KR101449569B1 - 기판검사장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 각 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제시의 배선패턴에 접촉되는 접촉핀 등의 정전용량을 고려하여 복수의 배선패턴에 대한 전기특성검사의 순서를 결정할 수 있고, 또한 검사결과의 신뢰성을 저하시키지 않고 검사속도의 향상이 도모되는 기판검사장치를 제공한다.
(해결수단) 이 기판검사장치(1)에서는, 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 미만인 전기특성검사에서는, 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정되고, 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 이상인 전기특성검사에서는, 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다.

Description

기판검사장치{SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS}

본 발명은, 피검사 기판(被檢査基板)에 형성된 복수의 배선패턴(配線pattern)간의 전기적 특성에 관한 검사를 하는 기판검사장치(基板檢査裝置)에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 프린트 배선기판에 한정되지 않고, 예를 들면 플렉시블 기판, 다층배선기판, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이용의 전극판 및 반도체 패키지용의 패키지 기판이나 필름 캐리어 등 다양한 기판에 있어서의 전기적 배선의 검사에 적용할 수 있고, 본 명세서에서는 그들 다양한 배선기판을 총칭하여 「기판」이라고 부른다.

검사대상의 배선패턴간에 미세(微細)한 단락부(短絡部)가 있을 경우에, 배선패턴간에 일반적인 전위차를 발생시키면, 그 미세한 단락부가 과전류(過電流)에 의하여 소손(燒損)되고, 이에 따라 원래 절연불량 등의 문제가 있는 피검사 기판이 정상이라고 오판(誤判)되어버리는 등의 문제가 발생하는 경우가 있다.

이러한 점에 관한 종래의 기판검사장치로서, 배선패턴에 부여하는 전위차를 단계적으로 변화시키고, 이에 따라 배선패턴의 절연불량장소 등이 과전류에 의하여 소손되는 것을 방지하면서 검사를 하도록 한 것이 있다(예를 들면 특허문헌1).

예를 들면 제1단계에서의 단락검사에서는, 배선패턴간에 부여하는 전위차가, 인접하는 배선패턴간이 유사적으로 단락하거나 또는 미세한 세선부에 의하여 단락한 극소 단락부가 도통하고 또한 그 극소 단락부에 흐르는 전류에 의하여 극소 단락부가 소손되지 않는 값으로 설정된다. 제2단계에서의 단락검사에서는, 배선패턴간에 부여하는 전위차가, 제1단계의 전위차보다도 높은 값이며, 인접하는 배선패턴간의 스파크(spark)에 의한 전류리크(電流leak)를 검출하기 위한 값으로 설정된다.

또한 피검사 기판에 형성된 복수의 배선패턴에 대하여 검사를 하는 때는, 극소 단락부에 관한 제1단계의 검사 및 스파크에 의한 전류리크에 관한 제2단계의 검사의 어느 것이나, 복수의 배선패턴에 대하여 어느 하나의 배선패턴을 같은 순서로 검사대상의 주목배선패턴으로 설정해 가도록 되어 있다.

보다 구체적으로는, 예를 들면 제1단계 및 제2단계의 어느쪽의 검사에서도, 배선면적이 큰 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다. 그리고 복수의 배선패턴 중에서 배선면적이 큰 것으로부터 순차적으로 주목배선패턴으로서 설정되어 감과 아울러 각 시점에 있어서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴과, 복수의 배선패턴 중에서 그 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴 및 그 검사내에서 이미 주목배선패턴으로 설정된 경우가 있는 배선패턴 이외의 배선패턴으로 이루어지는 상대배선패턴 사이에 전위차가 부여되어서, 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이의 전기적 특성이 검사된다. 또, 배선면적이 큰 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정하는 것은, 배선면적이 큰 배선패턴은 전위차의 부여 및 부여해제시의 전하의 충방전에 시간이 걸리기 때문에, 배선면적이 큰 배선패턴에 대한 전위차 부여(충방전)의 회수를 감소시켜서 검사속도를 고속화하기 위해서이다.

특허문헌1 : 일본국 공개특허 특개2008-139036호 공보

이러한 종류의 기판검사장치는 단시간에 대량으로 기판에 대하여 검사를 할 필요성으로부터, 검사속도의 고속화가 강하게 요구되고 있어, 개개의 주목배선패턴에 대하여 이루어지는 각 검사스텝에 걸리는 시간이 점점 단축되는 경향이 있다. 다른 한편, 검사속도의 고속화는, 검사를 하기 위한 충방전에 기인하는 원하지 않는 전류의 변화가 검출되어 버려, 검사결과의 오판정을 초래하기 쉬운 경향도 있다. 이 때문에 검사의 신뢰성을 저하시키지 않고, 어떻게 검사속도의 고속화를 도모할지가 과제가 되고 있다.

이러한 점에 관한 것으로서, 본원 발명자가 예의 연구를 거듭한 결과, 상기의 종래기술과 같이, 제1단계의 검사 및 제2단계의 검사의 어느 것이나 모두, 복수의 배선패턴에 대하여 검사대상의 주목배선패턴을 설정하는 순서를 동일하게 한 구성에서는, 현재 요구되고 있는 검사속도에서는 문제 없지만, 장래에 한층 더 검사속도의 고속화가 진척되었을 경우에, 검사를 하기 위한 충방전에 기인하는 원하지 않는 전류의 변화가 검출되어버려, 검사결과의 오판정이 발생하기 쉬워질 우려가 있다. 구체적으로는, 배선면적이 큰 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정하는 구성의 경우에, 부여 전위차가 작은 제1단계의 검사에서는 검사속도의 향상이 도모되지만, 부여 전위차가 큰 제2단계의 검사에서, 스파크에 의한 전류리크가 발생하지 않고 있는 데에도 불구하고, 방전류를 전류계가 검출하여 마치 전류리크가 있다고 판정되는 오판정이 발생하기 쉬워진다.

또한 상기의 종래의 예에서는, 복수의 배선패턴에 대하여 주목배선패턴을 선정하는 순서를 배선패턴의 배선면적에 의거하여 결정하고 있지만, 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제시의 충방전 특성에는, 배선패턴의 배선면적의 이외에 배선패턴에 접촉되어 있는 검사용의 접촉핀 및 접촉핀에 접속되어 있는 도선 등의 정전용량도 크게 영향을 주고 있다. 이 때문에 종래의 예에서는, 주목배선패턴의 선정의 순서가, 접촉핀 및 도선 등의 정전용량의 영향이 충분하게 고려되지 않고 결정되어 있었다.

또한 이러한 종류의 기판검사장치에서는 복수의 전류 검출부가 구비되고 있을 경우가 있지만, 일부의 전류 검출부에 사용빈도가 치우쳐, 일부의 전류 검출부의 열화가 다른 전류 검출부에 비하여 진행하기 쉬워진다고 하는 문제도 있었다.

따라서, 본 발명이 해결해야 할 제1과제는, 피검사 기판에 형성된 복수의 배선패턴간의 전기적 특성에 관한 검사에 대하여, 각 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제시의 배선패턴에 접촉되는 접촉핀 등의 정전용량을 고려하여 복수의 배선패턴에 대한 전기특성검사의 순서를 결정할 수 있고, 또한 검사결과의 신뢰성을 저하시키지 않고 검사속도의 향상이 도모되는 기판검사장치를 제공하는 것이다.

또한 본 발명이 해결해야 할 제2과제는, 구비된 복수의 전류 검출부 중에서 일부의 전류 검출부에 사용빈도가 치우치는 것을 방지할 수 있는 기판검사장치를 제공하는 것이다.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제1국면에 관한 기판검사장치에서는, 피검사 기판에 형성되는 복수의 배선패턴간에 전위차를 부여하면서 검사용의 신호를 취득함으로써 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 기판검사장치로서, 상기 피검사 기판에 형성되는 상기 각 배선패턴으로 설정된 복수의 검사점에 접촉되는 복수의 접촉핀과, 상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간에 전위차를 부여함과 아울러 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 크기를 변경가능한 전원부와, 상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성에 관한 신호를 검출하는 검출부와, 복수의 스위칭 소자를 구비하고, 상기 각 스위칭 소자를 온, 오프 시킴으로써, 상기 복수의 접촉핀과, 상기 전원부 및 상기 검출부 사이의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환부와, 상기 전원부 및 상기 접속전환부의 상기 복수의 스위칭 소자를 제어함과 아울러 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 값인 부여전위차값이 서로 다른 복수의 전기특성검사를 위한 검사처리동작을 하고, 상기 제어부에 의한 상기 복수의 검사처리동작에서는, 그 검사처리동작내의 복수의 검사스텝에 있어서 상기 복수의 배선패턴의 어느 하나가 주목배선패턴으로서 순차적으로 설정되어 감과 아울러 그 각 검사스텝에 있어서, 그 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴과, 상기 복수의 배선패턴 중에서 그 시점에서 상기 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴 및 그 검사처리동작내에서 이미 주목배선패턴으로 설정된 경우가 있는 배선패턴 이외의 배선패턴으로 이루어지는 상대배선패턴 사이에, 상기 접촉핀을 통하여 상기 전원부에 의하여 그 검사처리동작에 대응하는 상기 부여전위차값의 전위차가 부여되어서, 상기 주목배선패턴과 상기 상대배선패턴 사이의 전기적 특성이 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 검사되고, 상기 복수의 전기특성검사 중에서 상기 부여전위차값이 소정의 기준레벨 미만인 전기특성검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정되고, 상기 복수의 전기특성검사 중에서 상기 부여전위차값이 상기 소정의 기준레벨 이상인 전기특성검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정된다.

