KR20160014540A

KR20160014540A - 프린트 기판 검사 장치 및 검사 방법

Info

Publication number: KR20160014540A
Application number: KR1020150105732A
Authority: KR
Inventors: 겐고 즈치다; 야스시 미야케
Original assignee: 야마하 파인 테크 가부시키가이샤
Priority date: 2014-07-29
Filing date: 2015-07-27
Publication date: 2016-02-11
Also published as: TWI598604B; TW201604564A; JP2016033511A; CN105319476B; JP6095735B2; CN105319476A; KR101706465B1

Abstract

본 발명에 의하면, 프린트 기판에 형성된 도체 패턴에 대하여 전기 신호를 인가하여 도체 패턴의 불량을 검사하는 프린트 기판의 전기 검사 장치에 있어서, 도체 패턴의 일단부에 접촉되는 제1 프로브와, 도체 패턴의 타단부에 절연체를 개재하여 배치되는 제2 프로브와, 정전류원과, 정전류원에 제1 프로브를 접속하기 위한 제1 접속 장치와, 정전류원의 기준 전위에 대한 제2 프로브의 전기적 접속 상태를 변화시키기 위한 제2 접속 장치와, 정전류원의 기준 전위에 대한 제1 프로브의 전위를 계측하기 위한 계측 회로를 구비한다.

Description

프린트 기판 검사 장치 및 검사 방법{PRINTED CIRCUIT BOARD INSPECTION APPARATUS AND METHOD}

본 발명은, 프린트 기판의 도체 패턴의 전기적 상태를 검사하는 장치 및 그 검사 방법에 관한 것이다.

본 출원은, 2014년 7월 29일에 일본에 출원된 일본 특허 출원 제2014-153493호에 기초하여 우선권을 주장하며, 그 내용을 본 명세서에 원용한다.

프린트 기판의 도체 패턴의 단선 등의 전기적 상태를 검사하는 경우, 일반적으로는 도체 패턴의 양단부에 검사 프로브를 접촉시켜 도통 검사하는데, 도체 패턴의 단말기의 한쪽이 절연막으로 덮여 있는 경우나 터치 패널 등에 형성되어 있는 경우 등, 도체 패턴에 검사 프로브를 직접 접촉하지 못하는 경우가 있다. 그러한 경우, 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 개시된 바와 같이 검사 프로브를 도체 패턴에 비접촉 상태로 하여 검사하는 것이 행해진다.

특허문헌 1에는, 플렉시블 프린트 기판 등에 적용되는 기판 검사에 있어서, 도체 패턴의 한쪽 검사 대상 전극 군에 대하여 각각 프로브를 접촉시키고, 그 도체 패턴의 다른 쪽 검사 대상 전극 군에 비접촉 센서를 근접 배치하고, 그 비접촉 센서에 의하여 검사 대상 전극에 대하여 미약한 전자계(또는 전자파)를 포착하여, 각 도체 패턴의 단선 등의 불량을 판정하는 것이 개시되어 있다.

특허문헌 2에는, 프린트 기판 상의 복수의 도체 패턴의 각각에 프로브를 전기적으로 접속하고, 검사 신호를 검출하는 센서를 복수의 도체 패턴에 대하여 비접촉으로 정전 용량 결합하고, 프로브에 급격한 변화를 갖는 전기 신호를 순차 입력하여, 센서에 흐르는 과도 전류의 최댓값에 의하여 도체 패턴의 도통 상태를 판정하는 것이 개시되어 있다.

일본 특허 제2994259호 공보 일본 특허 제3361311호 공보

그러나 어느 특허문헌에 기재된 방법에 있어서도, 전기 신호를 검출하는 프로브가 도체 패턴에 대하여 비접촉으로 배치되어 있어 직접 도체 패턴에 접촉하고 있지 않기 때문에, 신호를 확실히 검출하지 못할 가능성이 있다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 전기 신호를 검출하는 프로브를 도체 패턴에 대하여 직접 접촉시킨 상태로 하여 신호를 확실히 검출할 수 있어, 정확한 검사를 할 수 있는 프린트 기판 검사 장치 및 검사 방법을 제공한다.

본 발명의 프린트 기판 검사 장치는, 프린트 기판에 형성된 도체 패턴에 대하여 전기 신호를 인가하여 도체 패턴의 불량을 검사하는 프린트 기판의 전기 검사 장치에 있어서, 상기 도체 패턴의 일단부에 접촉되는 제1 프로브와, 상기 도체 패턴의 타단부에 절연체를 개재하여 배치되는 제2 프로브와, 정전류원과, 상기 정전류원에 상기 제1 프로브를 접속하기 위한 제1 접속 장치와, 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제2 프로브의 전기적 접속 상태를 변화시키기 위한 제2 접속 장치와, 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제1 프로브의 전위를 계측하기 위한 계측 회로를 구비한다.

그리고 본 발명의 프린트 기판 검사 방법은, 도체 패턴의 일단부에 직접 제1 프로브를 접촉시키고, 상기 도체 패턴의 타단부에 절연체를 개재하여 제2 프로브를 배치하며, 시각 T1에 상기 제1 프로브에 정전류원으로부터 전류를 흘리는 것을 개시하고, 시각 T1로부터 소정의 시간 t12 경과한 시각 T2에 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제2 프로브의 전기적 접속 상태를 변화시켜, 그 변화 시의 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제1 프로브의 전위의 계측 결과로부터 상기 도체 패턴의 불량을 판정한다.

이 프린트 기판 검사 방법에 있어서, 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제2 프로브의 전기적 접속 상태가 변화되었을 때, 소정의 단위 시간 tu당 상기 도체 패턴의 일단부의 전위 변위량이 변화되었을 경우에 도체 패턴이 양품이라고 판정하는 것으로 할 수 있다.

본 발명에 있어서는, 제1 프로브는 도체 패턴의 일단부에 접촉시키고, 제2 프로브는 도체 패턴의 타단부에 절연체를 개재하여 배치하여, 그 제2 프로브측의 전기적 접속 상태를 변화시켜 제1 프로브의 전위를 계측한다. 즉, 도체 패턴에 접촉 상태인 제1 프로브의 전기 신호를 검출하므로, 그 전기 신호를 확실히 검출할 수 있어 정확한 기판 검사를 실시할 수 있다.

