TWI649575B

TWI649575B - Resistance measuring device, substrate inspection device, inspection method, and inspection Fixture maintenance method

Info

Publication number: TWI649575B
Application number: TW104109482A
Authority: TW
Inventors: 山下宗寬
Original assignee: 日商日本電產理德股份有限公司
Priority date: 2014-03-26
Filing date: 2015-03-25
Publication date: 2019-02-01
Also published as: CN104950182B; JP6375661B2; TW201537202A; JP2015184228A; CN104950182A; KR20150111865A; KR102247989B1

Abstract

本發明提供一種容易判定探測器是否具有缺陷的電阻測定裝置、基板檢查裝置、檢查方法、及檢查用夾具的維護方法。使二電流探測器、二電壓探測器與導體圖案接觸。通過二電流探測器使導體圖案中流通第一電流時取得由二電壓探測器測定的第一電壓。在通過二電流探測器使導體圖案中流通與第一電流反向的第二電流時取得由二電壓探測器測定的第二電壓。在通過二電流探測器不使導體圖案中流通電流的狀態下取得由二電壓探測器測定的第三電壓。基於第一電壓、第二電壓以及第三電壓判定探測器是否有缺陷。

Description

電阻測定裝置、基板檢查裝置、檢查方法、及檢查用夾具的維護方法

本發明涉及進行電阻測定的電阻測定裝置、使用了該電阻測定裝置的基板檢查裝置、用於這些裝置的探測器的檢查方法、以及檢查用夾具的維護方法。

以往，為了檢查形成於印刷佈線基板等的基板的佈線圖案，從而對佈線圖案的電阻值進行測定。作為佈線圖案的檢查，必然要檢查有無斷線，並且還需要檢測佈線圖案的寬度變細，或厚度變薄這樣的未達到斷線的缺陷。在檢測這樣的未達到斷線的缺陷時，需要進行高精度的電阻測定。作為這樣的高精度的電阻測定方法，已知有使用四端子測定法的基板檢查裝置(例如，參照專利文獻1)。

在四端子測定法中，利用用於使電阻測定位置中流通電阻測定用電流的兩根電流探測器和用於測定電阻測定位置的電壓的兩根電壓探測器。由此，由於電阻測定用電流在電壓探測器中不流通，所以因電壓探測器本身的電阻導致的電壓降減少，可以進行高精度的電阻測定。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-013590號公報

然而，隨著時間的推移，有時會在上述的電壓探測器的探針、用於將探針與電壓計連接的電極等上形成氧化膜。一旦在探針、電極等形成氧化膜，就會產生整流作用和電阻成分。因此，如果使用形成了氧化膜的電壓探測器進行電阻測定，則電阻值的測定精度降低。並且，如果根據精度降低了的電阻測定值進行基板檢查，則基板的檢查精度降低。因此，形成了氧化膜的電壓探測器需要通過清潔而去除氧化膜。

另外，作為電壓探測器中產生誤差的主要因素，除了氧化膜之外，還有因塞貝克效應而產生的電動勢。因該塞貝克效應而產生的電動勢和因氧化膜而產生的整流作用由於均具有極性，因而難以將它們區別。因此，存在如下的缺陷，即難以檢測出在電壓探測器形成有氧化膜的缺陷的產生。

【發明內容】

本發明的目的在於提供一種容易判定探測器的優劣的電阻測定裝置、使用了該電阻測定裝置的基板檢查裝置、探測器的檢查方法、以及檢查用夾具的維護方法。

本發明的電阻測定裝置是用於測定導體的電阻值的電阻測定裝置，包含：第一探測器和第二探測器，用於接觸到所述導體；第一電壓取得部，在通過上述第一探測器和第二探測器使上述導體中流通預定的第一電流時，通過上述第一探測器和第二探測器取得上述導體中產生的第一電壓；第二電壓取得部，在通過上述第一探測器和第二探測器使上述導體中流通與上述第一電流反向的第二電流時，通過上述第一探測器和第二探測器取得上述導體中產生的第二電壓；第三電壓取得部，在通過上述第一探測器和第二探測器不使上述導體中流通電流的狀態下，通過上述第一探測器和第二探測器取得上述導體中產生的第三電壓；判定部，根據上述第一電壓、上述第二電壓以及上述第三電壓來判定上述第一探測器和第二探測器是否具有缺陷。

