JP5014778B2

JP5014778B2 - 基板検査方法及び基板検査装置

Info

Publication number: JP5014778B2
Application number: JP2006353977A
Authority: JP
Inventors: 宗寛山下; 英明辻
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Read Corp
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2012-08-29
Anticipated expiration: 2026-12-28
Also published as: JP2008164416A

Description

本発明は、被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法及び基板検査装置に関する。

なお、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。

この種の従来の基板検査方法としては、被検査基板に設けられた複数の配線パターンのうちの検査対象となる配線パターンの組み合わせを順次切り替えつつ、プローブを介して各配線パターン間に電位差を付与し、各配線パターン間に流れる電流等に基づいて各配線パターン間の抵抗値等を検出し、その検出した抵抗値等に基づいて絶縁検査が行われるようになっている（例えば、特許文献１）。

図６は、絶縁検査対象の配線パターン間に電位差を付与するために、配線パターンに電流を供給したときの電流値の時間推移を模式的に示すグラフである。互いに絶縁された配線パターン同士はコンデンサのような特性を有するため、図６の時刻ｔ＝０で電流供給が開始されると、時間の経過と共に配線パターン間のチャージが進むのに連れて電流値が降下していき、最終的には配線パターン間の絶縁特性（電流リークの程度）に応じた電流値に落ち着くようになっている。このように、配線パターンへの電流供給開始直後は、電流値が大きく変化し、配線パターン間の抵抗値等を正確に検出することが困難なため、配線パターン間の抵抗値等の検出は、配線パターンへの電流供給開始後、所定の期間が経過してから行うのが望ましいと考えられている。

この点に関し、従来の基板検査方法では、配線パターンへの電流供給（電位差付与）を開始してから、配線パターンに流れる電流値が所定の基準電流値Ｉｒ以下に降下してから、配線パターン間の抵抗値等を検出するようになっている。
特開２００５−５５３６９号公報

しかしながら、配線パターンは配線パターンの種別（シグナルネットか、ＶＧネットか等）等により配線パターンの全経路長や表面積等が種々に変化するため、絶縁検査用の電位差を付与する際の正極側及び負極側の配線パターンの組み合わせにより、配線パターン間の電気容量等が変化する。このように配線パターン間の電気容量等が変化すると、配線パターンに電位差付与のために供給する電流の挙動、及び配線パターンがチャージされるまでの時間等も種々に変化する。

この点に関し、上述の従来技術では、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量等の違いを考慮せずに、単一の前記基準電流値Ｉｒを用いて配線パターン間の抵抗値等の検出タイミングを決定するため、絶縁検査対象の配線パターンの組み合わせによっては、配線パターンへの電流供給が開始されてからその供給電流値が前記基準電流値Ｉｒ以下になるまでの時間が長くなり、絶縁検査に要する時間が長くなるという問題が生じている。

そこで、本発明の解決すべき課題は、絶縁検査に要する時間を短縮できる基板検査方法
及び基板検査装置を提供することである。

上記の課題を解決するため、請求項１の発明では、被検査基板に設けられた複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部とを用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電流検出部によって、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出する第２の段階と、前記第２の段階で前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第３の段階とを備え、前記第２の段階において、前記基準電流値として用いる複数の閾電流値が設定されており、その複数の閾電流値が、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより大きな値の閾電流値が前記基準電流値として用いられるように、切り替えられて用いられる。

また、請求項２の発明では、被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電流検出部を介して前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出すると、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部とを備え、前記判定処理部は、前記基準電流値として用いる複数の閾電流値が設定されており、その複数の閾電流値を、前記正極プローブが導通される前記配線パターンと前記負極プローブが導通される前記配線パターンの組み合わせに応じて切り替えて前記基準電流値として用いる。

また、請求項３の発明では、シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部とを用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電流検出部によって、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出する第２の段階と、前記第２の段階で前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第３の段階とを備え、前記第２の段階において、前記基準電流値として用いる少なくとも２段階の閾電流値が設定されており、その少なくとも２段階の閾電流値を、値前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方が、より大きい閾電流値が前記基準電流値として用いられるように、切り替えて用いる。

また、請求項４の発明では、シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電流検出部を介して前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出すると、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部とを備え、前記判定処理部は、前記基準電流値として用いる少なくとも２段階の閾電流値が設定されており、その少なくとも２段階の閾電流値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方で、より大きい閾電流値が前記基準電流値として用いられるように、切り替えて用いる。

また、請求項５の発明では、請求項１又は請求項３の発明に係る基板検査方法における前記第３の段階において、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部をさらに用い、前記第２の段階で、前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する。

また、請求項６の発明では、請求項１又は請求項３の発明に係る基板検査方法における前記第３の段階において、前記第２の段階で、前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する。

