JP2007333465A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査効率を向上し得る検査装置を提供する。
【解決手段】直流信号Ｓ１の印加によって回路基板１００における導体パターン１０１，１０１間を流れる電流Ｉを検出する電流検出部３と、直流信号Ｓ１の印加開始時から所定の待機時間を経過したときに電流検出部３によって検出された電流Ｉの電流値に基づいて導体パターン１０１，１０１間についての絶縁良否を検査する制御部６とを備え、制御部６は、導体パターン１０１，１０１間の容量値の大きさに応じて待機時間の長さを設定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象体における所定部位間についての絶縁良否を検査可能に構成された検査装置に関するものである。

この種の検査装置として、特開２００１−９１５６２号公報において出願人が開示した検査装置が知られている。この検査装置は、直流電源および制御回路を備えて、検査対象としての一対の導体パターン間に対する絶縁検査を実行可能に構成されている。この場合、制御回路が、直流電源を制御して一対の導体パターン間に検査電圧を印加させると共に、その導体パターン間を流れる電流の電流値および検査電圧の電圧値に基づいてその導体パターン間についての絶縁良否を判別する。この際に、一対の導体パターン間にはある程度の容量が存在するため、検査電圧の印加開始時には、その容量を充電する大きな電流（チャージ電流）と導体パターン間の絶縁抵抗を流れる電流とが流れ、その電流値は時間の経過に伴って減少する。このため、この種の検査装置では、一般的に、制御回路が、導体パターン間を流れる電流の電流値が所定の基準電流値まで低下したか否かを監視して、低下したときには導体パターン間の絶縁状態が良好であると判別する。一方、導体パターン間の絶縁状態が不良のときには、その間をある程度の大きさの漏れ電流が流れるため、チャージ電流が流れなくなった後の電流値が基準電流値を超えた状態となる。この場合、制御回路は、上記した電流値の監視処理を所定の待機時間を経過するまで繰り返し実行して、待機時間が経過した時点でその電流値が基準電流値を超えているときには導体パターン間の絶縁状態が不良であると判別する。

ここで、この待機時間は、一般的な容量の充電に要する時間よりも十分に長い時間長に設定されている。したがって、この種の検査装置では、容量の充電が確実に完了していると想定される時点（つまり、待機時間の経過時）に絶縁良否を判別することができるため、チャージ電流がまだ流れているときに絶縁良否を判別して不良であると誤判別する事態を回避することができる結果、絶縁良否を正確に検査することが可能となっている。
特開２００１−９１５６２号公報（第４頁、第１図）

ところが、上記の検査装置には、以下の解決すべき課題がある。すなわち、この種の検査装置では、待機時間が一般的な容量の充電に要する時間よりも十分に長い時間長に設定されている。したがって、この種の検査装置では、制御回路が容量値の大小に拘わらず一定の時間長の待機時間の経過を待って絶縁良否を判別するため、検査対象の導体パターン間の絶縁状態が不良であって、しかも容量値の小さいときには、常に一定の長い時間長の待機時間を経過しなければ絶縁良否を判別することができない。したがって、絶縁良否の判別に長時間を要するおそれがあり、検査効率のさらなる向上が困難となっている。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査効率を向上し得る検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、検査用信号の印加によって検査対象体における所定部位間を流れる電流を検出する電流検出部と、前記検査用信号の印加開始時から所定の待機時間を経過したときに前記電流検出部によって検出された前記電流の電流値に基づいて前記所定部位間についての絶縁良否を検査する検査部とを備え、前記検査部は、前記所定部位間の容量値の大きさに応じて前記所定の待機時間の長さを設定する。

また、請求項２記載の検査装置は、検査用信号の印加によって検査対象体における所定部位間を流れる電流を検出する電流検出部と、前記検査用信号の印加開始時から所定の待機時間を経過したときに前記電流検出部によって検出された前記電流の電流値および前記検査用信号の電圧値に基づいて前記所定部位間の抵抗値を算出すると共に当該算出した抵抗値に基づいて前記所定部位間についての絶縁良否を検査する検査部とを備え、前記検査部は、前記所定部位間の容量値の大きさに応じて前記所定の待機時間の長さを設定する。

