JP5014635B2

JP5014635B2 - 検査装置および検査方法

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Publication number: JP5014635B2
Application number: JP2006014496A
Authority: JP
Inventors: 誉下平
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2006-01-24
Filing date: 2006-01-24
Publication date: 2012-08-29
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Description

本発明は、一対のネット間の絶縁良否を判別する検査装置および検査方法に関するものである。

この種の検査装置として、特開２０００−２１４１８１号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、検査対象回路基板上の導体パターンに接触可能な一対のコンタクトプローブを備えて構成されている。この回路基板検査装置では、一対のコンタクトプローブを導体パターンの両端部に接触させて、検査用電流を導通させると共に両端部間の電圧値を測定する。次いで、検査用電流の電流値と、測定した電圧値に基づいて導体パターンの抵抗値を演算する。そして、すべての導体パターンについても抵抗値を演算して、演算した各抵抗値が所定の抵抗値未満のときには、その検査対象回路基板を良品と判別する。
特開２０００−２１４１８１号公報（第２−４頁、第４図）

ところが、上記した回路基板検査装置には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この種の回路基板検査装置を用いて、例えば、図４，５に示す回路基板Ｐｃ３における３つの回路部品Ｃ１〜Ｃ３で構成されたネットＮ１と、１つの回路部品Ｃ４（以下、区別しないときは「回路部品Ｃ」ともいう）で構成されたネットＮ２（以下、区別しないときは「ネットＮ」ともいう）との間の抵抗値を測定することによって両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁検査を実行することもある。ここで、各ネットＮ１，Ｎ２は、抵抗値が所定の基準値（例えば２０Ω）以下の回路部品Ｃでそれぞれ構成されている。例えば、ネットＮ１は、その抵抗値が７Ωの回路部品Ｃ１と、その抵抗値が２Ωの回路部品Ｃ２と、その抵抗値が７Ωの回路部品Ｃ３とが接続点Ｐ２で接続されて構成され、ネットＮ２は、その抵抗値が１０Ωの回路部品Ｃ４で構成されている。

この場合、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁検査を実行するために、例えば、ネットＮ１の回路部品Ｃ１〜Ｃ３が接続された各接続点Ｐ１〜Ｐ４のいずれかと、ネットＮ２の回路部品Ｃ４が接続された各接続点Ｐ５，Ｐ６（以下、区別しないときは「接続点Ｐ」ともいう）のいずれかとの間の抵抗値を測定する。この際に、両接続点Ｐ間の抵抗値が基準値よりも大きいときには両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると判別され、両接続点Ｐ間の抵抗値が基準値以下のときには両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると判別される。例えば、図４に示すように、両ネットＮ１，Ｎ２間が完全に絶縁されているときには、ネットＮ１におけるいずれの接続点ＰとネットＮ２におけるいずれの接続点Ｐとの間の抵抗値を測定したとしてもその値が基準値以上となるため、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると絶縁良否が判別される。

一方、図５に示すように、接続点Ｐ４と接続点Ｐ６との間がハンダブリッジＢｓによって短絡されている状態において、例えば両接続点Ｐ４，Ｐ６間の抵抗値を測定したときには、両接続点Ｐ４，Ｐ６間の抵抗値が非常に小さいために、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると正確に判別される。しかしながら、接続点Ｐ１と接続点Ｐ５との間の抵抗値を測定したときには、両接続点Ｐ１，Ｐ５間の抵抗値は、接続点Ｐ１と接続点Ｐ４との間の抵抗値、ハンダブリッジＢｓの抵抗値、および接続点Ｐ６と接続点Ｐ５との間の抵抗値を合計した値となる。つまり、両接続点Ｐ１，Ｐ５間の抵抗値は、回路部品Ｃ１の抵抗値（７Ω）と、回路部品Ｃ３の抵抗値（７Ω）と、回路部品Ｃ４の抵抗値（１０Ω）とを合計した値（２４Ω）となり、基準値（２０Ω）よりも大きくなるため、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると誤って判別される。したがって、この種の従来の回路基板検査装置では、両ネットＮ間の絶縁が不良のときに、両ネットＮ間の絶縁抵抗測定時における接続点Ｐの選択の仕方によっては絶縁良否を正確に判別することができないおそれがあるため、これを改善するのが好ましい。