また、請求項７の発明では、請求項５又は請求項６の発明に係る基板検査方法における前記第３の段階において、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値は、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えられる。

また、請求項８の発明では、被検査基板に設けられた複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部とを用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値が、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えられて用いられる。

また、請求項９の発明では、被検査基板に設けられた複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部とを用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値が、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えられて用いられる。

また、請求項１０の発明では、被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部と、前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部とを備え、前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通される前記配線パターンと前記負極プローブが導通される前記配線パターンの組み合わせに応じて前記基準抵抗値として切り替えて用いる。

また、請求項１１の発明では、被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部とを備え、前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通される前記配線パターンと前記負極プローブが導通される配線パターンの組み合わせに応じて前記基準抵抗値として切り替えて用いる。

また、請求項１２の発明では、シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部とを用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方が、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いる。

また、請求項１３の発明では、シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部とを用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方が、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いる。

また、請求項１４の発明では、シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部と、前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部とを備え、前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方で、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いる。

また、請求項１５の発明では、シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部とを備え、前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方で、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いる。

請求項１に記載の発明によれば、出力部に前記電位差付与を開始させた後、電流検出部によって、出力部と配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、電流検出部による検出電流値に基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、絶縁判定のために出力部と配線パターンとの間に流れる電流値を検出するタイミングを決定するための基準電流値として、複数の閾電流値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾電流値が、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより大きな値の閾電流値が基準電流値として用いられるように、切り替えられて用いられる。それ故、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合であっても、それに応じて電流値の降下検出のための基準電流値に大きな値の閾電流値が用いられるため、電位差付与開始から絶縁性の判定が行われるまでの時間の増大を抑制することができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項２に記載の発明によれば、出力部による配線パターン間への電位差付与開始後、電流検出部を介して出力部と配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出すると、電流検出部による検出電流値に基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、基準電流値として複数の閾電流値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾電流値が、正極プローブが導通される配線パターンと負極プローブが導通される配線パターンの組み合わせに応じて切り替えて基準電流値として用いられる。それ故、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下するような場合には、それに応じて電流値の降下検出のための基準電流値に大きな値の閾電流値が用いられるようにすることができ、それによって、電位差付与開始から絶縁性の判定が行われるまでの時間の増大を抑制することができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項３及び請求項４に記載の発明によれば、出力部に前記電位差付与を開始させた後、電流検出部によって、出力部と配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、電流検出部による検出電流値に基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、基準電流値として少なくとも２段階の閾電流値が切り替えられて用いられる。すなわち、正極プローブが導通された配線パターンがシグナルネットを形成するものである場合よりも、正極プローブが導通された配線パターンがＶＧネットを形成するものである場合の方が、より大きい閾電流値が基準電流値として用いられる。それ故、正極プローブが導通された配線パターンがＶＧネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合であっても、それに応じて電流値の降下検出のための基準電流値に大きな値の閾電流値が用いられるため、電位差付与開始から絶縁性の判定が行われるまでの時間の増大を抑制することができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項５に記載の発明によれば、電位差検出部による検出電位差値と電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定する構成であるため、配線パターン間の絶縁性について的確に判定できる。

請求項６に記載の発明によれば、出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電位差値と、電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定する構成であるため、配線パターン間の絶縁性について的確に判定できる。

請求項７に記載の発明によれば、絶縁性に関する判定に用いられる基準抵抗値として複数の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾抵抗値は、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が基準抵抗値として用いられるように、切り替えられる。それ故、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合であっても、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも小さな値の閾抵抗値を基準抵抗値として用いて絶縁性を判定することにより、電位差付与開始後の比較的早期において絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも電流検出部の検出電流値が大きい段階で絶縁性に関する判定を行うことができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項８に記載の発明によれば、出力部に前記電位差付与を開始させた後、電位差検出部による検出電位差値と電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、前記基準抵抗値として複数の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾抵抗値が、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより大きな値の閾抵抗値が基準抵抗値として用いられるように、切り替えられて用いられる。

このように、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合には、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも小さな値の閾抵抗値を基準抵抗値として用いて絶縁性を判定することにより、電位差付与開始後の比較的早期において絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも電流検出部の検出電流値が大きい段階で絶縁性に関する判定を行うことができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項９に記載の発明によれば、出力部に前記電位差付与を開始させた後、出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電位差値と、電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、前記基準抵抗値として複数の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾抵抗値が、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより大きな値の閾抵抗値が基準抵抗値として用いられるように、切り替えられて用いられる。

