KR20040042616A - 고속 저항측정 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다수개 저항의 오픈/쇼트 판정 및 설정된 목표 저항 치로 저항 트림(trim)시 다수개의 저항에 연결된 프로브로 인가되는 전류를 온/오프 스위칭하여 전기적으로 저항 측정이 가능한 고속 저항측정 시스템에 관한 것으로서,

다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사 또는 트리밍 작업의 자동 수행을 위하여 검사자가 입력한 제어명령에 따라 측정 결과가 출력되는 호스트 컴퓨터와, 상기 호스트 컴퓨터에 입력된 제어명령에 따라 상기 다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사 또는 트리밍 작업을 자동적으로 수행하고 그 결과를 상기 호스트 컴퓨터로 전송하는 메인 저항측정기를 포함하여 구성됨에 따라,

다수개의 저항의 품질 검사가 요구되는 디스플레이 패널의 생산 공정 및 다양한 타입의 저항의 트리밍 작업에서 저항 값이 고속으로 측정되도록 하여 소요되는 생산인력 및 생산비용을 절감하고, 정확한 저항 값을 가지는 저항이 제품에 적용됨에 따라 제품의 불량률을 감소시키고 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

고속 저항측정 시스템{High speed measuring system of resistance}

본 발명은 고속 저항측정 시스템에 관한 것으로서, 특히 다수개의 저항의 오픈/쇼트 판정 및 설정된 목표 저항 치로 저항 트리밍(trimming)시 상기 다수개의 저항에 연결된 프로브로 인가되는 전류를 온/오프 스위칭하여 자동적으로 저항 측정이 가능하여 다수개의 저항이 이용되는 PDP패널을 비롯한 전자기기의 생산 공정에서 응용될 수 있는 고속 저항측정 시스템에 관한 것이다.

종래 발명의 수동 저항계 및 그 저항 측정방법을 PDP 디스플레이 채널 공정을 제 1 실시예로 하여, 저항 트리밍 공정을 제 2 실시예로 예시하여 설명하기로 한다.

도 1 은 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 디스플레이 패널의 오픈/쇼트 검사단계가 도시된 도면이고, 도 2 는 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 디스플레이 패널의 오픈 검사방법이 도시되고, 도 3은 디스플레이 패널의 쇼트 검사방법이 도시된 순서도이다.

우선, 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, 이하 PDP)은 화면이 크고 두께가 얇아 벽걸이 TV, 워크스테이션용 모니터 등 다양한 응용이 기대되는차세대 디스플레이 소자로서, 상판 글래스와 하판 글래스 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 헬륨(He)과 네온(Ne), 네온(Ne)과 제논(Xe) 등 불활성 가스의 방전에 의한 플라즈마로부터 발생되는 자외선광이 형광체를 자극하여 형광체전자가 여기상태에서 기저상태로 환원될 때 서로의 에너지 레벨 차이에 의해 발생하는 가시광선을 이용하여 화상을 표시하는 방식으로 동작한다.

이러한 PDP는 투명한 상판 글래스 및 하부 글래스 사이에 방전공간을 확보하기 위해 일정간격으로 형성된 홈 전면에 다수개의 어드레스 전극이 형성되고, 상기 상판 글래스에는 서스테인 전극(sustain electrode)과 스캔 전극이 일정간격으로 형성됨에 따라 상기 전극으로 인가하는 전압에 의한 유지방전 매커니즘이 반복되어 내부가 발광하게 되어 화상을 표시한다.

이러한 PDP 생산공정은 수동적으로 이루어져 생산라인에 필요한 인력 및 생산시간이 상당하여 1일 생산대수가 수요량을 만족시키지 못하고, 고가의 가격대를 이루는 것이 국내 PDP 생산공정의 현실이다. 특히 상기와 같이 다수개의 전극이 이용되는 PDP 의 제품 검사 단계에서는 주로 화상이 상기 패널 상에 제대로 표시되는지 여부를 검사하기 위해 불량 전극을 검출하는 검사를 수동적으로 수행하는데 이를 도 1 에 도시하였다.

불완전 연결 또는 전극 사이의 이물질로 인한 불량 전극을 검출하기 위해서는 화상이 제대로 표시되지 않는 부분의 전극에 수동 저항계의 프로브를 연결하여 오픈/쇼트 검사를 수행하는데, 화상이 고르지 못한 부분이 특정되지 않거나 너무넓은 부분인 경우 검사해야 할 전극의 수는 수백 내지 수만 개가 될 수도 있다.

전극 중간이 끊어지거나 불완전 연결되는 경우 상기 전극(499)에 전압이 인가되면 미연결 부분으로 인해 상기 전극(499) 양단이 절연되어 상기 전극에는 전류가 도통되지 못한다. 즉 상기 미연결 부분이 거대 저항으로 작용하여 전류의 도통을 방해하므로 검사자는 상기 저항계(10)의 프로브(11a, 11b)를 상기 전극(499) 양단에 연결하여 전극의 오픈을 검사한다.

오픈 검사 방법은 도 2 에 도시한 바와 같이 PDP 글래스의 전극 검사를 위한 장비가 준비(A1)되면, 저항계의 프로브를 불량 전극으로 추정되는 전극 양단에 수동 접촉하여 저항을 측정(A2)한다.

기설정된 거대 저항 기준치(2M Ω)보다 상기 전극 양단간 걸리는 저항값이 크면(A3) 해당 전극이 오픈 상태임을 판정(A4)하고, 상기 오픈 상태인 전극번호(499)를 기록한 후 추후 교체한다. 상기 저항값이 거대 저항 기준치(2M Ω) 이하이면 상기 전극은 정상 상태로 판정(A6)한 후 해당 전극이 검사 대상의 전극 중 마지막 전극인지를 체크(A7)하여 상기 전극이 마지막 검사 대상이면 전극의 오픈 검사를 종료하고, 상기 전극이 마지막이 아니면 다음 전극의 오픈 검사를 반복 수행한다.

상기 오픈 검사가 완료되면 상이한 전극 사이의 미진, 이물질 등으로 인해 상이한 전극이 전기적으로 완전 도통되어 과전류로 인한 소자 파괴의 위험이 있는쇼트 현상을 검사하는데, 이를 위해 검사자는 상기 저항계(10')의 프로브(11a', 12a')를 상이한 두 전극(494 및 495)에 연결하여 저항값을 측정한다. 상기 쇼트 현상시에는 양 전극간 전류가 도통되므로 0에 가까운 극소 저항값을 가진다.

쇼트 검사 방법은 도 3 에 도시한 바와 같이 PDP 글래스의 전극 검사를 위한 장비가 준비(B1)되면, 저항계의 프로브를 불량 전극으로 추정되는 두 전극에 수동 접촉하여 저항을 측정(B2)한다.