또한 본 발명의 제2국면에 관한 기판검사장치에서는, 피검사 기판에 형성되는 복수의 배선패턴간에 전위차를 부여하면서 검사용의 신호를 취득함으로써 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 기판검사장치로서, 상기 피검사 기판에 형성되는 상기 각 배선패턴으로 설정된 복수의 검사점에 접촉되는 복수의 접촉핀과, 상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간에 전위차를 부여함과 아울러 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 크기를 변경가능한 전원부와, 상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성에 관한 신호를 검출하는 검출부와, 복수의 스위칭 소자를 구비하고, 상기 각 스위칭 소자를 온, 오프 시킴으로써, 상기 복수의 접촉핀과, 상기 전원부 및 상기 검출부 사이의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환부와, 상기 전원부 및 상기 접속전환부의 상기 복수의 스위칭 소자를 제어함과 아울러 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 값인 부여전위차값이 서로 다른 복수의 전기특성검사를 위한 검사처리동작을 하고, 상기 제어부에 의한 상기 복수의 검사처리동작에서는, 그 검사처리동작내의 복수의 검사스텝에 있어서 상기 복수의 배선패턴의 어느 하나가 주목배선패턴으로서 순차적으로 설정되어 감과 아울러 그 각 검사스텝에 있어서, 그 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴과, 상기 복수의 배선패턴 중에서 그 시점에서 상기 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴 및 그 검사처리동작내에서 이미 주목배선패턴으로 설정된 경우가 있는 배선패턴 이외의 배선패턴으로 이루어지는 상대배선패턴 사이에, 상기 접촉핀을 통하여 상기 전원부에 의하여 그 검사처리동작에 대응하는 상기 부여전위차값의 전위차가 부여되어서, 상기 주목배선패턴과 상기 상대배선패턴 사이의 전기적 특성이 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 검사되고, 상기 복수의 전기특성검사에는 제1종 및 제2종단락검사가 포함되고, 상기 제1종단락검사에서는, 상기 부여전위차값이, 인접하는 상기 배선패턴간이 유사적으로 단락하거나 또는 미세한 세선부에 의하여 단락한 극소 단락부가 도통하고 또한 그 극소 단락부에 흐르는 전류에 의하여 상기 극소 단락부가 소손되지 않는 값으로 설정되고, 상기 제2종단락검사에서는, 상기 부여전위차값이 상기 제1종단락검사의 상기 부여전위차값보다도 높은 값이며, 인접하는 상기 배선패턴간의 스파크에 의한 전류리크를 검출하기 위한 값으로 설정되고, 상기 제1종단락검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정되고, 상기 제2종단락검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정된다.

또한 본 발명의 제3국면에 관한 기판검사장치에서는, 상기 제1국면 또는 제2국면에 관한 기판검사장치에 있어서, 상기 제어부에 의한 상기 복수의 검사처리동작에서는, 상기 복수의 전기특성검사가 상기 부여전위차값이 작은 것부터 순차적으로 이루어진다.

또한 본 발명의 제4국면에 관한 기판검사장치에서는, 상기 제1 또는 제3국면 중의 어느 하나에 관한 기판검사장치에 있어서, 상기 검출부는, 상기 복수의 접촉핀을 복수의 그룹으로 분할하여 이루어지는 복수의 접촉핀군에 각각 할당되고, 그 대응하는 접촉핀군에 속하는 접촉핀을 통하여, 상기 주목배선패턴 또는 상기 상대배선패턴과 상기 전원부 사이에 흐르는 전류를 검출하는 복수의 전류 검출부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 각 전기특성검사내에 있어서, 상기 복수의 전류 검출부의 사용빈도가 분산되도록 상기 각 검사스텝에서 상기 전류의 검출에 사용하는 상기 검출부의 상기 전류 검출부를 선택한다.

본 발명의 제1국면에 관한 기판검사장치에 의하면, 각 전기특성검사에 있어서의 복수의 배선패턴에 대한 주목배선패턴의 선정의 순서가, 검사시에 배선패턴에 접촉되는 접촉핀의 수에 의거하여 결정된다. 배선패턴에 접촉되는 접촉핀의 수는 배선면적이 큰 배선패턴일수록 많아지는 경향이기 때문에, 주목배선패턴의 선정의 순서를 접촉핀의 수에 의거하여 결정함으로써, 배선패턴, 그 배선패턴에 접촉되는 접촉핀 및 그 접촉핀에 접속되는 도선 등으로 이루어지는 전체의 정전용량을 고려하여 주목배선패턴의 선정의 순서를 결정할 수 있다.

또한 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 미만인 전기특성검사에서는, 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정되고, 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 이상인 전기특성검사에서는, 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다. 이 때문에 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 미만인 전기특성검사에서는 접촉되는 접촉핀이 많아 접촉핀 등을 포함하는 전체의 정전용량이 큰 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써, 전체의 정전용량이 큰 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제의 회수를 억제할 수 있다. 그 결과, 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제시의 소요시간(충방전 등에 필요한 시간)을 단축하여 검사속도의 고속화가 도모된다. 한편 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 이상인 전기특성검사에서는 접촉되는 접촉핀이 적어 접촉핀 등을 포함하는 전체의 정전용량이 작은 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써, 검사결과의 오판정을 억제하여 검사의 신뢰성이 저하하는 것이 회피된다. 그 결과, 검사결과의 신뢰성을 저하시키지 않고 검사속도의 향상이 도모된다.

본 발명의 제2국면에 관한 기판검사장치에 의하면, 각 전기특성검사에 있어서의 복수의 배선패턴에 대한 주목배선패턴의 선정의 순서가, 검사시에 배선패턴에 접촉되는 접촉핀의 수에 의거하여 결정된다. 배선패턴에 접촉되는 접촉핀의 수는, 배선면적이 큰 배선패턴일수록 많아지는 경향이기 때문에, 주목배선패턴의 선정의 순서를 접촉핀의 수에 의거하여 결정함으로써, 배선패턴, 그 배선패턴에 접촉되는 접촉핀 및 그 접촉핀에 접속되는 도선 등으로 이루어지는 전체의 정전용량을 고려하여 주목배선패턴의 선정의 순서를 결정할 수 있다.

또한 부여전위차값이 배선패턴간의 극소 단락부에 관한 검사에 대응하는 작은 값으로 설정되는 제1종단락검사에서는, 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정되고, 부여전위차값이 배선패턴간의 스파크에 의한 전류리크에 관한 검사에 대응한 큰 값으로 설정되는 제2종단락검사에서는, 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다. 이 때문에 부여전위차값이 작은 제1종단락검사에서는 접촉되는 접촉핀이 많아 접촉핀 등을 포함하는 전체의 정전용량이 큰 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써, 전체의 정전용량이 큰 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제의 회수를 억제할 수 있다. 그 결과, 배선패턴에 대한 전위차의 부여 및 부여해제시의 소요시간(충방전 등에 필요한 시간)을 단축하여 검사속도의 고속화가 도모된다. 한편 부여전위차값이 큰 제2종단락검사에서는 접촉되는 접촉핀이 적어 접촉핀 등을 포함하는 전체의 정전용량이 작은 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써, 검사결과의 오판정을 억제하여 검사의 신뢰성이 저하하는 것이 회피된다. 그 결과, 검사결과의 신뢰성을 저하시키지 않고 검사속도의 향상이 도모된다.

본 발명의 제3국면에 관한 기판검사장치에 의하면, 복수의 전기특성검사가 부여전위차값이 작은 것부터 순차적으로 이루어지기 때문에, 검사시의 과전류에 의하여 극소 단락부가 소손되는 것을 회피하면서, 배선패턴간의 전기적 특성에 대하여 검사할 수 있다.