另外，本發明的檢查方法是檢查用於接觸到導體的第一探測器和第二探測器的缺陷的檢查方法，包含以下步驟：第一電壓取得步驟，使上述第一探測器和第二探測器與上述導體接觸，使上述導體中流通預定的第一電流時取得通過上述第一探測器和第二探測器測定的第一電壓；第二電壓取得步驟，在通過上述第一探測器和第二探測器使上述導體中流通與上述第一電流反向的第二電流時取得通過上述第一探測器和第二探測器測定的第二電壓；第三電壓取得步驟，在通過上述第一探測器和第二探測器不使上述導體中流通電流的狀態下，取得通過上述第一探測器和第二探測器測定的第三電壓；判定步驟，根據上述第一電壓、上述第二電壓以及上述第三電壓來判定上述第一電壓探測器和第二電壓探測器是否具有缺陷。

另外，本發明的檢查用夾具的維護方法是包含用於接觸到導體的第一探測器和第二探測器的檢查用夾具的維護方法，包含以下步驟：第一電壓取得步驟，使上述第一探測器和第二探測器與上述導體接觸，使上述導體中流通預定的第一電流時取得通過上述第一探測器和第二探測器測定的第一電壓；第二電壓取得步驟，在通過上述第一探測器和第二探測器使上述導體中流通與上述第一電流反向的第二電流時取得通過上述第一探測器和第二探測器測定的第二電壓；第三電壓取得步驟，在通過上述第一探測器和第二探測器不使上述導體中流通電流的狀態下，取得通過上述第一探測器和第二探測器測定的第三電壓的第三電壓取得步驟；判定步驟，根據上述第一電壓、上述第二電壓以及上述第三電壓來判定是否需要清潔上述檢查用夾具。

根據這些電阻測定裝置、檢查方法，以及檢查用夾具的維護方法，使用第一探測器和第二探測器取得使要測定電阻的導體中流通第一電流時導體中產生的第一電壓、使導體中流通與第一電流相反方向的第二電流時導體中產生的第二電壓以及不使導體中流通電流的狀態下導體中產生的第三電壓。就上述第一電壓、上述第二電壓以及上述第三電壓而言，如果在第一探測器和第二探測器上沒有形成氧化膜，則第一電壓與第三電壓之間的關係和第二電壓與第三電壓之間的關係表現出對稱的特性。另一方面，如果在第一探測器和第二探測器形成了氧化膜而成為有缺陷的狀態，則由於氧化膜的整流作用，第一電壓與第三電壓之間的關係和第二電壓與第三電壓之間的關係的對稱性被打亂。因此，根據第一電壓、第二電壓以及第三電壓，能夠容易判定第一探測器和第二探測器是否具有缺陷。另外，在第一探測器和第二探測器形成了氧化膜而成為有缺陷的狀態的情況下，認為需要清潔包含第一探測器和第二探測器的檢查用夾具。在此，判定部可以根據第一電壓、第二電壓以及第三電壓來判定是否需要清潔檢查用夾具。

另外，較佳地，上述第一探測器包含用於使上述導體中流通電流的第一電流探測器和用於檢測通過上述電流在上述導體中產生的電壓的第一電壓探測器，上述第二探測器包含用於使上述導體中流通電流的第二電流探測器和用於檢測通過上述電流在上述導體中產生的電壓的第二電壓探測器，上述第一電壓取得部在上述第一電流探測器和第二電流探測器之間流通上述第一電流時取得通過上述第一電壓探測器和上述第二電壓探測器測定的上述第一電壓，上述第二電壓取得部在上述第一電流探測器和第二電流探測器之間流通與上述第一電流反向的第二電流時取得通過上述第一電壓探測器和上述第二電壓探測器測定的上述第二電壓，上述第三電壓取得部在上述第一電流探測器和第二電流探測器之間不流通電流的狀態下，取得通過上述第一電壓探測器和上述第二電壓探測器測定的上述第三電壓。

根據該構成，在具備第一電流探測器和第二電流探測器、第一電壓探測器和第二電壓探測器，且可通過四端子測定法進行電阻測定的電阻測定裝置中，能夠容易地判定第一電壓探測器和第二電壓探測器是否具有缺陷。