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、一対のネット間における絶縁良否を正確に判別し得る検査装置および検査方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、回路基板における一対の接続点間に接続されて抵抗値が基準値以下の回路部品でそれぞれ構成されている第１ネットおよび第２ネットであって、相互が回路部品で接続されているか否かに拘わらず相互間の絶縁が良好な状態において当該第１ネットの前記各接続点と当該第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きい当該第１ネットおよび当該第２ネット間の絶縁良否を判別する判別部を備えている検査装置であって、前記判別部は、前記第１ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第１基準接続点とし、かつ前記第２ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第２基準接続点としたときに、前記両基準接続点間で測定した合成抵抗値が、前記第１ネットにおける前記第１基準接続点および当該第１基準接続点以外の当該各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記第２ネットにおける前記第２基準接続点および当該第２基準接続点以外の当該各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記基準値との合計値以上のときに、当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する。なお、本明細書における「絶縁」とは、本来絶縁されているべき箇所が正常に絶縁されている状態をいう。例えば、ネット間が回路部品で接続されていたとしてもそれ以外の箇所が正常に絶縁されていれば、本発明における「絶縁」されている状態に相当する。また、本明細書における「回路部品」とは、例えば、ダンピング抵抗等の抵抗、ジャンパー線、リレーの接点およびトランスの巻線等の部品をいう。

また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記判別部は、前記両基準接続点間の前記合成抵抗値が前記合計値未満のときには、前記第１ネットの前記各接続点と前記第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きいときに当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する。

また、請求項３記載の検査方法は、回路基板における一対の接続点間に接続されて抵抗値が基準値以下の回路部品でそれぞれ構成されている第１ネットおよび第２ネットであって、相互が回路部品で接続されているか否かに拘わらず相互間の絶縁が良好な状態において当該第１ネットの前記各接続点と当該第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きい当該第１ネットおよび当該第２ネット間の絶縁良否を判別する検査方法であって、前記第１ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第１基準接続点とすると共に前記第２ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第２基準接続点としたときの前記両基準接続点間で測定した合成抵抗値が、前記第１基準接続点および前記第１ネットにおける当該第１基準接続点以外の前記各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記第２基準接続点および前記第２ネットにおける当該第２基準接続点以外の前記各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記基準値との合計値以上のときに当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する。
また、請求項４記載の検査方法は、請求項３記載の検査方法において、前記両基準接続点間の前記合成抵抗値が前記合計値未満のときには、前記第１ネットの前記各接続点と前記第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きいときに当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する。

請求項１記載の検査装置および請求項３記載の検査方法によれば、上記した合計値および基準接続点間で測定した合成抵抗値に基づいて第１ネットおよび第２ネット間の絶縁良否を判別することにより、両ネット内のいずれかの接続点間の抵抗値が基準値以上であれば絶縁が良好であると判別する従来の検査装置とは異なり、基準接続点間で測定した合成抵抗値の測定時における基準接続点の選択の仕方に拘わらず、絶縁検査における判別を誤る事態を回避することができる結果、一対のネット間における絶縁良否を正確に判別することができる。

また、請求項２記載の検査装置および請求項４記載の検査方法によれば、判別部が、基準接続点間で測定した合成抵抗値が上記した合計値未満のときには一対のネット間の絶縁が不良であると判別していわゆる総当たり方式の絶縁検査を実行することにより、一対のネット間における絶縁良否を正確に判別することができる。一方、判別部が、基準接続点間で測定した合成抵抗値が上記した合計値以上のときには一対のネット間の絶縁が良好であると判別することにより、総当たり方式の絶縁検査を実行することなく一対のネット間における絶縁良否を正確かつ迅速に判別することができる。

以下、本発明に係る検査装置および検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。

検査装置１は、図１に示すように、各種の制御を実行する制御装置２と、導通検査および絶縁検査を実行するためのプローブ３ａ，３ｂ（以下、区別しないときには「プローブ３」ともいう）とを備えている。