이 경우, 프린트 기판의 도체 패턴의 타단부에 배치되는 절연체는, 도체 패턴의 타단부가 프린트 기판의 표면에 노출되어 있는 경우에는 적절히 준비한 것을 도체 패턴의 타단부 상에 배치하지만, 도체 패턴의 타단부가 절연막으로 덮여 있는 경우에는 그 절연막을 절연체로 할 수 있으며, 그 절연막에 제2 프로브를 배치해도 된다.

또한 제2 접속 장치는, 정전류원의 기준 전위에 대하여 제2 프로브를 접속 또는 차단함으로써 제2 프로브의 접속 상태를 변화시키는 것으로 할 수 있다.

또한 제1 프로브와 제2 프로브는 모두 프린트 기판의 한쪽 면측에 배치되는 경우와, 서로 프린트 기판의 반대면에 배치되는 경우가 있다.

본 발명의 프린트 기판 검사 장치에 있어서, 상기 제2 프로브와 상기 제2 접속 장치 사이, 또는 상기 제2 프로브와 상기 정전류원의 기준 전위 사이 중 어느 한쪽 또는 양쪽에, 소정의 정전 용량을 갖는 캐패시터가 접속되어 있으면 된다.

캐패시터의 존재에 의하여 제1 프로브측의 전위 변위량을 크게 할 수 있어, 보다 정확한 검사를 실시할 수 있다.

본 발명의 프린트 기판 검사 장치에 있어서, 상기 제1 프로브를 상기 제1 접속 장치를 통하여 상기 정전류원의 기준 전위에 접속하기 위한 제3 접속 장치를 갖는 구성으로 해도 된다.

본 발명의 프린트 기판 검사 방법에 있어서는, 상기 시각 T1로부터 소정의 시간 t31 전의 시각 T3에 상기 제1 프로브를 상기 정전류원의 기준 전위에 접속하고, 상기 시각 T1로부터 소정의 시간 t14 경과하여 상기 시각 T2보다 전의 시각 T4에 상기 제1 프로브와 상기 기준 전위를 차단 상태로 하는 것으로 해도 된다.

전위의 계측에 앞서 제1 프로브를 기준 전위에 접속하여 배선부 등에 대전되어 있는 전하를 방전함으로써, 대전의 영향을 없앨 수 있음과 함께 정전류원으로부터의 전류를 단시간에서 안정시켜, 정확한 검사를 빠르게 실시할 수 있다.

본 발명의 프린트 기판 검사 장치에 있어서, 상기 프린트 기판의 상기 도체 패턴에 대하여 절연판을 개재하여 접촉되는 도체판이 상기 정전류원의 기준 전위에 접속되어 있는 구성으로 해도 된다.

도체 패턴에 대한 제1 프로브의 접촉 상태의 불량도 검사할 수 있어, 제1 프로브를 도체 패턴에 확실히 접촉시킨 상태에서 정확한 검사를 실시할 수 있다.

이 경우, 절연판은 프린트 기판과는 별도로 준비한 것을 사용할 수 있지만, 프린트 기판의 표면에서 절연막에 덮인 부분이 있으면, 이 절연막을 절연판으로 하고 그 위에 도체판을 접촉하도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 전기 신호를 검출하는 프로브를 도체 패턴에 대하여 직접 접촉시킨 상태로 하여 검사하므로 신호를 확실히 검출할 수 있어, 정확한 검사를 할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2는 도 1의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 프린트 기판 검사 방법을 도시하는 흐름도이다.
도 4는 제1 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 양품인 경우의 제1 프로브의 전위의 시간적 변화를 나타내는 전기 특성도이다.
도 5는 제1 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 불량품인 경우의 제1 프로브의 전위의 시간적 변화를 나타내는 전기 특성도이다.
도 6은 제1 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 양품인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 7은 제1 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 불량품인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 8은 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제2 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 9는 도 8의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제3 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 11은 도 10의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제4 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 13은 도 12의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.
도 14는 제4 실시 형태에 있어서의 프린트 기판 검사 방법을 도시하는 흐름도이다.
도 15는 제4 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 양품인 경우의 제1 프로브의 전위의 시간적 변화를 나타내는 전기 특성도이다.
도 16은 제4 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 불량품인 경우의 제1 프로브의 전위의 시간적 변화를 나타내는 전기 특성도이다.
도 17은 제4 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 양품인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 18은 제4 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 불량품인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 19는 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제5 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 블록도이다.
도 20은 도 19의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.
도 21은 제5 실시 형태에 있어서의 프린트 기판 검사 방법을 도시하는 흐름도이다.
도 22는 제5 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 양품인 경우의 제1 프로브의 전위의 시간적 변화를 나타내는 전기 특성도이다.
도 23은 제5 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 불량품인 경우의 제1 프로브의 전위의 시간적 변화를 나타내는 전기 특성도이다.
도 24는 제5 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 양품인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 25는 제5 실시 형태에 있어서 도체 패턴이 불량품인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 26은 제5 실시 형태에 있어서 제1 프로브가 도체 패턴에 대하여 접촉 불량인 경우의 전기 특성도이다.
도 27은 제5 실시 형태에 있어서 제1 프로브가 도체 패턴에 대하여 접촉 불량인 경우의 다른 전기 특성도이다.
도 28은 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제6 실시 형태의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 29는 도 28의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.
도 30은 본 발명에 따른 프린트 기판 검사 장치의 제7 실시 형태의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 31은 도 30의 프린트 기판 검사 장치에 있어서 프린트 기판에 대한 배선 상태를 도시하는 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하면서 설명한다.

[프린트 기판에 대하여]

이하의 실시 형태에 있어서 검사 대상으로 되는 프린트 기판(1)은, 평판형 절연층(2)의 표면 또는 내부에 다양한 도체 패턴 E1 내지 E4가 형성되어 있다. 절연층(2)은 단층인 경우도 있지만, 복수 층을 포함하는 경우도 있다. 절연층(2)이 복수 층을 포함하는 경우, 도체 패턴 E1 내지 E4도 다층 구조를 갖고 비아나 스루 홀에 의하여 상하층 간에서 접속된다. 그리고 각 도체 패턴 E1 내지 E4의 양단부(전극부)가 절연층(2)의 표면에 형성되어 있다. 이 경우, 도체 패턴 E1 내지 E4의 양단부는, 프린트 기판(1)의 한쪽 면 또는 다른 쪽 면 중 어느 하나에만 형성되는 경우와, 양쪽 면에 나뉘어 형성되는 경우가 있다. 또한 도체 패턴 E1 내지 E4 중 적어도 일단부는 프린트 기판(1)의 표면에 노출되어 있다. 타단부는 프린트 기판(1)의 표면에 노출되어 있는 경우도 있고, 절연막에 의하여 덮인 상태로 되어 있는 경우도 있다.