また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記所定部位間の前記容量値を測定するための容量測定部を備えている。

請求項１，２記載の検査装置では、検査部が所定部位間の容量値の大きさに応じて所定の待機時間を設定する。例えば、検査部は、所定部位間の容量値が大きいときには、待機時間を長めに設定し、所定部位間の容量値が小さいときには、待機時間を短めに設定する。このため、所定部位間毎に容量値の異なる容量を充電するのに最低限度必要な時間長となるように適切な時間長の待機時間を設定することができる。したがって、その容量値が小さいときには待機時間の時間長が短く設定されるため、その分、絶縁良否を迅速に検査することができる結果、検査効率を向上させることができる。

また、請求項３記載の検査装置では、検査部が、容量測定部によって測定された容量値に応じて待機時間を設定する。このため、他の容量測定装置を用いた所定部位間の容量測定を不要とすることができる結果、待機時間を迅速に設定することができる。したがって、この検査装置によれば、検査効率を一層向上させることができる。

以下、本発明に係る検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す基板検査装置１は、本発明に係る検査装置の一例であって、信号生成部２、電流検出部３、Ａ／Ｄ変換部４、容量測定部５、制御部６、タイマ７、記憶部８、操作部９および表示部１０を備え、例えば、回路基板１００（本発明における測定対象体）における一対の導体パターン１０１間（本発明における所定部間）に対する絶縁検査を実行可能に構成されている。なお、実際には、回路基板１００には複数組の導体パターン１０１が形成されているが、発明の理解を容易とするため、同図では、一対の導体パターン１０１だけを図示している。

信号生成部２は、制御部６の制御に従い、本発明における検査用信号に相当する所定電圧の直流信号Ｓ１を生成して、プローブ２１を介して出力する。電流検出部３は、図２に示すように、オペアンプ３１、抵抗３２およびコンデンサ３３を備えて、一対の導体パターン１０１間に対する直流信号Ｓ１の印加によってその導体パターン１０１間を流れる電流Ｉを検出可能に構成されている。オペアンプ３１は、一対の導体パターン１０１間に対する直流信号Ｓ１の印加によって導体パターン１０１間を流れる電流Ｉをフィードバック方式で電流−電圧（Ｉ／Ｖ）変換して、その電流Ｉの電流値に電圧値が比例する出力信号Ｓ２を生成してＡ／Ｄ変換部４に出力する。抵抗３２は、変換利得決定用の抵抗であって、オペアンプ３１の負帰還経路内に接続されている。コンデンサ３３は、発振防止用のコンデンサであって、オペアンプ３１の負帰還経路内に抵抗３２と並列に接続されている。

Ａ／Ｄ変換部４は、電流検出部３から出力される出力信号Ｓ２をアナログ−デジタル（Ａ／Ｄ）変換して生成した電流値データＤｉを制御部６に出力する。容量測定部５は、一対のプローブ２１に接続されると共に交流信号を用いた容量測定を実行可能に構成されている。この場合、容量測定部５は、制御部６の制御に従い、一対の導体パターン１０１間における浮遊容量Ｃｓ（図２参照）の容量値を測定して容量値データＤｃを生成する。なお、容量測定部５としては、直流信号による突入電流波形（微分波形）から容量値を算出する構成を採用することもできる。

