JP5004010B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板検査装置及び基板検査方法に関し、更に具体的には、回路基板の配線パターンの導通検査に際し複数本の配線パターンの検査を並列処理可能な基板検査装置及び基板検査方法に関する。

従来、複数の配線パターンを有する回路基板に対する導通検査は、基板検査装置を用いて、所定の配線パターンが一定の抵抗値以下であることを判定することにより実施されている。

この基板検査は、基板検査装置の一対の検査プローブを基板両面に形成された２箇所の検査点に対して押圧接触し、２箇所の検査点間に所定の検査電圧を印加して流れる電流を測定する。この検査電圧値Ｖと検出電流値Ｉとから、２箇所の検査点間の配線パターンの抵抗値Ｒ＝Ｖ／Ｉを算出し、この抵抗値Ｒが所定のしきい値Ｒ_REF以下であるとき、この配線パターンの導通状態は良好と判断される。

図１は、この基板検査方法を説明する図であり、回路基板１００を厚さ方向断面から見た概略図である。図には、全ての配線パターンが示されているものとする。回路基板１００には、複数の配線パターン１０２が形成されている。ここで、電気的に接続された配線パターン網をネットと呼ぶ。図１では、回路基板１００にネットＡ〜Ｈが形成されている。

このような回路基板１００では、ネットＡ、ネットＢ、…、ネットＨの順に導通検査が行われる。各ネットでは、基準検査点を１個定め、残りの検査点との間で逐次導通検査が行われる。即ち、ネットＡに対して、基準検査点Ｐ１と検査点Ｐ２の間の配線パターン、Ｐ１とＰ３の間の配線パターン、…、Ｐ１とＰ７の間の配線パターンの導通検査を順次実施する。ネットＡに対する検査が終了した後、ネットＢ、ネットＣ、…と、ネット単位で順次同様の検査が行われる。

具体的には、図２に示すように、回路基板１０２の両面に、上側及び下側検査プローブ群１０４ｕ，１０４ｄを夫々配置し、これらプローブを検査点Ｐに押圧接触する。上側及び下側検査プローブ群１０４ｕ，１０４ｄには夫々上側及び下側スキャナ１０６ｕ，１０６ｄが設けられ、各検査プローブに１個のスイッチが夫々接続されている。上側及び下側スキャナ１０６ｕ，１０６ｄのスイッチを各１個ずつ閉じて、他のスイッチは開放する。直流電圧源１１２から検査電圧を印加し、流れる電流を電流検出手段１１４で測定する。1本の配線パターンの検査が終わったら、次の配線パターンに合わせて上側及び下側スキャナ１０６ｕ，１０６ｄのスイッチを切り換える。

なお、本発明者は、回路基板の配線パターンの導通検査に際し複数本の配線パターンの検査を並列処理可能な基板検査装置に関する公開された先行特許出願の存在を知らない。

このような従来の基板検査装置では、常時、１本の配線パターン１０２に対して導通検査を行っており、全ての配線パターンを順次検査するためには比較的長い検査時間を必要としていた。

このため、従来より回路基板の検査時間を短縮することが望まれていた。

そこで、本発明は、検査に要する時間を短縮することが可能な基板検査装置を提供することを目的とする。

そこで、本発明は、検査に要する時間を短縮することが可能な基板検査方法を提供することを目的とする。

上記目的に鑑みて、本発明に係る基板検査装置は、回路基板の配線パターンの導通検査に際し、複数個のネット（Ｌ）を形成する複数本（Ｍ）の配線パターンの検査を、同時検査可能対象数（Ｎ）単位で並列処理可能な基板検査装置であって、前記回路基板の表面に現れた前記配線パターンに形成された検査点に対して押圧接触する検査プローブと、毎回の検査順番毎に、検査対象となる複数本（Ｎ）の配線パターンを選出する検査対象選出手段により選出された配線パターンからの出力を選択するスキャナ手段と、前記スキャナ手段からの出力を、検査対象となる個々の配線パターンに対応する出力に組み合わせる組み合わせ回路手段と、検査対象となる個々の配線パターンに対して検査電圧を印加して、流れる電流を検出する、個数Ｎの電圧源及び電流検出手段とを備え、前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、同時検査可能対象（個数Ｎ）に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として選出した配置表に基づき実施される。