이하의 실시 형태의 도면에서는, 프린트 기판(1)은, 절연층(2)의 상면에 도체 패턴 E1 내지 E4가 형성되고, 각 도체 패턴 E1 내지 E4 모두 양단부가 프린트 기판(1)의 절연층(2)의 표면에 노출되어 있는 것으로서 도시되어 있다.

[제1 실시 형태]

제1 실시 형태에 있어서의 프린트 기판 검사 장치(11)는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 프린트 기판(1)의 복수의 도체 패턴 E1 내지 E4에 대하여 검사를 행하는 것이며, 소정의 전류를 발생시키는 정전류원(12), 프린트 기판(1) 상에 노출되어 있는 각 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부에 각각 직접 접촉되는 복수의 제1 프로브 P1 내지 P4 및 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부에 절연체(13)를 개재하여 개별적으로 접촉되는 복수의 제2 프로브 P5 내지 P8, 각 제1 프로브 P1 내지 P4를 정전류원(12)에 각각 접속하기 위한 복수의 전환 스위치 A1 내지 A4를 갖는 제1 접속 장치(14), 및 정전류원(12)의 기준 전위(통상은 접지 전위)에 제2 프로브 P5 내지 P8을 각각 접속하기 위한 복수의 전환 스위치 B1 내지 B4를 갖는 제2 접속 장치(15), 정전류원(12)의 기준 전위에 대한 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위를 계측하기 위한 계측 회로(16), 정전류원(12)을 제어하기 위한 정전류원 제어부(17), 각 접속 장치를 제어하기 위한 접속 장치 제어부(18), 계측 회로(16)에 접속된 A/D 변환부(19) 및 전위 계측부(20), 이들 제어부 및 전위 계측부를 제어하기 위한 주 제어 장치(21) 및 표시 장치(22)를 구비한다. 주 제어 장치에는 CPU, 메모리, 검사 조건 설정부, 검사 판정부, 각 부와의 데이터 통신부가 설치된다.

이 프린트 기판 검사 장치(11)는, 제1 프로브 P1 내지 P4를 프린트 기판(1)의 절연층(2)으로부터 노출되어 있는 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부에 직접 접촉시킴과 함께, 제2 프로브 P5 내지 P8을 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부에 절연체(13)를 개재하여 배치한다.

상술한 바와 같이 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부는, 프린트 기판(1)의 표면에 노출되어 있는 경우와 절연막에 의하여 덮인 상태의 경우가 있는데, 프린트 기판(1)의 표면에 노출되어 있는 경우에는 적당한 절연체(13)를 개재시켜 제2 프로브 P5 내지 P8을 배치하고, 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부가 절연막에 의하여 덮인 상태 경우에는 그 절연막을 여기서 말하는 절연체(13)로 하고, 이 절연막에 제2 프로브 P5 내지 P8을 접촉시킴으로써, 절연체(13)를 개재하여 배치한 상태로 한다. 도시예에서는, 도체 패턴 E1 내지 E4의 단부에 절연체(13)를 개재하여 제2 프로브 P5 내지 P8이 배치되어 있다.

이와 같이 제1 프로브 P1 내지 P4 및 제2 프로브 P5 내지 P8을 배치하고, 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4 중 어느 하나를 접속 상태로 함으로써, 정전류원(12)으로부터 제1 프로브 P1 내지 P4 중 어느 하나에 전류를 흘린 상태로 한다. 이것에 의하여, 도체 패턴 E1 내지 E4 중 어느 하나를 포함한 장치의 배선부 등이 갖는 정전 용량에 전기가 축적되고, 그 결과, 제1 프로브 P1 내지 P4 중 어느 하나에 접속된 상태에 있는 계측 회로(16)에서 계측되는 전위(정전류원(12)의 기준 전위에 대한 제1 프로브 P1 내지 P4 중 어느 하나의 전위)가 상승한다.

이어서, 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4 중, 정전류원(12)에 접속된 어느 하나의 도체 패턴(선택된 도체 패턴)에 접속된 어느 하나의 전환 스위치 B1, B2, B3 또는 B4를 작동시킨다. 선택된 도체 패턴 E1 내지 E4가 정상이면, 이 제2 접속 장치(15)의 작동에 의하여, 계측 회로(16)에서 계측되는 전위에 변화가 발생한다. 선택된 도체 패턴 E1 내지 E4에 단선이 발생하고 있는 경우에는, 제2 접속 장치(15)를 작동시키더라도 계측 회로(16)에서 계측되는 전위에 변화가 발생하지 않는다. 이 전위의 변화의 유무를 검출함으로써, 이와 같이 하여 순차 검사 대상으로 하는 도체 패턴 E1 내지 E4 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 도체 패턴 E1 내지 E4의 불량을 식별할 수 있다.

이 검사의 상세를 도 3의 흐름도에 따라 설명한다. 이하의 설명에 있어서는, 흐름도의 각 스텝에 붙인 부호에 의하여 그 스텝마다 설명한다.

스텝 S1: 먼저 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부에 직접 제1 프로브 P1 내지 P4를 접촉시킨다. 또한 제2 프로브 P5 내지 P8도 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부에 절연체(13)를 개재하여 배치한다.

스텝 S2: 양 프로브 P1 내지 P4, P5 내지 P8을 배치 후, 시각 T1(도 4 등 참조)에 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4 중 어느 하나를 도통 상태로 하고, 제1 프로브 P1 내지 P4 중 어느 하나에 정전류원(12)으로부터 전류를 흘린다. 이것에 의하여, 전류가 공급된 제1 프로브에 접속되어 있는 도체 패턴 E1 내지 E4 중 어느 하나, 및 전류가 공급된 제1 프로브 P1 내지 P4 중 어느 하나 등의 배선부가 갖는 정전 용량에 충전이 개시되어, 계측 회로(16)에서 계측되는 전위가 상승한다.