본 발명의 제4국면에 관한 기판검사장치에 의하면, 각 전기특성검사내에 있어서, 복수의 전류 검출부의 사용빈도가 분산되도록 각 검사스텝에서 전류의 검출에 사용하는 검출부의 전류 검출부가 선택되기 때문에 일부의 전류 검출부에 사용빈도가 치우치는 것을 방지하여 일부의 전류 검출부의 열화가 다른 전류 검출부에 비하여 진행하는 것을 방지할 수 있다.

도1은 본 발명의 1실시형태에 관한 기판검사장치의 전기적 구성을 나타내는 도면이다.
도2는 피검사 기판에 형성되는 배선패턴의 구성 등을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도3은 도2의 피검사 기판에 형성되는 배선패턴과 그 배선패턴에 접촉되는 접촉핀의 수의 대응관계를 예시하는 도면인다.
도4는 도1의 기판검사장치의 검사순서를 나타내는 플로우차트다.
도5는 제1 및 제2종단락검사의 각 검사스텝에 있어서의 주목배선패턴 및 상대배선패턴의 설정순서를 설명하기 위한 도면으로서 있다.
도6은 도1의 기판검사장치의 변형예에 관한 것으로서, 복수의 전류 검출부의 사용형태를 설명하기 위한 도면이다.

도1 내지는 도5를 참조하여 본 발명의 1실시형태에 관한 기판검사장치에 대하여 설명한다. 이 기판검사장치(1)는, 도1 및 도2에 나타나 있는 바와 같이 복수의 접촉핀(P1, P2, ···)(이것들을 총칭하는 경우에는 부호 「P」로 한다), 전원부(11), 복수의 전류 검출부(A1, A2, ···)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「A」를 사용한다), 전위차 검출부(V), 접속전환부(12) 및 제어부(13)를 구비하고 있고, 피검사 기판(2)에 형성되는 복수의 배선패턴(N1, N2, ···)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「N」을 사용한다)간에 전위차를 부여하면서 검사용의 신호를 취득함으로써 배선패턴(Ｎ)간의 전기적 특성을 검사한다. 본 발명의 검출부에는 전류 검출부(A) 및 전위차 검출부(V)가 대응하고 있다.

피검사 기판(2)에 형성되는 각 배선패턴(N)에는, 배선패턴(N)의 역할(전원배선, 그라운드 배선, 신호배선 등) 및 형태(배선 길이, 배선 형상 등)에 따라, 검사시에 하나 또는 복수의 접촉핀(P)이 접촉된다. 이 때에, 배선면적이 큰 배선패턴(N)일수록 많은 접촉핀(P)이 접촉되는 경향이 있다. 도2에 나타내는 예에서는, 배선패턴(N1)에는 2개의 접촉핀(P)이 접촉되고, 배선패턴(N2)에는 3개의 접촉핀(P)이 접촉되어 있다.

접촉핀(P)은, 기판검사장치(1)의 각 배선패턴(N)에 대한 전기적인 접속점을 형성하기 위한 것으로서, 도면에 나타나 있지 않은 절연성의 지지부재에 의하여 지지된 상태에서, 도면에 나타나 있지 않은 승강기구 등에 의하여 지지부재별로 승강되어서 검사시에 그 선단부가 대응하는 배선패턴(N)의 접촉점에 접촉된다. 접촉핀(P)의 후단부는, 전극부를 통하여 기판검사장치(1)의 본체측과 접속된 도선과 도통된다. 또한 이러한 접촉핀(P)은, 복수의 접촉핀(P)으로 이루어지는 복수의 핀그룹(pin group)(ＰＧ1, ＰＧ2, ···)(이들을 총칭하는 경우에는 부호 「ＰＧ」를 사용한다)으로 그루핑(grouping)되어 있다.

전원부(11)는, 후술하는 제어부(13)의 제어에 의하여 배선패턴(Ｎ)간의 전기적 특성을 검출하기 위한 전위차를 접촉핀(P)을 통하여 각 배선패턴(Ｎ)간에 부여한다. 또한 전원부(11)가 배선패턴(Ｎ)간에 부여하는 전위차의 크기는, 제어부(13)의 제어에 의하여 변경 가능하게 되어 있다.

전류 검출부(A)는 핀그룹(ＰＧ)별로 1개씩 설치되어 전체로서 복수개 설치되어 있고, 대응하는 핀그룹(ＰＧ)의 접촉핀(P)을 통하여 배선패턴(N)과 전원부(11) 사이에 흐르는 전류를 검출하고, 검출결과를 제어부(13)에 보낸다. 이러한 전류 검출부(A)는, 예를 들면 접속전환부(12)의 2단째의 각 스위칭 소자(ＳＷ2a)와 전원부(11)의 일방측 출력부(예를 들면 플러스측 출력부) 사이를 접속하는 도전로에 삽입된다. 또한, 변형예로서, 전류 검출부(A)를 접속전환부(12)의 2단째의 각 스위칭 소자(ＳＷ2b)와 전원부(11)의 타방측 출력부(예를 들면 마이너스측 출력부) 사이를 접속하는 도전로에 삽입하더라도 좋다.

전위차 검출부(V)는, 전원부(11)에 의하여 배선패턴(Ｎ)간에 부여되어 있는 전위차를 접촉핀(P)을 통하여 검출하고, 검출결과를 제어부(13)에 보낸다.

또, 본 실시형태에서는 전류 검출부(A) 및 전위차 검출부(V)의 양방을 설치했지만, 전원부(11)의 출력 전위차값 또는 출력 전류값에 의거하여 각 배선패턴(Ｎ)간에 부여되는 전위차값 또는 전원부(11)로부터 주목배선패턴에 공급되는 전류값에 관한 정보를 취득할 수 있는 경우에는, 전류 검출부(A)와 전위차 검출부(V)의 일방을 생략하여도 좋다.

접속전환부(12)는, 제어부(13)의 제어에 의하여 온, 오프로 동작하는 복수의 스위칭 소자(예를 들면 반도체 스위칭 소자)(ＳＷ1, ＳＷ2)를 구비하고 있다. 그리고 그 스위칭 소자(ＳＷ1, ＳＷ2)를 온, 오프 함으로써, 각 접촉핀(P)과 장치 본체측의 구성(전원부(11), 전류 검출부(A) 및 전위차 검출부(V))의 전기접속관계를 전환한다. 본 실시형태에서는, 복수의 스위칭 소자(ＳＷ1)와 복수의 스위칭 소자(ＳＷ2)가 2단구성으로 구비되어 있다.

1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)는 각 접촉핀(P)별로 설치되고, 그 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 함으로써, 복수의 접촉핀(P)중에서 그 스위칭 소자(ＳＷ1)에 대응하는 접촉핀(P)이, 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2)를 통하여 장치 본체측의 구성(전원부(11), 전류 검출부(A) 및 전위차 검출부(V))에 접속된다.

2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2)는 각 핀그룹(ＰＧ)별로 3개씩 설치되고 있다. 그리고 3개의 스위칭 소자(ＳＷ2)의 어느 것이라도 온 되면, 그 3개의 스위칭 소자(ＳＷ2)에 대응하는 핀그룹(ＰＧ)의 접촉핀(P)이, 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)를 통하여 전원부(11)의 일방측 출력단자(예를 들면 플러스측 출력단자), 전원부(11)의 타방측 출력단자(예를 들면 마이너스측 출력단자) 및 그라운드 전위중의 어느 하나에 접속된다. 예를 들면 스위칭 소자(ＳＷ2a)가 온 되면, 대응하는 핀그룹(ＰＧ)의 접촉핀(P)이, 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)를 통하여 전원부(11)의 일방측 출력단자(예를 들면 플러스측 출력단자)에 접속된다. 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 되면, 대응하는 핀그룹(ＰＧ)의 접촉핀(P)이, 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)를 통하여 전원부(11)의 타방측 출력단자(예를 들면 마이너스측 출력단자)에 접속된다. 스위칭 소자(ＳＷ2c)가 온 되면, 대응하는 핀그룹(ＰＧ)의 접촉핀(P)이, 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)를 통하여 그라운드 전위에 접속된다.

제어부(13)는, 이 기판검사장치(1)의 제어 및 피검사 기판(2)에 대한 검사처리를 담당하는 것이다. 이 제어부(13)의 제어동작에는, 전원부(11)의 출력의 온, 오프, 전원부(11)가 배선패턴(Ｎ)간에 부여하는 전위차의 크기의 변경 또는 조절 및, 접속전환부(12)의 각 스위칭 소자(ＳＷ1, ＳＷ2)를 온, 오프 동작 시킴으로써 복수의 접촉핀(P)과 장치 본체측의 구성(전원부(11), 전류 검출부(A) 및 전위차 검출부(V))의 전기접속관계의 전환 등이 포함된다.