制御部６は、本発明における検査部として機能し、信号生成部２、容量測定部５、タイマ７および表示部１０を制御する。具体的には、制御部６は、操作部９の操作によって回路基板１００についてのデータ収集の開始を指示されたときには、図３に示すデータ収集処理５０を実行する。このデータ収集処理５０では、制御部６は、容量測定部５によって生成される容量値データＤｃ、および所定の待機時間表データＤｔに基づき、絶縁検査用の待機時間ｔｗの時間長（本発明における待機時間の長さ）を設定する。ここで、待機時間表データＤｔは、図５に示すように、例えば、その範囲が互いに異なる３つの容量値範囲にその時間長が互いに異なる待機時間ｔｗ（ｔｗ１〜ｔｗ３）をそれぞれ対応付けたデータで構成されている。また、制御部６は、一対の導体パターン１０１の特定が可能なデータ、および設定した待機時間ｔｗを互いに関連付けた関連付けデータＤｒを生成して記憶部８に記憶させる。

また、制御部６は、操作部９の操作によって回路基板１００に対する絶縁検査の開始を指示されたときには、図４に示す絶縁検査処理６０を実行する。この絶縁検査処理６０では、制御部６は、Ａ／Ｄ変換部４から出力される電流値データＤｉに基づき、電流Ｉの電流値を所定周期で測定（算出）すると共に、算出した電流値が所定の基準電流値Ｉｓ（例えば、０．１μＡ）まで低下したか否かをその各所定周期毎に判別する。また、制御部６は、タイマ７を制御して、検査開始からの経過時間ｔｌをカウントさせると共に、経過時間ｔｌが上記の待機時間ｔｗに達した（待機時間ｔｗを経過した）ときに電流値データＤｉに基づいて一対の導体パターン１０１間についての絶縁良否を検査する。また、制御部６は、検査結果に応じた検査データＤｅを生成して記憶部８に記憶させる。

タイマ７は、制御部６の制御に従い、経過時間ｔｌをカウントして所定の待機時間ｔｗに達したときにタイマ信号Ｓ３を出力する。記憶部８は、制御部６の制御に従い、検査データＤｅ、基準電流値データＤｉｓ、待機時間表データＤｔおよび関連付けデータＤｒを記憶する。ここで、基準電流値データＤｉｓは、電流Ｉが流れていないと判別するときの判別基準となる基準電流値Ｉｓを示すデータであって任意の電流値に設定される。操作部９は、使用者によって操作された操作内容に応じた指示信号Ｓ４を制御部６に出力する。表示部１０は、制御部６の制御に従って各種の検査結果を表示する。

次に、基板検査装置１を用いた回路基板１００に対する絶縁検査の方法について、図面を参照して説明する。

まず、検査対象の回路基板１００に対する絶縁検査（本検査）に先立ち、基板検査装置１を用いて、良品としての回路基板１００（以下、この回路基板１００を「基準回路基板１００Ａ」ともいう）に対して予備的な検査を行う。この際には、基準回路基板１００Ａを基板検査装置１にセットすると共に基板検査装置１を起動させる。

次いで、操作部９を操作して、データ収集の開始を指示する。この際に、操作部９が、その操作に対応する指示信号Ｓ４を出力する。これに応じて、制御部６が、図３に示すデータ収集処理５０を実行する。このデータ収集処理５０では、制御部６は、まず、図外の移動機構を制御することにより、容量測定部５に接続された一対のプローブ２１を、図１に示すように、基準回路基板１００Ａにおけるいずれか一対の導体パターン１０１，１０１（以下、この導体パターン１０１，１０１を「導体パターン１０１ａ，１０１ｂ」ともいう）にそれぞれ接触させる（ステップ５１）。この場合、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間には、図２に示すように、絶縁抵抗Ｒｓおよび浮遊容量Ｃｓが形成されている。

次いで、制御部６は、容量測定部５を制御して、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間における浮遊容量Ｃｓの容量値（以下、この容量値を「浮遊容量値」ともいう）を測定させる（ステップ５２）。この際に、容量測定部５は、制御部６の制御に従い、導体パターン１０１ａ，１０１ｂに対して検査用の交流信号を出力すると共に、交流信号の印加時に導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間を流れる電流Ｉの電流値に基づき、公知の測定方法に従って浮遊容量値を測定して容量値データＤｃを生成する。