기설정된 극소 저항 기준치(200 Ω)보다 상기 두 전극 사이에 걸리는 저항값이 작으면(B3) 해당 전극이 쇼트 상태임을 판정(B4)하고, 상기 쇼트 상태인 전극번호(494, 495)를 기록한 후 추후 교체한다. 상기 저항값이 극소 저항 기준치(200 Ω) 이상이면 상기 전극을 정상 상태로 판정(B6)한 후 해당 전극이 검사 대상의 전극 중 마지막 전극인지를 체크(B7)하여 상기 전극이 마지막 검사 대상이면 전극의 쇼트 검사를 종료하고, 상기 전극이 마지막이 아니면 다음 전극의 쇼트 검사를 반복 수행한다.

종래의 저항 트리밍 작업은 세라믹판에 올려진 저항의 탄소피막을 레이저빔을 방출하는 레이저기를 이용하여 상기 저항이 목표 저항값에 도달할 때까지 상기 탄소피막을 트리밍하여 저항값이 가변되도록 하였다. 이를 위해 도 4 와 같이 휘트스톤 브릿지 회로를 구성하고, 수동 저항계를 이용하여 저항 트리밍 작업을 실시하였다.

목표값 저항 Rref를 도 4와 같이 배치하고, 레이저기(50)가 조사하는 레이저빔이 트리밍하고자 하는 저항 Rtrim의 연직 상향에 위치하도록 하여 휘트스톤 브릿지 회로를 구성하고, 상기 레이저기(50)가 레이저빔을 조사하여 Rtrim 저항의 탄소피막을 트리밍하고, 트리밍된 정도에 따라 저항값이 상승하게 되어 Rref 저항 목표값에 도달하는 것이다. 검사자는 상기 트리밍 저항 Rtrim양단에 수동 저항계(10)의 프로브(11a,11b)를 연결하여 목표한 저항값에 도달했는지 여부를 확인할 수 있다.

이러한 휘트스톤 브릿지 회로의 특성상 Rref = Rtrim 이 되면 상기 전류계(60)의 양단간 전압차가 0이 되어 전류가 흐르지 않으므로 상기 전류계(60)가 0 A 의 전류를 가르킬 때 상기 레이저기(60)를 오프(off)하여 Rtrim의 트리밍 작업을 종료한다. 이에 대한 저항 트리밍 방법은 도 5에 도시된 순서도를 참조한다.

먼저, 목표 저항값을 가지는 Rref저항을 상기 휘트스톤 브릿지 회로에 연결(C1)하고, 트리밍하고자 하는 Rtrim저항을 연결(C2)한다.

수동 저항계의 프로브를 Rtrim 저항 양단에 수동 접촉하여 초기 저항값을 측정하고, 가변되는 저항값을 지속적으로 체크(C3)한다.

레이저기가 가동하여 Rtrim 저항을 트리밍(C4)하고, 검사자는 전류계에 표시되는 전류가 0A에 도달하는지 여부를 검사(C5)하여, 전류계에 전류가 흐르지 않으면 레이저기를 제동하여 트리밍 작업을 중지(C6)하고, 전류계에 전류가 감지되면 상기 레이저기의 가동을 유지하여 지속적으로 상기 Rtrim저항을 트리밍하도록 한다.

그러나 이와 같은 저항 트리밍 작업은 이를 위한 수동적인 회로 구성이 불가결하고, 레이저기를 이용하는 경우 특히, 트리밍시 레이저빔으로 인해 온도 변화가 발생함에 따라 저항의 정밀도가 저하되었다. 또한 수동 저항계를 이용하여 저항값의 검사가 진행되므로 목표 저항값 대비 트리밍된 저항값의 정밀 검사가 어렵다는 단점이 있었다. 아울러 이러한 트리밍 작업은 단일저항 또는 Y 타입 저항에는 가능하나, 위상이 120도씩 상이한 3개의 전원과 연결되어 3상 부하를 생성하는 델타(삼각 결선)타입 저항에는 트리밍 작업이 불가능하여 그 응용범위가 제한되고, 이를 위한 별도의 장비 구입으로 인해 생산성이 저하된다는 단점이 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 종래의 저항계를 이용한 제 1 실시예 및 제 2 실시예는 수동적으로 저항의 오픈/쇼트 검사를 실시하여 다수개의 PDP 전극의 개별적인 불량 검사를 위해 소비되는 인력 및 시간이 상당하여 최종적으로 생산비를 상승시키는 요인이 되고, 레이저기를 이용한 저항 트리밍시 상기 수동 저항계는 레이저기에 의해 미세 변화되는 저항치를 정밀하게 측정할 수 없어 저항의 오차범위가 확대됨에 따라 이를 이용하는 칩, 전극 등의 정밀도 역시 저하된다는 단점이 있다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 저항값의 정밀 측정 및 오픈/쇼트 검사하고자 하는 다수개의 저항에 연결되는 프로브로 인가되는 전류를 온/오프 스위칭하여 판독된 저항값이 저장 및 표시되도록 하여 저항 검사의 자동화를 실현하고, 다양한 타입의 저항의 트리밍 작업시, 저항값의 정밀 측정이 가능하여 목표 저항값과의 오차 범위를 줄일 수 있으므로 생산품질의 신뢰성을 확보하고, 불량 저항의 검출 및 저항값 측정을 수행하는 생산공정이 자동화되어 생산성 향상에 기여할 수 있는 고속 저항측정 시스템을 제공하는 데 있다.

도 1 은 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 디스플레이 패널의 오픈/쇼트 검사단계가 도시된 도면,

도 2 는 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 디스플레이 패널의 오픈 검사방법이 도시된 순서도,

도 3 은 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 디스플레이 패널의 쇼트 검사방법이 도시된 순서도,

도 4 는 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 저항 트리밍 과정이 도시된 도면,

도 5 는 종래 발명의 수동 저항계를 이용한 저항 트리밍 방법이 도시된 순서도,

도 6 은 본 발명의 고속 저항측정 시스템의 구성도,

도 7 은 본 발명의 고속 저항측정 시스템에 적용된 저항 측정과정이 도시된 도면,

도 8 은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 저항 측정 회로도,

도 9 는 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 저항 측정 단계도,

도 10은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 구성하는 DSP보드의 구성도,

도 11은 본 발명의 메인 저항측정기를 구성하는 스위칭 제어부의 구성도,

도 12는 본 발명의 메인 및 확장용 저항측정기를 구성하는 스위칭부의 구성도,

도 13은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 제 1 실시예가 도시된 도면,

도 14는 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 제 2 실시예가 도시된 도면,

도 15는 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 저항의 오픈/쇼트 검사 순서도,

도 16은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 저항 트리밍 작업의 순서도이다.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>