更に、上記基板検査装置では、前記スキャナ手段は、前記回路基板の両面に配置された上側及び下側スキャナを有し、上側及び下側スキャナは、各々、同時検査可能対象数（Ｎ）に基づきＮ個の検査プローブからの出力を選択するように構成され、前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、検査対象となる配線パターンの検査点の個数が前記回路基板の上面又は下面に関してＮ個以下であるという条件下で、同時検査可能対象（個数Ｎ）に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として順次選出した配置表に基づき実施されるようにしてもよい。

更に、上記基板検査装置では、前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、更に、検査順番毎に、同時検査対象となる配線パターンの各々に必要な検査時間を揃えるため、検査対象となる配線パターンを再配置した配置表に基づき実施されるようにしてもよい。

更に、本発明に係る基板検査方法は、回路基板の配線パターンの導通検査に際し、複数個のネット（Ｌ）を形成する複数本（Ｍ）の配線パターンの検査を、同時検査可能対象（個数Ｎ）単位で並列処理する基板検査方法であって、検査順番毎に、配置表に基づき、同時検査の対象となる複数本（Ｎ）の配線パターンを選出し、検査電圧を、前記複数本（Ｎ）の配線パターンに夫々印加し、所定時間後に、前記複数本（Ｎ）の配線パターンに夫々流れる電流を検出し、前記検査電圧値と検出電流値から、前記複数本（Ｎ）の配線パターンの個々の抵抗値を算出し、算出抵抗値と基準抵抗値と比較して、該配線パターンの良否を判定するステップを含み、前記配置表は、同時検査可能対象（個数Ｎ）に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として選出している。

更に、上記基板検査方法では、前記配置表は、更に、検査順番毎に、同時検査対象となる配線パターンの各々に必要な検査時間を揃えるため、検査対象となる配線パターンを再配置した配置表としてもよい。

更に、上記基板検査方法では、検査順番毎に、予め検査時間を設定し、該検査時間は同時検査可能な配線パターンの中で最も長い配線パターン長に従って決定されるようにしてもよい。

本発明によれば、検査に要する時間を短縮することが可能な基板検査装置を提供することができる。

そこで、本発明によれば、検査に要する時間を短縮することが可能な基板検査方法を提供することができる。

以下、本発明に係る基板検査装置及び基板検査方法の実施形態に関して、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中、同じ要素に対しては同じ符号を付して重複した説明を省略する。

本実施形態の特徴の一つは、基板の配線パターンの導通検査に際し複数本の配線パターンの検査を並列処理可能な基板検査装置及び基板検査方法にある。導通検査を並列処理可能にするためには、検査対象（即ち、被検査配線パターン）の選出方法及び基板検査装置に夫々特徴がある。これらを順に説明する。

［検査対象の選出方法］
説明の都合上、基板検査装置（図７参照）は、4つの検査対象の導通検査を並列処理可能な装置とする。導通検査は、検査プローブ２本一組で１本の配線パターンを検査することが出来る。そこで、回路基板の上下両面から夫々押圧接触された複数本の検査プローブの内、任意に選択された上側の４本の検査プローブと下側の４本の検査プローブとの合計８本の検査プローブを使用して導通検査を実施する。毎回の検査毎に、８本の検査プローブを２本一組の四組に振り分け、電気的に独立した４本の配線パターンに対して同時に導通検査を実施する。

（検査対象の第一の配置）
図３及び４は、検査対象の第一の配置を説明する図である。ここで、回路基板１０には、例えば、配線パターン１２が８個のネットＡ〜Ｈから形成されている。各ネット間は電気的に相互に独立し（即ち、絶縁状態にあり）、同一ネット内では電気的に接続されている。各ネットを形成する配線パターン１２は、回路基板１０の上面１０ｕ及び／又は裏面１０ｄに導通検査に使用する検査点Ｐを形成する。

図３は、各検査点の特定方法を説明する図である。説明を簡単にするため、８個のネットを検査点の多いネットから順に左から右へと図示し、ネットＡ〜ネットＨと呼ぶこととする。各ネットの検査点を、予め、１個の基準検査点Ｐ１（図中丸付き。）と、その他の検査点Ｐ２，Ｐ３，…とする。

ネットＡは、７個の検査点を有し、基準検査点Ｐ１とその他の検査点Ｐ２〜Ｐ７からなる。ネットＡに対する導通検査は、基準検査点Ｐ１とその他の検査点ＰＰ２〜Ｐ７との間で順に実施される。即ち、導通検査は、Ｐ１−Ｐ２間の配線パターン、Ｐ１−Ｐ３間の配線パターン、…、Ｐ１−Ｐ７間の配線パターンで、順次実施される。