스텝 S3: 시각 T1로부터 소정 시간 t12 경과한 시각 T2에 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4 중, 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4에 접속된 전환 스위치 B1, B2, B3 또는 B4를 작동시켜, 정전류원(12)의 기준 전위에 대한 제2 프로브 P5 내지 P8 중 어느 하나의 접속 상태를 변화시킨다. 이 접속 상태를 변화시킨다는 것은, 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4가 OFF의 상태였을 때는 이들 중 하나를 ON의 상태에 하거나, 또는 전환 스위치 B1 내지 B4가 ON의 상태였을 때는 이들 중 하나를 OFF의 상태로 하는 것이다.

스텝 S4: 계측 회로(16)의 계측 결과로부터, 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 일단부의 단위 시간 tu당 전위 변위량이 변화되었는지 여부를 판단하여, 단위 시간 tu당 전위 변위량이 변화되었다고 판단되었을 경우("예"의 경우)에는 S5로 나아가고, 단위 시간 tu당 전위 변위량이 변화되었다고 판단되지 않았을 경우("아니오"의 경우)에는 S8로 나아간다.

도 4 및 도 5의 전기 특성 그래프에 의하여 설명하면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 일단부의 전위가 상승하고 있는 도중의 시각 T2에 전위 변위량(전기 특성 그래프의 기울기)이 변화되었을 경우(도 4에서는 전위 변위량이 작아지고 있음)에는 스텝 S5로, 도 5에 나타낸 바와 같이 전위 변위량이 변화하지 않았을 경우에는 스텝 S8로 나아간다. 전위 변위량이 변화되는 것은, 도체 패턴 E1 내지 E4의 기준 전위에 대한 정전 용량이 변화되기 때문이며, 도 4는 정전 용량이 증가한 예를 나타내고 있다.

한편, 도 5는, 시각 T2에 제2 접속 장치(15)를 작동시키더라도 전위 변위량에 변화가 확인되지 않았을 경우를 나타내고 있으며, 이러한 경우에는 스텝 S8로 나아간다.

또한 제2 접속 장치(15)의 작동에 대하여, 전환 스위치 B1 내지 B4 중 어느 하나를 OFF에서 ON으로 할지, ON에서 OFF로 할지는 검사 대상 기판(1)의 특성에 따라 선택할 수 있으며, 전위 변위량의 변화가 커지는 조작 방법을 채용하면 된다.

스텝 S5: 제2 접속 장치(15)를 작동시키기 직전에 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 일단부의 전위가 정전류원(12)의 개방 전압 V₀에 도달해 있었는지 여부를 판단하여, 개방 전압 V₀에 도달해 있었다고 판단되었을 경우("예"의 경우)에는 스텝 S6으로 나아가고, 개방 전압 V₀에 도달해 있었다고 판단되지 않았을 경우("아니오"의 경우)에는 스텝 S7로 나아간다.

도 4 및 도 5에 나타내는 예에서는, 시각 T2의 시점에 전위는 개방 전압 V₀까지 도달해 있지는 않지만, 도 6 및 도 7에 나타내는 예에서는, 시각 T2까지 전위가 개방 전위 V₀에까지 도달해 있으며, 이러한 경우에는 스텝 S6로 나아간다.

스텝 S6: 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 일단부의 전위가 하강 방향으로 변위되었는지 여부를 판단하여, 하강 방향으로 변위되었다고 판단되었을 경우("예"의 경우)에는 스텝 S7로 나아가고, 하강 방향으로 변위되었다고 판단되지 않았을 경우("아니오"의 경우)에는 스텝 S8로 나아간다.

도 6에서는, 시각 T2보다 전에 전위가 정전류원(12)의 개방 전압 V₀에까지 도달해 있으며, 제2 접속 장치(15)의 작동에 의하여 전위가 순간적으로 하강한다(즉, 전위 변위량이 「0」이었던 것이 전위가 하강하는 방향으로 변화됨). 이 도 6에 나타낸 바와 같이 전위가 하강하면 스텝 S7로 나아간다. 도체 패턴 E1 내지 E4의 기준 전위에 대한 정전 용량이 변화되면 전위가 변화된다. 도 6은 정전 용량이 증가한 예를 나타내고 있다.

한편, 도 7에 나타낸 바와 같이 제2 접속 장치(15)를 작동시키더라도 개방 전압 V₀으로부터 변화가 없는 경우에는 스텝 S8로 나아간다.

스텝 S7: 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4가 양품이라고 판정된다.

스텝 S8: 선택된 도체 패턴 E1, E2, E3 또는 E4가 불량품이라고 판정된다.

즉, 제1 프로브 P1 내지 P4가 직접 접촉하고 있는 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부의 전위 변위량이, 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부에 절연체(13)를 개재하여 배치되어 있는 제2 프로브 P5 내지 P8측의 제2 접속 장치(15)의 작동에 의하여 변화되면 그 도체 패턴 E1 내지 E4는 양품이고, 전위 변위량의 변화가 발생하지 않는 경우에는 단선 등에 의하여 불량품이라고 판단된다.

이와 같이, 도체 패턴 E1 내지 E4에 직접 접촉하고 있는 제1 프로브 P1 내지 P4측에서 전위 계측하고 있으므로 전위 변위량을 확실히 검출할 수 있어, 정확한 검사를 실시할 수 있다.

또, 상술한 제1 실시 형태에 있어서는, 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4 중 어느 하나를 순서대로 폐쇄함으로써 도전 패턴 E1 내지 E4 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 도전 패턴 E1, E2, E3 또는 E4에 접속된 전환 스위치 B1, B2, B3 또는 B4를 작동시켜, 선택된 도전 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 도통 상태를 하나씩 검사하는 예를 나타내었다. 그러나 제1 접속 장치의 전환 스위치 A1 내지 A4를 동시에 전부 폐쇄하고, 그 후 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4를 순서대로 작동시켜, 그때의 전위의 변화를 계측 회로(16)에 의하여 검출함으로써, 도전 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 도통 상태를 하나씩 검사해도 된다. 또한 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4 중 어느 하나를 순서대로 폐쇄함으로써 도전 패턴 E1 내지 E4 중 어느 하나를 선택하고, 그때마다 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4를 전부 동시에 작동시켜, 그때의 전위의 변화를 계측 회로(16)에 의하여 검출함으로써, 도전 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 도통 상태를 하나씩 검사해도 된다.