另外，較佳地，上述判定部在設上述電流和上述電壓為參數的二維平面上，由上述第一電流和上述第一電壓表示的第一點、由上述第二電流和上述第二電壓表示的第二點以及由電流零值和上述第三電壓表示的第三點沒有大致分佈在直線上時，判定上述第一探測器和第二探測器有缺陷。

根據該構成，就第一電壓、第二電壓以及第三電壓而言，如果在第一探測器和第二探測器沒有形成氧化膜，則在設電流和電壓為參數的二維平面上，分佈在直線上。另一方面，如果在第一探測器和第二探測器形成了氧化膜而成為有缺陷的狀態，則由於氧化膜的整流作用，第一點、第二點以及第三點沒有分佈在直線上。因此，判定部在第一點、第二點以及第三點沒有大致分佈在直線上時，能夠容易地判定第一探測器和第二探測器有缺陷。

另外，較佳地，上述第一電流和上述第二電流的電流值的絕對值彼此相等。

根據該構成，容易使利用判定部進行第一探測器和第二探測器是否具有缺陷的判定處理簡單化。

另外，上述判定部在作為上述第一電壓與上述第三電壓之差的第一差值和作為上述第二電壓與上述第三電壓之差的第二差值的差超過預先設定的判定閾值時，可以判定上述第一探測器和第二探測器有缺陷。

根據該構成，第一電流和第二電流是絕對值彼此相等且方向相反的電流。在該情況下，如果第一點、第二點以及第三點配置在直線上，則第一差值和第二差值相等。因此，第一差值與第二差值之差超過預先設定的判定閾值而較大時，能夠容易地判定第一探測器和第二探測器有缺陷。

另外，本發明的基板檢查裝置具備上述的電阻測定裝置、以及根據將形成於基板的佈線圖案作為上述導體並通過上述第一探測器和第二探測器測定的電壓對上述基板進行檢查的基板檢查部。

根據該構成，能夠容易地判定用於基板檢查的探測器是否具有缺陷。

這樣構成的電阻測定裝置、基板檢查裝置、以及檢查方法可以容易地判定探測器是否具有缺陷。

1、1a‧‧‧基板檢查裝置(電阻測定裝置)

2‧‧‧恒定電流源

3‧‧‧電流計

4‧‧‧電壓計

5‧‧‧控制部

11‧‧‧第一探針

21‧‧‧第二探針

31‧‧‧第三探針

41‧‧‧第四探針

12‧‧‧第一連接電極

22‧‧‧第二連接電極

32‧‧‧第三連接電極

42‧‧‧第四連接電極

13‧‧‧第一導線

23‧‧‧第二導線

33‧‧‧第三導線

43‧‧‧第四導線

51‧‧‧第一電壓取得部

52‧‧‧第二電壓取得部

53‧‧‧第三電壓取得部

54‧‧‧判定部

55‧‧‧電阻計算部

56‧‧‧基板檢查部

A1、A2、B1、B2、C1、C2‧‧‧開關

Im‧‧‧第二電流

Ip‧‧‧第一電流

M‧‧‧導體圖案(導體)

M1‧‧‧一側的端部

M2‧‧‧另一側的端部

P1‧‧‧第一點

P2‧‧‧第二點

P3‧‧‧第三點

Pc1‧‧‧第一電流探測器

Pc2‧‧‧第二電流探測器

Pr1‧‧‧第一探測器

Pr2‧‧‧第二探測器

Pv1‧‧‧第一電壓探測器

Pv2‧‧‧第二電壓探測器

Rx‧‧‧電阻值

Vd‧‧‧差值

Vd1‧‧‧第一差值

Vd2‧‧‧第二差值

Vm‧‧‧第二電壓

Vo‧‧‧第三電壓

Vp‧‧‧第一電壓

Vth‧‧‧判定閾值

第1圖是表示具備本發明的一個實施方式的電阻測定裝置的基板檢查裝置的構成的一個例子的示意圖。

第2圖是表示使用了本發明的一個實施方式的檢查方法的基板檢查裝置的動作的一個例子的流程圖。

第3圖是用於說明電壓探測器中產生的氧化膜的等效電路。

第4圖是用於說明檢查方法的時序圖。(a)表示電壓探測器P為合格品(沒有形成氧化膜)的情況，(b)表示電壓探測器有缺陷(形成了氧化膜)的情況。

第5圖是用於說明判定部的判定方法的說明圖。(a)表示電壓探測器P為合格品(沒有形成氧化膜)的情況，(b)表示電壓探測器有缺陷(形成了氧化膜)的情況。

第6圖是表示基板檢查裝置的其它的例子的示意圖。

以下，根據附圖說明本發明的實施方式。應予說明，在各圖中標記了相同符號的構成表示相同的構成，省略其說明。第1圖是表示具備本發明的一個實施方式的電阻測定裝置的基板檢查裝置的構成的一個例子的示意圖。