ネットＢは、６個の検査点を有し、基準検査点Ｐ１とその他の検査点Ｐ２〜Ｐ６からなる。同様に、ネットＢに対する導通検査は、基準検査点Ｐ１とその他の検査点Ｐ２〜Ｐ６との間で順次実施される。その他のネットＣ〜Ｈに関しても同様である。

このとき、基準検査点Ｐ１が回路基板の上面１０ｕと下面１０ｄにほぼ同数になるように設定することが好ましい。前述したように、基板検査装置は、上下各４本の合計８本の検査プローブを使用して、電気的に独立した４本の配線パターンに対して同時に導通検査を実施できる。例えば、基準検査点Ｐ１として回路基板の上面１０ｕの検査点のみに設定すると、上側の４本の検査プローブは各ネットの基準検査点Ｐ１で占められてしまう。その結果、各ネットにおいて基準検査点Ｐ１の対となる検査点Ｐは、常に回路基板の下面にある検査点Ｐに限定されて選択の余地が狭まり、実質的に４本の配線パターンの同時導通検査を実施できなくなるからである。

次に、図４に示す配置表を用いて、検査対象の第一の配置を説明する。図４は、上側横方向に、毎回に検査時に於いて同時に検査可能な対象（以下、「検査対象」ともいう。）である甲、乙、丙、丁を示し、左側縦方向に検査の順番である１回目、２回目、…、９回目を示している。検査対象と検査順番で特定される各欄には、検査対象甲〜丁として実際に選出される配線パターンの属性、即ち、ネット、検査点−検査点及びそれらの検査点の位置（即ち、回路基板の上面（上）又は下面（下））が示されている。

この第１の配置は、次の考えに基づいて決められている。

(a)同じ検査順番のとき、同時検査可能な検査対象甲、乙、丙、丁には、相互に異なるネットに属する配線パターン１２が夫々割り当てられる。即ち、ネット単位で見ると、２本の配線パターンを同時に導通検査することはない。

(b) 検査対象の優先順位を甲、乙、丙、丁の順番としたとき、検査点の多いネットの順に、優先順位の高い検査対象甲、乙、丙、丁に夫々割り当てる。具体的には、検査対象甲にネットＡ、検査対象乙にネットＢ、検査対象丙にネットＣ、検査対象丁にネットＤ、が夫々割り当てられる。

(c)同時に検査に使用できる検査プローブは、上下各４本である。従って、上面又は下面の一方の４本の検査プローブ全てに対して検査点が割り当てられたら、それ以降は、その面の検査点をもつ被検査配線パターンは割り当てることは出来ない。

改めて図３及び４に示す検査対象の第一の配置を見ると、最も本数の多いネットＡは、検査対象甲に割り当てられる。具体的には、ネットＡでは、Ｐ１（上）−Ｐ２（上），Ｐ１（上）−Ｐ３（上），Ｐ１（上）−Ｐ４（下），Ｐ１（上）−Ｐ５（下），Ｐ１（上）−Ｐ６（下），Ｐ１（上）−Ｐ７（下）の６本の配線パターンが検査される。これらの被検査配線パターンは、同時に検査できないので検査順番１回目〜６回目の検査対象甲に夫々割り当てられる。

同様に、次に本数の多いネットＢは、検査対象乙に割り当てられる。具体的には、ネットＢでは、Ｐ１（下）−Ｐ２（下），Ｐ１（下）−Ｐ３（下），Ｐ１（下）−Ｐ４（上），Ｐ１（下）−Ｐ５（上），Ｐ１（下）−Ｐ６（上）の５本の配線パターンが検査される。これらの被検査配線パターンは、検査順番１回目〜５回目の検査対象乙に夫々割り当てられる。

同様に、ネットＣは、４本の配線パターンが検査される。これらの被検査配線パターンは、検査順番１回目〜４回目の検査対象丙に夫々割り当てられる。

ネットＤは、Ｐ１（下）−Ｐ２（上），Ｐ１（下）−Ｐ３（下），Ｐ１（下）−Ｐ４（下）の３本の配線パターンが検査される。Ｐ１（下）−Ｐ２（上）は、検査順番１回の検査対象丁に割り当てられる。