또한, 프린트 기판(1)의 도전 패턴 E1 내지 E4 전부가 양품인지 여부를 검사하는 경우에는, 제1 접속 장치의 전환 스위치 A1 내지 A4를 동시에 전부 폐쇄하고, 그 후 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4를 전부 동시에 작동시켜, 그때의 전위의 변화를 계측 회로(16)에 의하여 검출해도 된다. 이상은, 후술하는 제2 내지 제5 실시예에 있어서도 마찬가지이다.

[제2 실시 형태]

도 8 및 도 9는 제2 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(31)를 도시하고 있으며, 이 프린트 기판 검사 장치(31)에서는, 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4 사이에, 소정의 정전 용량을 갖는 캐패시터 C1 내지 C4가 각각 설치되어 있다.

이 제2 실시 형태에 있어서, 그 외의 구성은 제1 실시 형태와 동일하며, 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다. 또한 이 제2 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(31)에 의한 프린트 기판 검사 방법은, 도 3에 도시하는 제1 실시 형태의 경우와 동일하며, 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위의 시간적인 변화 상태도, 그 절댓값 등은 상이하지만 도 4 내지 도 7에 나타내는 제1 실시 형태의 경우와 공통되므로, 그 설명을 생략한다. 이하의 각 실시 형태에 있어서도 마찬가지로, 선행하는 실시 형태와 공통되는 부분에는 동일한 부호를 붙여 설명을 간략화한다.

제1 실시 형태에서는, 부유 정전 용량을 포함한 배선부 자체가 갖는 정전 용량에 의하여 제2 접속 장치(15)의 작동 시의 전위 변위가 발생하고 있었지만, 제2 실시 형태에서는, 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15) 사이에, 소정의 정전 용량을 갖는 캐패시터 C1 내지 C4를 설치함으로써, 제2 접속 장치(15)를 작동시켰을 때의 정전 용량 변화를 크게 할 수 있어, 그만큼 전위 변위량을 크게 하여 보다 정확한 검사를 실시할 수 있다.

[제3 실시 형태]

도 10 및 도 11은 제3 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(41)를 도시하고 있으며, 상술한 제2 실시 형태에서는, 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4 사이에 캐패시터 C1 내지 C4가 각각 설치되어 있었던 것에 비하여, 이 프린트 기판 검사 장치(41)에서는, 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4와 정전류원(12)의 기준 전위 사이에, 소정의 정전 용량을 갖는 캐패시터 C5 내지 C8이 각각 설치되어 있다. 이 캐패시터 C5 내지 C8을 설치한 위치가 제2 실시 형태와 상이할 뿐, 다른 구성은 제2 실시 형태와 마찬가지이다.

따라서 이 제3 실시 형태에서는, 제2 접속 장치(15)와 정전류원(12)의 기준 전위 사이에 설치한 캐패시터 C5 내지 C8에 의하여, 제2 접속 장치(15)를 작동시켰을 때의 정전 용량 변화를 크게 하여, 전위 변위량을 크게 하여 보다 정확한 검사를 실시할 수 있다.

또한 상술한 제2 실시 형태와 이 제3 실시 형태를 아울러, 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4 사이, 및 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4와 정전류원(12)의 기준 전위 사이의 양쪽에 각각 캐패시터 C1 내지 C4, C5 내지 C8을 설치한 구성으로 해도 된다.

[제4 실시 형태]

도 12 및 도 13은 제4 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(51)를 도시하고 있다. 이 프린트 기판 검사 장치(51)는, 제1 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(11)에 대하여, 제1 접속 장치(14)와 정전류원(12)의 기준 전위 사이에, 전환 스위치 S를 갖는 제3 접속 장치(23)를 설치한 구성이다. 그 외의 구성은 제1 실시 형태의 경우와 마찬가지이다.

도 14는, 제4 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(51)를 사용한 프린트 기판 검사 방법의 흐름도를 도시한다. 이 흐름도에 있어서, 도 3의 흐름도와 동일한 스텝에는 동일한 부호를 붙여 설명을 간략화하며, 상이한 스텝을 주로 설명한다.

또한 제1 프로브(도체 패턴의 일단부)의 전위의 변화에 대해서는 도 15 내지 도 18에 나타내고 있으며, 이들 도 15 내지 도 18은 제1 실시 형태의 도 4 내지 도 7에 대응하고 있다.

S11: 시각 T1로부터 t31 전의 시각 T3에 제3 접속 장치(23)를 도통 상태로 한다. 이것에 의하여 제3 접속 장치(23)의 전환 스위치 S가 ON의 상태로 되고, 제1 접속 장치(14) 등의 배선부에 전하가 대전되어 있는 경우에는 그 전하가 방출된다.

S12: 시각 T1로부터 소정 시간 t14 경과한 시각이며, 시각 T2보다도 전의 시각 T4에 제3 접속 장치(23)를 차단 상태(전환 스위치 S를 OFF)로 한다. 이 S12보다도 전의 S2에서 제1 접속 장치(14)를 도통 상태로 하고 있으므로, 이 S12에서는 제3 접속 장치(23)를 차단 상태로 함으로써, 제1 프로브 P1 내지 P4측에 충전이 개시되어, 도 15 내지 도 18에 나타낸 바와 같이 제1 프로브 P1 내지 P4측의 전위가 상승한다.

도 15 및 도 16은, 제2 접속 장치(15)를 작동시켰을 때 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위가 상승하고 있는 도중의 상태로 되어 있는 경우이며, 도 15에 나타내는 경우에는 시각 T2에 전위 변위량이 변화되고 있으므로 S5로 나아가고, 도 16에 나타내는 경우에는 시각 T2에 전위 변위량이 변화되고 있지 않으므로 S8로 나아간다.

도 17 및 도 18은, 제2 접속 장치(15)를 작동시키기 직전에 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부의 전위가 정전류원(12)의 개방 전압 V₀에 도달해 있었을 경우이며, 도 17에 나타낸 바와 같이 시각 T2에 전위의 하강이 확인되었을 경우에는 S7로 나아가고, 도 18에 나타낸 바와 같이 시각 T2에 전위에 변화가 없는 경우에는 S8로 나아간다.

이 제4 실시 형태에서는, 제3 접속 장치(23)를 설치함으로써, 배선부 등에 있어서의 정전 용량 부분에 대전되어 있는 경우에도 제3 접속 장치(23)에 의하여 방전시키고 난 후 검사를 개시할 수 있으므로, 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위를 보다 정확히 측정할 수 있다. 또한 제3 접속 장치(23)에 의하여 제1 프로브 P1 내지 P4를 기준 전위에 접속한 상태에서 제1 접속 장치(14)를 접속하고, 그 후에 제3 접속 장치(23)를 차단하고 있으므로, 도체 패턴 E1 내지 E4에 대한 정전류원(12)으로부터의 전류의 값을 단시간에 안정시킬 수 있어, 더 빠른 검사를 실시할 수 있다.