제어부(13)에 의한 검사처리에는, 배선패턴(Ｎ)간에 부여하는 전위차의 값인 부여전위차값이 서로 다른 복수의 전기특성검사를 위한 검사처리동작이 포함되어 있다. 그 각 검사처리동작에서는, 그 검사처리동작내의 복수의 검사스텝에 있어서 복수의 배선패턴(N)의 어느 하나가 주목배선패턴으로서 순차적으로 설정되어 간다. 그와 함께 그 각 검사스텝에 있어서, 그 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴(N)과, 복수의 배선패턴(N) 중에서 그 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴(N) 및 그 검사처리동작내에서 이미 주목배선패턴(N)에 설정된 경우가 있는 배선패턴(Ｎ) 이외의 배선패턴(N)으로 이루어지는 상대배선패턴 사이에, 접촉핀(P)을 통하여 전원부(11)에 의하여 그 검사처리동작에 대응하는 부여전위차값의 전위차가 부여된다. 그리고 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이의 전기적 특성(본 실시형태에서는 절연성)이, 전류 검출부(A) 및 전위차 검출부(V)의 검출결과에 의거하여 검사된다.

주목배선패턴과 상대배선패턴 사이의 절연성에 관한 검사는, 예를 들면 다음과 같이 하여 이루어진다. 즉 양 배선패턴간에 전원부(11)에 의하여 전위차를 부여하고, 그 때에 전위차 검출부(V)에 의하여 양 배선패턴간의 전위차값을 검출함과 아울러 전류 검출부(A)에 의하여 양 배선패턴간에 흐르는 전류를 검출한다. 그리고 검출된 전위차값을 전류값으로 나누어 양 배선패턴간의 가상적인 저항값을 산출하고, 그 저항값이 판정기준이 되는 기준저항값 이상이면 적정이라고 판정되고, 그 저항값이 기준저항값 미만이면 불량이라고 판정된다. 또한, 판정기준의 기준저항값은, 전기특성검사별로 검사대상에 따른 값으로 설정하는 것이 바람직하다.

또한 복수의 전기특성검사는 부여전위차값이 작은 것부터 순차적으로 이루어지게 되어 있다.

또한 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 미만인 전기특성검사에서는, 복수의 배선패턴(N) 중에서 배선패턴(N)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)의 수가 많은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다. 한편 복수의 전기특성검사 중에서 부여전위차값이 소정의 기준레벨 이상인 전기특성검사에서는, 복수의 배선패턴(N) 중에서 배선패턴(N)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)의 수가 적은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다.

보다 구체적으로는, 본 실시형태에서는 복수의 전기특성검사로서, 제1종 및 제2종단락검사가 이루어지게 되어 있다. 제1종단락검사에서는, 부여전위차값이, 인접하는 배선패턴(Ｎ)간이 유사적으로 단락하거나 또는 미세한 세선부에 의하여 단락한 극소 단락부가 도통하고 또한 그 극소 단락부에 흐르는 전류에 의하여 극소 단락부가 소손되지 않는 값(제1부여전위차값)으로 설정된다. 제2종단락검사에서는, 부여전위차값이 제1종단락검사의 부여전위차값보다도 높은 값이며, 인접하는 배선패턴간의 스파크에 의한 전류리크를 검출하기 위한 값(제2부여전위차값)으로 설정된다. 그리고 부여전위차값에 대한 기준 레벨은, 상기 제1부여전위차값보다도 크고 또한 제2부여전위차값 이하의 값(예를 들면150∼250V)으로 설정된다. 또, 본 실시형태에서는, 복수의 전기특성검사로서 제1 및 제2종단락검사로 이루어지는 2개의 전기특성검사를 하도록 했지만, 3개 이상의 전기특성검사를 하더라도 좋다.

이 때문에 부여전위차값이 작은 제1종단락검사에서는, 복수의 배선패턴(N) 중에서 배선패턴(N)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)의 수가 많은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다. 부여전위차값이 큰 제2종단락검사에서는, 복수의 배선패턴(N) 중에서 배선패턴(N)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)의 수가 적은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다.

더 상세하게는, 제1종단락검사에서는 배선패턴(Ｎ)간이 유사적으로 단락하거나 또는 미세한 세선부에 의하여 단락한 극소 단락부에 의한 절연불량의 유무가 검사된다. 극소 단락부에는, 본 명세서에 기재되어 있는 특허문헌1의 도3(a) 및 도3(b)에 나타나 있는 바와 같은 미세 단락부(微細短絡部)와, 동(同) 도4에 나타나 있는 바와 같은 유사 단락부(類似短絡部)가 포함된다.

미세 단락부는, 예를 들면 배선패턴(N)의 에칭처리시에 제거되어야 할 불필요한 배선재료가 완전하게 제거되지 않고 남은 에칭 찌거기 등에 의하여 발생한다. 이러한 미세 단락부는, 예를 들면 미크론 단위 등의 미세한 굵기이기 때문에 단락검사시에 배선패턴(N)에 큰 전위차를 걸면, 미세 단락부에 흐르는 전류에 의하여 소손되어 버리는 경우가 있다. 이러한 미세 단락부의 저항값은 약100Ω정도 이하일 경우가 많다.

유사 단락부라 함은 인접하는 배선패턴(N)을 유사적으로 단락시켜서 절연불량을 야기하는 것으로서, 인접하는 배선패턴(Ｎ)간에 걸쳐지도록 단속적으로 형성되고, 그 유사 단락부에 걸리는 전위차의 증대에 따라 비도통상태로부터 도통상태로 변화되는 불량이다. 이러한 유사 단락부는, 예를 들면 인접하는 배선패턴(Ｎ)간에 걸치도록 단속적으로 연결되어 형성된 하나 또는 복수의 미세 도체분(微細導體粉) 또는 미세 도체편(예를 들면 배선패턴(N)의 재료로 이루어지는 미세 도체분 또는 미세 도체편)으로 되어 있다. 그리고 이러한 유사 단락부의 경우에도, 단락검사시에 배선패턴(N)에 큰 전위차를 걸면, 유사 단락부에 흐르는 전류에 의하여 소손되어 버리는 경우가 있다. 이러한 유사 단락부의 저항값은 약10MΩ-약100MΩ정도일 경우가 많다.

제2종단락검사에서는, 인접하는 배선패턴(Ｎ)간의 스파크에 의한 전류리크를 검출함으로써 배선패턴(Ｎ)간의 절연불량의 유무가 검사된다. 이러한 스파크에 의한 전류리크를 야기하는 것 같은 절연불량장소에는, 예를 들면 본 명세서에 기재되어 있는 특허문헌1의 도5에 나타내는 패턴 접근부를 들 수 있다. 이 도5의 패턴 접근부는, 배선패턴(N)의 형성시의 패턴 불량 등에 의하여 발생하고, 인접하는 배선패턴(Ｎ) 상호간이 매우 접근한 부분으로서, 스파크에 의한 절연불량을 야기한다. 이 패턴 접근부의 저항값은 스파크가 발생하기 전은 실질적으로 무한대이며, 스파크가 발생했을 때에는 그 간격(틈) 치수 등에 따른 유한한 값, 예를 들면 약1MΩ 정도가 된다.

다음에 구체적인 예로서, 도3의 표에 나타나 있는 바와 같은 4개의 배선패턴(N1-N4)에 대하여, 제1종 및 제2종단락검사가 이루어질 경우에 대하여 설명한다. 도3의 표에 의하면, 배선패턴(N1)에는 2개의 접촉핀(P)이 접촉되고, 배선패턴(N2)에는 3개의 접촉핀(P)이 접촉되고, 배선패턴(N3)에는 5개의 접촉핀(P)이 접촉되며, 배선패턴(N4)에는 7개의 접촉핀(P)이 접촉되도록 되어 있다.

검사의 순서는, 도4에 나타나 있는 바와 같이 스텝 ＳＴ1에서 제1종단락검사가 이루어진 후에, 스텝 ＳＴ2에서 제2종단락검사가 이루어진다.

제1종단락검사에서는, 전원부(11)에 의하여 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이에 부여되는 부여전위차값이 제1부여전위차값(예를 들면10V)으로 설정되고, 도5의 표의 상측부분에 나타나 있는 바와 같이 검사스텝 Ｓａ1, 검사스텝 Ｓａ2, 검사스텝 Ｓａ3의 순서로 진행된다.