制御装置２は、本発明における判別部としての機能を有すると共に測定部としての機能を有する制御部１１、ＲＡＭ１２およびＲＯＭ１３を備えている。制御部１１は、回路基板からネットＮを抽出するネット抽出処理、および図３に示す検査処理５０を実行する。この場合、ネット抽出処理とは、抵抗値が所定の基準値（例えば２０Ω）以下の回路部品Ｃのみで構成されている回路部品群（ネットＮ）を抽出する処理をいう。また、制御部１１は、各処理の実行時において図外のＸ−Ｙ移動機構を制御することにより、図２，４，５に示す各回路基板Ｐｃ１，Ｐｃ２，Ｐｃ３におけるＸ−Ｙ方向および上下方向（Ｚ方向）に対する各プローブ３の移動制御を実行する。ＲＡＭ１２は、後述する最大値データＤｍ１，Ｄｍ２（以下、区別しないときには、最大値データＤｍともいう）、ネットデータＤｎ、および抵抗値データＤｒを記憶する。ＲＯＭ１３は、検査処理５０において用いられる基準値Ｓを示す基準値データＤｓおよび制御部１１の動作プログラム等を記憶する。一方、各プローブ３ａ，３ｂは、電流供給用のコンタクトプローブと電圧測定用のコンタクトプローブとをそれぞれ備え、四端子法に従った抵抗値測定が可能となるように構成されている。

次に、検査装置１の全体的な動作および検査装置１を用いた検査方法について、図面を参照して説明する。

まず、ネット抽出処理時には、良品の回路基板であることが予め確認された例えば回路基板Ｐｃ１（図２参照）を検査装置１にセットする。この場合、この回路基板Ｐｃ１については、接続点Ｐ１および接続点Ｐ５の間が回路部品Ｃ５で接続されている点を除いて上記した回路基板Ｐｃ３と同等の構成のため、重複する説明は省略する。なお、実際には、この回路基板Ｐｃ１、後述する回路基板Ｐｃ２（同図参照）、および回路基板Ｐｃ３（以下、区別しないときには「回路基板Ｐｃ」ともいう）には、抵抗値が基準値以下の複数の回路部品Ｃ（例えば低抵抗値のダンピング抵抗等）が一対の接続点Ｐ間にそれぞれ接続されると共に、基準値以下の回路部品Ｃでそれぞれ構成された多数のネットＮが構成されているが、発明の理解を容易とするため、図２，４，５では、２つのネットＮ１，Ｎ２だけを図示している。

次いで、制御部１１がネット抽出処理を実行する。このネット抽出処理では、制御部１１は、まず、図外のＸ−Ｙ移動機構を制御することにより、隣接する一対の接続点Ｐに対して一対のプローブ３ａ，３ｂを接触させて、その一対の接続点Ｐ間の抵抗値を測定する。例えば、回路部品Ｃ１が接続された接続点Ｐ１，Ｐ２間の抵抗値を測定するときには、制御部１１は、接続点Ｐ１にプローブ３ａを接触させると共に、接続点Ｐ２にプローブ３ｂを接触させる。次いで、制御部１１は、両接続点Ｐ１，Ｐ２間にプローブ３ａ，３ｂの各電流供給用のコンタクトプローブを介して定電流の検査用信号を供給すると共に、プローブ３ａ，３ｂの各電圧測定用のコンタクトプローブを介して入力した検査用信号に基づいて両接続点Ｐ１，Ｐ２間の電圧値を測定することにより、両接続点Ｐ１，Ｐ２間の抵抗値を四端子法に従って測定する。また、制御部１１は、上記した測定方法と同様にして、残りの４つの回路部品Ｃ２〜Ｃ５が接続された一対の接続点Ｐの各々についてもその抵抗値を測定する。

次いで、制御部１１は、測定した５つの抵抗値を示す抵抗値データＤｒをＲＡＭ１２に記憶させる。これにより、ＲＡＭ１２には、抵抗値データＤｒとして、回路部品Ｃ１が接続された一対の接続点Ｐ１，Ｐ２間の抵抗値（例えば７Ω）、回路部品Ｃ２が接続された一対の接続点Ｐ２，Ｐ３間の抵抗値（例えば２Ω）、回路部品Ｃ３が接続された一対の接続点Ｐ２，Ｐ４間の抵抗値（例えば７Ω）、回路部品Ｃ４が接続された一対の接続点Ｐ５，Ｐ６間の抵抗値（例えば１０Ω）、および回路部品Ｃ５が接続された一対の接続点Ｐ１，Ｐ５間の抵抗値（例えば３３Ω）が記憶される。