第1圖所示的基板檢查裝置1具備恒定電流源2、電流計3、電壓計4、第一電流探測器Pc1(第一電流探測器)、第二電流探測器Pc2(第二電流探測器)、第一電壓探測器Pv1(第一電壓探測器)、第二電壓探測器Pv2(第二電壓探測器)、開關A1、A2、B1、B2、C1、C2、以及控制部5。基板檢查裝置1通過四端子測定法進行電阻測定。

第一電流探測器Pc1具備第一探針11、第一連接電極12以及第一導線13。第二電流探測器Pc2具備第二探針21、第二連接電極22以及第二導線 23。第一電壓探測器Pv1具備第三探針31、第三連接電極32以及第三導線33。第二電壓探測器Pv2具備第四探針41、第四連接電極42以及第四導線43。電流探測器Pc1、Pc2以及電壓探測器Pv1、Pv2構成為例如能夠相對於基板檢查裝置1和/或電阻測定裝置裝卸的檢查用夾具。

第一至四探針11、21、31、41是例如直徑為100μm~200μm左右的具有彈性(撓性)的線狀的觸頭。第一至四探針11、21、31、41由例如鎢、高速鋼(SKH)、鈹銅(Be-Cu)等金屬或其他的導電體形成。

第一探針11、第二探針21的前端部與導體圖案M的一側的端部M1接觸。第三探針31、第四探針41的前端部與導體圖案M的另一側的端部M2接觸。在第1圖中，示意地記載了導體圖案M。導體圖案M可以是作為檢查物件的基板的佈線圖案，也可以是用於檢查電壓探測器Pv1、Pv2的檢查用的導體。

第一至四連接電極12、22、32、42是用於將第一至四探針11、21、31、41與第一至四導線13、23、33、43連接的電極。第一至四探針11、21、31、41的後端部抵接到第一至四連接電極12、22、32、42，從而與第一至四連接電極12、22、32、42接觸。

開關A1、A2、B1、B2、C1、C2是例如電晶體等的半導體開關和/或繼電器開關等各種的開關元件。開關A1、A2、B1、B2是用於切換經由電流探測器Pc1、Pc2而流入導體圖案M的電流的方向的切換開關。開關C1、C2切換第三探針31、第四探針41是否與電壓計4連接。開關A1、A2、B1、B2、C1、C2根據來自控制部5的控制信號進行開、關。

恒定電流源2是使導體圖案M中流通固定電流的定電流電路。電流計3測定從恒定電流源2供給到導體圖案M的電流值。恒定電流源2通過以使例如利用電流計3測定的電流值變成預先設定的測定用電流值Is的方式調節輸出電流，從而輸出固定的測定用電流值Is的測定用電流。測定用電流值Is例如為20mA。

第一探針11經由第一連接電極12、第一導線13以及開關A1與恒定電流源2的一個輸出端子連接，並且經由第一連接電極12、第一導線13、開關B1以及電流計3與恒定電流源2的另一個輸出端子連接。第二探針21經由第二連接電極22、第二導線23以及開關B2與恒定電流源2的一個輸出端子連接，並且經由第二連接電極22、第二導線23、開關A2、以及電流計3與恒定電流源2的另一個輸出端子連接。

第三探針31經由第三連接電極32、第三導線33、以及開關C1與電壓計4的一個輸入端子連接。第四探針41經由第四連接電極42、第四導線43、以及開關C2與電壓計4的另一個輸入端子連接。