しかし、ネットＤのＰ１（下）−Ｐ３（下）を検査順番２回目の検査対象丁に割り当てることは出来ない。検査順番２回目では、ネットＡ，Ｂ，Ｃにより、上面及び下面の検査プローブ各３本が既に使用されており、Ｐ１（下）−Ｐ３（下）では下面の検査プローブが不足するからである。同じ理由で、Ｐ１（下）−Ｐ３（下）を、検査順番３〜４回目に割り当てることが出来ない。そこで、Ｐ１（下）−Ｐ３（下）を検査順番５回目に割り当てる。同じ理由で、Ｐ１（下）−Ｐ４（下）を検査順番６回目に割り当てる。

ネットＥのＰ１（下）−Ｐ２（下）は、同じ理由で検査順番２〜６回目の検査対象丁に割り当てることが出来ず、検査順番７回目の検査対象丁に割り当てる。

次のネットＦのＰ１（上）−Ｐ２（下）は、空欄の多い検査順番６回目を検討し、検査対象丙に割り当てる。Ｐ１（上）−Ｐ３（下）は、検査順番７回目の検査対象丙に割り当てられる。

以下、同様にして、同時検査可能な配線パターン甲、乙、丙、丁に対して、各検査順番において被検査配線パターンが割り当てられ、検査対象の第一配置表が決定される。

図４に示す検査対象の第一の配置に従って、１回目の導通検査で甲、乙、丙、丁として、次の４本の配線パターンが同時に実施される。

(1)配線パターン甲として、ネットＡの基準検査点Ｐ１（上）と検査点Ｐ２（上）との間の配線パターン
(2)配線パターン乙として、ネットＢの基準検査点Ｐ１（下）と検査点Ｐ２（下）との間の配線パターン
(3)配線パターン丙として、ネットＣの基準検査点Ｐ１（上）と検査点Ｐ２（下）との間の配線パターン
(4)配線パターン丁として、ネットＤの基準検査点Ｐ１（下）と検査点Ｐ２（上）との間の配線パターン。

次の２回目の検査で、次の４本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。

(1)配線パターン甲として、ネットＡの基準検査点Ｐ１（上）と検査点Ｐ３（上）との間の配線パターン
(2)配線パターン乙として、ネットＢの基準検査点Ｐ１（下）と検査点Ｐ３（下）との間の配線パターン
(3)配線パターン丙として、ネットＣの基準検査点Ｐ１（上）と検査点Ｐ３（下）との間の配線パターン
(4)配線パターン丁として、ネットＤの基準検査点Ｐ１（下）と検査点Ｐ３（上）との間の配線パターン
次の３回目の検査では、図に示す４本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。４回目〜７回目の検査までは、図に示す３本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。８回目の検査では、図に示す２本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。

同時検査可能な検査対象（甲、乙等）に優先順位を付して、配線本数の多いネットを優先順位の高い検査対象に割り当てることにより、検査対象の選出方法が一義的に決定される。従って、プログラムを組むことにより、検査対象の選出方法をコンピュータ処理することが出来る。予め、コンピュータのＲＯＭ等に記憶しておくことにより、後述の基板検査方法を実施できる。

以上により、後で説明する基板検査装置において、検査順番１〜８回目の夫々に於いて、配線パターン甲、乙、丙、丁を同時に導通検査することにより、検査時間の短縮化が図れる。

（検査対象の第二の配置）
図５及び６に示す配置表を用いて、検査対象の第二の配置を説明する。図５の配置表に示す配置は、第一の配置（図４参照）を更に再配置して、検査時間を短縮した配置である。

回路基板１０の導通検査は、一対の検査プローブを被検査配線パターン１２に押圧接触させ、所定の検査電圧を印加し、流れる電流が一定に達したとき電流値を検出する。この電流が一定に達する時間（即ち、被検査配線パターンが所定電圧にチャージアップされるまでの時間）は、被検査配線パターンの抵抗値に依存している。配線パターンの抵抗値を判定する場合には、その抵抗値に応じて判定しきい値（判定レンジ）が変更される。このため、配線パターンの抵抗値は、配線パターンが有する抵抗値によって判定レンジが変更されるため、この変更に応じて、検査時間に影響を与えることになる。このように、各検査順番で必要な検査時間は、同時検査される配線パターン中の最も検査時間の長い被検査配線パターンによって決定される。