続いて、制御部１１は、ＲＡＭ１２に記憶させた抵抗値データＤｒ、およびＲＯＭ１３に記憶されている基準値データＤｓを読み込む。次いで、制御部１１は、両データＤｒ，Ｄｓに基づいて、その抵抗値が所定の基準値Ｓ（例えば２０Ω）以下の回路部品Ｃで構成されているネットＮを抽出する。なお、各ネットＮは、回路部品Ｃを介して接続されていたとしても、その回路部品Ｃの抵抗値が基準値Ｓよりも大きいときには、互いに別のネットＮとして扱われる。この場合、制御部１１は、３つの回路部品Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３で構成されたネットＮ１を抽出すると共に、１つの回路部品Ｃ４で構成されたネットＮ２を抽出する。次いで、制御部１１は、２つのネットＮ１，Ｎ２の各々を構成する回路部品Ｃ（例えば、ネットＮ１を構成するのは３つの回路部品Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３）を示すネットデータＤｎをＲＡＭ１２に記憶させて、このネット抽出処理を終了する。

続いて、制御部１１に対して、図３に示す検査処理５０を実行させる。この場合、回路基板Ｐｃ１に代えて、回路基板Ｐｃ１と同等の回路構成に設計された検査対象の回路基板Ｐｃ２を検査装置１にセットする。次いで、制御部１１が検査処理５０を実行する。この検査処理５０では、制御部１１は、まず、ネットデータＤｎをＲＡＭ１２から読み込んで、ネットＮ１（本発明における第１ネット）と、ネットＮ２（本発明における第２ネット）とを検査対象として選択する。また、制御部１１は、ネットＮを構成する接続点ＰのいずれかをそのネットＮの基準接続点として決定する。例えば、制御部１１は、ネットＮ１の基準接続点（本発明における第１基準接続点）として接続点Ｐ１を決定すると共に、ネットＮ２の基準接続点（本発明における第２基準接続点）として接続点Ｐ５を決定する。

次いで、制御部１１は、選択したネットＮ１，Ｎ２に対する導通検査を実行する（ステップ５１）。この場合、制御部１１は、ネットＮ１のうちのいずれかの回路部品Ｃ（例えば回路部品Ｃ１）が接続されている一対の接続点Ｐ（例えば接続点Ｐ１，Ｐ２）間の抵抗値を上記した測定方法に従って測定する。この際に、制御部１１は、基準値Ｓを示す基準値データＤｓをＲＯＭ１３から読み込んで、測定した抵抗値と基準値Ｓとを比較する。この場合、制御部１１は、測定した抵抗値が基準値Ｓ以下のときには、抵抗値を測定した一対の接続点Ｐ間の導通が良好であると判別し、測定した抵抗値が基準値Ｓよりも大きいときには、抵抗値を測定した一対の接続点Ｐ間の導通が不良であると判別する。また、制御部１１は、上記した導通検査と同様にして、残りの４つの回路部品Ｃ２〜Ｃ５が接続されている一対の接続点Ｐの各々についても導通検査を実行する。

続いて、制御部１１は、基準接続点としての接続点Ｐ１と、ネットＮ１における接続点Ｐ１以外の接続点Ｐ２〜Ｐ４の各々との間の抵抗値を測定する。この場合、制御部１１は、一方のプローブ３ａを接続点Ｐ１に接触させると共に、他方のプローブ３ｂを接続点Ｐ２〜Ｐ４の各々に順次接触させる。この際に、制御部１１は、上記した測定方法と同様にして、両プローブ３が接触させられた一対の接続点Ｐ間における検査用信号の供給および電圧値の測定を実行することにより、接続点Ｐ１と、接続点Ｐ２〜Ｐ４の各々との間の抵抗値を測定する。これにより、ネットＮ１では、接続点Ｐ１，Ｐ２間の抵抗値（この例では７Ω）、接続点Ｐ１，Ｐ３間の抵抗値（この例では、７Ω＋２Ω＝９Ω）、および接続点Ｐ１，Ｐ４間の抵抗値（この例では、７Ω＋７Ω＝１４Ω）が測定される。次いで、制御部１１は、接続点Ｐ１とそれ以外の接続点Ｐ２〜Ｐ４の各々との間の抵抗値のうちで最も大きい値（この例では１４Ω）を示す最大値データＤｍ１をＲＡＭ１２に記憶させる（ステップ５２）。

