TW201403088A - 基板檢查治具及基板檢查裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種基板檢查治具及基板檢查裝置，能夠大幅度地縮短檢查設置在多個單位基板相連而成的連續基板上的電容器的絕緣特性所需時間。作為基板檢查裝置1的檢查對象的連續基板2由分別設置有至少一個電容器4a、4b的多個單位基板3相連而構成。能夠針對連續基板2內的兩個以上的單位基板3，使基板檢查治具11的多個探針P的前端部分別接觸於與設置在上述單位基板3上的電容器4的電極端子電連接的接觸點5。利用多個電流檢測部AM分別獨立地檢測流過連續基板2的兩個以上的單位基板3的電容器4a、4b的電流，並基於檢測結果對連續基板2的兩個以上的單位基板3的電容器4a、4b的絕緣性進行檢查。

Description

基板檢查治具及基板檢查裝置
本發明係關於對設置於基板上的電容器的絕緣特性進行檢查的基板檢查裝置所具備的基板檢查治具以及基板檢查裝置。
基板檢查裝置為了檢查基板的電特性而具備控制部，該控制部具備用於供給電信號的電源、及用於檢測基板的電信號的電流計。該控制部中通常只具備一個電源及電流計。因此，在對設置有多個電容器的基板(例如，多個單位基板相連而成的連續基板)進行檢查的情況下，需要逐個地按順序對電容器進行檢查，因此存在有檢查需要長久時間的問題。
另外，作為關於這種基板檢查裝置的現有技術文獻，可以舉出專利文獻1。
(先前技術文獻) (專利文獻)
專利文獻1：日本特開2008-305891號公報
因此，本發明所欲解決的問題是提供一種基板檢查治具及基板檢查裝置，能夠大幅度地縮短對設置在多個單位基板相連而成的連續基板的電容器的絕緣特性進行檢查所需的時間。
為了解決上述課題，本發明的第一態樣提供一種基板檢查治具，包含在基板檢查裝置中，該基板檢查裝置係針對由多個單位基板相連接而成的、在各個上述單位基板設置有至少一個電容器並且在各個上述單位基板的表面設置有經由佈線與各個上述電容器的兩個電極端子連接的多個接觸點的連續基板，檢查設置於該連續基板內的各個上述單位基板上的上述電容器的絕緣特性，上述基板檢查治具具備：多個探針，前端部被配置成能夠分別接觸於上述連續基板的兩個以上的上述單位基板的上述接觸點；探針保持構件，保持上述多個探針；多個電極部，分別電接觸於由上述探針保持構件保持的各個上述探針的後端部；電極保持構件，上述電極保持構件保持上述多個電極部；以及多個導線部，將各個上述電極部連接至對各個上述探針和上述基板檢查裝置的裝置主體側之間的電連接關係進行切換的連接切換部。
另外，本發明的第二態樣提供一種基板檢查裝置，具備：第一態樣該的基板檢查治具；電源部，經由上述基板檢查治具的上述探針以及上述連續基板的上述接觸點向上述連續基板的上述兩個以上的單位基板的上述電容器供給用於檢查絕緣特性的電力；多個電流檢測部，經由上述基板檢查治具的上述探針以及上述連續基板的上述接觸點分別檢測流過上述連續基板的上述兩個以上的單位基板的上述電容器的電流；連接切換部，對上述基板檢查治具的上述探針與上述電源部以及上述電流檢測部之間的電連接關係進行切換；以及判定處理部，基於上述電流檢測部的檢測結果來檢查上述連續基板的上述兩個以上的單位基板的上述電容器的絕緣特性。
另外，本發明的第三態樣是在上述第二態樣的基板檢查裝置的基礎上，上述連接切換部具備多個開關元件和設置有上述多個開關元件的基板 構件，其中，上述多個開關元件對上述基板檢查治具的上述探針與上述電源部以及上述電流檢測部之間的電連接關係進行切換，上述多個電流檢測部被設置在上述連接切換部的上述基板構件。
根據本發明的第一態樣的基板檢查治具，能夠針對連續基板內的兩個以上的單位基板，使多個探針的前端部分別接觸於和設置在該單位基板上的電容器的電極端子電連接的接觸點。因此，能夠針對設置在連續基板內的多個單位基板，同時進行與設置在該單位基板的電容器的絕緣特性相關的檢查，能夠大幅度地縮短檢查電容器的絕緣特性所需的時間。
根據本發明的第二態樣的基板檢查裝置，具備上述的第一態樣的基板檢查治具；以及分別檢測在連續基板的兩個以上的單位基板的電容器中流過的電流的多個電流檢測部。因此，能夠針對設置在連續基板內的多個單位基板，同時進行與設置在該單位基板的電容器的絕緣特性相關的檢查，能夠大幅度地縮短檢查電容器的絕緣特性所需的時間。