電壓計4測定通過電壓探測器Pv1、Pv2檢測出的電壓，將其測定值向控制部5輸出。

控制部5例如由執行預定的運算處理的CPU(Central Proccssing Unit：中央處理器)、臨時儲存資料的RAM(Random Access Memory：隨機存取記憶體)、儲存預定的控制程序的ROM(Read Only Memory：唯讀記憶體)和/或HDD(Hard Disk Drive：硬碟驅動器)等儲存部、以及它們的周邊電路等構成。並且，控制部5通過執行例如儲存於儲存部的控制程序，從而作为第一电壓取得部51、第二电壓取得部52、第三电壓取得部53、判定部54、电阻計算部55、以及基板檢查部56發揮功能。

第一電壓取得部51在使導體圖案M中流通從第一電流探測器Pc1朝向第二電流探測器Pc2的方向的第一電流Ip時取得通過電壓探測器Pv1、Pv2測定的第一電壓Vp。第一電流Ip例如可以為20mA。

第二電壓取得部52在使導體圖案M中流通與第一電流Ip方向相反的從第二電流探測器Pc2朝向第一電流探測器Pc1的方向流通第二電流Im時取得通過電壓探測器Pv1、Pv2測定的第二電壓Vm。第二電流Im例如可以為與第一電流Ip的絕對值相等、且極性相反的-20mA。

第三電壓取得部53在電流探測器Pc1、Pc2之間不流通電流的狀態下，取得通過電壓探測器Pv1、Pv2測定的第三電壓Vo。

第一差值Vd1是第一電壓Vp與第三電壓Vo之差的絕對值，第二差值Vd2是第二電壓Vm與第三電壓Vo之差的絕對值，差值Vd是第一差值Vd1和第二差值Vd的差，判定部54在差值Vd(=Vd1-Vd2)超過預先設定的判定閾值Vth時，判斷電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷。

應予說明，判定部54也可以判定包含電壓探測器Pv1、Pv2的檢查夾具是否需要清潔。

電阻計算部55根據第一電壓Vp、第二電壓Vm、第一電流Ip、以及第二電壓Vm算出導體圖案M的電阻值Rx。具體而言，第一電流Ip和第二電流Im的絕對值相等時，如果將其電流值設為Ia，則電阻計算部55可以基於下述的式(1)算出電阻值Rx。

Rx=(Vp-Vm)/(Ia×2)=(Vp-Vm)/(20mA×2)…(1)

另外，預先精密地測定電壓探測器Pv1、Pv2的內部電阻Ri，電阻計算部55較佳根據內部電阻Ri校正電阻值Rx。具體而言，電阻計算部55也可以基於下述的式(2)而算出電阻值Rx。根據式(2)，可以提高電阻值Rx的計算精度。

Rx={(Vp-Vm)/(Ia×2)}-Ri…(2)

電阻計算部55基於通過電壓探測器Pv1、Pv2測定的第一電壓Vp、第二電壓Vm算出的電阻值Rx，基板檢查部56基於電阻值Rx進行形成有導體圖案M的基板的檢查。具體而言，基板檢查部56例如在比較電阻值Rx和預先儲存於儲存部的基準值，電阻值Rx超過基準值時，判定該基板有缺陷。

接下來，對執行本發明的一個實施方式的檢查方法或者檢查用夾具的維護方法的基板檢查裝置1的動作進行說明。第2圖是表示使用了本發明的一個實施方式的檢查方法的基板檢查裝置1的動作的一個例子的流程圖。第3圖是用於說明電壓探測器Pv1、Pv2中產生的氧化膜的等效電路。第3圖所示的等效電路，例如是示意性地表示在第三探針31的探測器後端部X1與第三連接電極32的電極表面X2的接觸部形成了氧化膜的情況下的該接觸部分的等效電路。

如第3圖所示，若產生了在探測器後端部X1與電極表面X2的接觸部形成了氧化膜的缺陷，則形成了通常的接觸電阻Rc、因塞貝克效應產生熱電動勢的電源Vc與電阻Rvc的串聯電路、因氧化膜的整流作用產生的二極體Dc與電阻Rdc的串聯電路以並聯的方式連接的等效電路。

這樣，由形成了氧化膜而產生的整流作用即使根據上述的式(1)、式(2)也無法抵消，所以電阻值Rx的測定精度降低。另外，氧化膜由於事後伴隨時間的推移而形成，所以因氧化膜產生的電阻成分不包含於預先測定的內部電阻Ri。因此，電阻計算部55即使根據式(2)也無法排除氧化膜的影響。