검사스텝 Ｓａ1에서는, 접촉하고 있는 접촉핀(P)의 수(이하, 「핀수」라고 한다)가 가장 많은 배선패턴(N4)이 주목배선패턴으로 설정되고, 그 이외의 모든 배선패턴(N1-N3)이 상대배선패턴으로 설정되고, 배선패턴(N4)과 배선패턴(N1-N3) 사이의 극소 단락부에 관한 절연검사가 이루어진다. 구체적인 동작으로서는, 예를 들면 배선패턴(N1-N4)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)에 대응하는 접속전환부(12)의 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 됨과 아울러 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2) 중에서 배선패턴(N4)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2a)가 온 되어, 배선패턴(N1)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 되며, 배선패턴(N2)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 되고, 배선패턴(N3)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 된다. 이 때, 2단째의 다른 스위칭 소자(ＳＷ2)는 전부 오프 된다.

이에 따라 주목배선패턴인 배선패턴(N4)이, 접촉핀(P), 접속전환부(12)의 스위칭 소자(ＳＷ1) 및 스위칭 소자(ＳＷ2a)를 통하여, 전원부(11)의 일방측 출력부(예를 들면 플러스측 출력부)와 접속된다. 또한 상대배선패턴인 배선패턴(N1-N3)이, 접촉핀(P), 접속전환부(12)의 스위칭 소자(ＳＷ1) 및 스위칭 소자(ＳＷ2b)를 통하여 전원부(11)의 타방측 출력부(예를 들면 마이너스측 출력부)과 접속된다. 그리고 전원부(11)에 의하여 배선패턴(N4)과 배선패턴(N1-N3) 사이에 제1부여전위차값의 전위차가 부여되고, 그 때에 배선패턴(N4)과 배선패턴(N1-N3) 사이에 흐르는 전류(엄밀하게는, 전원부(11)의 일방측 출력부와 배선패턴(N4) 사이에 흐르는 전류)가 전류 검출부(A)에 의하여 검출됨과 아울러 배선패턴(N4)과 배선패턴(N1-N3) 사이에 부여된 전위차가 전위차 검출부(V)에 의하여 검출된다. 계속하여 그 검출된 전류값과 전위차값에 의거하여 배선패턴(N4)과 배선패턴(N1-N3) 사이의 가상적인 저항값이 산출되고, 그 저항값에 의거하여 배선패턴(N4)과 배선패턴(N1-N3) 사이의 극소 단락부의 유무가 판정된다. 이에 따라 배선패턴(N4)에 대한 제1종단락검사는 종료한다.

그리고 배선패턴(N1-N4)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 된 상태에서, 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2) 중에서 배선패턴(N1-N4)에 접촉된 접촉핀(P)에 각각 대응하는 스위칭 소자(ＳＷ2c)가 온 되어, 배선패턴(N1-N4)이 접촉핀(P), 스위칭 소자(ＳＷ1, ＳＷ2c)를 통하여 그라운드 전위에 접속된다. 이에 따라 전위차 부여에 의하여 배선패턴(N1-N4)에 축적된 전하가 방전된다.

계속되는 검사스텝 Ｓａ2에서는, 핀수가 2번째로 많은 배선패턴(N3)이 주목배선패턴으로 설정된다. 상대배선패턴에는, 배선패턴(N3)과 이미 주목배선패턴으로 설정된 배선패턴(N4)을 제외한 나머지의 배선패턴(N1, N2)이 설정된다. 그리고 예를 들면 배선패턴(N1-N3)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)에 대응하는 접속전환부(12)의 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 됨과 아울러 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2) 중에서 배선패턴(N1)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 되고, 배선패턴(N2)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 된다. 이 때, 2단째의 다른 스위칭 소자(ＳＷ2)는 전부 오프 된다.

이에 따라 주목배선패턴인 배선패턴(N3)이, 접촉핀(P), 접속전환부(12)의 스위칭 소자(ＳＷ1) 및 스위칭 소자(ＳＷ2a)를 통하여 전원부(11)의 일방측 출력부(예를 들면 플러스측 출력부)와 접속된다. 또한 상대배선패턴인 배선패턴(N1, N2)이, 접촉핀(P), 접속전환부(12)의 스위칭 소자(ＳＷ1) 및 스위칭 소자(ＳＷ2b)를 통하여 전원부(11)의 타방측 출력부(예를 들면 마이너스측 출력부)와 접속된다. 그리고 전원부(11)에 의하여 배선패턴(N3)과 배선패턴(N1, N2) 사이에 제1부여전위차값의 전위차가 부여되고, 그 때에 배선패턴(N3)과 배선패턴(N1, N2) 사이에 흐르는 전류(엄밀하게는, 전원부(11)의 일방측 출력부와 배선패턴(N3) 사이에 흐르는 전류)가 전류 검출부(A)에 의하여 검출됨과 아울러 배선패턴(N3)과 배선패턴(N1, N2) 사이에 부여된 전위차가 전위차 검출부(V)에 의하여 검출된다. 계속하여 그 검출된 전류값과 전위차값에 의거하여 배선패턴(N3)과 배선패턴(N1, N2) 사이의 가상적인 저항값이 산출되고, 그 저항값에 의거하여 배선패턴(N3)과 배선패턴(N1, N2) 사이의 극소 단락부의 유무가 판정된다. 이에 따라 배선패턴(N3)에 대한 제1종단락검사는 종료한다.

그리고 배선패턴(N1-N3)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 된 상태에서, 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2) 중에서 배선패턴(N1-N3)에 접촉된 접촉핀(P)에 각각 대응하는 스위칭 소자(ＳＷ2c)가 온 되어, 배선패턴(N1-N3)이 접촉핀(P), 스위칭 소자(ＳＷ1, ＳＷ2c)를 통하여 그라운드 전위에 접속된다. 이에 따라 전위차 부여에 의하여 배선패턴(N1-N3)에 축적된 전하가 방전된다.

계속되는 검사스텝 Ｓａ3에서는 핀수가 3번째로 많은 배선패턴(N2)이 주목배선패턴으로 설정된다. 상대배선패턴에는, 배선패턴(N2)과 이미 주목배선패턴으로 설정된 배선패턴(N4, N3)을 제외한 나머지의 배선패턴(N1)이 설정된다. 그리고 예를 들면 배선패턴(N1, N2)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)에 대응하는 접속전환부(12)의 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 됨과 아울러 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2) 중에서 배선패턴(N1)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 어느 하나의 스위칭 소자(ＳＷ2b)가 온 된다. 이 때에, 2단째의 다른 스위칭 소자(ＳＷ2)는 전부 오프 된다.

이에 따라 주목배선패턴인 배선패턴(N2)이, 접촉핀(P), 접속전환부(12)의 스위칭 소자(ＳＷ1) 및 스위칭 소자(ＳＷ2a)를 통하여 전원부(11)의 일방측 출력부(예를 들면 플러스측 출력부)와 접속된다. 또한 상대배선패턴인 배선패턴(N1)이, 접촉핀(P), 접속전환부(12)의 스위칭 소자(ＳＷ1) 및 스위칭 소자(ＳＷ2b)를 통하여 전원부(11)의 타방측 출력부(예를 들면 마이너스측 출력부)와 접속된다. 그리고 전원부(11)에 의하여 배선패턴(N2)과 배선패턴(N1) 사이에 제1부여전위차값의 전위차가 부여되고, 그 때에 배선패턴(N2)과 배선패턴(N1) 사이에 흐르는 전류(엄밀하게는, 전원부(11)의 일방측 출력부와 배선패턴(N2) 사이에 흐르는 전류)가 전류 검출부(A)에 의하여 검출됨과 아울러 배선패턴(N2)과 배선패턴(N1) 사이에 부여된 전위차가 전위차 검출부(V)에 의하여 검출된다. 계속하여 그 검출된 전류값과 전위차값에 의거하여 배선패턴(N2)과 배선패턴(N1) 사이의 가상적인 저항값이 산출되고, 그 저항값에 의거하여 배선패턴(N2)과 배선패턴(N1) 사이의 극소 단락부의 유무가 판정된다. 이에 따라 배선패턴(N2)에 대한 제1종단락검사가 종료함과 아울러 배선패턴(N1)에 대한 제1종단락검사도 종료하고, 모든 배선패턴(N1-N4)에 대한 제1종단락검사가 종료한다.