根據本發明的第三態樣的基板檢查裝置，多個電流檢測部被設置在連接切換部的設置多個開關元件的基板構件上。因此，能夠縮短電流檢測部與探針之間的佈線路徑，能夠抑制雜訊(例如，由佈線路徑的電阻值產生的影響等)，正確地檢測供給至電容器的電流。
另外，電流檢測部的設置數目等與基板檢查治具的探針以及連接切換部的開關元件的設置狀況(設置數目等)的關聯性強，因此藉由將電流檢測部設置在連接切換部的基板構件，能夠維持檢查裝置主體的結構，並能夠容易地應對檢查對象的基板的規格變更等。
1‧‧‧基板檢查裝置
2‧‧‧連續基板
3‧‧‧單位基板
4、4a、4b‧‧‧電容器
5、5a~5c‧‧‧接觸點
11‧‧‧基板檢查治具
111‧‧‧前端側探針保持構件
111a、112a、114a‧‧‧保持孔
112‧‧‧後端側探針保持構件
113‧‧‧電極部
114‧‧‧電極保持構件
115‧‧‧佈線部
116‧‧‧連結構件
12‧‧‧連接切換單元
13‧‧‧檢查處理單元
14‧‧‧連接切換部
15‧‧‧電源部
15a‧‧‧第一輸出端子
15b‧‧‧第二輸出端子
16‧‧‧控制部
AM、AM1~AMn‧‧‧電流檢測部
G1、G2‧‧‧曲線圖
Ia‧‧‧判定基準值
P、P1~Pn‧‧‧探針
SW1‧‧‧第一開關元件
SW2‧‧‧第二開關元件
SWG1~SWGn‧‧‧開關組
T1~T3‧‧‧時點
VM‧‧‧電壓檢測部
圖1是示意性地表示本發明的一個實施形態的基板檢查裝置的局部結 構的圖。
圖2是表示圖1的基板檢查裝置所具備的基板檢查治具的局部結構的剖視圖。
圖3是表示圖1的基板檢查裝置的電結構的圖。
圖4是表示作為圖1的基板檢查裝置的檢查對象的連續基板的圖。
圖5是表示在由圖1的基板檢查裝置進行檢查時的電路結構的圖。
圖6是表示在檢查時向電容器供給的電流的時間變化等的圖。
參照圖1~圖6，對本發明的一個實施形態的基板檢查裝置進行說明。如圖1所示，該基板檢查裝置1構成為具有基板檢查治具11、連接切換單元12以及檢查處理單元13，對設置在圖4所示的連續基板2內的兩個以上的單位基板3上的電容器4a、4b(統稱的情況下，使用元件符號“4”)(參照圖5)的絕緣特性進行檢查。如圖3所示，在連接切換單元12上設置有連接切換部14以及多個電流檢測部AM1~AMn(統稱的情況下，使用元件符號“AM”)。另外，檢查處理單元13具有電源部15、電壓檢測部VM以及作為判定處理部的控制部16。
如圖4所示，連續基板2是具有相同結構的多個單位基板3連續地(例如，矩陣狀)相連而成的，最終藉由將連續基板2分割為多個，會得到多個單位基板3。如圖5所示，在各單位基板3上設置有至少一個(在本實施形態中，為多個)電容器4a、4b。在本實施形態中，在各單位基板3上設置有兩個電容器4a、4b。例如，各單位基板3是在內部內置有電容器4的零件內置基板。
另外，在各單位基板3的表面上設置有經由佈線與各電容器4的兩個電極端子連接的多個接觸點5a~5c(統稱此等的情況下，使用元件符號“5”)。接觸點5a經由佈線而電連接於兩個電容器4的第一電極端子，接觸點5b、5c經由佈線分別獨立地電連接於電容器4的第二電極端子。此外， 作為變形例，也可以設置與電容器4相同數目的接觸點5a，並使該接觸點5a分別獨立地電連接於電容器4的第一電極端子。在此，接觸點5a~5b由設置在單位基板3的佈線圖案的連接盤部或者附加在該連接盤部上的焊錫球等構成。另外，在本實施形態中，為了簡化而僅對設置在各單位基板3的結構中的、兩個電容器4以及與其相關的佈線等進行說明，但實際上，也可以在各單位基板3設置其它電子零件以及與其相關的佈線等。
如圖1以及圖2所示，基板檢查治具11具有：多個探針P1~Pn(統稱的情況下，它們使用元件符號“P”)、前端側以及後端側探針保持構件111、112、多個電極部113、電極保持構件114、以及多個導線部115。此外，為了簡化，在本實施形態中僅記載了與連續基板2的上側面接觸的上側的檢查治具11，但通常情況下還設置有與連續基板2的下側面接觸的下側的檢查治具。