請求項１０に記載の発明によれば、出力部による電位差付与の開始後、電位差検出部による検出電位差値と電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、基準抵抗値として複数の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾抵抗値を、正極プローブが導通される配線パターンと負極プローブが導通される配線パターンの組み合わせに応じて切り替えて基準抵抗値して用いる。

それ故、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合には、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも小さな値の閾抵抗値を基準抵抗値として用いて絶縁性に関する判定を行うことができ、それによって電位差付与開始後の比較的早期において絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも電流検出部の検出電流値が大きい段階で絶縁性に関する判定を行うことができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項１１に記載の発明によれば、出力部による電位差付与の開始後、出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電位差値と、電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、基準抵抗値として複数の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、その複数の閾抵抗値を、正極プローブが導通される配線パターンと負極プローブが導通される配線パターンの組み合わせに応じて切り替えて基準抵抗値として用いる。

請求項１２及び請求項１４に記載の発明によれば、出力部に電位差付与を開始させた後、電位差検出部による検出電位差値と電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、基準抵抗値として少なくとも２段階の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、正極プローブが導通された配線パターンがシグナルネットを形成するものである場合よりも、正極プローブが導通された配線パターンがＶＧネットを形成するものである場合の方が、より小さい閾抵抗値が基準抵抗値として用いられる。

すなわち、正極プローブが導通された配線パターンがＶＧネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きく、配線パターンへの電位差付与開始から配線パターンと出力部との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合には、正極プローブが導通された配線パターンがシグナルネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が小さい場合よりも小さな値の閾抵抗値を基準抵抗値として用いて絶縁性を判定するようになっている。このため、正極プローブが導通された配線パターンがＶＧネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン間の電気容量が大きい場合であっても、電位差付与開始後の比較的早期において、正極プローブが導通された配線パターンがシグナルネットを形成するものであ場合よりも電流検出部の検出電流値が大きい段階で絶縁性に関する判定を行うことができる。その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

請求項１３及び請求項１５に記載の発明によれば、出力部に電位差付与を開始させた後、出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の電位差値と、電流検出部による検出電流値とに基づいて、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、正極プローブが導通された配線パターンと負極プローブが導通された配線パターンとの間の絶縁性について判定するようになっている構成において、基準抵抗値として少なくとも２段階の閾抵抗値が切り替えられて用いられる。すなわち、正極プローブが導通された配線パターンがシグナルネットを形成するものである場合よりも、正極プローブが導通された配線パターンがＶＧネットを形成するものである場合の方が、より小さい閾抵抗値が基準抵抗値として用いられる。

図１は本発明の一実施形態に係る基板検査方法に用いられる基板検査装置のブロック図であり、図２はその基板検査方法による検査手順を示すフローチャートである。

まず図１を参照して、基板検査装置１の構成について概略的に説明する。この基板検査装置１は、図１に示すように、複数のプローブ１１と、マルチプレクサ１２と、出力部１３と、電流検出部１４と、電位差検出部１５と、判定処理部としての制御部１６とを備えて構成され、被検査基板２に設けられた複数の配線パターン２１間の絶縁検査を行う。

プローブ１１は、被検査基板２表面に設定された検査点２２（例えば、ランド部又はハンダバンプ等）に接触され、その検査点２２にて絶縁検査対象の各配線パターン２１にそれぞれ導通される。なお、プローブ１１は、各配線パターン２１にそのランド部等を介して直接接触されて導通される場合と、配線パターン２１のランド部に付与されたハンダバンプ等に接触され、そのハンダバンプ等を介して配線パターン２１と導通される場合とがある。

マルチプレクサ１２は、プローブ１１と、出力部１３、電流検出部１４及び電位差検出部１５とを接続する導電路に介挿され、後述する制御部１６の制御により、プローブ１１と、出力部１３、電流検出部１４及び電位差検出部１５との接続関係を切り替える。そして、絶縁検査対象となる配線パターン２１の組み合わせに応じて、プローブ１１と出力部１３側の接続関係がマルチプレクサ１２により順次切り替えられるようになっている。

本実施形態では、被検査基板２に設けられる複数の配線パターン２１のうちのいずれか１つの配線パターン２１が正極側に設定され、それ以外の残りの配線パターン２１が負極側に設定されて、正極側の配線パターン２１と負極側の配線パターン２１との間に電位差が付与され、それらの配線パターン２１間の絶縁が検査されるようになっている。そして、１回の絶縁検査が終了する度に、正極に設定する配線パターン２１を順次入れ替えていくことにより、絶縁検査が必要なすべての配線パターン２１の組み合わせについて検査するようになっている。