そこで、第一の配置により同時検査可能な検査対象甲、乙、丙、丁に夫々割り当てられた配線パターンに対して、検査時間の平滑化の観点から、更に再配置することが好ましい。

検査対象甲、乙、丙、丁に対して、１本だけ検査時間の長い配線パターンを割り当てると、他の配線パターンの検査が終了しても、長い配線パターンに要する検査時間が終了するまで検査は終了しない。そのため、第一の配置として割り当てられた被検査パターンの入れ替え（再配置）を行って、検査対象甲、乙、丙、丁の各々の必要検査時間を横並びに揃えている（即ち、平滑化している）。この再配置により、検査時間の短い４本の被検査配線パターンを同時検査するときは検査時間の短縮が図れる。これにより、回路基板の導通検査全体として、検査時間の短縮化が図れる。以下、具体的に説明する。

一般に、配線パターンは、電源・ＧＮＤ系のパターン配線は抵抗値が比較的小さく、信号系のパターン配線は抵抗値が比較的高い。更に、信号系のパターン配線の抵抗値の大小が或る程度分かっている場合、配線パターンを、電源・ＧＮＤ系の配線パターンと、抵抗値小の信号系配線パターンと、抵抗値大の信号系配線パターンに分けることもできる。更に、配線パターンの長さが、回路基板の論理設計情報から配線パターン形成用マスクをＣＡＤで製作する際のデータから取得出来る場合には、配線パターンの抵抗値を配線パターンの長さに比例するとしてもよい。

或いは、良品の回路基板を選択し、これを導通検査における判断基準とする場合もある。基板検査装置を使って、この良品回路基板から各配線パターンの抵抗値データを吸い上げ、これに基づき配線パターン毎の判定しきい値（判定レンジ）を設定する。設定レンジの変更・設定に応じて、必要な検査時間を定めることが出来できる。ここでは、このような場合の再配置について具体的に説明する。

図６は、同時検査可能な検査対象甲、乙、丙、丁に対して、検査順番毎に、第一の配置（図４参照）で決定された被検査配線パターンの必要な検査時間を示したものである。検査時間を時間比で表示したため、単位は無名数とする。検査順番１回目では、検査対象甲、乙、丙、丁に対して、検査時間３、３、２、２の被検査配線パターンが夫々割り当てられている。同様に、検査順番２回目では、検査対象甲、乙、丙、丁に対して、検査時間４、４、３、３の被検査配線パターンが夫々割り当てられている。検査順番３以降も同様に示されている。なお、各検査順番において、最長検査時間に対して下線が付されてある。

ここで、検査順番３回目では、検査対象丙の検査時間が最も長い配線パターンであり、検査時間４である（再配置前）。次は、検査対象丁の検査時間３である。従って、検査順番３回目の検査対象丙にある被検査配線パターンを、検査順番７回目の検査対象丙にある被検査配線パターン（検査時間３）と交換する。検査点の位置は、いずれも（上）（下）であり、検査プローブが不足することはない。この再配置により、検査時間の最も長い配線パターンは検査対象丙及び丁の検査時間３となる。

同様に、検査順番４回目では、検査対象丙の検査時間が最も長い配線パターンであり、検査時間５である（再配置前）。次は、検査対象甲及び乙の検査時間３である。従って、検査順番４回目の検査対象丙にある被検査配線パターンを、検査順番６回目の検査対象丙にある被検査配線パターン（検査時間２）と交換する。検査点の位置は、いずれも（上）（下）であり、検査プローブが不足することはない。この再配置により、検査時間が最も長い配線パターンは検査対象甲及び乙の検査時間３となる。

この結果、検査順番７回目では、検査時間が最も長い配線パターンが検査時間３から４へと増加する。しかし、検査順番３回目で検査時間１、検査順番４回目で検査時間３の減少があり、全体として平滑化が図れる。

第二の配置表の作成に関しても、プログラムを組むことにより、検査対象の選出方法をコンピュータ処理することが出来る。予め、コンピュータのＲＯＭ等に記憶しておくことにより、後述の基板検査方法を実施できる。