[제4 실시 형태의 변형 형태]

도 12 및 도 13에 도시하는 제4 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(51)를 기본 구성으로 하고, 이것에, 도 8 및 도 9에 도시하는 제2 실시 형태와 같이 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4 사이에 캐패시터 C1 내지 C4를 각각 배치해도 된다.

또한 도 10 및 도 11에 도시하는 제3 실시 형태와 같이 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4와 정전류원(12)의 기준 전위 사이에 각각 캐패시터 C5 내지 C8을 배치해도 된다.

또한 이들 양쪽 캐패시터 C1 내지 C4, C5 내지 C8을 배치해도 된다.

어느 경우에도, 캐패시터 C1 내지 C4 또는 C5 내지 C8을 설치한만큼 전위 변위량을 크게 하여, 보다 정확한 검사를 실시할 수 있다.

[제5 실시 형태]

도 19 및 도 20은 제5 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(61)를 도시하고 있다. 이 프린트 기판 검사 장치(61)에서는, 프린트 기판(1)의 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부에 직접 접촉되는 제1 프로브 P1 내지 P4 및 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부에 절연체(13)를 개재하여 배치되는 제2 프로브 P5 내지 P8과는 별도로, 정전류원(12)의 기준 전위에 접속된 도체판(25)을 갖고 있다. 그리고 이 도 19 및 도 20에 도시하는 예에서는, 제1 프로브 P1 내지 P4 및 제2 프로브 P5 내지 P8은 어느 쪽도 프린트 기판(1)의 한쪽 면측에 배치되고, 도체판(25)은 프린트 기판(1)의 다른 쪽 면의 절연층(2)에 접촉되어 정전류원(12)의 기준 전위에 접속되어 있다. 이 경우, 도체판(25)은 프린트 기판(1)의 절연층(2)의 전체면에 접촉할 수 있는 크기로 형성되어 있지만, 적어도 검사 대상의 도체 패턴 E1 내지 E4의 일부에 절연층(2)을 개재하여 대향할 수 있는 크기로 형성되어 있으면 된다.

상술한 [프린트 기판에 대하여]의 난에서 설명한 바와 같이 도체 패턴 E1 내지 E4의 양단부가 프린트 기판(1)의 양쪽 면에 나뉘어 형성되는 경우, 제2 프로브 P5 내지 P8은, 도체판(25)와 동일한 측에서 도체판(25)을 회피한 위치에 절연층을 개재하여 배치된다.

이 프린트 기판 검사 장치(61)에 의하여 기판 검사하는 경우의 흐름도는 도 21에 도시한 바와 같은데, 검사의 최초 준비에서 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부에 직접 제1 프로브 P1 내지 P4를 접촉시키고, 제2 프로브 P5 내지 P8도 도체 패턴 E1 내지 E4의 타단부에 절연체(13)를 개재하여 배치할 때, 프린트 기판(1)의 절연층(2)의 면에 도체판(25)을 배치하는 것(S15) 이외에는, 도 3의 흐름도 S2 이후와 동일하다.

이 도체판(25)을 배치함으로써 시각 T1에 제1 접속 장치(14)를 도통 상태로 하고, 제1 프로브 P1 내지 P4에 정전류원(12)으로부터 전류를 흘리면(S2), 도체 패턴 E1 내지 E4와 도체판(25) 사이에 존재하는 정전 용량에 충전되어, 계측 회로(16)에 검출되는 전위가 상승한다. 이어서, 시각 T2에 제2 접속 장치(15)를 작동시켜, 정전류원(12)의 기준 전위에 대한 제2 프로브 P5 내지 P8의 접속 상태를 변화시킨다.

도 22는, 도체 패턴 E1 내지 E4와 도전판(25) 사이의 정전 용량에 비하여 배선부의 정전 용량이 극단적으로 작은 경우에 제2 접속 장치(15)를 작동시켰을 때의 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위의 변화를 나타내고 있으며, 도체 패턴 E1 내지 E4와 도체판(25) 사이의 정전 용량에 대하여, 도체 패턴 E1 내지 E4를 포함한 배선부의 정전 용량의 접속 상태가 변화됨으로써, 도체 패턴 E1 내지 E4가 양품이면 외견상의 정전 용량 변화에 수반하여 단위 시간 tu당 전위 변위량이 감소한다. 도체 패턴 E1 내지 E4의 기준 전위에 대한 정전 용량이 변화되면 전위 변위량이 변화된다. 도 22는 정전 용량이 증가한 예를 나타내고 있다.

도체 패턴 E1 내지 E4가 불량품인 경우에는, 도 23에 나타낸 바와 같이, 제2 접속 장치(15)를 작동시키더라도 전위 변위량에 변화가 없으며, 제2 접속 장치(15)를 작동시키기 전의 상태를 유지한다.

이에 비하여, 도체 패턴 E1 내지 E4와 도전판(25) 사이의 정전 용량보다 배선부의 정전 용량이 큰 경우나, 도체 패턴 E1 내지 E4와 도전판(25) 사이의 정전 용량과 배선부의 정전 용량 사이에 그다지 차이가 없는 경우에는, 도 24에 나타낸 바와 같이 제2 접속 장치(15)를 작동시킴으로써, 도체 패턴 E1 내지 E4가 양품이면 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위가 약간 하강한 후, 접속 전의 전위 변위량보다 작은 전위 변위량으로 전위가 상승한다. 도체 패턴 E1 내지 E4의 기준 전위에 대한 정전 용량이 변화되면 전위가 변화된다. 도 24는 정전 용량이 증가한 예를 나타내고 있다.

도체 패턴 E1 내지 E4가 불량품인 경우에는, 도 25에 나타낸 바와 같이, 제2 접속 장치(15)를 작동시키더라도 전위 변위량에 변화가 없으며, 제2 접속 장치(15)를 작동시키기 전의 상태를 유지한다.