10: 저항계 11a,11b: 프로브

50: 레이저기 60: 전류계

100: 호스트 컴퓨터 200: DSP보드

300: 메인 저항측정기 310: 전원부

320: 스위칭 제어부 330: 스위칭부

400: 확장용 저항측정기 410: 케이블

420: 프로브 430: 확장용 스위칭부

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 고속 저항측정 시스템은 다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사 또는 트리밍 작업의 자동 수행을 위하여 입력된 제어명령에 따라 결과가 출력되는 호스트 컴퓨터와, 상기 호스트 컴퓨터에 입력된 제어명령에 따라 자동적으로 상기 다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사 또는 트리밍 작업을 수행하고 그 결과를 상기 호스트 컴퓨터로 전송하는 메인 저항측정기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 6 은 본 발명의 고속 저항측정 시스템의 구성이 개괄적으로 표현된 도면이다. 이를 참고로 하여 주요 구성부를 상세히 설명한다.

상기 호스트 컴퓨터(100)는 상기 입력된 제어명령에 따라 상기 메인 저항측정기로 제어신호를 출력하는 동시에 상기 메인 저항측정기(300)에서 전송된 결과가상기 호스트 컴퓨터(100)에서 출력 가능하도록 처리하는 DSP 보드(200)를 포함하여 구성된다.

상기 DSP 보드(200)는 상기 전송된 결과에 따라 상기 저항의 오픈/쇼트 상태 또는 트리밍 상태를 판별하는 응용 프로그램이 내장됨에 따라 상기 호스트 컴퓨터(100)는 상기 DSP 보드(200)로부터 응용 프로그램을 로딩하여 상기 응용 프로그램 상에서 검사방법, 측정방법, 측정조건인수 등의 제어명령이 입력되도록 한다.

상기 DSP 보드(300)는 상기 제어명령에 따라 측정된 저항값을 처리한 후 상기 저항의 오픈/쇼트 상태 또는 트리밍 상태가 상기 응용 프로그램을 통해 일괄 또는 순차적으로 출력 또는 저장되도록 하므로 상기 응용 프로그램이 구동되는 호스트 컴퓨터를 조작하는 검사자는 결과 데이터를 용이하게 확인할 수 있다.

상기 검사자가 입력하는 제어명령은 검사방법, 측정방법, 측정조건인수 등으로 구성되는데, 먼저, 검사방법은 PDP 글래스 전극의 오픈 검사, PDP 글래스 전극의 쇼트 검사, 저항 트리밍 작업 등으로 구성되며, 검사자가 선택한 검사방법에 따라 전극의 오픈 판정 기준값, 전극의 쇼트 판정 기준값, 목표 저항값 대비 트리밍 저항값의 허용범위. 트리밍 저항의 양호/불량 판정 조건 등이 포함되어 검사자에 의해 설정 입력된다.

측정방법은 저항의 종류에 따라 두 개의 단자가 저항 양단과 접점되는 단일저항 측정방법과, 두 개의 단자와 함께 가드단자가 세 개의 저항단과 접점되는 델타저항 측정방법으로 구분된다.

측정조건인수는 저항범위 설정, 순차적으로 스위칭되는 채널과, 측정 저항수, 반복측정횟수 등을 포함한다. 특히 저항 트리밍 작업시, 목표 저항값, 트리밍 정지 조건 등도 상기 측정조건인수에 포함되어 검사자에 의해 설정 입력된다.

상기 호스트 컴퓨터(100)에 내장되는 DSP 보드(200)는 상기 호스트 컴퓨터(100)와 데이터 송수신하여 저항 측정을 위한 다수개의 측정조건들을 포함하는 제어명령을 수신하여 저항값을 측정하는 메인 저항측정기(300) 내에 포함되는 스위칭 제어부(320)와 스위칭부(330)를 제어하여 저항이 측정되도록 하고, 측정 결과를 실시간 또는 일괄적으로 상기 호스트 컴퓨터(100)로 전송하는데, 이때 자체 메모리를 활용하여 저항 측정을 위한 신호 처리를 신속하게 수행하여 다수개의 저항의 일괄 측정이 가능하도록 하고, 상기 측정된 결과의 일괄 전송시 우려되는 병목현상을 제어한다.

메인 저항측정기(300)는 상기 DSP 보드(200)에 의해 제어되며, 추가적인 저항 측정을 위한 확장용 저항측정기(400)와 연결된다. 이러한 메인 저항측정기(300)는 상기 DSP 보드(200)에서 출력된 제어신호에 따라 저항 측정을 위한 전원을 상기 릴레이로 공급하는 전원 공급부(310)와, 상기 전원 공급부에서 전원이 공급되는 릴레이의 온/오프를 스위칭함으로서 저항값을 측정하는 스위칭부(330)와, 상기 설정값 또는 상기 제어신호에 따라 상기 스위칭부가 릴레이를 스위칭하는 바를 제어하는 스위칭 제어부(320)를 포함하여 구성되며, 상기 다수개의 릴레이가 스위칭됨에따라 측정된 저항값을 상기 DSP 보드(300)로 출력한다.

확장용 저항측정기(400)는 측정하고자 하는 저항수가 많을 경우 상기 메인 저항측정기(300)와 더불어 저항과 연결되는 확장용 스위칭부(430)를 포함하여 구성되고, 상기 메인 저항측정기(300)의 전원 공급부(310) 및 스위칭 제어부(320)에 의해 제어된다.

따라서 상기 스위칭부(330) 및 상기 확장용 스위칭부(430)는 케이블이 측정하고자 하는 PDP글래스의 전극 또는 다수개의 저항과 접촉되는 다수개의 프로브(420)와 연장 연결됨에 따라 저항값을 측정한다.

본 발명의 고속 저항측정 시스템은 다양한 타입의 저항 측정을 위해 저항 양단의 길이가 긴 저항의 경우에도 정밀하게 측정되는 4단자법이 적용되는데, 이를 도 7에 도시하였다. 4단자법(켈빈 측정법)은 상기 저항 양단에 각각 두 개의 단자가 연결되어 순간적으로 낮은 저항의 정밀 측정이 가능하고, 저항 양단 사이의 길이(도면의 점선부분)에 구애받지 않고 정밀 측정이 가능한 방법으로서 다양한 타입의 저항에 응용될 수 있다.