このような再配置を実施することにより、全体で導通検査時間の短縮が図ることが出来る。

［基板検査装置］
（検査装置）
図７は、上述した検査対象の選出方法により決定した４本の配線パターンを同時検査する基板検査装置２０のブロック図である。

基板検査装置２０は、回路基板１０の両面に夫々位置して検査点に押圧接触する上側及び下側検査プローブ群２２ｕ，２２ｄと、各検査プローブ群から４本の検査プローブを選択する上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄと、上側及び下側スキャナからのケーブルを受け、４本の被検査配線パターンに対応する４組の組み合わせにする組み合わせ回路２６と、各組に夫々接続された電圧源及び電流検出手段の回路３２−１〜３２−４と、これらの要素を制御する制御部３６と、検査結果を表示するモニタ３８とを備えている。

なお、このブロック図では、図面を簡素化して見易いものとするため、通常、基板検査装置２０が備えている回路基板位置決め機構、検査プローブを固定する検査治具、スキャナを制御するテスターコントローラ、回路基板やスキャナを駆動する駆動機構等は省略してあることを承知されたい。このブロック図では、本実施形態を理解するに必要な最小の要素のみを表示する。

各要素について説明する。上側及び下側検査プローブ群２２ｕ，２２ｄは、回路基板１０に形成された全ての検査点Ｐに押圧接触し得る検査プローブを有する。

上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄは、各々、検査プローブ１本ずつつながったスイッチ（図示せず。）を有し、検査対象の検査点につながったスイッチを閉じ、他のスイッチを開放する。本実施形態では、上側及び下側スキャナは、各々、４本の検査プローブからの出力を組み合わせ回路２６に接続する。

組み合わせ回路２６は、選択回路の一種であって、上側及び下側スキャナからの８本の検査プローブにつながった出力３４ｕ，３４ｄを、配置表（所望の第一又は第二の配置表をいう。）に基づいて、被検査パターン単位の２本ずつ四組（３７−１〜３７−４）の出力の組み合わせにする。組み合わせ回路２６は、各組の出力を４個の電圧源及び電流検出手段の回路３２−１〜３２−４に夫々送る。

電圧源及び電流検出手段の回路３２−１〜３２−４は、各組に対して設けられ、夫々検査電圧を印加する可変直流電圧源２８及び流れる電流を検出する電流検出手段３０を有する。

制御部３６は、これら要素の制御を実行するＣＰＵ、記憶領域及び作業領域等に使用されるＲＡＭ、この基板検査方法を実行するプログラム等を記憶したＲＯＭ等（いずれも図示せず。）を有する通常のコンピュータよりなる。ＨＤＤ等の記録装置（図示せず。）を設けてもよい。

この基板検査装置２０は、回路基板の４本の被検査配線パターン１２を同時に導通検査する。上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄにより、配置表に基づき対応する８本の検査プローブを選択し、組み合わせ回路２６により被検査配線パターン１２に対応する２本ずつの検査プローブからの出力に組み合わせる。各組に対して１個の電圧源及び電流検出手段の回路３２が用意される。各組は電気的に独立した閉回路を形成し、所定の検査電圧が印加され、流れる電流が電流検出手段３０−１〜３０−４で検出される。

なお、図７では、上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄは、各々、４本の検査プローブからの出力３４ｕ，３４ｄを組み合わせ回路２６に接続している。しかし、上側及び下側検査プローブ群２２ｕ，２２ｄに属する全ての検査プローブからの出力を、上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄを介して組み合わせ回路２６に送るようにしてもよい。即ち、上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄと組み合わせ回路２６との間を、検査プローブの個数に対応するケーブルの本数で接続してもよい。この場合、組み合わせ回路２６において、上側及び下側スキャナ２４ｕ，２４ｄのスイッチが閉じている８個の出力を選択すると共に、被検査配線パターンに対応して一対２個の組み合わせとし、４個の電圧源及び電流検出手段の回路３２−１〜３２−４に夫々送る。

（検査方法）
図８は、図７の基板検査装置２０が実行する基板検査方法のフローである。予め記憶されているプログラムに沿って、制御部３６により実行される。

ステップＳ１０で、検査順番を設定する。配置表（図４及び５参照）の左側縦方向に表示する１回目、２回目、…順番に設定する。

ステップＳ１１で、配置表により検査点Ｐを決定する。例えば、第二の配置表の検査順番１回目では、ネットＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの夫々の検査点Ｐ１，Ｐ２が、検査対象甲〜丁として夫々決定される。

ステップＳ１２で、検査時間が設定される。この設定される検査時間は、同時検査される配線パターン中の判定レンジに応じて決定される。図６を参照すると、検査時間の最も長い配線パターンは、ネットＡ及びＢの配線パターンであり、これらに対応した検査時間が設定される。

