촉된 프로브(P7∼P10)(도4에 나타나 있는 예에서는, 접촉점(8d)에 접촉된 프로브(P10))가 접속절체부(23)를 통하여 검출부(22)에 접속된다. 이 때에 프로브(P1, P4, P10) 이외의 프로브(P)는 접속절체부(23)에 의하여 검출부(22)와의 접속관계가 오프 된다.

계속하여 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 제1접속부(3a, 4a)와, 제2접속부(3b, 4b)의 사이에, 접촉점(6a, 7b, 8d) 및 프로브(P1, P4, P10)를 통하여 검출부(22)의 전원부(22a)에 의하여 콘덴서 용량검출을 위한 전력(본 실시형태에서는, 예를 들면 정출력(定出力)의 교류전류)을 인가하고, 전압측정부(22b) 및 전류측정부(22c) 중 어느 일방 또는 양방에 의하여 콘덴서(3, 4)에 공급되는 전압 및 전류 중 어느 일방 또는 양방이 검출되고, 그 검출결과에 의거하여 콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 검출된다.

여기에서 이 콘덴서 용량의 검출방법으로서는 여러 가지 방법을 채용할 수 있다. 예를 들면 본 실시형태에서는 양쪽 콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 동일하기 때문에, 병렬관계에 있는 양쪽 콘덴서(3, 4)의 합성용량을 검출하고, 그 검출한 합성용량을 2로 나눗셈 함으로써 각 콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 얻어진다. 양쪽 콘덴서(3, 4)의 합성용량의 측정방법에 대해서도 여러 가지 방법을 채용할 수 있지만, 그 일례로서 예를 들면 접속부(3a, 4a)와 접속부(3b, 4b)의 사이에 교류전류를 인가하였을 때에, 접속부(3a, 4a)와 접속부(3b, 4b) 사이의 전압, 및 접속부(3a, 4a)와 접속부(3b, 4b) 사이에 흐르는 전류를 측정하고, 그 전압측정값 및 전류측정값에 의거하여 합성용량을 산출하는 방법을 들 수 있다.

또 본 실시형태에서는, 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 동일한 경우에 대하여 설명하였지만, 양쪽 콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 서로 다른 경우이더라도 양쪽 콘덴서(3, 4)의 용량비(容量比)를 미리 알고 있으면, 그 용량비와 상기와 같이 하여 검출한 양쪽 콘덴서(3, 4)의 합성용량에 의거하여 각 콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 얻어진다. 또한 양쪽 콘덴서(3, 4)의 용량비가 불분명한 경우에는, 예를 들면 본원 출원인에 의한 이전의 일본국 특허출원(일본국 특허출원2011-255349호)에 기재된 방법을 사용하여 양쪽 콘덴서(3, 4)의 용량비를 검출부(22)에 의하여 검출함으로써 각 콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량을 얻는다. 이 경우에 검출부(22)에는, 2개의 전원부(22a)를 설치할 필요가 있고 또한 전압측정부(22b) 및 전류측정부(22c) 중 적어도 어느 일방은 2개 설치할 필요가 있다. 또한 이 경우에도 용량비의 검출은, 접촉점(6a, 6b) 중 어느 일방과, 상기한 바와 같이 설정한 제1 및 제2선택접촉점(예를 들면 접촉점(7b, 8d))을 사용하여 이루어진다.

상기한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량을 검출할 때에, 복수의 제2접촉점(7a∼7d) 및 제3접촉점(8a∼8d) 중으로부터 상기 제2접촉점(7a∼7d)과 임피던스 소자(5)의 제1접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 저항값과, 상기 제3접촉점(8a∼8d)과 임피던스 소자(5)의 제2접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 제2접촉점(7a∼7d) 및 제3접촉점(8a∼8d)이 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택된다. 그리고 어느 하나의 제1접촉점(6)에 접속된 프로브(P1, P2)와, 제1선택접촉점 및 제2선택접촉점으로서 각각 선택된 어느 하나의 제2접촉점(7a∼7d) 및 제3접촉점(8a∼8d)에 각각 접속된 프로브(P3∼P6) 및 프로브(P7∼P10)를 통하여 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량이 검출된다. 이 때문에 임피던스 소자(5)의 양측의 접속부(5a, 5b)의 전압레벨을 실질적으로 동일한 레벨로 유지하여, 임피던스 소자(5)의 영향을 충분히 억제함으로써 제1 및 제2콘덴서(3, 4)의 콘덴서 용량을 정확하게 검출할 수 있다.