この際に、制御部６は、待機時間表データＤｔを記憶部８から読み出すと共に、容量測定部５によって生成された容量値データＤｃおよび読み出した待機時間表データＤｔに基づいて待機時間ｔｗを設定する（ステップ５３）。具体的には、制御部６は、待機時間表データＤｔにおける３つの容量値範囲（図５参照）の中から容量値データＤｃの示す浮遊容量値の属する容量値範囲を特定すると共に、特定した容量値範囲に対応付けられた待機時間ｔｗ（つまり、待機時間ｔｗ１〜ｔｗ３のいずれか）を導体パターン１０１ａ，１０１ｂの待機時間ｔｗとして設定する。

ここで、待機時間表データＤｔでは、図５に示すように、最も小さな容量値範囲（容量値Ｃ１以上容量値Ｃ２未満の範囲）に最も短い待機時間ｔｗ１が対応付けられている。また、同図に示すように、次に大きな２番目の容量値範囲（容量値Ｃ２以上容量値Ｃ３未満の範囲）に２番目に短い待機時間ｔｗ２が対応付けられ、最も大きな容量値範囲（容量値Ｃ３以上容量値Ｃ４未満の範囲）に従来の検査装置において一定の時間長で待機している待機時間と同じ長さの待機時間ｔｗ３（長い待機時間）が対応付けられている。この場合、例えば、導体パターン１０１ａ，１０１ｂの浮遊容量値が待機時間表データＤｔにおける最も大きな容量値範囲（容量値Ｃ３以上容量値Ｃ４未満の範囲）内のときには、制御部６は、導体パターン１０１ａ，１０１ｂについての待機時間ｔｗを長めの待機時間ｔｗ３に設定する。

次いで、制御部６は、導体パターン１０１ａ，１０１ｂを特定可能なデータ（例えば導体パターン１０１ａ，１０１ｂの番号等）、および設定した待機時間ｔｗ（この場合、待機時間ｔｗ３）を互いに関連付けた関連付けデータＤｒを生成して記憶部８に記憶させる（ステップ５４）。次いで、制御部６は、基準回路基板１００Ａにおける全ての導体パターン１０１についての関連付けデータＤｒを記憶部８に記憶させたか（収集したか）否かを判別する（ステップ５５）。この際に、制御部６は、全ての導体パターン１０１についての関連付けデータＤｒを収集していないときには、ステップ５１以降の処理を再度実行する。

この場合、例えば、他の導体パターン１０１，１０１（以下、この導体パターン１０１，１０１を「導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ」ともいう）間の浮遊容量値が上記の待機時間表データＤｔにおける最も小さな容量値範囲（図５の容量値Ｃ１以上容量値Ｃ２未満の範囲）内のときには、制御部６は、ステップ５３の処理において、導体パターン１０１ｃ，１０１ｄについての待機時間ｔｗを最も短い待機時間ｔｗ１に設定する。このように、この基板検査装置１では、浮遊容量値が小さいときには、待機時間ｔｗの時間長が短く設定され、浮遊容量値が大きいときには、待機時間ｔｗの時間長が長く設定される。次いで、制御部６は、ステップ５１からステップ５４の処理を繰り返し実行して、全ての導体パターン１０１についての関連付けデータＤｒの収集を完了したときには、データ収集処理５０を終了する。

次に、基板検査装置１を用いて、検査対象の回路基板１００に対する絶縁検査（本検査）を実行する。この際には、操作部９を操作して、上記した基準電流値Ｉｓを例えば「０．１μＡ」に設定する。この際に、操作部９が、設定された基準電流値Ｉｓに対応する指示信号Ｓ４を出力し、制御部６が、操作部９から出力された指示信号Ｓ４に従って基準電流値データＤｉｓを生成して記憶部８に記憶させる。