これに対応して、複数のプローブ１１と出力部１３側の接続関係が、図３に示すように、このマルチプレクサ１２によって、複数のプローブ１１のうちのいずれか１つのプローブ１１が正極プローブ１１ａになり、残りのプローブ１１が負極プローブ１１ｂになるように設定されるとともに、その正極プローブ１１ａになるプローブ１１が絶縁検査対象となる配線パターン２１の組み合わせに応じて順次入れ替えられるようになっている。

出力部１３は、制御部１６の制御により、正極プローブ１１ａ及び負極プローブ１１ｂを介して、正極プローブ１１ａが導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間に電位差を付与する。より具体的には、出力部１３は所定の出力レベルで電流を供給することにより、正負の配線パターン２１間に電位差を付与するようになっている。

電流検出部１４は、プローブ１１と出力部１３との間（より具体的には、マルチプレクサ１２と出力部１３との間）の導電路に介挿されており、出力部１３と正極プローブ１１ａ又は負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間に流れる電流を検出する。

電位差検出部１５は、プローブ１１と出力部１３との間（より具体的には、マルチプレクサ１２と出力部１３との間）の導電路に接続されており、正極プローブ１１ａ及び負極プローブ１１ｂを介し、正極プローブ１１ａが導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間の電位差を検出する。

制御部１６は、マルチプレクサ１２及び出力部１３等を制御しつつ、電流検出部１４及び電位差検出部１５の検出結果に基づいて、被検査基板２に設けられた各配線パターン２１間の絶縁性に関する判定処理を行う。この制御部１６の判定処理の詳細な内容については、後述する。

次に、図２を参照して、本実施形態に係る絶縁検査方法の検査手順について説明する。

図２に示すように、まずステップＳ１にて、検査対象の配線パターン２１の組み合わせに対応するように、マルチプレクサ１２の接続状態が更新される。

続くステップＳ２にて、出力部１３によって、正極プローブ１１ａが導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間への電位差付与のための電流供給が開始される。なお、本実施形態では、マルチプレクサ１２の接続状態が更新されてから出力部１３に電流供給を開始させるようにしたが、マルチプレクサ１２による接続状態の更新と同時に出力部１３に電流供給を開始させるようにしてもよい。この場合、出力部１３を継続的にオン状態にしておき、マルチプレクサ１２による接続状態の更新が行われると同時に、新たな配線パターン２１に向けて電流供給が行われるようにしてもよい。

ここで、図４を参照して、配線パターン２１間に電位差付与を行った際の配線パターン２１に供給される電流等の過渡特性について説明する。互いに絶縁された配線パターン２１同士はコンデンサのような特性を有するため、図４の時刻ｔ＝０で電流供給が開始されると、図４の曲線Ｌ１，Ｌ２で示すように、時間の経過と共に配線パターン２１間のチャージが進むのに連れて電流値が降下していき、最終的には配線パターン２１間の絶縁特性（電流リークの程度）に応じた電流値に落ち着くようになっている。このように、配線パターン２１への電流供給開始直後は、電流値が大きく変化し、配線パターン２１間の絶縁判定を正確に行うことが困難なため、配線パターン２１間の絶縁判定は、配線パターン２１への電流供給開始後、所定の期間が経過してから行うのが望ましいと考えられている。

このため、本実施形態では、次のステップＳ３で配線パターン２１間のチャージが進み、供給電流値がある程度降下して安定したことを検出してから、絶縁判定を行うようになっている。

なお、図４の２つの曲線Ｌ１，Ｌ２は、配線パターン２１間の電気容量が異なる場合の電流値推移を示しており、曲線Ｌ２の方が配線パターン２１間の電気容量が大きい場合に対応している。本実施形態に係る検査方法は、この配線パターン２１間の電気容量の相違に如何に対処して検査時間を短縮するかを主眼としており、その具体的な対処方法については後述する。

ステップＳ３では、電流検出部１４を介して制御部１６により、出力部１３と配線パターン２１との間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したか否かが検出され、電流値が前記基準電流値以下に降下した場合には、続くステップＳ４の処理が行われる。

ステップＳ４では、制御部１６による正極プローブ１１ａが導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間の絶縁判定処理が行われる。より具体的には、電位差検出部１５を介して正極プローブ１１ａが導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間の電位差が検出されるとともに、電流検出部１４を介して出力部１３と正極プローブ１１ａ又は負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間に流れる電流が検出される。

そして、その検出電位差値Ｖｄが検出電流値Ｉｄで割り算されることにより、正極プローブ１１が導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間の模擬抵抗値（Ｒｄ＝Ｖｄ／Ｉｄ）が導出され、その模擬抵抗値Ｒｄと予め設定された基準抵抗値Ｒｒとが比較されることにより、正極プローブ１１ａが導通された配線パターン２１と負極プローブ１１ｂが導通された配線パターン２１との間の絶縁性について判定される。より具体的には、導出した模擬抵抗値Ｒｄが基準抵抗値Ｒｒ以上である場合には、その検査対象の配線パターン２１間について正常と判定され、模擬抵抗値Ｒｄが基準抵抗値Ｒｒ未満である場合には検査対象の配線パターン２１間について異常（絶縁不良）と判定される。