続いて、制御部１１は、回路基板Ｐｃ２における全てのネットＮの導通検査を実行したか否かを判別する（ステップ５３）。この場合、１つの最大値データＤｍ１のみが記憶されているため、制御部１１は、全てのネットＮの導通検査を実行していないと判別して、ステップ５１においてネットＮ２の導通検査を実行する。この場合、制御部１１は、上記した導通検査と同様にして、ネットＮ２を構成する回路部品Ｃ４が接続された一対の接続点Ｐ５，６間の導通検査を実行する。続いて、制御部１１は、基準接続点としての接続点Ｐ５と、それ以外の接続点Ｐ（この例では、接続点Ｐ６のみ）との間の抵抗値を測定する。この際には、制御部１１は、一方のプローブ３ａを接続点Ｐ５に接触させると共に他方のプローブ３ｂを接続点Ｐ６に接触させつつ検査用信号の供給および電圧値の測定を実行することにより、両接続点Ｐ５，Ｐ６間の抵抗値を測定する。次いで、制御部１１は、ネットＮ２のうちで抵抗値が最も大きい一対の接続点Ｐ（この例では、接続点Ｐ５，Ｐ６）間の抵抗値を示す最大値データＤｍ２をＲＡＭ１２に記憶させる（ステップ５２）。

続いて、制御部１１は、ステップ５３において全てのネットＮの導通検査を実行したか否かを判別する。この場合、２つの最大値データＤｍ１，Ｄｍ２が記憶されているため、制御部１１は、全てのネットＮの導通検査を実行したと判別する。次いで、制御部１１は、回路基板Ｐｃ２における一対のネットＮを選択すると共に選択した両ネットＮにおける各基準接続点Ｐ間の抵抗値を測定する（ステップ５４）。例えば、制御部１１は、図２に示す回路基板Ｐｃ２において、一対のネットＮ１，Ｎ２を選択すると共に、上記した測定方法と同様にして、両ネットＮ１，Ｎ２における各基準接続点としての接続点Ｐ１，Ｐ５間の合成抵抗値（以下、この抵抗値を「基準接続点間抵抗値」ともいう）を測定する。この場合、両ネットＮ１，Ｎ２間の基準接続点間抵抗値として、接続点Ｐ１，Ｐ５間に接続された回路部品Ｃ５の抵抗値（この例では３３Ω）が測定される。

一方、制御部１１は、選択した両ネットＮ１，Ｎ２についての最大値データＤｍ１，Ｄｍ２を読み込むと共に、基準値データＤｓをＲＯＭ１３から読み込む。続いて、制御部１１は、最大値データＤｍ１の示す接続点Ｐ１，Ｐ４間の抵抗値（この例では１４Ω）と、最大値データＤｍ２の示す接続点Ｐ５，Ｐ６間の抵抗値（この例では１０Ω）と、基準値データＤｓの示す基準値Ｓ（この例では２０Ω）とを合計することにより、３つの値の合計値Ｔ（この例では４４Ω）を算出する。

次いで、制御部１１は基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ以上か否かを判別する（ステップ５５）。この例では、基準接続点間抵抗値（この例では３３Ω）が合計値Ｔ（この例では４４Ω）未満のため、制御部１１は、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると暫定的に判別して、総当たり方式の絶縁検査を実行する（ステップ５６）。一方、基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ以上のときには、制御部１１は、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると判別する。この場合、基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ未満のときに両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると暫定的に判別するのは以下の理由からである。つまり、従来の検査装置では、ネットＮ１内の基準接続点との間の抵抗値が最も大きいネットＮ１内の接続点Ｐ（この例ではＰ４）と、ネットＮ２内の基準接続点との間の抵抗値が最も大きいネットＮ２内の接続点Ｐ（この例ではＰ６）との間が短絡したときに最も誤った判別を行うこととなる。