그리고 배선패턴(N1, N2)에 접촉된 접촉핀(P)에 대응하는 1단째의 스위칭 소자(ＳＷ1)가 온 된 상태에서, 2단째의 스위칭 소자(ＳＷ2) 중에서 배선패턴(N1, N2)에 접촉된 접촉핀(P)에 각각 대응하는 스위칭 소자(ＳＷ2c)가 온 되어, 배선패턴(N1, N2)이 접촉핀(P), 스위칭 소자(ＳＷ1, ＳＷ2c)를 통하여 그라운드 전위에 접속된다. 이에 따라 전위차 부여에 의하여 배선패턴(N1, N2)에 축적된 전하가 방전된다.

계속하여 제2종단락검사가 이루어진다. 제2종단락검사에서는, 전원부(11)에 의하여 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이에 부여되는 부여전위차값이 제2부여전위차값(예를 들면 250V)으로 설정되고, 도5의 표의 하측부분에 나타나 있는 바와 같이 검사스텝 Ｓｂ1, 검사스텝 Ｓｂ2, 검사스텝 Ｓｂ3의 순서로 진행된다.

또, 이 제2종단락검사에 있어서의 접속전환부(12)의 각 스위칭 소자(ＳＷ1, ＳＷｂ)에 의한 전환동작에 대하여는, 복수의 배선패턴(N1-N4)에 대하여 주목배선패턴을 설정할 때의 순서가 상기의 제1종단락검사와 반대인 것에 의한 차이를 제외하고, 제1종단락검사시와 같기 때문에 상세한 설명을 생략한다.

최초의 검사스텝 Ｓｂ1에서는, 핀수가 가장 적은 배선패턴(N1)이 주목배선패턴으로 설정되고, 그 이외의 모든 배선패턴(N2-N3)이 상대배선패턴으로 설정되고, 전원부(11)에 의하여 접촉핀(P) 및 접속전환부(12)를 통하여 배선패턴(N1)과 배선패턴(N2-N4) 사이에 제2부여전위차값의 전위차가 부여된다. 그 때에 배선패턴(N1)과 배선패턴(N2-N4) 사이에 흐르는 전류(엄밀하게는, 전원부(11)의 일방측 출력부와 배선패턴(N1) 사이에 흐르는 전류)가 전류 검출부(A)에 의하여 검출됨과 아울러 배선패턴(N1)과 배선패턴(N2-N4) 사이에 부여된 전위차가 전위차 검출부(V)에 의하여 검출된다. 계속하여 그 검출된 전류값과 전위차값에 의거하여 배선패턴(N1)과 배선패턴(N2-N4) 사이의 가상적인 저항값이 산출되고, 그 저항값에 의거하여 배선패턴(N1)과 배선패턴(N2-N4) 사이의 스파크에 의한 리크전류의 유무가 판정된다. 이에 따라 배선패턴(N1)에 대한 제2종단락검사는 종료한다. 그리고 배선패턴(N1-N4)이 접촉핀(P) 및 접속전환부(12)를 통하여 그라운드 전위에 접속되고, 전위차 부여에 의하여 배선패턴(N1-N4)에 축적된 전하가 방전된다.

계속되는 검사스텝 Ｓｂ2에서는, 핀수가 2번째로 적은 배선패턴(N2)이 주목배선패턴으로 설정된다. 상대배선패턴으로는, 배선패턴(N2)과 이미 주목배선패턴으로 설정된 배선패턴(N1)을 제외한 나머지의 배선패턴(N3, N4)이 설정된다. 그리고 전원부(11)에 의하여 배선패턴(N2)과 배선패턴(N3, N4) 사이에 제2부여전위차값의 전위차가 부여되고, 그 때에 배선패턴(N2)과 배선패턴(N3, N4) 사이에 흐르는 전류(엄밀하게는, 전원부(11)의 일방측 출력부와 배선패턴(N2) 사이에 흐르는 전류)가 전류 검출부(A)에 의하여 검출됨과 아울러 배선패턴(N2)과 배선패턴(N3, N4) 사이에 부여된 전위차가 전위차 검출부(V)에 의하여 검출된다. 계속하여 그 검출된 전류값과 전위차값에 의거하여 배선패턴(N2)과 배선패턴(N3, N4) 사이의 가상적인 저항값이 산출되고, 그 저항값에 의거하여 배선패턴(N2)과 배선패턴(N3, N4) 사이의 스파크에 의한 리크전류의 유무가 판정된다. 이에 따라 배선패턴(N2)에 대한 제2종단락검사는 종료한다. 그리고 배선패턴(N2-N4)이 접촉핀(P) 및 접속전환부(12)를 통하여 그라운드 전위에 접속되고, 전위차 부여에 의하여 배선패턴(N2-N4)에 축적된 전하가 방전된다.

계속되는 검사스텝 Ｓｂ3에서는, 핀수가 3번째로 적은 배선패턴(N3)이 주목배선패턴으로 설정된다. 상대배선패턴으로는, 배선패턴(N3)과 이미 주목배선패턴으로 설정된 배선패턴(N1, N2)을 제외한 나머지의 배선패턴(N4)이 설정된다. 그리고 전원부(11)에 의하여 배선패턴(N3)과 배선패턴(N4) 사이에 제2부여전위차값의 전위차가 부여되고, 그 때에 배선패턴(N3)과 배선패턴(N4) 사이에 흐르는 전류(엄밀하게는, 전원부(11)의 일방측 출력부와 배선패턴(N3) 사이에 흐르는 전류)가 전류 검출부(A)에 의하여 검출됨과 아울러 배선패턴(N3)과 배선패턴(N4) 사이에 부여된 전위차가 전위차 검출부(V)에 의하여 검출된다. 계속하여 그 검출된 전류값과 전위차값에 의거하여 배선패턴(N3)과 배선패턴(N4) 사이의 가상적인 저항값이 산출되고, 그 저항값에 의거하여 배선패턴(N3)과 배선패턴(N4) 사이의 스파크에 의한 리크전류의 유무가 판정된다. 이에 따라 배선패턴(N3)에 대한 제2종단락검사가 종료함과 아울러 배선패턴(N4)에 대한 제2종단락검사도 종료하고, 모든 배선패턴(N1-N4)에 대한 제2종단락검사가 종료한다. 그리고 배선패턴(N3, N4)이 접촉핀(P) 및 접속전환부(12)를 통하여 그라운드 전위에 접속되고, 전위차 부여에 의하여 배선패턴(N3, N4)에 축적된 전하가 방전된다.

이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 제1종 및 제2종단락검사에 있어서의 복수의 배선패턴(N)에 대한 주목배선패턴의 선정의 순서가, 검사시에 배선패턴(N)에 접촉되는 접촉핀(P)의 수에 의거하여 결정된다. 배선패턴(N)에 접촉되는 접촉핀(P)의 수는, 배선면적이 큰 배선패턴(N)일수록 많아지는 경향이기 때문에, 주목배선패턴의 선정의 순서를 접촉핀(P)의 수에 의거하여 결정함으로써, 배선패턴(N), 그 배선패턴(N)에 접촉되는 접촉핀(P) 및 그 접촉핀(P)에 접속되는 도선 등으로 이루어지는 전체의 정전용량을 고려하여 주목배선패턴의 선정의 순서를 결정할 수 있다.

또한 부여전위차값이 배선패턴(Ｎ)간의 극소 단락부에 관한 검사에 대응하는 작은 값으로 설정되는 제1종단락검사에서는, 복수의 배선패턴(N) 중에서 배선패턴(N)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)의 수가 많은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정되고, 부여전위차값이 배선패턴(Ｎ)간의 스파크에 의한 전류리크에 관한 검사에 대응한 큰 값으로 설정되는 제2종단락검사에서는, 복수의 배선패턴(N) 중에서 배선패턴(N)에 접촉되어 있는 접촉핀(P)의 수가 적은 것부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다.

이 때문에 부여전위차값이 작은 제1종단락검사에서는, 접촉되는 접촉핀(P)이 많아 접촉핀(P) 등을 포함하는 전체의 정전용량이 큰 배선패턴(N)부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써, 전체의 정전용량이 큰 배선패턴(N)에 대한 전위차의 부여 및 부여해제의 회수를 억제할 수 있다. 그 결과, 배선패턴(N)에 대한 전위차의 부여 및 부여해제시의 소요시간(충방전 등에 필요한 시간)을 단축하여 검사속도의 고속화가 도모된다.

한편 부여전위차값이 큰 제2종단락검사에서는, 접촉되는 접촉핀(P)이 적어 접촉핀(P) 등을 포함하는 전체의 정전용량이 작은 배선패턴(N)으로부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써, 검사결과의 오판정을 억제하여 검사의 신뢰성이 저하하는 것이 회피된다.