次いで、基準回路基板１００Ａに代えて回路基板１００を基板検査装置１にセットすると共に、絶縁検査の開始を指示する。これに応じて、制御部６は、図４に示す絶縁検査処理６０を実行する。この絶縁検査処理６０では、制御部６は、まず、上記したデータ収集処理５０のステップ５１と同様にして、例えば、回路基板１００におけるいずれか一対の導体パターン１０１，１０１（例えば、上記した導体パターン１０１ａ，１０１ｂ）にプローブ２１をそれぞれ接触させる（ステップ６１）。次いで、制御部６は、信号生成部２を制御して、各プローブ２１，２１を介して導体パターン１０１ａ，１０１ｂに検査用信号としての直流信号Ｓ１を印加する。これにより、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間には、図２に示すように、直流信号Ｓ１の印加に起因する電流Ｉが流れる。

この際に、電流検出部３のオペアンプ３１が、抵抗３２の抵抗値およびコンデンサ３３の容量値によって規定される変換利得で電流Ｉを電流−電圧変換して出力信号Ｓ２を出力する。また、Ａ／Ｄ変換部４が、電流検出部３から出力された出力信号Ｓ２をＡ／Ｄ変換して生成した電流値データＤｉを出力する。

また、制御部６は、関連付けデータＤｒを記憶部８から読み出すと共に、関連付けデータＤｒに基づいて導体パターン１０１ａ，１０１ｂに関連付けられた待機時間ｔｗ（この場合、待機時間ｔｗ３）を特定する。次いで、制御部６は、タイマ７を制御して、経過時間ｔｌのカウントを開始せる（ステップ６３）。続いて、制御部６は、基準電流値データＤｉｓを記憶部８から読み出すと共に、Ａ／Ｄ変換部４から出力された電流値データＤｉの示す電流値（つまり、電流Ｉの電流値）が基準電流値データＤｉｓの示す基準電流値（この場合、０．１μＡ）Ｉｓ以下であるか否かを判別する（ステップ６４）。この場合、直流信号Ｓ１の印加開始時において浮遊容量Ｃｓを充電する大きな電流が流れるため、電流Ｉは、図６に示すように、直流信号Ｓ１の印加直後の時点ｔａで最も大きくなる。この際には、電流Ｉの電流値が基準電流値Ｉｓを超えるため、制御部６は、ステップ６４の判別処理において電流Ｉの電流値が基準電流値Ｉｓ以下ではないと判別して、経過時間ｔｌが待機時間ｔｗ３に達したか否かを判別する（ステップ６５）。この時点ｔａでは待機時間ｔｗ３に達していないため、制御部６は、経過時間ｔｌが待機時間ｔｗ３に達していないとして、ステップ６４の判別処理を再度実行する。

続いて、時間の経過に伴い、浮遊容量Ｃｓの充電が進行するため、図６に示すように、電流Ｉの電流値は徐々に減少する。この際に、例えば、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間の絶縁状態が良好のときには、同図に実線で示すように、経過時間ｔｌが待機時間ｔｗ３に達する前（つまり、時点ｔｃを経過する前）の時点（同図に示す時点ｔｂ）において電流Ｉの電流値が基準電流値Ｉｓ以下となる。この場合、制御部６は、ステップ６４の判別処理において、電流Ｉの電流値が基準電流値Ｉｓ以下であると判別する。次いで、制御部６は、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間の絶縁状態が良好であるとして、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間についての検査結果（絶縁良好）を示す検査データＤｅを生成して記憶部８に記憶させる（ステップ６６）と共に、検査結果を表示部１０に表示させる。

続いて、制御部６は、回路基板１００における全ての導体パターン１０１についての絶縁検査を完了したか否かを判別する（ステップ６７）。この場合、制御部６は、全ての導体パターン１０１についての検査を完了していないときには、ステップ６１以降の処理を再度実行する。