ステップＳ１３で、検査電圧Ｖが検査プローブから被検査配線パターンに印加される。検査電圧の印加は、４個の電圧源及び電流検出手段の回路３２−１〜３２−４により、各組に対して電気的に独立して行われる。

ステップＳ１４で、ステップＳ１２で設定された検査時間に達したか判定される。

ステップＳ１５で、各組において、流れる電流値が測定される。

ステップＳ１６で、各組において、被検査配線パターンの抵抗値Ｒが算出される。

ステップＳ１７で、各組において、抵抗値Ｒが予め定められた基準抵抗値Ｒ_REF以下か判定される。基準抵抗値Ｒ_REF以下であればステップS１８に進んで良好と判定され、超えていればステップＳ１９に進んで不良と判定される。所望により、逐次又は検査終了後に検査結果はモニタに表示される。

ステップＳ２０で、配置表に示す全ての配線パターンの検査が終了したか判定され、終了していないときはステップＳ１０に戻り、次の検査順番の検査が実行される。

以上により、４本の配線パターンに対する導通検査の並列処理が行われる。

［代替例等］
これら実施形態に対して、当業者が容易に実施し得る付加・変更・削除・改良は、本発明の範囲に含まれる。例えば、次のような事項が挙げられる。

(1)実施形態では、4本の配線パターンの同時実施を説明したが、これに限定されない。同時実施できる配線パターンの本数は任意である。決定した配線パターンの本数に対応して、配置表を作成し、プログラムを修正し、スキャナ、組み合わせ回路、電圧源及び電流検出手段の回路等を変更する。

(2)四端子測定の採用
実施形態では、１本の被検査配線パターンの導通検査に際して、一対の検査プローブを用いて、検査電圧を印加し、流れる電流を検出している。

近年、検査プローブと被検査配線パターンの間の接触抵抗を除去するため、電圧端子と電流端子を分離した四端子測定が採用されている。通常、1本の検査プローブを、軸方向に分割したり、芯部材とそれを同心円的に囲む円筒部材に分離したりして、電気的に絶縁して電流端子及び電圧端子の２端子としている。

本発明は、このような検査プローブを採用することにより四端子測定も実施できる。

(3)検査対象の第一の配置と第二の配置の一体化
第一の配置の説明で、図３を用いた説明で、回路基板の検査点に対する符号に付与を、基準検査点Ｐ１を除き、任意であるとした。

この際、基準検査点Ｐ１から近い（被検査配線パターンの短い）順に、検査点Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，…とすることにより、かなりの確率で各検査順序内の被検査配線パターン長の平滑化が図れる。更に、必要に応じて、第二の再配置を行ってもよい。

(4)実施形態では、検査点が回路基板の上面及び下面の両面にある場合を説明した。しかし、検査点が、回路基板の上面及び下面の一方（片面）に有る場合にも適用できる。

［実施形態の利点・効果］
(1)複数の配線パターンの導通検査を同時に実施できることにより、検査時間の短縮が図れる。

(2)第一の配置表で説明したように、同時検査可能な検査対象（甲、乙等）に優先順位を付して、配線本数の多いネットを優先順位の高い検査対象に割り当てることにより、検査対象の選出方法が一義的に決定される。従って、プログラムを組むことにより、検査対象の選出方法をコンピュータ処理することが出来る。同様の理由により、第二の配置表も検査対象の選出方法をコンピュータ処理することが出来る。

(3) 第２の配置表で説明したように、各組の配線パターン長を平滑化する（パターン長を揃える）ことにより、更に、検査時間の短縮が可能となる。

［その他］
以上により本発明に係る基板検査装置及び基板検査方法の実施形態に関して説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されない。本発明の技術的範囲、添付の特許請求の範囲の記載に基づいて定められる。

図１は、回路基板の配線パターンの状況を説明する図である。 図２は、図１の回路基板に対する、従来の基板検査方法を説明する図である。 図３は、検査対象の第一の配置に関連して、回路基板の各検査点の特定方法を説明する図である。 図４は、検査対象の第一の配置に関連して、配線パターンの検査順序を説明する配置表である。 図５は、検査対象の第二の配置に関連して、配線パターンの検査順序を説明する配置表である。 図６は、同時検査可能な検査対象甲、乙、丙、丁に対して、検査順番毎に、第一の配置表で決定された被検査配線パターンの検査時間を示したものである。 図７は、本実施形態に係る４本の配線パターンを同時検査し得る基板検査装置のブロック図である。 図８は、図７の基板検査装置が実行する基板検査方法のフローである。