因此，基板檢查裝置1通過以下的檢查方法檢查是否產生在電壓探測器Pv1、Pv2形成氧化膜的缺陷。由此，如果判斷為在電壓探測器Pv1、Pv2形成了氧化膜，則通過清潔能夠去除氧化膜。

第4圖是用於說明該檢查方法和檢查用夾具的維護方法的時序圖。(a)表示電壓探測器Pv1、Pv2為合格(不形成氧化膜)的情況，(b)表示電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷(形成了氧化膜)的情況。實線表示第三探針31的電位，虛線表示第四探針41的電位。以下，參照第4圖說明第2圖所示的流程圖。

首先，第一電流探測器Pc1和第一電壓探測器Pv1與導體圖案M的一側的端部M1接觸，第二電流探測器Pc2和第二電壓探測器Pv2與導體圖案M的另一側的端部M2接觸。

並且，第三電壓取得部53斷開開關A1、A2、B1、B2而將恒定電流源2與電流探測器Pc1、Pc2斷開，使導體圖案M中不流通電流。並且，第三電壓取得部53接通開關C1、C2將電壓探測器Pv1、Pv2與電壓計4連接，通過電壓計4測定第三電壓Vo(步驟S1：時刻T1)。此時，作為第三電壓Vo，測定出因塞貝克效應產生的電動勢。

接下來，第一電壓取得部51接通開關A1、A2，斷開開關B1、B2，將恒定電流源2與電流探測器Pc1、Pc2連接，從恒定電流源2經由電流探測器Pc1、Pc2向導體圖案M流通第一電流Ip(時刻T2)。並且，第一電壓取得部51接通開關C1、C2，通過電壓計4測定第一電壓Vp(步驟S2：時刻T3)。

接下來，第二電壓取得部52斷開開關A1、A2，接通開關B1、B2，將恒定電流源2反向與電流探測器Pc1、Pc2連接，從恒定電流源2經由電流探測器Pc1、Pc2向導體圖案M流通與第一電流Ip反向的第二電流Im(時刻T4)。並且，第二電壓取得部52接通開關C1、C2，利用電壓計4測定第二電壓Vm(步驟S3：時刻T5)。

接下來，判定部54基於下述的式(3)、(4)、(5)，算出差值Vd(步驟S4)。

Vd1=Vp-Vo …(3)

Vd2=Vo-Vm …(4)

Vd=｜Vd1-Vd2｜ …(5)

第5圖是用於說明判定部54的判定方法的說明圖。(a)表示電壓探測器Pv1、Pv2為合格(沒有形成氧化膜)的情況，(b)表示電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷(形成了氧化膜)的情況。在第5圖中，在將電流I作為橫軸、將電壓V作為縱軸的二維平面上，將由第一電流Ip和第一電壓Vp表示的第一點P1、由第二電流Im和第二電壓Vm表示的第二點P2以及由電流零值和第三電壓Vo表示的第三點P3製成曲線。

在電壓探測器Pv1、Pv2為合格(沒有形成氧化膜)時，如第5圖(a)所示，第一點P1、第二點P2、以及第三點P3大致分佈在直線L上。另一方面，電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷(形成了氧化膜)時，如第5圖(b)所示，第一點P1、第二點P2、以及第三點P3沒有分佈在直線上。

因此，判定部54確定第一點P1、第二點P2、以及第三點P3是否大致分佈在直線上，在第一點P1、第二點P2、以及第三點P3沒有分佈在直線上的情況下，能夠判定電壓探測器Pv1、Pv2為形成了氧化膜的缺陷狀態。

此處，在第一電流Ip和第二電流Im的絕對值為相等的值的情況下，如果第一點P1、第二點P2、以及第三點P3分佈在直線上，則如第5圖(a)所示，第一差值Vd1和第二差值Vd2相等。如果第一差值Vd1和第二差值Vd2相等，由式(5)可知，差值Vd為零。

因此，判定部54對差值Vd和預先設定的判定閾值Vth進行比較(步驟S5)，如果差值Vd小於判定閾值Vth(步驟S5中為是)，則電壓探測器Pv1、Pv2判定為合格(步驟S6)，如果差值Vd為判定閾值Vth以上(在步驟S5中為否)，則判定為電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷(步驟S7)。判定閾值Vth可以考慮電壓計4的電壓測定精度和/或恒定電流源2的輸出電流精度進行適當地設定。