この際に、例えば、上記した他の導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ間の絶縁状態が不良のときには、電流Ｉの電流値は、図６に破線で示すように、経過時間ｔｌが待機時間ｔｗ（この場合、短めの待機時間ｔｗ１）に達した時点（同図における時点ｔｄ）においても基準電流値Ｉｓを超えた状態となる。この際には、タイマ７が、ステップ６４，６５の判別処理時においてタイマ信号Ｓ３を制御部６に出力する。これに応じて、制御部６は、ステップ６５の判別処理において、経過時間ｔｌが待機時間ｔｗに達したと判別する。次いで、制御部６は、時点ｔｄにおいて電流Ｉの電流値が基準電流値Ｉｓ以下であるか判別する。この際には、制御部６は、電流Ｉの電流値が基準電流値Ｉｓ以上のため、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間の絶縁状態が不良であるとして、導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ間についての検査結果（短絡などの絶縁不良）を示す検査データＤｅを生成して記憶部８に記憶させる（ステップ６８）と共に、検査結果を表示部１０に表示させる。この場合、この基板検査装置１では、待機時間ｔｗ１，ｔｗ２が短めに設定されているため、浮遊容量値の小さい導体パターン（例えば、導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ）間について絶縁良否を迅速に検査することが可能となる。次いで、制御部６は、ステップ６１〜６６の処理（またはステップ６１〜６５，６８の処理）を繰り返し実行して、全ての導体パターン１０１についての検査を完了したときには、絶縁検査処理６０を終了する。

このように、この基板検査装置１では、制御部６が浮遊容量値の大きさに応じて待機時間ｔｗを設定する。この場合、制御部６は、浮遊容量Ｃｓの容量値が大きいときには、待機時間ｔｗを長め（例えば待機時間ｔｗ３）に設定し、浮遊容量Ｃｓの容量値が小さいときには、待機時間ｔｗを短め（例えば待機時間ｔｗ１，ｔｗ２）に設定する。このため、導体パターン１０１，１０１間毎に容量値の異なる容量を充電するのに最低限度必要な時間長となるように適切な時間長の待機時間ｔｗを設定することができる。したがって、浮遊容量値が小さい導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ間などでは待機時間ｔｗの時間長が短く（待機時間ｔｗ１，ｔｗ２）設定されるため、その分、絶縁良否を迅速に検査することができる結果、検査効率を向上させることができる。

また、この基板検査装置１では、制御部６が、基準回路基板１００Ａについてのデータ収集処理５０を実行することによって関連付けデータＤｒ（つまり導体パターン１０１，１０１間毎の待機時間ｔｗ）を予め設定すると共に、設定した待機時間ｔｗを基準の時間として絶縁検査処理６０を実行する。このため、この基板検査装置１によれば、１つの基準回路基板１００Ａについて設定した待機時間ｔｗを共通利用して複数の回路基板１００についての絶縁良否を検査することができるため、検査効率を向上させることができる。

また、この基板検査装置１では、制御部６が、容量測定部５によって測定された浮遊容量値に応じて待機時間ｔｗを設定する。このため、他の容量測定装置を用いた導体パターン１０１，１０１間の容量測定を不要とすることができる結果、待機時間ｔｗを迅速に設定することができる。したがって、この基板検査装置１によれば、検査効率を一層向上させることができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、本発明における所定部位間として導体パターン１０１，１０１間についての絶縁良否を検査する構成例について上記したが、本発明はこれに限定されない。例えば、多数の配線間についての絶縁良否を検査する構成を採用することもできる。この構成によれば、上記の構成と同様の効果を奏することができる。また、制御部６が３つの容量値範囲に待機時間ｔｗがそれぞれ対応付けられた待機時間表データＤｔを利用して待機時間ｔｗを設定する例について上記したが、本発明はこれに限定されない。例えば、制御部６が２つまたは４つ以上の任意の数の容量値範囲に待機時間ｔｗがそれぞれ対応付けられた待機時間表データＤｔを利用して待機時間ｔｗを設定する構成を採用することもできる。この構成によれば、容量測定部５による容量測定の精度に応じて、容量値範囲の数を任意に設定することができる。