또한 제1 및 제2선택접촉점을 선택할 때에, 각 제2접촉점(7a∼7d)과 접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 저항값, 및 각 제3접촉점(8a∼8d)과 접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 저항값이, 각 배선경로(10, 11) 중의 배선 및 스루홀에 관한 설계데이터 등에 의거하여 자동으로 산출되고, 그 산출결과에 의거하여 제1 및 제2선택접촉점의 선택이 자동으로 이루어진다. 이 때문에 제1 및 제2선택접촉점의 선택작업에 관한 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

또한 제1 및 제2선택접촉점을 선택할 때에, 각 제2접촉점(7a∼7d)과 접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 구성, 및 각 제3접촉점(8a∼8d)과 접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 구성을 모식적으로 나타내는 배선회로도(31, 32)가 설계데이터에 의거하여 자동으로 작성되고, 산출된 배선경로(10, 11)의 상기의 저항값과 함께 표시부(26)에 표시된다. 이 때문에 그 표시부(26)의 표시내용에 의거하여 작업자가 각 제2접촉점(7a∼7d)과 접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 구성과 저항값, 및 각 제3접촉점(8a∼8d)와 접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 구성과 저항값을 용이하게 인식할 수 있어, 선택된 제1 및 제2선택접촉점의 정확성의 확인 등을 용이하게 할 수 있다.

다음에 상기의 실시형태에 관한 구성의 변형예에 대하여 설명한다. 상기의 구성에서는, 복수의 제2접촉점(7a∼7d) 및 제3접촉점(8a∼8d)으로부터의 제1 및 제2선택접촉점의 선택을 제어부(27)에서 자동으로 하도록 하였지만, 제1 및 제2선택접촉점의 선택을 작업자가 선택하고, 선택한 내용을 입력접수부(24)를 통하여 전기특성 검출장치(2)에 입력하도록 하여도 좋다. 이 경우에 예를 들면 제어부(27)에 의하여 보내지는 각 제2접촉점(7a∼7d)과 접속부(5a) 사이의 배선경로(10)의 구성, 및 각 제3접촉점(8a∼8d)과 접속부(5b) 사이의 배선경로(11)의 구성을 나타내는 상기의 배선회로도(31, 32) 및 배선경로(10, 11)의 저항값을 참조함으로써 작업자가 제1 및 제2선택접촉점의 선택을 용이하게 할 수 있다.

또한 상기한 실시형태에서는, 검출대상기판(1)에 형성된 배선경로 중에서 제어부(27)에 저항값의 산출 및 배선회로도의 작성을 하는 대상부분을, 각 제2접촉점(7a∼7d)과 접속부(5a) 사이의 배선경로(10), 및 각 제3접촉점(8a∼8d)과 접속부(5b) 사이의 배선경로(11)에 미리 설정하고 있다. 이 점에 관한 변형예로서, 검출대상기판(1)에 형성된 배선경로 중에서 제어부(27)에서 저항값의 산출 및 배선회로도의 작성을 하는 대상부분을, 작업자가 입력접수부(24)를 통하여 입력한 지시에 의하여 특정(설정입력)하도록 하여도 좋다.

1 : 검출대상기판 2 : 전기특성 검출장치 3 : 제1콘덴서
3a : 제1접속부 3b : 제2접속부 4 : 제2콘덴서
4a : 제1접속부 4b : 제2접속부 5 : 임피던스 소자
5a : 제1접속부 5b : 제2접속부 6a, 6b : 제1접촉점
7a∼7d : 제2접촉점 8a∼8d : 제3접촉점 9∼11 : 배선경로
21 : 검사치구 22 : 검출부 22a : 전원부
22b : 전압측정부 22c : 전류측정부 23 : 접속절체부
24 : 입력접수부 25 : 기억부 26 : 표시부
27 : 제어부 31, 32 : 배선회로도
31a, 32a : 배선화상요소 3lb, 32b : 스루홀 화상요소
31c, 32c : 전자부품 화상요소 31d, 32d : 접속부 화상요소
31e, 32e : 접촉점 화상요소 P1∼P10 : 프로브