이와 같이 검사결과의 오판정이, 제2종단락검사에 있어서 핀수가 적은 배선패턴(N)부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정함으로써 억제되는 것은, 다음과 같은 이유에 의한 것이라고 생각된다.

우선, 종래기술에 있어서 제2종단락검사에서 검사결과의 오판정이 발생하고 있었던 원인에 대하여 검토한다. 제2종단락검사에서는 큰 전위차가 배선패턴(Ｎ)간에 부여되기 때문에, 전위차 부여에 의한 주목배선패턴 및 접촉핀 등의 대전량(帶電量)이 커지게 된다. 이 때문에 주목배선패턴에 축적된 전하를, 다음의 검사스텝으로 이행할 때에 그라운드 전위로 방전하는 데에도 필요로 하는 방전시간이 길어진다. 한편 검사속도의 고속화 때문에, 각 검사스텝에 할당되는 할당시간이 짧게 줄어드는 경향이 있다. 이러한 사정에 의하여 제2종단락검사에서는, 각 검사스텝에서 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이의 절연검사를 할 때에, //바로 직전의 검사스텝에서 주목배선패턴으로 설정된 배선패턴(N)으로부터의 방전이 영향을 주고, 이것이 검사결과의 오판정의 원인으로 되어 있을 가능성이 있다.

또한 종래의 검사장치와 같이, 제2종단락검사시에 배선면적이 가장 큰 배선패턴부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정하는 구성에서는, 각 검사스텝이 종료하여 다음의 검사스텝으로 이행할 때에, 다음의 검사스텝에서 주목배선패턴으로 설정되는 배선패턴보다도 배선면적이 큰 배선패턴(이것은, 바로 직전의 검사스텝에서 주목배선패턴이었던 배선패턴이다)으로부터의 방전이 항상 이루어진다. 이 때문에 이 바로 직전의 검사스텝에서 주목배선패턴으로 설정되어 있었던 배선패턴으로부터의 방전이, 각 검사스텝에서의 주목배선패턴에 대한 절연검사에 더 영향을 끼치기 쉬워져 있을 가능성이 있다.

이에 대하여 본 실시형태에서는, 제2종단락검사의 각 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3의 주목배선패턴에 대한 절연검사에 있어서, 핀수가 적은 배선패턴(N)부터 순차적으로 주목배선패턴으로 설정된다. 이에 따라 각 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3이 종료하여 다음의 검사스텝으로 이행할 때에, 바로 직전의 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3에서 주목배선패턴으로 설정되어 있었던 배선패턴(N)의 접촉핀(P) 등을 포함하는 전체의 정전용량이, 다음의 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3에서 주목배선패턴으로 설정되는 배선패턴(N)의 접촉핀(P) 등을 포함하는 전체의 정전용량보다도 작은 것이 된다. 이 때문에 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3 사이의 이행시에, 바로 직전의 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3에서 주목배선패턴으로 설정되어 있었던 배선패턴(N)으로부터의 방전이, 다음의 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3에서 주목배선패턴으로 설정되는 배선패턴(N)에 대하여 이루어지는 전위차 부여시의 충전에 요하는 시간에 비하여 비교적 단시간에 종료하게 된다. 그 결과, 바로 직전의 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3에서 주목배선패턴으로 설정되어 있었던 배선패턴(N)으로부터의 방전이, 다음의 검사스텝 Ｓｂ1-Ｓｂ3에서의 주목배선패턴에 대한 절연검사에 영향을 끼칠 확률이 억제된다고 생각된다.

이와 같이 본 실시형태에 의하면, 제1종단락검사에서의 검사속도를 향상시키면서, 검사속도의 고속화에 의하여 검사결과의 오판정이 발생하기 쉬운 제2종단락검사에서의 검사결과의 신뢰성을 향상시킴으로써, 제1종 및 제2종단락검사 전체로서 검사결과의 신뢰성을 저하시키지 않고 검사속도의 향상이 도모된다.

또한 제1종 및 제2종단락검사가 부여전위차값이 작은 것부터 순차적으로 이루어지기 때문에, 검사시의 과전류에 의하여 극소 단락부가 소손되는 것을 회피하면서, 배선패턴(Ｎ)간의 절연성에 대하여 검사할 수 있다.

다음에 도6을 참조하여 상기 실시예에 관한 기판검사장치(1)의 변형예에 대하여 설명한다. 이 변형예에서는, 제어부(13)가, 상기의 제1종단락검사 및 제2종단락검사의 각 검사내에 있어서 복수의 전류 검출부(A)의 사용빈도가 분산되도록(바람직하게는 사용빈도가 균등하게 되도록), 각 검사스텝에서 전류의 검출에 사용하는 전류 검출부(A)를 선택하게 되어 있다.

이러한 제어부(13)에 의한 전류 검출부(A)의 선택동작에 대하여, 도6에 나타내는 구체적인 예에 의거하여 설명한다. 도6에 나타내는 예에서는 4개의 전류 검출부(A1-A4)가 설치되고, 각 전류 검출부(A1-A4)에 64개의 접촉핀(P)이 할당되어 있다. 더 구체적으로는, 전류 검출부(A1)에 접촉핀(P1-P64)이 할당되고, 전류 검출부(A2)에 접촉핀(P65-P128)이 할당되고, 전류 검출부(A3)에 접촉핀(P129-P192)이 할당되고, 전류 검출부(A4)에 접촉핀(P193-P256)이 할당되어 있다.

그리고 제1종 및 제2종단락검사에 있어서, 배선패턴(Ｎａ1-Ｎａ4)에 대한 절연검사가 이루어지게 되어 있다. 도6의 「배선패턴과 접촉핀의 대응」의 난의 기재예에서는, 배선패턴(Ｎａ1)은 접촉되는 접촉핀(P)의 수(핀수)가 2이며, 접촉핀(P1-P64) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)과, 접촉핀(P65-P128) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)이 접촉된다. 배선패턴(Ｎａ2)은 핀수가 2이며, 접촉핀(P1-P64) 중의 어느 2개의 접촉핀(P)이 접촉된다. 배선패턴(Ｎａ3)은 핀수가 4이며, 접촉핀(P1-P64) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)과, 접촉핀(P65-P128) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)과, 접촉핀(P129-P192) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)과, 접촉핀(P193-P256) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)이 접촉된다. 배선패턴(Ｎａ4)은 핀수가 2이며, 접촉핀(P129-P192) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)과, 접촉핀(P193-P256) 중의 어느 하나의 접촉핀(P)이 접촉된다.

도6의 「배선패턴과 접촉핀의 대응」의 난의 기재예로부터, 배선패턴(Ｎａ2)이 주목배선패턴으로 설정되어 때에는 배선패턴(Ｎａ2)에 흐르는 전류는 전류 검출부(A1)로밖에 검출할 수 없지만, 다른 배선패턴(Ｎａ1, Ｎａ3, Ｎａ4)이 각각 주목배선패턴으로 설정되었을 때에는, 배선패턴(Ｎａ1, Ｎａ3, Ｎａ4)에 흐르는 전류의 검출에 사용하는 전류 검출부(A1-A4)에 복수의 선택사항이 있다는 것을 알 수 있다. 구체적으로는, 배선패턴(Ｎａ1)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때는, 2개의 전류 검출부(A1, A2) 중에서 선택 가능하게 되어 있다. 또한 배선패턴(Ｎａ3)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에는, 4개의 전류 검출부(A1-A4) 중에서 선택 가능하게 되어 있다. 또한 배선패턴(Ｎａ4)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때는, 2개의 전류 검출부(A3, A4) 중에서 선택 가능하게 되어 있다.

그러나 종래의 검사장치에서는, 복수의 전류 검출부(A1-A4)의 사용빈도에 관한 배려가 전연 이루어지지 않아, 복수의 전류 검출부(A1-A4)가 선택 가능한 경우이더라도 예를 들면 도6의 「배선패턴과 접촉핀의 대응」의 난의 원으로 나타나 있는 바와 같이 핀 번호가 가장 작은 접촉핀(P)에 대응하는 전류 검출부(A1-A4)가 항상 사용되게 되어 있었다.

거기에서, 이 변형예에 관한 구성에서는, 예를 들면 도6의 「배선패턴과 접촉핀의 대응」의 난의 4각형으로 나타나 있는 바와 같이 각 검사스텝에 있어서 각 배선패턴(Ｎａ1-Ｎａ4)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에 복수의 전류 검출부(A1-A4)가 선택 가능한 경우에는, 제1종 및 제2종단락검사내에서의 전류 검출부(A1-A4)의 사용빈도가 분산되도록(바람직하게는, 사용빈도가 균등하게 되도록), 사용하는 전류 검출부(A1-A4)를 선택하고 있다. 구체적으로는, 배선패턴(Ｎａ1)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에는 전류 검출부(A2)가 사용되고, 배선패턴(Ｎａ2)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에는 전류 검출부(A1)가 사용되고, 배선패턴(Ｎａ3)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에는 전류 검출부(A3)가 사용되고, 배선패턴(Ｎａ4)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에는 전류 검출부(A4)가 사용된다.