應予說明，判斷電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷的情況下，認為需要清潔電壓探測器Pv1、Pv2而去除氧化膜。因此，判定部54對差值Vd和預先設定的判定閾值Vth進行比較(步驟S5)，差值Vd小於判定閾值Vth時(在步驟S5中為YES)，則判定不需要清潔包含電壓探測器Pv1、Pv2的檢查夾具(步驟S6)，如果差值Vd為判定閾值Vth以上(在步驟S5中為NO)，則可以判定為需要清潔電壓探測器Pv1、Pv2。

並且，判定部54通過將其判定結果顯示於圖中省略的顯示裝置，從而在判定電壓探測器Pv1、Pv2有缺陷的情況，或判定為需要清潔電壓探測器Pv1、Pv2的情況下，使用者能夠清潔該電壓探測器Pv1、Pv2而去除氧化膜，所以能夠消除由氧化膜導致的電阻測定精度的降低和基板檢查精度的降低。

應予說明，第一電流Ip和第二電流Im的絕對值可以不是彼此相等的值，判定部54構成為根據第一點P1、第二點P2、以及第三點P3是否大致分佈在直線上來判斷電壓探測器Pv1、Pv2是否是形成了氧化膜的缺陷狀態。

在此，例示出了具備第一電流探測器Pc1和第一電壓探測器Pv1作為第一探測器，具備第二電流探測器Pc2和第二電壓探測器Pv2作為第二探測器的基於四端子測定法的電阻測定裝置，但也可以例如是第6圖所示那樣的構成，具備電流供給和電壓測定共用的第一探測器Pr1而代替第一電流探測器Pc1和第一電壓探測器Pv1，具備電流供給和電壓測定共用的第二探測器Pr2而代替第二電流探測器Pc2和第二電壓探測器Pv2。

另外，基板檢查裝置1、1a也可以不具備基板檢查部56，例如構成為檢測儀等電阻測定裝置。另外，也並不限於在基板檢查裝置1、1a和/或電阻測定裝置內置第一電壓取得部51、第二電壓取得部52、第三電壓取得部53以及判定部54的例子。例如，也可以構成為能夠從裝置主體拆卸電壓探測器Pv1、Pv2和/或保持這些探測器的檢查夾具，利用上述的檢查方法檢查從裝置主體拆卸下來的探測器和/或檢查夾具。