ステップＳ４の絶縁判定が終了すると、ステップＳ１に戻り、次の絶縁検査対象となる配線パターン２１の組み合わせについて絶縁検査が行われ、絶縁検査対象とされているすべての配線パターン２１の組み合わせについて絶縁検査が終了するまで、ステップＳ１〜Ｓ４の処理が繰り返される。なお、いずれか１つの配線パターン２１間の組み合わせで絶縁不良と判定された場合には、その時点で検査処理を終了するようにしてもよい。

ここで、被検査基板２に設けられる配線パターン２１は、配線パターン２１の種別（信号を伝達するためのシグナルネット（Signal-net：所謂、信号線）か、電源電圧又はグランドを供給するためやシールド用に用いられるＶＧネット（Voltage/Ground-net：所謂、電源層）等）等により、配線パターン２１の全経路長や表面積等が種々に変化する。なお、シグナルネットは、２つのランド部の間を繋ぎ、電気信号の送受信を行うことができるように設けられるため、比較的単純な配線経路を有している場合が多く、全経路長や表面積等も比較的小さい場合が多い。これに対し、ＶＧネットは、基板２内の複数の場所に電源電圧又はグランドを供給する必要があるとともに、シグナルネットに対するシールドとしての役割も担っている場合があるため、基板２内に網の目状に設けられる場合が多く、全経路長や表面積等も大きい場合が多い。

このため、絶縁検査用の電位差を付与する際の正極側及び負極側の配線パターン２１の組み合わせにより、配線パターン２１間の電気容量等が変化する。このように配線パターン２１間の電気容量等が変化すると、配線パターン２１に電位差付与のために供給する電流の挙動、及び配線パターン２１がチャージされるまでの時間等も種々に変化する。より具体的には、配線パターン２１間に電位差を付与するための電流を供給した場合において、前述の図４の曲線Ｌ１，Ｌ２で示すように、絶縁検査対象の配線パターン２１間の電気容量が増加するほど、配線パターン２１のチャージに要する電荷量が増えるため、電流供給開始時の初期値からの供給電流値の降下速度がより緩やかになる。

この点に関し、本実施形態に係る検査方法が適用される被検査基板２には、図１に示すように、シグナルネットを形成する複数の配線パターン２１ａと、ＶＧネットを形成する少なくとも１つの配線パターン２１ｂとが設けられている。

また、本実施形態に係る検査方法では、前述したように、被検査基板２に設けられる複数の配線パターン２１のうちのいずれか１つの配線パターン２１が正極側に設定され、それ以外の残りの配線パターン２１が負極側に設定されて、正極側の配線パターン２１と負極側の配線パターン２１との間に電位差が付与され、それらの配線パターン２１間の絶縁が検査されるようになっている。そして、１回の絶縁検査が終了する度に、正極に設定する配線パターン２１を順次入れ替えていくようになっている。

このため、絶縁検査対象となる配線パターン２１の組み合わせは、そのときの正極側の配線パターン２１と負極側の配線パターン２１との間の電気容量の大きさにより、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように大略的に２種類に分類できる。すなわち、図５（ａ）に示す組み合わせでは、正極側にシグナルネットの配線パターン２１ａが設定され、負極側に残りの配線パターン２１が設定されている。この図５（ａ）の組み合わせでは、正極側のシグナルネットの配線パターン２１ａの全経路長等が小さいため、正極側及び負極側の配線パターン２１間の電気容量は小さくなる。一方、図５（ｂ）に示す組み合わせでは、正極側にＶＧネットの配線パターン２１ｂが設定され、負極側に残りの配線パターン２１が設定されている。この図５（ｂ）の組み合わせでは、正極側のＶＧネットの配線パターン２１ｂの全経路長等が大きいため、正極側及び負極側の配線パターン２１間の電気容量は、図５（ａ）の場合よりも大きくなる。

そこで、本実施形態に係る検査方法では、前述の図２のステップＳ３の処理手順における配線パターン２１と出力部１３との間に流れる電流の降下を検出するための基準電流値として、第１及び第２の閾電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２（但し、Ｉｒ１＜Ｉｒ２）が２段階で切り替えられて用いられる。値の小さい方の第１の閾電流値Ｉｒ１が図５（ａ）の組み合わせの配線パターン２１間の検査に用いられ、値の大きい方の第２の閾電流値Ｉｒ２が図５（ｂ）の組み合わせの配線パターン２１間の検査に用いられる。

