CN103487608A - 基板检查夹具以及基板检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够大幅度地缩短检查设置在多个单位基板相连而成的连续基板上的电容器的绝缘特性所需时间的基板检查夹具和基板检查装置。作为基板检查装置（1）的检查对象的连续基板（2）由分别设置有至少一个电容器（4a、4b）的多个单位基板（3）相连而构成。针对连续基板（2）内的两个以上的单位基板（3），能够使基板检查夹具（11）的多个探针（P）的前端部分别与和设置在上述单位基板（3）上的电容器（4）的电极端子电连接的接触点（5）接触。利用多个电流检测部（AM）分别独立地检测流过连续基板（2）的两个以上的单位基板（3）的电容器（4a、4b）的电流，并基于检测结果对连续基板（2）的两个以上的单位基板（3）的电容器（4a、4b）的绝缘性进行检查。

Description

基板检查夹具以及基板检查装置
技术领域
本发明涉及对设置于基板上的电容器的绝缘特性进行检查的基板检查装置所具备的基板检查夹具以及基板检查装置。
背景技术
基板检查装置为了检查基板的电特性而具备控制部，该控制部具备用于供给电信号的电源、用于检测基板的电信号的电流计。该控制部中通常只具备一个电源、一个电流计。因此，在对设置有多个电容器的基板（例如，多个单位基板相连而成的连续基板）进行检查的情况下，需要逐个地按顺序对电容器进行检查，因此存在检查所需的时间长的问题。
另外，作为关于这种基板检查装置的现有技术文献，可以举出专利文献1。
（现有技术文献）
（专利文献）
专利文献1：日本特开2008-305891号公报
发明内容
（发明要解决的课题）
因此，本发明要解决的课题是提供一种能够大幅度地缩短对设置在多个单位基板相连而成的连续基板的电容器的绝缘特性进行检查所需的时间的基板检查夹具以及基板检查装置。
（解决课题的手段）
为了解决上述课题，本发明的第一方面提供一种针对由多个单位基板相连接而成的、在各个上述单位基板设置有至少一个电容器并且在各个上述单位基板的表面设置有经由布线与各个上述电容器的两个电极端子连接的多个接触点的连续基板，检查设置于该连续基板内的各个上述单位基板上的上述电容器的绝缘特性的基板检查装置所具备的基板检查夹具，具备：多个探针，上述多个探针的前端部被配置成能够与上述连续基板的两个以上的上述单位基板的上述接触点分别接触；探针保持部件，上述探针保持部件保持上述多个探针；多个电极部，上述多个电极部与由上述探针保持部件保持的各个上述探针的后端部分别电接触；电极保持部件，上述电极保持部件保持上述多个电极部；以及多个导线部，上述多个导线部将各个上述电极部与切换各个上述探针和上述基板检查装置的装置主体侧之间的电连接关系的连接切换部连接。
另外，本发明的第二方面提供一种基板检查装置，具备：第一方面所述的基板检查夹具；电源部，上述电源部经由上述基板检查夹具的上述探针以及上述连续基板的上述接触点向上述连续基板的上述两个以上的单位基板的上述电容器供给用于检查绝缘特性的电力；多个电流检测部，上述多个电流检测部经由上述基板检查夹具的上述探针以及上述连续基板的上述接触点分别检测流过上述连续基板的上述两个以上的单位基板的上述电容器的电流；连接切换部，上述连接切换部对上述基板检查夹具的上述探针与上述电源部以及上述电流检测部之间的电连接关系进行切换；以及判定处理部，上述判定处理部基于上述电流检测部的检测结果来检查上述连续基板的上述两个以上的单位基板的上述电容器的绝缘特性。
另外，本发明的第三方面是在上述第二方面的基板检查装置的基础上，上述连接切换部具备多个开关元件和设置有上述多个开关元件的基板部件，上述多个开关元件对上述基板检查夹具的上述探针与上述电源部以及上述电流检测部之间的电连接关系进行切换，上述多个电流检测部被设置在上述连接切换部的上述基板部件。
（发明的效果）
根据本发明的第一方面的基板检查夹具，针对连续基板内的两个以上的单位基板，能够使多个探针的前端部分别与和设置在所述单位基板上的电容器的电极端子电连接的接触点接触。因此，针对设置在连续基板内的多个单位基板，能够同时进行与设置在所述单位基板的电容器的绝缘特性相关的检查，能够大幅度地缩短检查电容器的绝缘特性所需的时间。