따라서 일반적인 단일 저항 양단에는 포스 플러스(F+), 센스 플러스(S+) 단자가 저항의 일단에 연결되고, 포스 마이너스(F-), 센스 마이너스(S-)가 저항의 타단에 접촉되며, 델타 저항의 경우는 위 4단자에 추가되어 가드포스(Guard Force)와 가드센스(Guard Sense)가 추가된다. 포스단자는 측정하고자 하는 저항으로 전원을 공급하는 단자이고, 센스단자는 측정된 저항값을 감지(sensing)하기 위한 단자이다.

도 8 은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 델타저항의 측정 회로도이고, 도 9 는 스위칭 순서에 따라 델타저항의 측정 단계가 도 9a, 도 9b, 도 9c에 각각 도시되었다.

단일저항의 저항값을 측정하는 경우 상기 다수개의 릴레이(SW1 내지 SW6)는 측정하고자 하는 저항으로 전원이 공급되도록 상기 저항의 양단에 연결되는 포스 플러스·마이너스 단자와 상기 포스 플러스·마이너스 단자를 통해 전원이 공급되고, 상기 포스 플러스 단자가 연결된 저항단과 연결되는 센스 플러스 단자 및 상기 포스 마이너스 단자가 연결된 저항단과 연결되는 센스 마이너스 단자와 각각 연결되어 측정된 저항값을 감지한다.

그러나 도 8과 같이 델타저항의 저항값을 측정하고자 하는 경우 상기 포스 플러스(F+)·센스 플러스(S+) 단자 및 상기 포스 마이너스(F-)·센스 마이너스(S-) 단자가 연결되지 않은 저항단에 가드 포스(Guard Force) 및 가드 센스(Guard Sense) 단자가 연결되며, 상기 포스 플러스 단자 및 상기 센스 플러스 단자와; 상기 포스 마이너스 단자 및 상기 센스 마이너스 단자와; 상기 가드 포스 단자 및 상기 가드 센스 단자가 상기 델타저항의 각 저항단에 순차적으로 연결되도록 상기 다수개의 릴레이(SW1 내지 SW6)가 절환 및 온/오프되어 단계적으로 X1, X2, X3 이 측정되고, 상기 측정된 바를 DSP 보드(200)에서 연산 처리하여 R1, R2, R3의 저항값이 산출되는 것이다.

(표1)

	SW1(F+)	SW2(F-)	SW3(Guard)	SW4(S+)	SW5(S-)	SW6(Guard Sense)	저항관계	측정저항	수식
제 1 스위칭	1측 절환	2측 절환	오프	1측 절환	2측 절환	오프	R1||(R2+R3)	X1	수식ⓛ
제 2 스위칭	1측 절환	2측 절환	온	1측 절환	2측 절환	온	R1||R2	X2	수식②
제 3 스위칭	2측 절환	1측 절환	온	2측 절환	1측 절환	온	R1||R3	X3	수식③

먼저 표 1을 참조하여 도 9의 회로에 도시된 스위치 SW1 내지 SW6을 스위칭하면, 제 1 스위칭인 경우 도 9a 와 같이 간략화된 회로가 구성되는데, R1||(R2+R3)의 저항 관계가 성립되므로 스위칭부(330)는 수식①과 같은 저항 X1을 측정하고, 이를 스위칭 제어부(320)로 전송한다.

수식①: X1=

다음으로 도 9의 회로에 도시된 스위치 SW1 내지 SW6가 제 2 스위칭으로 스위칭하는 경우 도 9b 와 같이 간략화된 회로가 구성되는데, R3(점선)과 무저항(실선)이 병렬관계를 가지므로 R3은 무시되어 R1||R2 의 저항 관계가 성립되므로 스위칭부(330)는 수식②와 같은 저항 X2를 측정하고, 이를 스위칭 제어부(320)로 전송한다.

수식②: X2=

마지막으로 도 9의 회로에 도시된 스위치 SW1 내지 SW6이 제 3 스위칭으로 스위칭하는 경우 도 9c와 같이 간략화된 회로가 구성되는데, R2(점선)와 무저항(실선)이 병렬관계를 가지므로 R2는 무시되어 R1||R3 의 저항 관계가 성립되므로 스위칭부(330)는 수식③과 같은 저항 X3를 측정하고 이를 스위칭 제어부(320)로 전송한다.

수식③: X3=

스위칭 제어부(320)는 상기 스위칭부(330)에서 측정된 X1,X2,X3 값을 상기 DSP 보드(200)로 송신하고, 상기 DSP 보드는 각각의 R1, R2, R3 저항값을 도출하는데, 우선 후술하는 수식④를 이용하여 도출한 양의 값이 R1이 된다. 상기 도출된 R1값을 이용하여 R2, R3값도 도출함에 따라 델타 저항의 R1,R2,R3 값을 측정할 수 있는 것이다.

수식④: R1=

도 10은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 구성하는 DSP 보드(200)의 구성도로서, 메인 저항측정기(300) 및 확장용 저항측정기(400)에서 측정된 데이터가 병목 현상 없이 고속으로 상기 호스트 컴퓨터로 전송되도록 함에 따라 다수개의 저항값의 일괄 측정이 가능하다.

이러한 DSP 보드(200)는 호스트 컴퓨터의 ISA 버스(210)를 통해 상기 호스트 컴퓨터에서 검사자가 입력한 검사방법, 측정방법, 측정조건인수 등의 제어명령을 수신하여 듀얼 버퍼(220)로 전송하고, 상기 DSP 보드(200)에서 신호 처리된 측정 결과를 상기 호스트 컴퓨터(100)로 전송한다.

상기 듀얼 버퍼(220)는 상기 호스트 컴퓨터(100)와 DSP 프로세서(230) 사이의 데이터 송수신을 위해 사용되는 중간 버퍼이다.

메모리부(240)는 디램(DRAM, 241) 및 부팅 이피롬(BOOT EEPROM, 242)을 포함하는데, 상기 디램(241)은 상기 호스트 컴퓨터에서 입력된 제어명령, 스위칭 제어부(320)에서 전송된 측정 저항값 및 후술하는 DSP 프로세서에서 연산 처리된 결과를 저장한다. 또한 상기 부팅 이피롬(242)은 DSP 보드(200)에서 전원 공급과 동시에 초기에 운용되는 부팅 프로그램이 저장된다.

DSP 프로세서(230)는 내부에 타이머, 카운터, 램을 포함하는 프로세서로서, 상기 호스트 컴퓨터(100)로 입력된 제어명령에 따라 저항값이 측정되도록 메인 저항측정기(300)로 제어신호를 출력하는 동시에, 상기 제어신호에 따라 측정된 저항값을 연산 처리한 후 상기 호스트 컴퓨터에 전송한다.