Claims

검출대상기판 내에, 제1 내지 제3전자부품이 델타(delta) 모양으로 접속된 델타회로(delta回路)가 설치됨과 아울러, 상기 검출대상기판의 표면에 제1접촉점과 복수의 제2 및 제3접촉점이 형성되고, 상기 제1접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제1접속부 및 상기 제2전자부품의 제1접속부와 배선경로(配線經路)를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제2접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제1접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제3접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제2전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제2접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출방법(電氣特性檢出方法)으로서,
복수의 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점 중으로부터, 상기 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부의 사이의 상기 배선경로의 저항값과, 상기 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부의 사이의 상기 배선경로의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점을 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택하는 접촉점 선택단계(接觸點選擇段階)와,
상기 제1선택접촉점과 상기 제2선택접촉점의 전압레벨을 동일한 레벨로 하면서, 상기 제1접촉점에 접속된 프로브(probe)와, 상기 제1선택접촉점에 접속된 프로브 및 상기 제2선택접촉점에 접속된 프로브를 통하여 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출단계(電氣特性檢出段階)를
구비하는 것을 특징으로 하는 전기특성 검출방법.
제1항에 있어서,
상기 접촉점 선택단계에서는, 상기 검출대상기판에 형성되는 배선경로를 구성하는 배선 및 스루홀(through hole)에 관한 설계데이터를 소정의 기억부(記憶部)에 미리 기억시켜 두고, 소정의 정보처리부(情報處理部)에, 상기 설계데이터에 의거하여 상기 각 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값, 및 상기 각 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값을 산출시키고, 산출한 그들의 저항값을 소정의 표시부(表示部)에 표시시키는 것을 특징으로 하는 전기특성 검출방법.
제2항에 있어서,
상기 접촉점 선택단계에서는, 상기 정보처리부에, 상기 각 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 구성, 및 상기 각 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 구성을 그들의 배선경로에 포함되는 배선 및 스루홀을 나타내는 배선화상요소 및 스루홀 화상요소를 연결시켜서 나타내는 배선회로도(配線回路圖)를, 상기 기억부에 기억된 상기 설계데이터에 의거하여 작성시키고, 그들의 배선회로도를 산출된 상기 저항값과 함께 상기 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 전기특성 검출방법.
제1항에 있어서,
상기 접촉점 선택단계에서는, 상기 검출대상기판에 형성되는 배선경로를 구성하는 배선 및 스루홀에 관한 설계데이터를 소정의 기억부에 미리 기억시켜 두고, 소정의 정보처리부에, 상기 설계데이터에 의거하여 상기 각 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부 또는 상기 제1전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값, 및 상기 각 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부 또는 상기 제2전자부품의 상기 제2접속부 사이의 상기 배선경로의 저항값을 산출시키고, 그 산출결과에 의거하여 복수의 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점 중으로부터 상기 제1선택접촉점 및 상기 제2선택접촉점을 선택시키는 것을 특징으로 하는 전기특성 검출방법.
검출대상기판 내에, 제1 내지 제3전자부품이 델타 모양으로 접속된 델타회로가 설치됨과 아울러, 상기 검출대상기판의 표면에 제1접촉점과 복수의 제2 및 제3접촉점이 형성되고, 상기 제1접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제1접속부 및 상기 제2전자부품의 제1접속부와 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제2접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제1전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제1접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 각 제3접촉점은, 서로 전기적으로 접속된 상기 제2전자부품의 제2접속부 및 상기 제3전자부품의 제2접속부와 각각 배선경로를 통하여 전기적으로 접속되어 있고, 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 전기특성 검출장치(電氣特性檢出裝置)로서,
상기 제1접촉점, 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점에 각각 접속되는 복수의 프로브를 구비하는 검사치구(檢査治具)와,
상기 검사치구의 상기 프로브를 통하여 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 검출부(檢出部)와,
상기 검사치구의 상기 프로브와 상기 검출부의 전기적인 접속관계를 절체(切替)하는 접속절체부(接續切替部)와,
상기 검출부 및 상기 접속절체부를 제어하는 제어부(制御部)를
구비하고,
상기 제어부는, 복수의 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점 중으로부터, 상기 제2접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제1접속부의 사이의 상기 배선경로의 저항값과, 상기 제3접촉점과 상기 제3전자부품의 상기 제2접속부의 사이의 상기 배선경로의 저항값이 가장 가까운 값이 되는 조합에 의하여 상기 제2접촉점 및 상기 제3접촉점을 1개씩 제1 및 제2선택접촉점으로서 선택함과 아울러, 상기 검사부 및 상기 접속절체부를 제어하고, 상기 제1선택접촉점과 상기 제2선택접촉점의 전압레벨을 동일한 레벨로 하면서, 상기 제1접촉점에 접속된 상기 프로브와, 상기 제1선택접촉점에 접속된 상기 프로브 및 상기 제2선택접촉점에 접속된 상기 프로브를 통하여 상기 제1전자부품 및 상기 제2전자부품의 전기특성을 검출하는 것을 특징으로 하는 전기특성 검출장치.