多個探針P1~Pn被配置為前端部能夠分別接觸於連續基板2的兩個以上的(在本實施形態中，為連續基板2的所有的)單位基板3的接觸點。在前端側以及後端側探針保持構件111、112上設置有可分別將探針P的前端側的部分以及後端側的部分插入而保持的保持孔111a、112a。前端側以及後端側探針保持構件111、112以相互間隔開間隔的狀態被連結構件116連結固定，以便在探針P的前端部與連續基板2的接觸點5a~5c抵接時，允許探針P因負荷而彎曲(buckling)。
電極部113被配置在與前端側以及後端側探針保持構件111、112所保持的各探針P分別對應的位置，藉由與對應的各探針P的後端部接觸而電連接。在電極保持構件114設置有上下貫穿的多個保持孔114a，利用該保持孔114a保持電極部113。導線部115與各電極部113分別連接，或者與各電極部113分別相連成連續，並將各電極部113連接於連接切換單元12的連接切換部14。此外，在本實施形態中，電極部113由線狀的導線部115的導體部分的前端構成。
連接切換單元12的連接切換部14構成為具備多個開關組SWG1~SWGn。在各開關組SWG1~SWGn中設置有依據控制部16的控制而進行接通、關斷動作的第一以及第二開關元件這兩個開關元件(例如，半導體開關元件)SW1、SW2。開關組SWG1~SWGn例如針對每個探針P各設置一組。並且，藉由將連接切換部14的各開關組SWG1~SWGn的各開關元件SW1、SW2進行接通、關斷的切換，來切換各探針P與後述的電源部15、電流檢測部AM以及電壓檢測部VM之間的電連接關係。在第一開關元件SW1被接通的情況下，對應的探針P經由第一開關元件SW1而連接至電源部15的第一輸出端子15a。在第二開關元件SW2被接通的情況下，對應的探針P經由第二開關元件SW2而連接至電源部15的第二輸出端子15b。
電源部15依據控制部16的控制並經由成對的第一以及第二輸出端子15a、15b輸出電容器4的絕緣檢查用的電力(例如，直流電流)。另外，關於第一以及第二輸出端子15a、15b的極性，將第一輸出端子15a設定為正極側，第二輸出端子15b設定為負極側。
電流檢測部AM1~AMn設置有多個(數目與設置在連續基板2內待同時進行檢查的電容器4的數目相同)，並被配置在設置有連接切換單元12內的多個開關組SWG1~SWGn的未圖示的基板構件上。在電路方面，電流檢測部AM被插入於連接各開關組SWG1~SWGn的第二開關元件SW2與電源部15的第二輸出端子15b的佈線之間。於是，經由各探針P以及接觸點5來檢測從電源部15向連續基板2內的多個各電容器4供給的電流，並將其檢測結果提供給控制部16。
電壓檢測部VM經由探針P以及連續基板2的接觸點5來檢測施加給連續基板2內的各電容器4的電壓，並將這種檢測結果提供給控制部16。此外，該電壓檢測部VM可以省略。
控制部16對該基板檢查裝置1進行控制，並且進行與設置在連續基板 2內的多個單位基板3的電容器4的絕緣特性相關的檢查。以下，對控制部16的檢查進行說明。
在檢查中，基板檢查治具11的各探針P的前端部接觸於連續基板2的各單位基板3的對應的接觸點5，並且，連接切換部14的各開關組SWG1~SWGn中的、與和各單位基板3的接觸點5a接觸的探針P對應的開關組SWG1~SWGn的第一開關元件SW1被接通，第二開關元件SW2被關斷。另外，與和各單位基板3的接觸點5b、5c接觸的探針P對應的開關組SWG1~SWGn的第二開關元件SW2被接通，第一開關元件SW1被關斷。由此，如圖5所示，電源部15輸出的電流能夠經由接觸點5a~5c同時供給至連續基板2內的各單位基板3的電容器4a、4b，並且供給至各電容器4a、4b的電流能夠被電流檢測部AM分別獨立地進行檢測。
另外，關於各電容器4的絕緣檢查，例如在從由電源部15向各電容器4開始供給電流時起經過了規定時間的時點，經由各電流檢測部AM檢測向各電容器4供給的電流的狀態(例如，電流值)，基於這種檢測結果來判定各電容器4的絕緣特性的良莠。關於電容器4的絕緣特性的良莠判定的更具體的內容，參照圖6說明如下。