설정값 출력부(260)는 측정하고자 하는 저항의 범위에 따라 스위칭 제어부 내부의 전력 범위를 설정하여 전력범위 설정값을 상기 스위칭 제어부(320)로 출력하는 전력범위 출력부(261)와, 측정하고자 하는 상기 저항의 측정 순서를 결정하는 채널번호를 설정하여 이를 스위칭부(330)로 출력하는 채널 출력부(262)와, 저항 트리밍 작업시 스위칭 제어부(320)로 목표 저항값을 출력하는 목표값 출력부(263)를 포함하여 구성된다.

A/D 변환제어부(270)는 상기 설정값 출력부에서 출력된 디지털 데이터가 아날로그 데이터로 변환되도록 하는 동시에 상기 메인 저항측정기에서 전송하고자 하는 결과가 디지털 데이터로 변환되도록 상기 메인 저항측정기로 변환신호를 출력한다.

병렬 입출력 버퍼(250)는 상기 DSP 프로세서에서 출력되는 제어신호가 상기 설정값 출력부를 통해 상기 메인 저항측정기로 전송되도록 하는 동시에 상기 메인 저항측정기에서 측정된 저항값 데이터가 상기 DSP 프로세서로 입력되도록 중간 버터링을 수행한다.

도 11은 본 발명의 메인 저항측정기를 구성하는 스위칭 제어부(320)의 구성도로서 이를 참조하여 메인 저항측정기를 상세히 설명한다.

측정하고자 하는 저항에 따라 전력 범위가 상이한데, 전력범위 선택부(321)는 상기 DSP 보드(200)의 전력범위 출력부(261)에서 출력한 전력범위 설정값에 따라 전력 범위를 선택하여 전원 소스를 생성한다. 각 범위는 호스트 컴퓨터에서 검사자가 입력한 제어명령에 의하며, 하나의 범위가 설정되면 동일한 다른 저항에 대해 전력 범위를 추가적으로 설정하지 않아도 된다. 또한 전원 소모를 감소시키고 측정 감도를 높이기 위하여 각각의 저항과 연결되는 스위치를 동시에 온/오프하여 전원 소스를 인가한다.

단자 선택부(322)는 저항 측정시 DSP 보드(200)가 출력한 제어 신호에 의해 온(ON) 되며, F+는 S+와 연동되고, F-는 S-와, 가드포스는 가드 센스와 연동되어 온/오프 스위칭된다. 이때 델타 저항의 경우에만 가드포스와 가드 센스 스위치를 추가적으로 사용하고, 그 외의 일반적인 저항에는 F+와 S+, F-와 S-의 4단자를 저항 양단에 각각 접촉하여 저항을 측정한다. 미측정시에는 모든 스위치를 오프한다.

A/D 변환부(323)는 측정하고자 하는 저항에 전원 소스가 인가된 후 포스단자 및 센스단자가 접촉되면 상기 DSP 보드(200)의 A/D 변환제어부(270)가 출력하는 제어신호에 의해 측정되는 아날로그 저항값을 디지털 변환한 후 이를 상기 DSP 보드(200)로 전송한다.

센스 전처리부(324)는 S+,S-, 가드 센스 단자가 출력한 아날로그 신호의 전위차를 출력하여 저항의 정밀 측정이 가능하도록 한다.

상기 호스트 컴퓨터(100)에서 입력된 트리밍하고자 하는 저항의 목표 저항값은 상기 DSP 보드(200)로 전송된 후 스위칭 제어부(320)의 목표값 설정부(325)로 전송되는데, 상기 목표값 설정부는 상기 디지털 타입의 목표 저항값을 아날로그 신호로 변환한 후 이를 비교부(326)로 출력한다.

상기 비교부(326)는 상기 아날로그 타입의 목표 저항값과 상기 센스 전처리부(324)에서 출력된 아날로그 타입의 측정 저항값을 비교한다. 이에 따라 상기 측정 저항값이 목표값 이상이면 비교부는 로우 레벨에서 하이 레벨로 임펄스 신호를 상기 DSP 보드(200)로 출력하여 상기 저항을 트리밍하는 레이저기가 제동되도록 한다.

상기 레이저기(미도시)는 저항이 목표 저항값을 가지도록 상기 저항에 레이저빔을 조사하여 상기 저항의 피막을 트리밍하는데, 트리밍 작업과 동시에 실시간으로 상기 트리밍되는 저항의 저항값을 측정함에 따라 상기 저항값이 목표 저항값에 도달하는 순간까지 상기 레이저빔을 조사한다.

상기 DSP 보드(200)는 상기 레이저기와 연결되어 상기 비교부(326)에서 출력된 임펄스 신호를 수신하면, 상기 레이저기의 동작을 제동시키는 제동신호를 상기 레이저기로 출력하여 트리밍 작업을 완료시킨다. 또한 상기 트리밍된 저항의 저항값과 상기 목표 저항값과의 오차를 도출하여 상기 호스트 컴퓨터에서 출력 또는 저장되도록 한다.

도 12는 본 발명의 메인 저항측정기를 구성하는 스위칭부의 구성도이며, 이를 참조로 하여 본 발명을 상세히 설명한다.

상기 메인 저항측정기(300)는 다수개의 스위칭부(330)와, 상기 다수개의 스위칭부 중 릴레이의 스위칭을 제어하고자 하는 특정 스위칭부를 선택하는 스위칭부 선택수단(미도시)을 더 포함하여 구성된다.

상기 확장용 저항측정기(400)는 측정하고자 하는 저항의 개수가 상기 메인 저항측정기의 측정 허용개수를 초과하는 경우 상기 메인 저항측정기(300)와 연결되는 저항 측정기로서, 상기 스위칭 제어부(320)에서 출력된 제어신호에 따라 릴레이를 스위칭 구동하여 저항값을 측정하고, 측정된 저항값을 상기 메인 저항측정기(300)로 전송하는 다수개의 확장용 스위칭부(430)로 구성된다. 상기 확장용 스위칭부는 상기 메인 저항측정기를 구성하는 스위칭부와 동일하다.

DSP보드(200)에서 출력된 제어신호가 상기 스위칭 제어부(320)를 거쳐 스위칭부(330)로 전송되는바, 상기 스위칭부는 상기 제어신호에 따라측정하고자 하는 저항과 연결되는 채널을 선택하여 전원 소스를 공급하고, 상기 저항에 접촉되는 단자와 연결된다.

우선 채널선택버퍼(331)는 DSP 보드(200)의 채널 출력부(262)에서 설정된 채널번호를 가지는 채널의 스위칭을 제어하는 IC로 상기 채널번호를 버퍼링한다. 상기 채널은 저항의 일단을 의미하므로 단일저항의 경우 양단이 각각 하나의 채널이 된다.