例えば、ネットＮ１内の基準接続点との間の抵抗値が最も大きいネットＮ１内の接続点Ｐ（この例ではＰ４）と、ネットＮ２内の基準接続点との間の抵抗値が最も大きいネットＮ２内の接続点Ｐ（この例ではＰ６）との間が短絡しているときには、両基準接続点間の合成抵抗値は、各ネットＮ内の基準接続点と、その基準接続点間の抵抗値が最も大きいネットＮ内の接続点Ｐとの間の抵抗値に応じて基準値Ｓよりも大きくなったり小さくなったりする。したがって、両基準接続点間の合成抵抗値が基準値Ｓよりも大きいときに絶縁が良好と判別した場合、この接続点Ｐ（この例ではＰ４，Ｐ６）間が短絡している（絶縁が不良である）にも拘わらず良好と誤って判別するおそれがある。つまり、その基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ未満のときには、その接続点Ｐ間で短絡が生じている可能性がある。したがって、制御部１１は、基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ未満のときには、誤った判別を回避すべく、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると暫定的に判別して、総当たり方式の絶縁検査によって両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁を最終的に判別する。

総当たり方式の絶縁検査においては、制御部１１は、ネットＮ１における全ての接続点Ｐ１〜Ｐ４のうちの各１つと、ネットＮ２における全ての接続点Ｐ５，Ｐ６のうちの各１つとの組み合わせの全てについての両接続点Ｐ間の抵抗値を測定する。具体的には、制御部１１は、接続点Ｐ１，Ｐ５間の抵抗値（この例では３３Ω）、接続点Ｐ１，Ｐ６間の抵抗値（この例では、３３Ω＋１０Ω＝４３Ω）、接続点Ｐ２，Ｐ５間の抵抗値（この例では、７Ω＋３３Ω＝４０Ω）、接続点Ｐ２，Ｐ６間の抵抗値（この例では、４０Ω＋１０Ω＝５０Ω）、接続点Ｐ３，Ｐ５間の抵抗値（この例では、２Ω＋７Ω＋３３Ω＝４２Ω）、接続点Ｐ３，Ｐ６間の抵抗値（この例では、４２Ω＋１０Ω＝５２Ω）、接続点Ｐ４，Ｐ５間の抵抗値（この例では、７Ω＋７Ω＋３３Ω＝４７Ω）、および接続点Ｐ４，Ｐ６間の抵抗値（この例では、４７Ω＋１０Ω＝５７Ω）の８つの抵抗値を測定する。

次いで、制御部１１は、８つの抵抗値の各々と基準値Ｓとを比較する。この際に、制御部１１は、８つの抵抗値のすべてが基準値Ｓ以上のときには両ネットＮ間の絶縁が良好であると判別し、８つの抵抗値のうちで１つでも基準値Ｓ未満のときには両ネットＮ間の絶縁が不良であると判別する。この例では、制御部１１は、回路基板Ｐｃ２において測定した８つの抵抗値が全て基準値Ｓ以上のため、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると判別する。この場合、例えば、図２に示す回路基板Ｐｃ２のように、その抵抗値が基準値Ｓ以上でかつ合計値Ｔ以下の抵抗値の回路部品Ｃ５が接続点Ｐ１，Ｐ５間に接続されているときには、ステップ５５において両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が暫定的に不良であると判別されるものの、ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好で８つの抵抗値のすべてが基準値Ｓ以上となるため、ステップ５６において両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると正確に判別される。

次いで、制御部１１は、ステップ５４からステップ５６までの絶縁検査を回路基板Ｐｃ２における全てのネットによる全ての組み合わせに対して実行したか否かを判別する（ステップ５７）。この際に、制御部１１は、まだ全ての組み合わせに対して絶縁検査を実行していないときには、他の一対のネット（例えば、ネットＮ１と図外のネット）についてステップ５４以降の処理を実行して、全ての組み合わせに対して絶縁検査を実行したときには、この検査処理５０を終了する。一方、ステップ５５において基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ以上のときには、制御部１１は、ステップ５６の総当たり方式の絶縁検査を実行することなく両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると判別して、ステップ５７を実行する。この場合、制御部１１が基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ以上のときには一対のネットＮ間の絶縁が良好であると判別することにより、ステップ５６の総当たり方式の絶縁検査を実行することなく一対のネットＮ間における絶縁良否が正確に判別される。