符号の説明

１０：回路基板、 １２：配線パターン、 ２０：基板検査装置、 ２２ｕ：上側検査プローブ群、 ２２ｄ：下側検査プローブ群、 ２４ｕ：上側検査スキャナ、 ２４ｄ：下側スキャナ、 ２６：組み合わせ回路、 ２８−１〜２８−４：可変直流電圧源、 ３０−１〜３０−４：電流検出手段、 ３２−１〜３２−４：電圧源及び電流検出手段の回路、 ３６：制御部、 ３８：モニタ、 １００：回路基板、 １０２：配線パターン、 １０４ｕ：上側検査プローブ群、 １０４ｄ：下側検査プローブ群、 １０６ｕ：上側スキャナ、 １０６ｄ：下側スキャナ、 １１２：直流電圧源、 １１４：電流検出手段、
甲，乙，丙，丁：検査対象
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈ：ネット、 Ｐ１：基準検査点、 Ｐ２，Ｐ３、…：検査点、

Claims (6)

1. 回路基板の配線パターンの導通検査に際し、複数個のネット（Ｌ）を形成する複数本（Ｍ）の配線パターンの検査を、同時検査可能対象数（Ｎ）単位で並列処理可能な基板検査装置であって、
   前記回路基板の表面に現れた前記配線パターンに形成された検査点に対して押圧接触する検査プローブと、
   毎回の検査順番毎に、検査対象となる複数本（Ｎ）の配線パターンを選出する検査対象選出手段により選出された配線パターンからの出力を選択するスキャナ手段と、
   前記スキャナ手段からの出力を、検査対象となる個々の配線パターンに対応する出力に組み合わせる組み合わせ回路手段と、
   検査対象となる個々の配線パターンに対して検査電圧を印加して、流れる電流を検出する、個数Ｎの電圧源及び電流検出手段とを備え、
   前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、同時検査可能対象（個数Ｎ）に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として選出した配置表に基づき実施される、基板検査装置。
2. 請求項１に記載の基板検査装置において、
   前記スキャナ手段は、前記回路基板の両面に配置された上側及び下側スキャナを有し、
   上側及び下側スキャナは、各々、同時検査可能対象数（Ｎ）に基づきＮ個の検査プローブからの出力を選択するように構成され、
   前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、検査対象となる配線パターンの検査点の個数が前記回路基板の上面又は下面に関してＮ個以下であるという条件下で、同時検査可能対象（個数Ｎ）に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として順次選出した配置表に基づき実施される、基板検査装置。
3. 請求項１に記載の基板検査装置において、
   前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、更に、検査順番毎に、同時検査対象となる配線パターンの各々に必要な検査時間を揃えるため、検査対象となる配線パターンを再配置した配置表に基づき実施される、基板検査装置。
4. 回路基板の配線パターンの導通検査に際し、複数個のネット（Ｌ）を形成する複数本（Ｍ）の配線パターンの検査を、同時検査可能対象（個数Ｎ）単位で並列処理する基板検査方法であって、
   検査順番毎に、配置表に基づき、同時検査の対象となる複数本（Ｎ）の配線パターンを選出し、
   検査電圧を、前記複数本（Ｎ）の配線パターンに夫々印加し、
   所定時間後に、前記複数本（Ｎ）の配線パターンに夫々流れる電流を検出し、
   前記検査電圧値と検出電流値から、前記複数本（Ｎ）の配線パターンの個々の抵抗値を算出し、
   算出抵抗値と基準抵抗値と比較して、該配線パターンの良否を判定するステップを含み、
   前記配置表は、同時検査可能対象（個数Ｎ）に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として選出している、基板検査方法。
5. 請求項４に記載の基板検査方法において、
   前記配置表は、更に、検査順番毎に、同時検査対象となる配線パターンの各々に必要な検査時間を揃えるため、検査対象となる配線パターンを再配置した配置表である、基板検査方法。
6. 請求項４又は５に記載の基板検査方法において、
   検査順番毎に、予め検査時間を設定し、該検査時間は同時検査可能な配線パターンの中で最も長い配線パターン長に従って決定される、基板検査方法。

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