在電容器4的絕緣特性無問題的情況下，如圖6的曲線圖G1所示，若在T1時點由電源部15開始電流供給，則隨後向電容器4供給的電流值立即上升至額定值，進行向電容器4的電極間的充電。而若在T2時點對電容器4的充電大致結束，則向電容器4供給的電流的值隨之迅速地下降而趨於零。相對於此，在電容器4的電極間發生短路等絕緣性有問題的情況下，如圖6的曲線圖G2所示，由於短路的緣故，不會進行向電容器4的充電，因此即使經過T2時點，向電容器4供給的電流的值仍不下降而幾乎維持在固定值。
因此，在從開始向各電容器4供給電流時起經過規定時間的T3時點(超過了T2時點的時序)，經由各電流檢測部AM來檢測向各電容器4供給的 電流的值，判定這種檢測電流值是否在例如規定的判定基準值Ia以下，據此能夠進行各電容器4的絕緣特性的良莠判定。在此情況下，如果在T3時點的檢測電流值為判定基準值Ia以下，則判定為電容器4正常，如果檢測電流值高於判定基準值Ia，則判定為電容器4異常。
如上所述，根據本實施形態的基板檢查裝置1，能夠針對連續基板2內的兩個以上的單位基板3，使基板檢查治具11的多個探針P的前端部分別接觸於和設置在該單位基板3的電容器4的電極端子電連接的接觸點5。與此同時，能夠利用多個電流檢測部AM，分別獨立地檢測流過連續基板2的兩個以上的單位基板3的電容器4的電流。因此，能夠針對設置在連續基板2內的多個單位基板3，同時進行與設置在該單位基板3上的電容器4的絕緣特性相關的檢查，能夠大幅度地縮短檢查電容器4的絕緣特性所需的時間。
另外，多個電流檢測部AM被設置在連接切換部14的設置有多個開關元件SW1、SW2的基板構件上。因此，能夠縮短電流檢測部AM與探針P之間的佈線路徑，抑制雜訊(例如，由佈線路徑的電阻值造成的影響等)，從而能夠正確地檢測向電容器4供給的電流。
另外，電流檢測部AM的設置數目等，因為與基板檢查治具11的探針P以及連接切換部14的開關元件SW1、SW2的設置狀況(設置數目等)的關聯性強，所以藉由將電流檢測部AM設置在連接切換部14的基板構件上，即能維持檢查處理單元13的結構並且容易地因應檢查對象的基板的規格變更等。
2‧‧‧連續基板
3‧‧‧單位基板
4a、4b‧‧‧電容器
5a~5c‧‧‧接觸點
15‧‧‧電源部
15a‧‧‧第一輸出端子
15b‧‧‧第二輸出端子
AM‧‧‧電流檢測部
P‧‧‧探針
VM‧‧‧電壓檢測部

Claims (3)

  1. 一種基板檢查治具，包含在基板檢查裝置中，該基板檢查裝置係針對由多個單位基板相連接而成的、在各個該單位基板設置有至少一個電容器並且在各個該單位基板的表面設置有經由佈線與各個該電容器的兩個電極端子連接的多個接觸點的連續基板，檢查設置於該連續基板內的各個該單位基板上的該電容器的絕緣特性，該基板檢查治具之特徵在於，具備：多個探針，前端部被配置成能夠分別接觸於該連續基板的兩個以上的該單位基板的該接觸點；探針保持構件，保持該多個探針；多個電極部，分別電接觸於由該探針保持構件保持的各個該探針的後端部；電極保持構件，保持該多個電極部；以及多個導線部，將各個該電極部連接至對各個該探針和該基板檢查裝置的裝置主體側之間的電連接關係進行切換的連接切換部。
  2. 一種基板檢查裝置，其特徵在於，具備：如申請專利範圍第1項之基板檢查治具；電源部，經由該基板檢查治具的該探針以及該連續基板的該接觸點向該連續基板的該兩個以上的單位基板的該電容器供給用於檢查絕緣特性的電力；多個電流檢測部，經由該基板檢查治具的該探針以及該連續基板的該接觸點分別檢測流過該連續基板的該兩個以上的單位基板的該電容器的電流；連接切換部，對該基板檢查治具的該探針與該電源部以及該電流檢測部之間的電連接關係進行切換；以及判定處理部，基於該電流檢測部的檢測結果來檢查該連續基板的該兩個以上的單位基板的該電容器的絕緣特性。
  3. 如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其特徵在於，該連接切換部具備多個開關元件和設置有該多個開關元件的基板構件，其中，該多個開關元件對該基板檢查治具的該探針與該電源部以及該電流檢測部之間的電連接關係進行切換， 該多個電流檢測部被設置在該連接切換部的該基板構件上。
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