根据本发明的第二方面的基板检查装置，具备上述的第一方面的基板检查夹具；以及分别检测在连续基板的两个以上的单位基板的电容器中流过的电流的多个电流检测部。因此，针对设置在连续基板内的多个单位基板，能够同时进行与设置在所述单位基板的电容器的绝缘特性相关的检查，能够大幅度地缩短检查电容器的绝缘特性所需的时间。
根据本发明的第三方面的基板检查装置，多个电流检测部被设置在连接切换部的设置多个开关元件的基板部件上。因此，能够缩短电流检测部与探针之间的布线路径，能够抑制噪声（例如，由布线路径的电阻值产生的影响等），正确地检测供给至电容器的电流。
另外，电流检测部的设置数目等与基板检查夹具的探针以及连接切换部的开关元件的设置状况（设置数目等）的关系强，因此通过将电流检测部设置在连接切换部的基板部件，能够维持检查装置主体的结构，并能够容易地应对检查对象的基板的规格变更等。
附图说明
图1是示意性地表示本发明的一个实施方式的基板检查装置的局部结构的图。
图2是表示图1的基板检查装置所具备的基板检查夹具的局部结构的剖视图。
图3是表示图1的基板检查装置的电结构的图。
图4是表示作为图1的基板检查装置的检查对象的连续基板的图。
图5是表示在由图1的基板检查装置进行检查时的电路结构的图。
图6是表示在检查时向电容器供给的电流的时间变化等的图。
（附图标记说明）
1-基板检查装置，2-连续基板，3-单位基板，4、4a、4b-电容器，5、5a～5c-接触点，11-基板检查夹具，111-前端侧探针保持部件，112-后端侧探针保持部件，113-电极部，114-电极保持部件，115-布线部，12-连接切换单元，13-检查处理单元，14-连接切换部，15-电源部，16-控制部，AM、AM1～AMn-电流检测部，P、P1～Pn-探针，SW1-第一开关元件，SW2-第二开关元件，SWG1～SWGn-开关组，VM-电压检测部。
具体实施方式
参照图1～图6，对本发明的一个实施方式的基板检查装置进行说明。如图1所示，该基板检查装置1构成为具有基板检查夹具11、连接切换单元12以及检查处理单元13，对设置在图4所示的连续基板2内的两个以上的单位基板3上的电容器4a、4b（统称的情况下，使用附图标记“4”）（参照图5）的绝缘特性进行检查。如图3所示，在连接切换单元12上设置有连接切换部14以及多个电流检测部AM1～AMn（统称的情况下，使用附图标记“AM”）。另外，检查处理单元13具有电源部15、电压检测部VM以及作为判定处理部的控制部16。
如图4所示，连续基板2是具有相同结构的多个单位基板3连续地（例如，矩阵状）相连而成的，最终通过将连续基板2分割为多个，会得到多个单位基板3。如图5所示，在各单位基板3上设置有至少一个（在本实施方式中，为多个）电容器4a、4b。在本实施方式中，在各单位基板3上设置两个电容器4a、4b。例如，各单位基板3是在内部内置有电容器4的部件内置基板。
另外，在各单位基板3的表面上设置有经由布线与各电容器4的两个电极端子连接的多个接触点5a～5c（统称的情况下，它们使用附图标记“5”）。接触点5a经由布线与两个电容器4的第一电极端子电连接，接触点5b、5c经由布线分别独立地与电容器4的第二电极端子电连接。此外，作为变形例，也可以针对电容器4的第一电极端子，设置与电容器4相同数目的接触点5a，并使所述接触点5a分别独立地电连接。在此，接触点5a～5b由设置在单位基板3的布线图案的连接盘部或者在该连接盘部上赋予的焊锡球等构成。另外，在本实施方式中，为了简化而仅对设置在各单位基板3的结构中的、两个电容器4以及与它们相关联的布线等进行说明，但实际上，也可以在各单位基板3设置其它电子部件以及与它们相关联的布线等。
如图1以及图2所示，基板检查夹具11具有：多个探针P1～Pn（统称的情况下，它们使用附图标记“P”）、前端侧以及后端侧探针保持部件111、112、多个电极部113、电极保持部件114、以及多个导线部115。此外，为了简化，在本实施方式中仅记载了与连续基板2的上侧面接触的上侧的检查夹具11，但通常情况下还设置有与连续基板2的下侧面接触的下侧的检查夹具。