また、制御部６が回路基板１００における全ての導体パターン１０１についての関連付けデータＤｒを予め記憶させると共にその関連付けデータＤｒを利用して絶縁検査処理６０を実行する構成例について上記したが、本発明はこれに限定されない。例えば、制御部６が所定の導体パターン１０１，１０１間の浮遊容量値を測定する測定処理と、その導体パターン１０１，１０１間に対する待機時間ｔｗを設定する設定処理と、その導体パターン１０１，１０１に対する検査処理とを各導体パターン１０１，１０１間毎に繰り返し実行することにより、回路基板１００における全ての導体パターン１０１についての絶縁検査を実行する構成を採用することもできる。この構成によれば、検査対象体としての回路基板１００における導体パターン１０１，１０１間の浮遊容量値に応じて待機時間ｔｗを設定することができるため、基準回路基板１００を用いることなく回路基板１００に対する絶縁検査を実行することができる。この場合、浮遊容量値を高速に測定可能な容量測定装置を容量測定部５として備えた構成を採用することにより、容量測定に要する時間を短縮することができるため、回路基板１００毎に容量計測を実行したとしても、経過時間の長時間化を最小限に抑えることができる。

また、待機時間ｔｗが経過したときの電流Ｉの電流値に基づいて一対の導体パターン１０１間についての絶縁検査を実行する構成について上記したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記の基板検査装置１において、制御部６が待機時間ｔｗの経過時の電流Ｉの電流値および出力信号Ｓ２の電圧値に基づいて導体パターン１０１，１０１間の抵抗値を算出すると共に、算出した抵抗値に基づいてその導体パターン１０１，１０１間の絶縁良否を検査する構成を採用することもできる。この場合、上記の構成と同様にして、導体パターン１０１，１０１間の容量を充電するのに最低限度必要な時間長となるように適切な時間長の待機時間ｔｗを設定することができる。したがって、この構成でも、浮遊容量値が小さい導体パターン１０１，１０１間では待機時間ｔｗの時間長が短く設定されるため、その分、絶縁良否を迅速に検査することができる結果、検査効率を向上させることができる。

基板検査装置１の構成を示すブロック図である。 電流検出部３の構成を示す回路図である。 データ収集処理５０のフローチャートである。 絶縁検査処理６０のフローチャートである。 待機時間表データＤｔを示すデータ構造図である。 基板検査装置１による検査時における電流Ｉの経過時間に対する電流値を示す電流特性図である。

符号の説明

１ 基板検査装置
３ 電流検出部
５ 容量測定部
６ 制御部
７ タイマ
８ 記憶部
１００ 回路基板
１０１ 導体パターン
１０１ａ〜１０１ｄ 導体パターン
Ｃｓ 浮遊容量
Ｄｃ 容量値データ
Ｄｅ 検査データ
Ｄｔ 待機時間表データ
Ｉ 電流
Ｉｓ 基準電流値
Ｒｓ 絶縁抵抗
Ｓ１ 直流信号
ｔｗ１〜ｔｗ３ 待機時間

Claims (3)

1. 検査用信号の印加によって検査対象体における所定部位間を流れる電流を検出する電流検出部と、前記検査用信号の印加開始時から所定の待機時間を経過したときに前記電流検出部によって検出された前記電流の電流値に基づいて前記所定部位間についての絶縁良否を検査する検査部とを備え、
   前記検査部は、前記所定部位間の容量値の大きさに応じて前記所定の待機時間の長さを設定する検査装置。
2. 検査用信号の印加によって検査対象体における所定部位間を流れる電流を検出する電流検出部と、前記検査用信号の印加開始時から所定の待機時間を経過したときに前記電流検出部によって検出された前記電流の電流値および前記検査用信号の電圧値に基づいて前記所定部位間の抵抗値を算出すると共に当該算出した抵抗値に基づいて前記所定部位間についての絶縁良否を検査する検査部とを備え、
   前記検査部は、前記所定部位間の容量値の大きさに応じて前記所定の待機時間の長さを設定する検査装置。
3. 前記所定部位間の前記容量値を測定するための容量測定部を備えている請求項１または２記載の検査装置。

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