이 도체 패턴 E1 내지 E4와 도전판(25) 사이의 정전 용량보다 배선부의 정전 용량이 큰 경우나, 도체 패턴 E1 내지 E4와 도전판(25) 사이의 정전 용량과 배선부의 정전 용량 사이에 그다지 차이가 없는 경우에는, 제2 접속 장치(15)를 작동시키기 전의 시간 tu당 전위 변위량이 작고, 따라서 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위가 개방 전압 V₀에 도달하기까지 시간이 걸리기 때문에, 시각 T2보다 전에 전위가 정전류원(12)의 개방 전압 V₀에까지 도달했을 경우를 예시하지 않았지만, 시각 T2보다 전에 전위가 정전류원(12)의 개방 전압 V₀에까지 도달했을 경우에는 제1 실시 형태 등의 경우와 마찬가지로, 도체 패턴 E1 내지 E4이 양품인 경우에는 개방 전압 V₀으로부터 하강하도록 변화되고, 개방 전압 V₀으로부터 변화되지 않는 경우에는 도체 패턴 E1 내지 E4가 불량품이다.

[제5 실시 형태의 변형 형태]

도 19 및 도 20에 도시하는 제5 실시 형태의 경우도, 이들 도면에 도시하는 프린트 기판 검사 장치(61)를 기본 구성으로 하고, 이것에, 도 8 및 도 9에 도시하는 제2 실시 형태와 같이 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4 사이에 캐패시터 C1 내지 C4를 각각 배치해도 된다.

어느 경우에도, 캐패시터 C1 내지 C4 또는 C5 내지 C8을 설치한 만큼 전위 변위량을 크게 하여, 보다 정확한 검사를 실시할 수 있다.

또한 도 12 및 도 13에 도시하는 제4 실시 형태와 같이 제1 접속 장치(14)와 정전류원(12)의 기준 전위 사이에, 전환 스위치 S를 갖는 제3 접속 장치(23)를 설치해도 된다.

제3 접속 장치(23)를 설치함으로써, 도체 패턴 E1 내지 E4 등의 정전 용량 부분에 대전되어 있는 경우에도, 제3 접속 장치(23)에 의하여 방전시키고 난 후 검사를 개시할 수 있으므로 전위를 보다 정확히 측정할 수 있고, 또한 도체 패턴 E1 내지 E4에 대한 정전류원(12)으로부터의 전류의 값을 단시간에 안정시킬 수 있어 더 빠른 검사를 실시할 수 있음과 함께, 보다 정확한 검사를 실시할 수 있다.

그런데 제5 실시 형태 및 그 변형 형태에 있어서는, 제1 프로브 P1 내지 P4가 도체 패턴 E1 내지 E4에 확실히 접촉하고 있는지 여부도 검출할 수 있다.

도 26은, 도 19 및 도 20에 도시하는 제5 실시 형태, 그 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4 사이에 캐패시터 C1 내지 C4를 각각 배치했을 경우, 또는 제2 접속 장치(15)의 각 전환 스위치 B1 내지 B4와 정전류원(12)의 기준 전위 사이에 각각 캐패시터 C5 내지 C8을 배치했을 경우 중 어느 한 경우의 장치에 있어서는, 제1 프로브 P1 내지 P4가 도체 패턴 E1 내지 E4에 접촉 불량인 경우, 제1 프로브 P1 내지 P4와 도체 패턴 E1 내지 E4 사이의 정전 용량에 의하여 외견상의 전체 정전 용량이 작아지므로, 시각 T1에 전위가 급격하게 상승하여, 개방 전압 V₀에까지 즉시 도달한다. 이 전위의 상승 상태를 검출함으로써 제1 프로브 P1 내지 P4의 접촉 상태를 검출할 수 있다.

도 27은, 제5 실시 형태에 제3 접속 장치(23)를 내장한 장치의 경우를 도시하고 있으며, 제3 접속 장치(23)를 차단하고 제1 프로브 P1 내지 P4에 전류를 흘리면(시각 T4), 제1 프로브 P1 내지 P4가 접촉 불량인 경우에는 도 26과 마찬가지로 전위가 급격하게 상승하므로, 그 상승 상태를 검출하여 제1 프로브 P1 내지 P4의 접촉 상태를 검출할 수 있다.

이 전위의 상승 상태로부터 제1 프로브 P1 내지 P4의 접촉 불량을 검출하면, 다시 제1 프로브 P1 내지 P4의 접촉 위치, 자세 등을 조정하면 된다.

[제6 실시 형태]

다음으로, 도 28 및 도 29를 참조하여 제6 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(71)에 대하여 설명한다.

제6 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(71)는, 제1 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(11)에 있어서의 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4를 단일의 전환 스위치 A1로 통합한 제1 접속 장치(14')를 갖는다. 즉, 복수의 제1 프로브 P1 내지 P4는 병렬로 전환 스위치 A1에 접속되어 있다. 이 전환 스위치 A1을 폐쇄함으로써, 복수의 제1 프로브 P1 내지 P4가 동시에 접속 상태로 되어, 정전류원(12)으로부터 복수의 제1 프로브 P1 내지 P4에 동시에 전류가 공급된다.

이것에 의하여, 도체 패턴 E1 내지 E4를 포함한 장치의 배선부 등이 갖는 정전 용량에 전기가 축적되고, 그 결과, 제1 프로브 P1 내지 P4에 접속 상태인 계측 회로(16)에서 계측되는 전위(정전류원(12)의 기준 전위에 대한 제1 프로브 P1 내지 P4의 전위)가 상승한다.

이어서, 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4를 순차 작동시킨다. 도체 패턴 E1 내지 E4가 정상이면, 이 제2 접속 장치(15)의 작동에 의하여, 계측 회로(16)에서 계측되는 전위에 변화가 발생한다. 도체 패턴 E1 내지 E4에 단선이 발생하고 있는 경우에는, 제2 접속 장치(15)를 작동시키더라도 계측 회로(16)에서 계측되는 전위에 변화가 발생하지 않는다. 이 전위의 변화의 유무를 검출함으로써 도체 패턴 E1 내지 E4의 불량을 식별할 수 있다.

상술한 제6 실시 형태에서는, 제1 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(11)의 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4를 단일의 전환 스위치 A1로 통합한 제1 접속 장치(14')를 갖는다. 이 구성은, 상술한 제2 실시 형태(도 8), 제3 실시 형태(도 10), 제4 실시 형태(도 12), 및 제5 실시 형태(도 19)의 프린트 기판 검사 장치의 제1 접속 장치(14)에도 적용할 수 있다.