これに対して、図５に示すように、接続点Ｐ４，Ｐ６間が例えばハンダブリッジＢｓによって短絡されて従来の検査装置では絶縁良否を正確に判別することができないおそれのある回路基板Ｐｃ３に対して検査処理５０を実行するときには、制御部１１は、ステップ５４において両接続点Ｐ１，Ｐ５間の抵抗値を測定する。この場合、制御部１１は、上記した測定方法と同様にして、基準接続点間抵抗値として、接続点Ｐ１，Ｐ４間の抵抗値（この例では１４Ω）と、接続点Ｐ５，Ｐ６間の抵抗値（この例では１０Ω）とを合計した値（この例では２４Ω）を算出する。

次いで、基準接続点間抵抗値（この例では２４Ω）が合計値Ｔ（この例では４４Ω）未満のため、制御部１１は、ステップ５５において両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると暫定的に判別して、総当たり方式の絶縁検査を実行する（ステップ５６）。この場合、いずれかの接続点Ｐ間で短絡していたときには、基準接続点間抵抗値が常に合計値Ｔ未満となるため、接続点Ｐ間に短絡が生じていたときは、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると確実に暫定的に判別される。絶縁が不良であると暫定的に判別したときには、制御部１１は、上記した動作と同様にして、両ネットＮ１，Ｎ２間における８つの抵抗値を測定すると共に８つの抵抗値の各々と基準値Ｓとを比較する。この際に、例えば、接続点Ｐ４と接続点Ｐ６との間の抵抗値（つまりハンダブリッジＢｓの抵抗値）が基準値Ｓ未満のため、制御部１１は、回路基板Ｐｃ３における両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が不良であると判別する。この場合、制御部１１が、合計値Ｔおよび基準接続点間抵抗値に基づいて両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁良否を判別することにより、両ネットＮ１，Ｎ２内のいずれかの接続点Ｐ間の抵抗値が基準値Ｓ以上のときに常に絶縁が良好と判別する従来の検査装置とは異なり、基準接続点間抵抗値の測定時における基準接続点の選択の仕方に拘わらず、絶縁検査における判別を誤る事態を回避することが可能となる。

このように、この検査装置１および上記した検査方法によれば、合計値Ｔおよび基準接続点間抵抗値に基づいて一対のネットＮ間の絶縁良否を判別することにより、両ネットＮ１，Ｎ２内のいずれかの接続点Ｐ間の抵抗値が基準値Ｓ以上であれば絶縁が良好であると判別する従来の検査装置とは異なり、基準接続点間抵抗値の測定時における基準接続点の選択の仕方に拘わらず、絶縁検査における判別を誤る事態を回避することができる結果、一対のネットＮ間における絶縁良否を正確に判別することができる。

また、この検査装置１および検査方法によれば、制御部１１が、基準接続点間抵抗値が合計値Ｔ以上のときには一対のネットＮ間の絶縁が良好であると判別することにより、総当たり方式の絶縁検査を実行することなく一対のネットＮ間における絶縁良否を正確かつ迅速に判別することができる。

また、この検査装置１では、制御部１１が、総当たり方式の絶縁検査で測定した抵抗値のすべてが基準値Ｓ以上の（または基準値Ｓを超える）ときには両ネットＮ間の絶縁が良好であると判別する。この場合、例えば、図２に示す回路基板Ｐｃ２のように、その抵抗値が基準値Ｓ以上でかつ合計値Ｔ以下の抵抗値の回路部品Ｃ５が接続点Ｐ１，Ｐ５間に接続されているときには、ステップ５５において両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が暫定的に不良であると判別されるものの、ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好で８つの抵抗値のすべてが基準値Ｓ以上となるため、ステップ５６において両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁が良好であると正確に判別される。したがって、この検査装置１および検査方法によれば、その抵抗値が基準値Ｓ以上でかつ合計値Ｔ以下の抵抗値の回路部品が基準接続点間に接続されているときであっても、両ネットＮ１，Ｎ２間の絶縁良否を正確に判別することができる。

