JP2009264817A - 半導体試験装置の診断ボード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】出力電流の供給経路が独立していると共に戻り経路が共通化された複数の電源を有する測定カードの経路診断に使用される半導体試験装置の診断ボードにおいて、電源毎に電気的に独立した出力電流用の経路を設ける。
【選択図】 図1
Description
電源E1はコネクタCN1を経由してパフォーマンスボード1上の負荷Load1へ電力を供給し、電源E2はコネクタCN2を経由してパフォーマンスボード1上の負荷Load2へ電力を供給する。電源E1からは電流I1が出力され、電源E2からは電流I2が出力される。
従って本発明が解決しようとする課題は、接点不良を精度良く検出することが可能な半導体試験装置の診断ボードを実現することにある。
複数の電源をパフォーマンスボードへ供給すると共に前記パフォーマンスボードからの前記複数の電源の戻り経路を共通としている測定カードの経路診断に使用される半導体試験装置の診断ボードにおいて、前記複数の電源の戻り経路を分けていることを特徴とする。
電源E1から出力した電流I1はコネクタCN1を経由して診断ボードに入り、抵抗R1、経路S1を通ってコネクタCN3の端子P1および端子P2に入る。同様に、電源E2から出力した電流I2はコネクタCN2を経由して診断ボードに入り、抵抗R2、経路S2を通ってコネクタCN3の端子P3および端子P4に入る。電流I1および電流I2は測定カードのコネクタCN3を経由して測定カード3上の配線で電流I3として合流する。
2 テストヘッド
3 測定カード
CN1,CN2,CN3,CN4,CN5 コネクタ
E1,E2 電源
Load1,Load2 負荷
R1,R2 抵抗
S1,S2 経路
P1,P2,P3,P4 端子
Claims (3)
- 出力電流の供給経路が独立していると共に戻り経路が共通化された複数の電源を有する測定カードの経路診断に使用される半導体試験装置の診断ボードにおいて、
前記電源毎に電気的に独立した前記出力電流用の経路を設けたことを特徴とする半導体試験装置の診断ボード。 - 複数の接点を有する戻り側コネクタを備え、
前記複数の電源それぞれからの出力電流を、前記戻り側のコネクタを介して前記電源に戻すことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置の診断ボード。 - 前記測定カードは、この測定カード上の配線と前記戻り側コネクタの端子とを半田または圧入により電気的に接続されることを特徴とする請求項2記載の半導体試験装置の診断ボード。
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