도면에서 표시된 IC1은 채널1과 연결되는 저항 측정을 위한 6개의 릴레이 스위칭을 제어하며, IC는 6개의 단자(F+,F-,S+,S-,가드포스, 가드센스)와 연결되는 6개의 릴레이로 스위칭 제어신호를 출력한다.

IC 선택부(332)는 DSP 보드(200)의 제어신호에 의하여 측정하고자 하는 저항과 연결되는 상기 IC를 선택하여 동작 활성화 신호(enable signal)/ 동작 차단 신호(disable signal)를 출력하여 상기 IC에 구현된 릴레이 스위칭 기능이 동작되도록 한다.

릴레이 구동부(334)는 상기 IC 선택부(332)에서 선택된 IC 에 구현된 바에 따라 릴레이가 스위칭 동작되도록 측정하고자 하는 저항과 접촉되어야 하는 단자와 연결된 릴레이로 구동신호를 출력하는데, 이는 저항에 접촉 가능한 6개의 단자와 연결되는 릴레이가 스위칭되도록 구현된 IC를 다수개 포함하여 구성된다.

상기 릴레이 구동부(334)가 출력한 구동신호에 의해 포스 플러스, 포스 마이너스, 센스 플러스, 센스 마이너스, 가드포스, 가드센스 단자에 연결되는 다수개의 고속 스위칭 가능한 릴레이가 온/오프 구동됨에 따라 단일저항 또는 Y형 저항의 양단에는 각각 포스 플러스/ 센스 플러스가 핀 프로브 1(PP1)을 통해 접촉되도록 하고, 포스 마이너스/ 센스 마이너스가 핀프로브2(PP2)를 통해 접촉되도록 한다.

델타저항의 경우 포스 플러스/ 센스 플러스와; 포스 마이너스/ 센스 마이너스와; 가드포스/ 가스센스 단자가 델타저항의 각 단에 각각 연결되도록 하여 저항값을 측정한다.

도 13은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용하여 저항 측정에 이용된 제 1 실시예가 도시된 도면이다. 점선으로 표시된 저항은 델타저항을 측정하는 경우 연결 가능한 프로브를 도시한 것이다.

단일저항 측정시 릴레이가 스위칭됨에 따라 핀1은 F+, 핀2는 S+, 핀 3은 F-, 핀 4는 S-로 연결된 상태를 나타내었다. 상기 단일저항의 좌단은 F+, S+단자가 연동되어 연결되며, 우단은 F-,S-가 연동되어 연결된다. 실선의 화살표는 본 발명의 고속 저항측정기의 다수개의 핀과 저항을 연결하는 핀 프로브(PP1 내지 PP4)을 나타낸다.

R1,R2,R3 가 삼각 결선된 델타저항의 측정시, 상기 R1의 일단은 하나의 채널을 구성하는 F+,F-,가드포스,S+,S-,가드센스가 스위칭됨에 따라 2개의 단자(핀1, 핀2)와 연결되고, 상기 R1의 타단은 다른 채널을 구성하는 F+,F-,가드포스,S+,S-,가드센스가 스위칭됨에 따라 2개의 단자(핀3, 핀4)와 연결되어 4단자 측정법에 의해 저항이 측정된다.

마찬가지로 R2, R3도 같은 원리로 각 저항의 양단은 채널이 포함하는 6개의 릴레이가 스위칭됨에 따라 2단자씩 연결되어 4단자 측정법으로 저항이 측정되는 것이다. 도면에서는 핀5과 접촉되는 핀프로브(PP5)를 이용하여 가드포스와 연결되고, 핀6과 접촉되는 핀프로브(PP6)를 이용하여 가드센스와 연결된다.

도 14는 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 제 2 실시예가 도시된 도면이다.

PDP 공정에서 다수개의 전극의 오픈/쇼트 검사를 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용하여 수행하는 경우, 상기 PDP 전극을 하나의 저항(R)이라고 보면 단일저항이 연속적으로 배치된 것과 같으므로 본 발명의 고속 저항측정 시스템의 프로브와 저항의 양단을 동시 접촉한 후 상기 스위칭부의 고속 스위칭되는 다수개의 릴레이를 연속적으로 온/오프하여 다수개의 저항을 신속하게 측정하고, 검사결과를 상기 호스트 컴퓨터로 출력함에 따라 검사자의 일괄 확인이 가능하다.

저항의 일단은 하나의 채널이 되고, 두 개의 핀프로브가 상기 저항 일단에 접촉됨에 따라 포스단자 또는 센스단자가 연결되도록 한다. 따라서 M 개의 단일저항 측정을 위해 부여되는 채널은 2M 개이며, 핀프로브(PP1 내지 PP N)의 총 개수는 4M개이다.

DSP 보드(200)에서 설정된 채널이 상기 채널 출력부(262)를 통해 상기 메인 저항측정기(300)의 스위칭부(330)로 전송되고, 이에 따라 상기 릴레이 구동부(334)가 다수개의 릴레이를 스위칭 구동하여 저항값이 측정되도록 한다. 표2는 M 개의 저항(전극)의 저항값을 측정하기 위해 F+단자, F- 단자와 연결되는 채널번호가 설정된 바를 표시하였다.

(표2)

측정순서	F+	F-
제 1 저항	채널1	채널2
제 2 저항	채널3	채널4
제 3 저항	채널5	채널6
제 4 저항	채널7	채널8
...	...	...
제 M 저항	채널 2M-1	채널 2M

상기와 같이 설정된 채널로 포스 플러스 및 포스 마이너스 단자가 연결되도록 스위칭되며 센스 플러스는 상기 포스 플러스 단자와 연동되고, 센스 마이너스는 상기 포스 마이너스 단자와 연동되므로 상기 센스단자들은 상기 포스단자의 설정에 따라 동시에 자동 설정된다. M개의 저항을 위해 2M개의 채널이 설정되었으나, 저항수가 증가됨에 따라 확장용 저항측정기(400)를 추가하여 채널을 확장 설정하여 다수개의 저항값을 측정할 수 있는 것이다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 고속 저항측정 시스템의 동작을 살펴보면 다음과 같다. 종래 발명과 대비되도록 종래 발명에 예시한 바와 동일하게, 수동 저항계 및 그 저항 측정방법을 PDP 디스플레이 채널 공정을 제 1 실시예로 하고, 저항 트리밍 공정을 제 2 실시예로 하여 본 발명의 동작을 상세히 설명한다.

도 15는 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 저항의 오픈/쇼트 검사 순서도이고, 이를 참조로 하여 제 1 실시예의 동작을 설명한다.