多个探针P1～Pn被配置为前端部能够与连续基板2的两个以上的（在本实施方式中，为连续基板2的所有的）单位基板3的接触点分别接触。在前端侧以及后端侧探针保持部件111、112上设置有可分别将探针P的前端侧的部分以及后端侧的部分插入而保持的保持孔111a、112a。前端侧以及后端侧探针保持部件111、112以相互间隔开间隔的状态被连结部件116连结固定，以便在探针P的前端部与连续基板2的接触点5a～5c抵接时，允许探针P因负荷而弯曲（屈曲）。
电极部113被配置在与前端侧以及后端侧探针保持部件111、112所保持的各探针P分别对应的位置，通过与对应的各探针P的后端部接触而电连接。在电极保持部件114设置有上下贯通的多个保持孔114a，利用所述保持孔114a保持电极部113。导线部115与各电极部113分别连接，或者与各电极部113分别连续地相连，并将各电极部113与连接切换单元12的连接切换部14连接。此外，在本实施方式中，电极部113由线状的导线部115的导体部分的前端构成。
连接切换单元12的连接切换部14构成为具备多个开关组SWG1～SWGn。在各开关组SWG1～SWGn中设置有通过控制部16的控制而进行接通、关断动作的第一以及第二开关元件这两个开关元件（例如，半导体开关元件）SW1、SW2。开关组SWG1～SWGn例如针对每个探针P各设置一组。另外，通过将连接切换部14的各开关组SWG1～SWGn的各开关元件SW1、SW2进行接通、关断的切换，来切换各探针P与后述的电源部15、电流检测部AM以及电压检测部VM之间的电连接关系。在第一开关元件SW1被接通的情况下，对应的探针P经由第一开关元件SW1与电源部15的第一输出端子15a连接。在第二开关元件SW2被接通的情况下，对应的探针P经由第二开关元件SW2与电源部15的第二输出端子15b连接。
电源部15通过控制部16的控制并经由成对的第一以及第二输出端子15a、15b输出电容器4的绝缘检查用的电力（例如，直流电流）。另外，关于第一以及第二输出端子15a、15b的极性，将第一输出端子15a设定为正极侧，第二输出端子15b设定为负极侧。
电流检测部AM1～AMn设置有多个（数目与设置在连续基板2内的要同时进行检查的电容器4的数目相同），并被配置在设置连接切换单元12内的多个开关组SWG1～SWGn的未图示的基板部件上。在电路方面，电流检测部AM被插入于连接各开关组SWG1～SWGn的第二开关元件SW2与电源部15的第二输出端子15b的布线之间。于是，经由各探针P以及接触点5来检测从电源部15向连续基板2内的多个各电容器4供给的电流，并将这种检测结果提供给控制部16。
电压检测部VM经由探针P以及连续基板2的接触点5来检测施加给连续基板2内的各电容器4的电压，并将这种检测结果提供给控制部16。此外，所述电压检测部VM可以省略。
控制部16对该基板检查装置1进行控制，并且进行与设置在连续基板2内的多个单位基板3的电容器4的绝缘特性相关的检查。以下，对控制部16的检查进行说明。
在检查中，基板检查夹具11的各探针P的前端部与连续基板2的各单位基板3的对应的接触点5接触，并且，连接切换部14的各开关组SWG1～SWGn中的、与和各单位基板3的接触点5a接触的探针P对应的开关组SWG1～SWGn的第一开关元件SW1被接通，第二开关元件SW2被关断。另外，与和各单位基板3的接触点5b、5c接触的探针P对应的开关组SWG1～SWGn的第二开关元件SW2被接通，第一开关元件SW1被关断。由此，如图5所示，电源部15输出的电流能够经由接触点5a～5c同时供给至连续基板2内的各单位基板3的电容器4a、4b，并且供给至各电容器4a、4b的电流能够被电流检测部AM分别独立地进行检测。
另外，关于各电容器4的绝缘检查，例如在从由电源部15向各电容器4开始供给电流时起经过了规定时间的时刻，经由各电流检测部AM检测向各电容器4供给的电流的状态（例如，电流值），基于这种检测结果来判定各电容器4的绝缘特性的优劣。关于电容器4的绝缘特性的优劣判定的更具体的内容，参照图6说明如下。