ここで、第１の閾電流値Ｉｒ１の値は、例えば、０．０１μA〜１０μAに設定され、より好ましくは、０．１μA〜１μAに設定される（例えば、１μAに設定される）。また、第２の閾電流値Ｉｒ２の値は、例えば、１０μA〜１０００μAに設定され、より好ましくは、１０μA〜１００μAに設定される（例えば、１００μAに設定される）。

このため、ステップＳ３の処理手順において、図５（ａ）の如く絶縁検査対象として正極側にシグナルネットの配線パターン２１ａが設定され、負極側に残りの配線パターン２１が設定されている場合には、ステップＳ２でそれらの配線パターン２１への電流供給が開始されてからその供給電流値が第１の閾電流値Ｉｒ１以下になると、ステップＳ４の絶縁判定処理が行われるようになっている。一方、図５（ｂ）の如く絶縁検査対象として正極側にＶＧネットの配線パターン２１ｂが設定され、負極側に残りの配線パターン２１が設定されている場合には、ステップＳ２でそれらの配線パターン２１への電流供給が開始されてからその供給電流値が第２の閾電流値Ｉｒ２以下になると、ステップＳ４の絶縁判定処理が行われるようになっている。

よって、本実施形態では、絶縁検査対象の配線パターン２１間の電気容量が大きい場合には、配線パターン２１と出力部１３との間に流れる電流の値がより大きい状態で、絶縁判定処理が行われるようになっている。

このため、本実施形態では、前述の図３のステップＳ４の処理手順における絶縁性の判定基準となる基準抵抗値として、第１及び第２の閾準抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２（但し、Ｒｒ１＞Ｒｒ２）が２段階で切り替えられて用いられる。すなわち、これらの閾抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２を、絶縁検査対象の配線パターン２１の組み合わせが図５（ａ）及び図５（ｂ）のいずれに該当するかで、切り替えて用いるようになっている。具体的には、値の大きい方の第１の閾抵抗値Ｒｒ１が図５（ａ）の組み合わせに用いられ、値の小さい方の第２の閾抵抗値Ｒｒ２が図５（ｂ）の組み合わせに用いられる。

すなわち、ステップＳ４の処理手順において、図５（ａ）の如く絶縁検査対象として正極側にシグナルネットの配線パターン２１ａが設定され、負極側に残りの配線パターン２１が設定されている場合には、前述の検出電位差値Ｖｄと検出電流値Ｉｄとに基づいて導出された模擬抵抗値（Ｒｄ＝Ｖｄ／Ｉｄ）と、第１の閾抵抗値Ｒｒ１とが比較されることにより、絶縁検査対象の配線パターン２１間の絶縁性が判定される。一方、図５（ｂ）の如く絶縁検査対象として正極側にＶＧネットの配線パターン２１ｂが設定され、負極側に残りの配線パターン２１が設定されている場合には、前述の検出電位差値Ｖｄと検出電流値Ｉｄとに基づいて導出された模擬抵抗値（Ｒｄ＝Ｖｄ／Ｉｄ）と、第２の閾抵抗値Ｒｒ１とが比較されることにより、絶縁検査対象の配線パターン２１間の絶縁性が判定される。

ここで、第１の閾抵抗値Ｒｒ１の値は、例えば、１０ＭΩ〜１０ＧΩに設定され、より好ましくは、１００ＭΩ〜１ＧΩに設定される（例えば、１００ＭΩに設定される）。また、第２の閾抵抗値Ｒｒ２の値は、例えば、０．１ＭΩ〜１０ＭΩに設定され、より好ましくは、１ＭΩ〜１０ＭΩに設定される（例えば、１ＭΩに設定される）。

これに対応して、制御部１６には、第１及び第２の閾電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２、及び、第１及び第２の閾抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２が、被検査基板２に設けられた各配線パターン２１に関する種別情報（シグナルネットか、ＶＧネットか）とともに予め入力されるようになっている。そして、制御部１６が、絶縁検査対象の配線パターン２１の組み合わせに応じて、ステップＳ３，Ｓ４の処理で使用する閾電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２及び閾抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２を切り替えるようになっている。

以上のように、本実施形態によれば、電位差付与のために配線パターン２１への電流供給開始後における絶縁判定タイミングを決定するための基準電流値として、第１及び第２の閾電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２が２段階で切り替えられて用いられる。すなわち、それらの閾電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２が、絶縁検査対象の配線パターン２１の組み合わせが図５（ａ）及び図５（ｂ）のいずれに属するかで切り替えられて用いられるようになっている。それ故、図５（ｂ）に示す場合のように、正極側の配線パターン２１がＶＧネットを形成するものであり、図５（ａ）に示す場合よりも絶縁検査対象の配線パターン２１間の電気容量が大きく、配線パターン２１への電位差付与のための電流供給開始から配線パターン２１と出力部１３との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合であっても、それに応じて電流値の降下検出のための基準電流値に大きな値の第２の閾電流値Ｉｒ２が用いられるため、電位差付与のための電流供給開始から絶縁性の判定が行われるまでの時間の増大を抑制することができ、その結果、絶縁検査に要する時間を短縮できる。

