JP5154196B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
2 共通電極板
4,4A 信号印加部
5 検査プローブ
6 移動部
7,7A 容量検出部
8 記憶部
9 処理部
11 回路基板
12 配線パターン
31 演算増幅器
C1,C2,C3,C4 静電容量
Dp 位置情報
Sc1,Sc2 検査信号
Vr 基準電位
Claims (3)
- 回路基板の一方の面に沿って配設される共通電極板と、
検査信号を生成して前記共通電極板に印加する信号印加部と、
別個独立して移動可能に構成されて、前記回路基板に形成された複数の配線パターンのうちの任意の1つの配線パターンにおける当該回路基板の他方の面に露出する部位にそれぞれ接触可能なn(nは2以上の整数)個の検査プローブと、
前記n個の検査プローブにそれぞれ一対一で対応するn個の演算増幅器を有して、当該n個の演算増幅器の各反転入力端子に前記対応する各検査プローブがそれぞれ接続されると共に当該n個の演算増幅器の各非反転入力端子が共通の基準電位に接続された状態において、当該n個の検査プローブが接触しているn個の前記配線パターンの静電容量を検出する容量検出部と、
前記検出された静電容量に基づいて前記n個の配線パターンの良否を判別する処理部とを備えている回路基板検査装置。 - 前記信号印加部は、周波数の異なる2種以上の前記検査信号を生成して前記共通電極板に同時に印加する請求項1記載の回路基板検査装置。
- 前記n個の検査プローブを移動させる移動部と、
前記複数の配線パターンにおける前記検査プローブとの接触部位の位置情報が記憶された記憶部とを備え、
前記処理部は、前記記憶部に記憶されている前記位置情報に基づいて前記移動部を制御して前記各検査プローブを前記各配線パターンにおける前記接触部位に移動させる請求項1または2記載の回路基板検査装置。
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