상기 호스트 컴퓨터에서 구동되는 응용 프로그램을 통해 상기 검사자는 측정하고자 하는 저항 개수 및 측정 순서에 따른 채널을 설정하고, 오픈 판정을 위한 기준값 및 쇼트 판정을 위한 기준값 등을 포함하는 측정조건인수, 검사방법, 측정방법 등의 초기설정 데이터를 포함하는 제어명령을 입력하고, 상기 제어명령은 DSP 보드로 전송된다.(S1)

측정용 시료를 로딩하고(S2), 다수개의 PDP 전극 양단에 프로브를 접촉한다.(S3)

DSP 보드는 디램에 저장된 상기 초기설정 데이터를 로딩한 후(S4), 측정하고자 하는 저항의 전력범위를 가지는 전원 소스를 공급한다.(S5)

측정하고자 하는 저항순서 및 채널에 따라 고속 스위칭하여 저항값을 측정하고, 상기 측정된 저항값을 듀얼 버퍼에 저장한다.(S6)

상기 호스트 컴퓨터는 DSP 보드의 듀얼버퍼에 저장된 저항값을 로딩하여 판독하고, 오픈/쇼트의 기준값에 따라 다수개의 전극의 오픈/쇼트를 판정한 후(S7), 검사결과를 화면에 출력하거나, 파일형태로 저장되도록 한다.(S8)

이러한 동작은 오픈/쇼트 검사하고자 하는 저항 개수만큼 반복되어 수행되며, 완료되면 시료를 언로딩한 후 전극의 오픈/쇼트 검사를 종료한다.

도 16은 본 발명의 고속 저항측정 시스템을 이용한 저항 트리밍 작업의 순서도이고, 이를 참조로 하여 본 발명의 제 2 실시예를 상세히 설명한다.

상기 호스트 컴퓨터에서 구동되는 응용 프로그램을 통해 상기 검사자는 측정하고자 하는 저항 타입, 저항 개수 및 측정 순서에 따른 채널을 설정하고, 저항 트리밍 작업시 목표 저항값을 포함하는 측정조건인수, 검사방법, 측정방법 등의 초기설정 데이터를 포함하는 제어명령을 입력하고, 상기 제어명령은 DSP 보드로 전송된다. (L1)

상기 응용 프로그램은 레이저기를 이용한 트리밍 작업시 레이저빔의 열에 의해 변화되는 측정 오차를 반영하여 상기 목표 설정값을 보정함에 따라 보다 정밀한 저항 트리밍이 가능하도록 한다.

상기 저항 타입은 일반적인 단일저항, Y형 저항, 델타저항 등으로 설정되며, 상기 델타저항의 경우 가드핀을 추가적으로 사용하여 저항과 연결한다.

트리밍할 저항의 시료를 로딩하고(L2), 상기 저항으로 프로브를 접촉한다.(L3)

상기 DSP 보드는 상기 호스트 컴퓨터에서 전송된 초기설정 데이터를 로딩하여(L4), 트리밍되는 저항의 전력범위 설정값에 따라 전원 소스가 공급되도록 한다.(L5)

레이저기로부터 레이저빔이 조사되어 트리밍 작업이 수행되며(L6), 트리밍되는 저항의 채널이 선택된 바에 따라 저항값을 측정한다.(L7)

상기 측정 저항값이 목표 저항값과 동일한지 여부를 비교하고(L8), 동일한 순간 상기 레이저기가 오프되도록 제동신호를 출력함에 따라 상기 레이저기가 제동된다.(L9)

상기 트리밍 작업 완료 후 트리밍 완료된 저항의 저항값이 DSP 보드의 듀얼 버퍼에 저장된다.

상기 호스트 컴퓨터는 상기 DSP 보드로부터 상기 저항값을 판독한 후, 상기 응용 프로그램에 내장된 연산에 따라 상기 저항값과 목표 저항값의 오차를 도출하고(L10), 이를 화면 출력하거나 파일 저장되도록 한다.(L11)

이러한 동작은 트리밍하고자 하는 저항 개수만큼 반복되어 수행되며, 완료되면 시료를 언로딩한 후 저항의 트리밍 작업을 종료한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 고속 저항측정 시스템은 다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사가 자동적으로 수행되도록 하여, PDP 생산라인에 배치되는 작업 인력 및 검사시간을 절감할 수 있고, 아울러 불량 저항이 정확하게 검출되어 상기 저항이 이용되는 기기의 품질을 향상시킬 수 있으며, 목표 저항치로 저항 트리밍 작업시 적용되어 단일저항, Y형 저항, 델타저항 등 여러 종류의 저항값을 자동으로 정밀 측정함에 따라 고속/정확한 트리밍 작업이 수행되도록 하여 생산성을 향상시키는 동시에 검사작업 및 트리밍 작업의 편의성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (15)

1. 다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사 또는 트리밍 작업의 자동 수행을 위하여 입력된 제어명령에 따라 결과가 출력되는 호스트 컴퓨터와;

   상기 호스트 컴퓨터에 입력된 제어명령에 따라 자동적으로 상기 다수개의 저항의 오픈/쇼트 검사 또는 트리밍 작업을 수행하고 그 결과를 상기 호스트 컴퓨터로 전송하는 메인 저항측정기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 호스트 컴퓨터는 상기 입력된 제어명령에 따라 상기 메인 저항측정기로 제어신호를 출력하는 동시에 상기 메인 저항측정기에서 전송된 결과가 상기 호스트 컴퓨터에서 출력 가능하도록 처리하는 DSP 보드를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 DSP 보드는 상기 전송된 결과에 따라 상기 저항의 오픈/쇼트 상태 또는 트리밍 상태를 판별하는 응용 프로그램이 내장되며,

   상기 호스트 컴퓨터는 상기 응용 프로그램이 구동됨에 따라 상기 저항의 오픈/쇼트 상태 또는 트리밍 상태를 출력 또는 저장하도록 구성되는 것을 특징으로하는 고속 저항측정 시스템.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 메인 저항측정기는 상기 DSP 보드에서 출력된 제어신호에 따라 상기 다수개의 저항과 접촉되는 다수개의 단자로 전원이 인가되는 바를 결정하는 다수개의 릴레이를 스위칭하도록 구성되며,