이에 따라 제1종 및 제2종단락검사에 있어서, 일부의 전류 검출부(A1-A4)에 사용빈도가 치우치는 것을 방지하여 일부의 전류 검출부(A1-A4)의 열화가 다른 전류 검출부(A1-A4)에 비하여 더 진행하는 것을 방지할 수 있다.

이러한 변형예에 관한 구성의 새로운 변형예로서, 각 검사스텝에 있어서 각 배선패턴(Ｎａ1-Ｎａ4)이 주목배선패턴으로 설정되었을 때에 복수의 전류 검출부(A1-A4)가 선택 가능한 경우에, 그 선택가능한 복수의 전류 검출부(A1-A4) 및 복수의 방전경로를 동시에 사용하더라도 좋다. 이에 따라 전류 검출부(A1-A4)에 흐르는 전류값이 감소하고, 전류 검출부(A1-A4)의 부담을 경감시킬 수 있음과 아울러 충방전의 시간의 단축이 도모된다.

또한 상기의 기판검사장치(1)의 다른 변형예로서, 상기의 기판검사장치(1)에서는 제1종 및 제2종단락검사에 있어서, 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이에 전위차를 부여할 때에, 주목배선패턴이 플러스측이 되도록 전위차를 부여하는 예를 나타냈지만, 상대배선패턴이 플러스측이 되도록 전위차를 부여하더라도 좋고, 주목배선패턴과 상대배선패턴 사이에 전위차의 극성을 바꾸어 전위차를 2회 부여하여 검사를 하여도 좋다.

1 : 기판검사장치, 2 : 피검사 기판, 11 : 전원부, 12 : 접속전환부, 13 : 제어부, A1, A2 : 전류 검출부, N1-N4, Ｎａ1-Ｎａ4 : 배선패턴 P, P1, P2 : 접촉핀, ＳＷ1, ＳＷ2, ＳＷ2a, ＳＷ2b, ＳＷ2c : 스위칭 소자, V : 전위차 검출부.

Claims (4)

1. 피검사 기판(被檢査基板)에 형성되는 복수의 배선패턴(配線pattern)간에 전위차(電位差)를 부여하면서 검사용의 신호를 취득함으로써 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 기판검사장치(基板檢査裝置)로서,
   상기 피검사 기판에 형성되는 상기 각 배선패턴에 설정된 복수의 검사점(檢査點)에 접촉되는 복수의 접촉핀(接觸pin)과,
   상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간에 전위차를 부여함과 아울러 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 크기를 변경가능한 전원부(電源部)와,
   상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성에 관한 신호를 검출하는 검출부(檢出部)와,
   복수의 스위칭 소자(switching 素子)를 구비하고, 상기 각 스위칭 소자를 온, 오프 시킴으로써, 상기 복수의 접촉핀과, 상기 전원부 및 상기 검출부 사이의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환부(接續轉換部)와,
   상기 전원부 및 상기 접속전환부의 상기 복수의 스위칭 소자를 제어함과 아울러 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 제어부를
   구비하고,
   상기 제어부는, 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 값인 부여전위차값이 서로 다른 복수의 전기특성검사를 위한 검사처리동작을 하고,
   상기 제어부에 의한 상기 복수의 검사처리동작에서는, 그 검사처리동작내의 복수의 검사스텝에 있어서 상기 복수의 배선패턴의 어느 하나가 주목배선패턴(注目配線pattern)으로서 순차적으로 설정되어 감과 아울러 그 각 검사스텝에 있어서, 각 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴과, 상기 복수의 배선패턴 중에서 각 시점에서 상기 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴 및 그 검사처리동작내에서 이미 주목배선패턴으로 설정된 경우가 있는 배선패턴 이외의 배선패턴으로 이루어지는 상대배선패턴 사이에, 상기 접촉핀을 통하여 상기 전원부에 의하여 그 검사처리동작에 대응하는 상기 부여전위차값의 전위차가 부여되고, 상기 주목배선패턴과 상기 상대배선패턴 사이의 전기적 특성이 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 검사되고,
   상기 복수의 전기특성검사 중에서 상기 부여전위차값이 기준레벨 미만인 전기특성검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정되고, 상기 복수의 전기특성검사 중에서 상기 부여전위차값이 상기 기준레벨 이상인 전기특성검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
2. 피검사 기판에 형성되는 복수의 배선패턴간에 전위차를 부여하면서 검사용의 신호를 취득함으로써 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 기판검사장치로서,
   상기 피검사 기판에 형성되는 상기 각 배선패턴에 설정된 복수의 검사점에 접촉되는 복수의 접촉핀과,
   상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간에 전위차를 부여함과 아울러 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 크기를 변경가능한 전원부와,
   상기 복수의 접촉핀을 통하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성에 관한 신호를 검출하는 검출부와,
   복수의 스위칭 소자를 구비하고, 상기 각 스위칭 소자를 온, 오프 시킴으로써, 상기 복수의 접촉핀과, 상기 전원부 및 상기 검출부 사이의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환부와,
   상기 전원부 및 상기 접속전환부의 상기 복수의 스위칭 소자를 제어함과 아울러 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 상기 배선패턴간의 전기적 특성을 검사하는 제어부를
   구비하고,
   상기 제어부는, 상기 배선패턴간에 부여하는 전위차의 값인 부여전위차값이 서로 다른 복수의 전기특성검사를 위한 검사처리동작을 하고,
   상기 제어부에 의한 상기 복수의 검사처리동작에서는, 그 검사처리동작내의 복수의 검사스텝에 있어서 상기 복수의 배선패턴의 어느 하나가 주목배선패턴으로서 순차적으로 설정되어 감과 아울러 그 각 검사스텝에 있어서, 각 시점에서 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴과, 상기 복수의 배선패턴 중에서 각 시점에서 상기 주목배선패턴으로 설정되어 있는 배선패턴 및 그 검사처리동작내에서 이미 주목배선패턴으로 설정된 경우가 있는 배선패턴 이외의 배선패턴으로 이루어지는 상대배선패턴 사이에, 상기 접촉핀을 통하여 상기 전원부에 의하여 그 검사처리동작에 대응하는 상기 부여전위차값의 전위차가 부여되어서, 상기 주목배선패턴과 상기 상대배선패턴 사이의 전기적 특성이 상기 검출부의 검출결과에 의거하여 검사되고,
   상기 복수의 전기특성검사에는, 제1종 및 제2종단락검사가 포함되고,
   상기 제1종단락검사에서는, 상기 부여전위차값이, 인접하는 상기 배선패턴간이 유사적으로 단락하거나 또는 세선부에 의하여 단락한 극소 단락부(極小短絡部)가 도통하고 또한 그 극소 단락부에 흐르는 전류에 의하여 상기 극소 단락부가 소손(燒損)되지 않는 값으로 설정되고,
   상기 제2종단락검사에서는, 상기 부여전위차값이 상기 제1종단락검사의 상기 부여전위차값보다도 높은 값이며, 인접하는 상기 배선패턴간의 스파크(spark)에 의한 전류리크(電流leak)를 검출하기 위한 값으로 설정되고,
   상기 제1종단락검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 많은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정되고,
   상기 제2종단락검사에서는, 상기 복수의 배선패턴 중에서 배선패턴에 접촉되어 있는 상기 접촉핀의 수가 적은 것부터 순차적으로 상기 주목배선패턴으로 설정되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제어부에 의한 상기 복수의 검사처리동작에서는, 상기 복수의 전기특성검사가 상기 부여전위차값이 작은 것부터 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 검출부는, 상기 복수의 접촉핀을 복수의 그룹으로 분할하여 이루어지는 복수의 접촉핀군(接觸pin群)에 각각 할당되고, 그 대응하는 접촉핀군에 속하는 접촉핀을 통하여, 상기 주목배선패턴 또는 상기 상대배선패턴과 상기 전원부 사이에 흐르는 전류를 검출하는 복수의 전류 검출부를 구비하고,
   상기 제어부는, 상기 각 전기특성검사내에 있어서, 상기 복수의 전류 검출부의 사용빈도가 분산되도록 상기 각 검사스텝에서 상기 전류의 검출에 사용하는 상기 검출부의 상기 전류 검출부를 선택하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.

Images