なお、本発明は、上記した構成に限定されない。例えば、制御部１１が本発明における判別部および測定部として機能する例について上記したが、判別部および測定部を別個独立させた構成を採用することもできる。また、基準値Ｓを２０Ωとしてネット抽出処理および検査処理５０を実行する例について上記したが、基準値Ｓについては任意に設定することができる。さらに、図２，４に示す３種類の回路基板Ｐｃに対する検査時において、制御部１１がネットＮ１の基準接続点として接続点Ｐ１を選択すると共にネットＮ２の基準接続点として接続点Ｐ５を選択する例について説明したが、これに限定されない。例えば、制御部１１は、各ネットＮにおける任意の接続点Ｐ（例えば、ネットＮ１における接続点Ｐ２〜Ｐ４のいずれか、およびネットＮ２における接続点Ｐ６）を基準接続点として選択することができる。このように選択したとしても、上記した構成と同様の効果を奏することができる。

また、Ｘ−Ｙ移動機構を制御して各プローブ３を移動制御する検査装置１を例に挙げて説明したが、本発明は、複数のプローブを植設した一括式（いわゆるピンボードタイプ）の検査装置にも適用可能なことは勿論である。

検査装置１の構成を示すブロック図である。回路基板Ｐｃ１，Ｐｃ２における一対のネットＮ１，Ｎ２の近傍を示す平面図である。検査処理５０のフローチャートである。回路基板Ｐｃ３における一対のネットＮ１，Ｎ２の近傍の一例を示す平面図である。回路基板Ｐｃ３における短絡した一対のネットＮ１，Ｎ２の近傍の一例を示す平面図である。

符号の説明

１検査装置
１１制御部
Ｃ１〜Ｃ５回路部品
Ｄｍ１，Ｄｍ２最大値データ
Ｎ１，Ｎ２ネット
Ｐ１〜Ｐ６接続点
Ｐｃ１〜Ｐｃ３回路基板
Ｓ基準値
Ｔ合計値

Claims

回路基板における一対の接続点間に接続されて抵抗値が基準値以下の回路部品でそれぞれ構成されている第１ネットおよび第２ネットであって、相互が回路部品で接続されているか否かに拘わらず相互間の絶縁が良好な状態において当該第１ネットの前記各接続点と当該第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きい当該第１ネットおよび当該第２ネット間の絶縁良否を判別する判別部を備えている検査装置であって、
前記判別部は、前記第１ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第１基準接続点とし、かつ前記第２ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第２基準接続点としたときに、前記両基準接続点間で測定した合成抵抗値が、前記第１ネットにおける前記第１基準接続点および当該第１基準接続点以外の当該各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記第２ネットにおける前記第２基準接続点および当該第２基準接続点以外の当該各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記基準値との合計値以上のときに、当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する検査装置。
前記判別部は、前記両基準接続点間の前記合成抵抗値が前記合計値未満のときには、前記第１ネットの前記各接続点と前記第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きいときに当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する請求項１記載の検査装置。
回路基板における一対の接続点間に接続されて抵抗値が基準値以下の回路部品でそれぞれ構成されている第１ネットおよび第２ネットであって、相互が回路部品で接続されているか否かに拘わらず相互間の絶縁が良好な状態において当該第１ネットの前記各接続点と当該第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きい当該第１ネットおよび当該第２ネット間の絶縁良否を判別する検査方法であって、
前記第１ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第１基準接続点とすると共に前記第２ネットにおける前記接続点のうちのいずれかを第２基準接続点としたときの前記両基準接続点間で測定した合成抵抗値が、前記第１基準接続点および前記第１ネットにおける当該第１基準接続点以外の前記各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記第２基準接続点および前記第２ネットにおける当該第２基準接続点以外の前記各接続点の間の抵抗値のうちで最も大きい抵抗値と、前記基準値との合計値以上のときに当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する検査方法。
前記両基準接続点間の前記合成抵抗値が前記合計値未満のときには、前記第１ネットの前記各接続点と前記第２ネットの前記各接続点との間の前記各抵抗値が前記基準値よりも大きいときに当該両ネット間の絶縁が良好であると判別する請求項３記載の検査方法。