また、絶縁判定基準である基準抵抗値として、第１及び第２の閾抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２が切り替えられて用いられる。すなわち、図５（ｂ）の場合のように、正極側の配線パターン２１がＶＧネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン２１間の電気容量が大きく、配線パターン２１への電位差付与開始から配線パターン２１と出力部１３との間に流れる電流の値が緩やかに降下する場合には、図５（ａ）の場合ように、正極側の配線パターン２１がシグナルネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン２１間の電気容量が小さい場合よりも小さな値の第２の閾抵抗値Ｒｒ２を用いて絶縁性を判定するようになっている。このため、図５（ｂ）の場合ように、正極側の配線パターン２１がＶＧネットを形成するものであり、絶縁検査対象の配線パターン２１間の電気容量が大きい場合であっても、電位差付与開始後の比較的早期において、図５（ａ）の場合よりも電流検出部１４の検出電流値が大きい段階で絶縁性に関する判定を行うことができ、この点によっても絶縁検査時間の短縮効果が得られる。

なお、本実施形態では、絶縁検査対象の配線パターン２１として正極側にＶＧネットの配線パターン２１ｂが設定さているか否か（図５（ａ）の組み合わせか、図５（ｂ）の組み合わせか）に応じて、ステップＳ３の電流降下の検出処理で閾電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２を切り替えて用いるようにしたが、検査対象の配線パターン２１間の電気容量の値に基づき、その電気容量値が大きいほど、より大きな値の電流値Ｉｒ１，Ｉｒ２を用いてステップＳ３の電流降下の判定を行うようしてもよい。

また、本実施形態では、絶縁検査対象の配線パターン２１として正極側にＶＧネットの配線パターン２１ｂが設定さているか否か（図５（ａ）の組み合わせか、図５（ｂ）の組み合わせか）に応じて、ステップＳ４の絶縁判定処理で閾抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２を切り替えて用いるようにしたが、検査対象の配線パターン２１間の電気容量の値に基づき、その電気容量値が大きいほど、より小さな値の閾抵抗値Ｒｒ１，Ｒｒ２を用いてステップＳ４の絶縁判定を行うようしてもよい。

また、本実施形態では、閾電流値及び閾抵抗値を２段階に設けたが、検査対象の配線パターン２１の種別の組み合わせや、電気容量に応じて３段階以上の閾電流値及び閾抵抗値を切り替えて使用するようにしてもよい。

また、本実施形態では、基板検査装置１に電位差検出部１５を設け、電位差検出部１５が検出した配線パターン２１間の電位差値を用いてステップＳ４で配線パターン２１間の模擬抵抗値を導出しているが、電位差検出部１５を省略し、その代わりに、出力部１３の出力電圧レベルに基づいて予め電位差値を設定しておき、その電位差値を用いてステップＳ４で配線パターン２１間の模擬抵抗値を導出するようにしてもよい。

本発明の一実施形態に係る基板検査方法に用いられる基板検査装置のブロック図である。本発明の一実施形態に係る基板検査方法による検査手順を示すフローチャートである。図２の検査手順に関する説明図である。絶縁検査対象の配線パターン間に電位差を付与するために、配線パターンに電流を供給したときの電流値の時間推移を模式的に示すグラフである。（ａ）及び（ｂ）は図２の検査手順に関する説明図である。絶縁検査対象の配線パターン間に電位差を付与するために、配線パターンに電流を供給したときの電流値の時間推移を模式的に示すグラフである。

１基板検査装置、２被検査基板、１１プローブ、１１ａ正極プローブ、１１ｂ負極プローブ、１３出力部、１４電流検出部、１５電位差検出部、１６制御部、２１配線パターン、２１ａシグナルネットの配線パターン、２１ｂＶＧネットの配線パターン、２２検査点。