在电容器4的绝缘特性无问题的情况下，如图6的曲线图G1所示，若在时刻T1由电源部15开始电流供给，则随后向电容器4供给的电流值立即上升至额定值，进行向电容器4的电极间的充电。而若在时刻T2对电容器4的充电大致结束，则与此相伴，向电容器4供给的电流的值迅速地下降而趋于零。与此相对，在电容器4的电极间发生短路等绝缘性问题的情况下，如图6的曲线图G2所示，由于短路的缘故而向电容器4的充电不进行，因此即使经过时刻T2，向电容器4供给的电流的值仍不下降而几乎维持在固定值。
因此，在从开始向各电容器4供给电流时起经过规定时间的时刻T3（超过了时刻T2的定时），经由各电流检测部AM来检测向各电容器4供给的电流的值，判定这种检测电流值是否在例如规定的判定基准值Ia以下，据此能够进行各电容器4的绝缘特性的优劣判定。在此情况下，如果在时刻T3的检测电流值为判定基准值Ia以下，则判定为电容器4正常，如果检测电流值高于判定基准值Ia，则判定为电容器4异常。
如上所述，根据本实施方式的基板检查装置1，针对连续基板2内的两个以上的单位基板3，能够使基板检查夹具11的多个探针P的前端部与和设置在该单位基板3的电容器4的电极端子电连接的接触点5分别接触。与此同时，利用多个电流检测部AM，能够分别独立地检测流过连续基板2的两个以上的单位基板3的电容器4的电流。因此，针对设置在连续基板2内的多个单位基板3，能够同时进行与设置在所述单位基板3上的电容器4的绝缘特性相关的检查，能够大幅度地缩短检查电容器4的绝缘特性所需的时间。
另外，多个电流检测部AM被设置在连接切换部14的设置多个开关元件SW1、SW2的基板部件上。因此，能够缩短电流检测部AM与探针P之间的布线路径，抑制噪声（例如，由布线路径的电阻值造成的影响等），从而能够正确地检测向电容器4供给的电流。
另外，电流检测部AM的设置数目等与基板检查夹具11的探针P以及连接切换部14的开关元件SW1、SW2的设置状况（设置数目等）的关系强，因此通过将电流检测部AM设置在连接切换部14的基板部件上，能够维持检查处理单元13的结构，并且能够容易地应对检查对象的基板的规格变更等。

Claims (3)

1.一种基板检查夹具，上述基板检查夹具针对由多个单位基板相连接而成的、在各个上述单位基板设置有至少一个电容器并且在各个上述单位基板的表面设置有经由布线与各个上述电容器的两个电极端子连接的多个接触点的连续基板，检查设置于该连续基板内的各个上述单位基板上的上述电容器的绝缘特性的基板检查装置所具备的基板检查夹具，其特征在于，具备：
多个探针，上述多个探针的前端部被配置成能够与上述连续基板的两个以上的上述单位基板的上述接触点分别接触；
探针保持部件，上述探针保持部件保持上述多个探针；
多个电极部，上述多个电极部与由上述探针保持部件保持的各个上述探针的后端部分别电接触；
电极保持部件，上述电极保持部件保持上述多个电极部；以及
多个导线部，上述多个导线部将各个上述电极部与切换各个上述探针和上述基板检查装置的装置主体侧之间的电连接关系的连接切换部连接。
2.一种基板检查装置，其特征在于，具备：
权利要求1所述的基板检查夹具；
电源部，上述电源部经由上述基板检查夹具的上述探针以及上述连续基板的上述接触点向上述连续基板的上述两个以上的单位基板的上述电容器供给用于检查绝缘特性的电力；
多个电流检测部，上述多个电流检测部经由上述基板检查夹具的上述探针以及上述连续基板的上述接触点分别检测流过上述连续基板的上述两个以上的单位基板的上述电容器的电流；
连接切换部，上述连接切换部对上述基板检查夹具的上述探针与上述电源部以及上述电流检测部之间的电连接关系进行切换；以及
判定处理部，上述判定处理部基于上述电流检测部的检测结果来检查上述连续基板的上述两个以上的单位基板的上述电容器的绝缘特性。
3.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，
上述连接切换部具备多个开关元件和设置有上述多个开关元件的基板部件，上述多个开关元件对上述基板检查夹具的上述探针与上述电源部以及上述电流检测部之间的电连接关系进行切换，
上述多个电流检测部被设置在上述连接切换部的上述基板部件上。
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