Claims

一種電阻測定裝置，是用於測定一導體的電阻值的該電阻測定裝置，包含：一第一探測器和一第二探測器，用於接觸到該導體；一第一電壓取得部，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通預定的一第一電流時，通過該第一探測器和該第二探測器取得該導體中產生的一第一電壓；一第二電壓取得部，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通與該第一電流反向的一第二電流時，通過該第一探測器和該第二探測器取得該導體中產生的一第二電壓；一第三電壓取得部，在通過該第一探測器和該第二探測器不使該導體中流通電流的狀態下，通過該第一探測器和該第二探測器取得該導體中產生的一第三電壓；一判定部，基於該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓來判定該第一探測器和該第二探測器是否具有缺陷，其中，該判定部在設電流和電壓為參數的二維平面上，由該第一電流和該第一電壓表示的第一點、由該第二電流和該第二電壓表示的第二點和由電流零值和該第三電壓表示的第三點沒有大致分佈在直線上時，判定該第一探測器和該第二探測器有缺陷。
一種電阻測定裝置，是用於測定一導體的電阻值的該電阻測定裝置，包含：一第一探測器和一第二探測器，用於接觸到該導體；一第一電壓取得部，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通預定的一第一電流時，通過該第一探測器和該第二探測器取得該導體中產生的一第一電壓；一第二電壓取得部，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通與該第一電流反向的一第二電流時，通過該第一探測器和該第二探測器取得該導體中產生的一第二電壓；一第三電壓取得部，在通過該第一探測器和該第二探測器不使該導體中流通電流的狀態下，通過該第一探測器和該第二探測器取得該導體中產生的一第三電壓；一判定部，基於該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓來判定該第一探測器和該第二探測器是否具有缺陷，其中，該第一電流和該第二電流的電流值的絕對值彼此相等。
如申請專利範圍第2項所述的電阻測定裝置，其中該第一探測器包含：一第一電流探測器，用於使該導體中流通電流；和一第一電壓探測器，用於檢測通過該電流在該導體中產生的電壓，該第二探測器包含：一第二電流探測器，用於使該導體中流通電流；和一第二電壓探測器，用於檢測通過該電流在該導體中產生的電壓，該第一電壓取得部在該第一電流探測器和該第二電流探測器之間流通該第一電流時，取得通過該第一電壓探測器和該第二電壓探測器測定的該第一電壓，該第二電壓取得部在該第一電流探測器和該第二電流探測器之間流通與該第一電流反向的該第二電流時，取得通過該第一電壓探測器和該第二電壓探測器測定的該第二電壓，該第三電壓部在該第一電流探測器和該第二電流探測器之間不流通電流的狀態下，取得通過該第一電壓探測器和該第二電壓探測器測定的該第三電壓。
一種基板檢查裝置，其包含：一如申請專利範圍第1至3中任一項所述的電阻測定裝置；和一基板檢查部，根據將形成於一基板的一佈線圖案作為該導體並通過該第一探測器和該第二探測器測定的該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓，進行該基板的檢查。
一種檢查方法，是檢查用於接觸到一導體的一第一探測器和一第二探測器的缺陷的檢查方法，其包含以下步驟：一第一電壓取得步驟，使該第一探測器和該第二探測器與該導體接觸，使該導體中流通預定的一第一電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第一電壓；一第二電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通與該第一電流反向的一第二電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第二電壓；一第三電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器不使該導體中流通電流的狀態下，取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第三電壓；一判定步驟，根據該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓來判定該第一電壓探測器和該第二電壓探測器是否具有缺陷，其中，該判定步驟在設電流和電壓為參數的二維平面上，由該第一電流和該第一電壓表示的第一點、由該第二電流和該第二電壓表示的第二點和由電流零值和該第三電壓表示的第三點沒有大致分佈在直線上時，判定該第一探測器和該第二探測器有缺陷。
一種檢查方法，是檢查用於接觸到一導體的一第一探測器和一第二探測器的缺陷的檢查方法，其包含以下步驟：一第一電壓取得步驟，使該第一探測器和該第二探測器與該導體接觸，使該導體中流通預定的一第一電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第一電壓；一第二電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通與該第一電流反向的一第二電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第二電壓；一第三電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器不使該導體中流通電流的狀態下，取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第三電壓；一判定步驟，根據該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓來判定該第一電壓探測器和該第二電壓探測器是否具有缺陷，其中，該第一電流和該第二電流的電流值的絕對值彼此相等。
一種檢查用夾具的維護方法，是包含用於接觸到一導體的一第一探測器和一第二探測器的檢查用夾具的維護方法，其包括以下步驟：一第一電壓取得步驟，使該第一探測器和該第二探測器與該導體接觸，使該導體中流通預定的一第一電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第一電壓；一第二電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通與該第一電流反向的的一第二電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第二電壓；一第三電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器不使該導體中流通電流的狀態下，取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第三電壓；一判定步驟，根據該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓來判定是否需要清潔該檢查用夾具，其中，該判定步驟在設電流和電壓為參數的二維平面上，由該第一電流和該第一電壓表示的第一點、由該第二電流和該第二電壓表示的第二點和由電流零值和該第三電壓表示的第三點沒有大致分佈在直線上時，判定該第一探測器和該第二探測器有缺陷。
一種檢查用夾具的維護方法，是包含用於接觸到一導體的一第一探測器和一第二探測器的檢查用夾具的維護方法，其包括以下步驟：一第一電壓取得步驟，使該第一探測器和該第二探測器與該導體接觸，使該導體中流通預定的一第一電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第一電壓；一第二電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器使該導體中流通與該第一電流反向的一第二電流時取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第二電壓；一第三電壓取得步驟，在通過該第一探測器和該第二探測器不使該導體中流通電流的狀態下，取得通過該第一探測器和該第二探測器測定的一第三電壓；一判定步驟，根據該第一電壓、該第二電壓以及該第三電壓來判定該第一電壓探測器和該第二電壓探測器是否具有缺陷，其中，該第一電流和該第二電流的電流值的絕對值彼此相等。