Claims

被検査基板に設けられた複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、を用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、
前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、
前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電流検出部によって、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出する第２の段階と、
前記第２の段階で前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第３の段階と、を備え、
前記第２の段階において、前記基準電流値として用いる複数の閾電流値が設定されており、その複数の閾電流値が、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより大きな値の閾電流値が前記基準電流値として用いられるように、切り替えられて用いられることを特徴とする基板検査方法。
被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、
前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、
前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、
前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電流検出部を介して前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出すると、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部と、を備え、
前記判定処理部は、前記基準電流値として用いる複数の閾電流値が設定されており、その複数の閾電流値を、前記正極プローブが導通される前記配線パターンと前記負極プローブが導通される前記配線パターンの組み合わせに応じて切り替えて前記基準電流値として用いることを特徴とする基板検査装置。
シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、を用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、
前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、
前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電流検出部によって、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出する第２の段階と、
前記第２の段階で前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第３の段階と、を備え、
前記第２の段階において、前記基準電流値として用いる少なくとも２段階の閾電流値が設定されており、その少なくとも２段階の閾電流値を、値前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方が、より大きい閾電流値が前記基準電流値として用いられるように、切り替えて用いることを特徴とする基板検査方法。
シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、
前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、
前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、
前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電流検出部を介して前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流値が所定の基準電流値以下に降下したことを検出すると、前記電流検出部による検出電流値に基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部と、を備え、
前記判定処理部は、前記基準電流値として用いる少なくとも２段階の閾電流値が設定されており、その少なくとも２段階の閾電流値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方で、より大きい閾電流値が前記基準電流値として用いられるように、切り替えて用いることを特徴とする基板検査装置。
請求項１又は請求項３に記載の基板検査方法における前記第３の段階において、
前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部をさらに用い、
前記第２の段階で、前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定することを特徴とする基板検査方法。
請求項１又は請求項３に記載の基板検査方法における前記第３の段階において、
前記第２の段階で、前記電流値が前記基準電流値以下に降下したことが検出された場合に、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定することを特徴とする基板検査方法。
請求項５又は請求項６に記載の基板検査方法における前記第３の段階において、
前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値は、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えられることを特徴とする基板検査方法。
被検査基板に設けられた複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部と、を用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、
前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、
前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、
前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値が、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えられて用いられることを特徴とする基板検査方法。
被検査基板に設けられた複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、を用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、
前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、
前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、
前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値が、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電気容量が大きいほどより小さな値の閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えられて用いられることを特徴とする基板検査方法。
被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、
前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、
前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、
前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部と、
前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部と、を備え、
前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通される前記配線パターンと前記負極プローブが導通される前記配線パターンの組み合わせに応じて前記基準抵抗値として切り替えて用いることを特徴とする基板検査装置。
被検査基板に設けられた複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、
前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、
前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブのうちの少なくとも１つを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、
前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部と、を備え、
前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる複数の閾抵抗値が設定されており、その複数の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通される前記配線パターンと前記負極プローブが導通される配線パターンの組み合わせに応じて前記基準抵抗値として切り替えて用いることを特徴とする基板検査装置。
シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部と、を用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、
前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、
前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、
前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方が、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いることを特徴とする基板検査方法。
シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、を用いて、前記複数の配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査方法であって、
前記出力部に、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間への電位差付与を開始させる第１の段階と、
前記出力部に前記電位差付与を開始させた後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する第２の段階とを備え、
前記第２の段階において、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方が、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いることを特徴とする基板検査方法。
シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、
前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、
前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、
前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記正極プローブ及び前記負極プローブを介し、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差を検出する電位差検出部と、
前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記電位差検出部による検出電位差値と前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部と、を備え、
前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方で、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いることを特徴とする基板検査装置。
シグナルネットを形成する配線パターンとＶＧネットを形成する配線パターンとが設けられた被検査基板が有する複数の前記配線パターン間の絶縁検査を行う基板検査装置であって、
前記複数の配線パターンにそれぞれ導通される複数のプローブと、
前記複数のプローブのうちのいずれか１つを正極プローブとし、その正極プローブ以外のプローブを負極プローブとし、前記正極プローブ及び前記負極プローブを介して、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間に電位差を付与する出力部と、
前記出力部と前記配線パターンとの間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記出力部による前記電位差付与の開始後、前記出力部の出力電圧レベルに基づいて取得した前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の電位差値と、前記電流検出部による検出電流値とに基づいて、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の模擬抵抗値を導出し、その模擬抵抗値と予め設定された基準抵抗値とを比較することにより、前記正極プローブが導通された前記配線パターンと前記負極プローブが導通された前記配線パターンとの間の絶縁性について判定する判定処理部と、を備え、
前記判定処理部は、前記基準抵抗値として用いる少なくとも２段階の閾抵抗値が設定されており、その少なくとも２段階の閾抵抗値を、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記シグナルネットを形成するものである場合よりも、前記正極プローブが導通された前記配線パターンが前記ＶＧネットを形成するものである場合の方で、より小さい閾抵抗値が前記基準抵抗値として用いられるように、切り替えて用いることを特徴とする基板検査装置。