   상기 다수개의 릴레이가 스위칭됨에 따라 측정된 저항값을 상기 DSP 보드로 출력하는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 다수개의 릴레이는 측정하고자 하는 저항으로 전원이 공급되도록 상기 저항의 양단에 연결되는 포스 플러스·마이너스 단자와 상기 포스 플러스·마이너스 단자에서 전원이 공급됨에 따라 상기 저항의 저항값을 측정하도록 상기 포스 플러스 단자가 연결된 저항단과 연결되는 센스 플러스 단자 및 상기 포스 마이너스 단자가 연결된 저항단과 연결되는 센스 마이너스 단자와 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 다수개의 릴레이는 델타저항을 측정하고자 하는 경우 상기 포스 플러스·마이너스 단자 및 상기 센스 플러스·마이너스 단자가 연결되지 않은 저항단에연결되는 가드 포스 및 가드 센스 단자와 연결되며,

   상기 포스 플러스 단자 및 상기 센스 플러스 단자와 상기 포스 마이너스 단자 및 상기 센스 마이너스 단자와 상기 가드 포스 단자 및 상기 가드 센스 단자가 상기 델타저항의 각 저항단에 순차적으로 스위칭되어 연결되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
7. 제 4 항에 있어서,

   상기 DSP 보드는 상기 호스트 컴퓨터로 입력된 제어명령에 따라 저항값이 측정되도록 하는 제어신호를 상기 메인 저항측정기로 출력하는 동시에 상기 제어신호에 따라 측정된 저항값을 연산 처리하는 DSP 프로세서와;

   상기 제어명령, 상기 메인 저항측정기에서 전송된 저항값 및 상기 DSP 프로세서에서 연산 처리된 결과가 저장되는 메모리와;

   상기 제어신호에 따라 측정하고자 하는 저항에 적합한 전력범위, 상기 저항의 측정 순서를 결정하는 채널번호 또는 상기 저항의 트리밍 작업시 목표 저항값을 설정하여 이를 상기 메인 저항측정기로 출력하는 설정값 출력부와;

   상기 설정값 출력부에서 출력된 디지털 데이터가 아닐로그 데이터로 변환되도록 하는 동시에 상기 메인 저항측정기에서 전송하고자 하는 결과가 디지털 데이터로 변환되도록 상기 메인 저항측정기로 변환신호를 출력하는 A/D 변환제어부를 포함하여 구성되는 것을 고속 저항측정 시스템.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 DSP 보드는 상기 호스트 컴퓨터와 상기 DSP 프로세서 사이에 데이터 송수신이 가능하도록 중간 버퍼링을 수행하는 듀얼 버퍼와,

   상기 DSP 프로세서에서 출력되는 제어신호가 상기 설정값 출력부를 통해 상기 메인 저항측정기로 전송되도록 하는 동시에 상기 메인 저항측정기에서 측정된 저항값 데이터가 상기 DSP 프로세서로 입력되도록 중간 버터링을 수행하는 병렬 입출력 버퍼를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 메인 저항측정기는 상기 설정값 출력부에서 출력되는 설정값 또는 상기 DSP 보드에서 출력되는 제어신호에 따라 저항 측정을 위한 전원을 상기 릴레이로 공급하는 전원 공급부와;

   상기 전원 공급부에서 전원이 공급되는 릴레이의 온/오프를 스위칭함으로서 저항값을 측정하는 스위칭부와;

   상기 설정값 또는 상기 제어신호에 따라 상기 스위칭부가 릴레이를 스위칭하는 바를 제어하는 스위칭 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 스위칭 제어부는 상기 설정값에 따라 상기 전원 공급부를 통해 상기 릴레이로 공급되는 전원의 전력 범위를 선택하는 전력범위 선택부와;

    상기 제어신호에 따라 측정하고자 하는 저항과 전기적으로 접촉되어야 하는 포스단자 및 센스단자를 선택하여 상기 릴레이가 스위칭되도록 하는 단자 선택부와;

    상기 A/D 변환제어부에서 출력되는 변환신호에 따라 트리밍 작업 시 상기 설정값 출력부에서 출력된 목표 저항값을 아날로그 데이터로 변환하는 동시에 상기 스위칭부에서 측정된 아날로그 저항값을 디지털 데이터로 변환한 후 상기 DSP 보드로 전송하는 A/D 변환부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 고속 저항 측정시스템은 트리밍 작업 시 트리밍하고자 하는 저항에 목표 저항값이 측정될 때까지 레이저빔을 조사하는 레이저기를 더 포함하여 구성되며,

    상기 DSP 보드는 상기 레이저기와 연결되어 트리밍 작업 중 실시간으로 측정되는 저항값이 상기 목표 저항값과 동일한 경우 상기 레이저기의 동작을 제동시키는 제동신호를 출력하고, 트리밍 작업 완료 후 상기 트리밍된 저항의 저항값과 상기 목표 저항값과의 오차를 도출하여 상기 호스트 컴퓨터에서 출력 또는 저장되도록 하는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 스위칭 제어부는 트리밍 작업 시 상기 A/D 변환부에서 변환된 아날로그 목표 저항값과 상기 스위칭부에서 측정된 저항값을 비교하여 상기 측정 저항값이 목표 저항값과 동일해지면 이를 알림하는 신호를 상기 DSP 보드로 전송하는 비교부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
13. 제 9 항에 있어서,

    상기 메인 저항측정기는 다수개의 스위칭부와, 상기 다수개의 스위칭부 중 릴레이의 스위칭을 제어하고자 하는 스위칭부를 선택하는 스위칭부 선택수단을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
14. 제 13 항에 있어서,

    상기 스위칭부는 상기 설정값 출력부에서 설정된 채널번호를 가지는 채널의 스위칭을 제어하는 IC로 상기 채널번호를 버퍼링하는 채널선택버퍼와,

    상기 IC로 동작 활성화 신호 또는 동작 차단 신호를 출력하여 상기 IC에 구현된 릴레이 스위칭 기능이 동작되도록 하는 IC 선택부와,

    상기 IC 선택부에서 선택된 IC 에 구현된 바에 따라 릴레이가 스위칭 동작되도록 측정하고자 하는 저항과 접촉되어야 하는 단자와 연결된 릴레이로 구동신호를 출력하는 릴레이 구동부와,

    상기 릴레이 구동부가 출력한 구동신호에 따라 고속으로 온/오프 스위칭 동작하는 다수개의 릴레이를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.
15. 제 14 항에 있어서,

    상기 고속 저항측정 시스템은 측정하고자 하는 저항의 개수가 상기 메인 저항측정기의 측정 허용개수를 초과하는 경우 상기 메인 저항측정기와 연결되는 확장용 저항측정기를 더 포함하여 구성되며,

    상기 확장용 저항측정기는 상기 스위칭 제어부에서 출력된 제어신호에 따라 릴레이를 스위칭 구동하여 저항값을 측정하고, 측정된 저항값을 상기 메인 저항측정기로 전송하는 확장용 스위칭부로 구성되는 것을 특징으로 하는 고속 저항측정 시스템.