[제7 실시 형태]

다음으로, 도 30 및 도 31을 참조하여 제7 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(81)에 대하여 설명한다.

제7 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(81)는, 제1 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(11)에 있어서의 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4를 단일의 전환 스위치 B1로 통합한 제2 접속 장치(15')를 갖는다. 즉, 복수의 제2 프로브 P5 내지 P8은 병렬로 전환 스위치 B1에 접속되어 있다. 이 전환 스위치 B1을 폐쇄함으로써, 복수의 제2 프로브 P5 내지 P8은 동시에 접지된다.

이 구성에 의하면, 제1 접속 장치(14)의 전환 스위치 A1 내지 A4 중 어느 하나를 순서대로 폐쇄함으로써 도전 패턴 E1 내지 E4 중 어느 하나를 선택하고, 그때마다 제2 접속 장치(15')의 전환 스위치 B1을 작동시켜, 그때의 전위의 변화를 계측 회로(16)에 의하여 검출함으로써, 도전 패턴 E1, E2, E3 또는 E4의 도통 상태를 검사할 수 있다.

상술한 제7 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치(11)에 있어서의 제2 접속 장치(15)의 전환 스위치 B1 내지 B4를 단일의 전환 스위치 B1로 통합한 제2 접속 장치(15')를 갖는다. 이 구성은, 상술한 제2 실시 형태(도 8), 제3 실시 형태(도 10), 제4 실시 형태(도 12) 및 제5 실시 형태(도 19)의 프린트 기판 검사 장치의 제2 접속 장치(15)에도 적용할 수 있다.

또한 제2 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치에 단일의 전환 스위치 B1을 갖는 제2 접속 장치(15')를 적용했을 경우에는, 복수의 캐패시터 C1 내지 C4를 하나의 캐패시터로 하여, 제2 프로브 P5 내지 P8과 제2 접속 장치(15') 사이에 배치할 수 있다. 마찬가지로, 제3 실시 형태의 프린트 기판 검사 장치에 단일의 전환 스위치 B1을 갖는 제2 접속 장치(15')를 적용했을 경우에는, 복수의 캐패시터 C5 내지 C8을 용량의 큰 하나의 캐패시터로 하여, 제2 접속 장치(15')와 접지 사이에 배치할 수 있다.

이상, 본 발명의 각 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 이들 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다.

소정 시간 t12, t31, t14, tu에 대해서는, 프린트 기판의 전기 특성에 맞춘 최적의 시간을 설정할 수 있으며, 그 조정에 의하여 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부의 전위 변위량의 변화를 보다 빠르게 확실히 검출할 수 있어, 정확한 기판 검사를 빠르게 실시할 수 있다.

또한 캐패시터 C1 내지 C4, C5 내지 C8의 정전 용량에 대해서도, 프린트 기판의 전기 특성에 맞춘 최적의 값을 설정함으로써, 도체 패턴 E1 내지 E4의 일단부의 전위 변위량의 변화를 보다 빠르게 확실히 검출할 수 있어, 정확한 기판 검사를 빠르게 실시할 수 있다.

1: 프린트 기판
2: 절연층
E1 내지 E4: 도체 패턴
11: 프린트 기판 검사 장치
12: 정전류원
13: 절연체
14: 제1 접속 장치
15: 제2 접속 장치
16: 계측 회로
17: 정전류원 제어부
18: 접속 장치 제어부
19: A/D 변환부
20: 전위 계측부
21: 주 제어 장치
22: 표시 장치
23: 제3 접속 장치
25: 도체판
P1 내지 P4: 제1 프로브
P5 내지 P8: 제2 프로브
A1 내지 A4: 전환 스위치
B1 내지 B4: 전환 스위치
C1 내지 C4: 캐패시터
C5 내지 C8: 캐패시터
S: 전환 스위치
31, 41, 51: 프린트 기판 검사 장치

Claims

프린트 기판에 형성된 도체 패턴에 대하여 전기 신호를 인가하여 도체 패턴의 불량을 검사하는 프린트 기판의 전기 검사 장치에 있어서, 상기 도체 패턴의 일단부에 접촉되는 제1 프로브와, 상기 도체 패턴의 타단부에 절연체를 개재하여 배치되는 제2 프로브와, 정전류원과, 상기 정전류원에 상기 제1 프로브를 접속하기 위한 제1 접속 장치와, 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제2 프로브의 전기적 접속 상태를 변화시키기 위한 제2 접속 장치와, 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제1 프로브의 전위를 계측하기 위한 계측 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 제2 프로브와 상기 제2 접속 장치 사이, 또는 상기 제2 프로브와 상기 정전류원의 기준 전위 사이 중 어느 한쪽 또는 양쪽에, 소정의 정전 용량을 갖는 캐패시터가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 프로브를 상기 제1 접속 장치를 통하여 상기 정전류원의 기준 전위에 접속하기 위한 제3 접속 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 프린트 기판의 상기 도체 패턴에 대하여 절연체를 개재하여 접촉되는 도체판이 상기 정전류원의 기준 전위에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 장치.
도체 패턴의 일단부에 직접 제1 프로브를 접촉시키고, 상기 도체 패턴의 타단부에 절연체를 개재하여 제2 프로브를 배치하며, 시각 T1에 상기 제1 프로브에 정전류원으로부터 전류를 흘리는 것을 개시하고, 시각 T1로부터 소정의 시간 t12 경과한 시각 T2에 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제2 프로브의 전기적 접속 상태를 변화시켜, 그 변화 시의 상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제1 프로브의 전위의 계측 결과로부터 상기 도체 패턴의 불량을 판정하는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 방법.
제5항에 있어서,
상기 정전류원의 기준 전위에 대한 상기 제2 프로브의 전기적 접속 상태가 변화되었을 때, 소정의 단위 시간 tu당 상기 도체 패턴의 일단부의 전위 변위량이 변화되었을 경우에 도체 패턴이 양품이라고 판정하는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 방법.
제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 시각 T1로부터 소정의 시간 t31 전의 시각 T3에 상기 제1 프로브를 상기 정전류원의 기준 전위에 접속하고, 상기 시각 T1로부터 상기 시간 t12보다 짧은 시간 t14만큼 경과하여 상기 시각 T2보다 전의 시각 T4에 상기 제1 프로브와 상기 기준 전위를 차단 상태로 하는 것을 특징으로 하는 프린트 기판 검사 방법.