JPH052044A - 半導体試験装置の自己診断装置 - Google Patents
半導体試験装置の自己診断装置Info
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- JPH052044A JPH052044A JP3153140A JP15314091A JPH052044A JP H052044 A JPH052044 A JP H052044A JP 3153140 A JP3153140 A JP 3153140A JP 15314091 A JP15314091 A JP 15314091A JP H052044 A JPH052044 A JP H052044A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- logic circuit
- control circuit
- diagnosis
- pulse
- semiconductor test
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 半導体素子の動作を試験するために用いられ
制御手段（汎用コントロール回路９及び制御回路１２）
を有する半導体試験装置１と、半導体試験装置１に接続
され制御手段の指令に従って半導体試験装置１の機能を
診断する診断ボード２′とを備えた半導体試験装置の自
己診断装置において、診断ボード２′が、内部の論理が
変更可能な可変論理回路素子１３を有することを特徴と
している。 【効果】 診断が短時間に行え、故障箇所の特定と故障
の種類の特定とが容易な半導体試験装置の自己診断装置
が得られる効果がある。
制御手段（汎用コントロール回路９及び制御回路１２）
を有する半導体試験装置１と、半導体試験装置１に接続
され制御手段の指令に従って半導体試験装置１の機能を
診断する診断ボード２′とを備えた半導体試験装置の自
己診断装置において、診断ボード２′が、内部の論理が
変更可能な可変論理回路素子１３を有することを特徴と
している。 【効果】 診断が短時間に行え、故障箇所の特定と故障
の種類の特定とが容易な半導体試験装置の自己診断装置
が得られる効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、接続される診断手段
によって自己診断を行う半導体試験装置の自己診断装置
に関するものである。
によって自己診断を行う半導体試験装置の自己診断装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は一般的な半導体試験装置を示す構
成図である。図において、２ａは動作を試験される半導
体素子（以下、供試半導体素子という）を半導体試験装
置に接続するためのＩＣ試験用ボード、３は半導体試験
装置とＩＣ試験用ボード２ａとを接続するポゴピン、８
は回路を搭載するパフォーマンスボード、１４は供試半
導体素子が挿入されるＩＣソケット、１５はＩＣソケッ
ト１４を搭載するＤ.Ｕ.Ｔ.ボード、１６はパフォーマ
ンスボード８及びＤ.Ｕ.Ｔ.ボード１５の間の配線、１
７は半導体試験装置のテストヘッドである。
成図である。図において、２ａは動作を試験される半導
体素子（以下、供試半導体素子という）を半導体試験装
置に接続するためのＩＣ試験用ボード、３は半導体試験
装置とＩＣ試験用ボード２ａとを接続するポゴピン、８
は回路を搭載するパフォーマンスボード、１４は供試半
導体素子が挿入されるＩＣソケット、１５はＩＣソケッ
ト１４を搭載するＤ.Ｕ.Ｔ.ボード、１６はパフォーマ
ンスボード８及びＤ.Ｕ.Ｔ.ボード１５の間の配線、１
７は半導体試験装置のテストヘッドである。
【０００３】続いて、一般的な半導体試験装置が供試半
導体素子の試験をする際の動作について説明する。ま
ず、供試半導体素子をＩＣソケット１４に挿入し、半導
体試験装置側からテストヘッド１７を介して、供試半導
体素子の入力端子に適当な信号を送出する。この信号に
応答して、供試半導体素子は出力端子からテストヘッド
１７に信号を送出してくる。半導体試験装置は、この信
号をテストヘッド１７から受け取り、供試半導体素子の
機能が正常であると仮定した場合の信号と比較すること
により、供試半導体素子が正常か否かを判定する。
導体素子の試験をする際の動作について説明する。ま
ず、供試半導体素子をＩＣソケット１４に挿入し、半導
体試験装置側からテストヘッド１７を介して、供試半導
体素子の入力端子に適当な信号を送出する。この信号に
応答して、供試半導体素子は出力端子からテストヘッド
１７に信号を送出してくる。半導体試験装置は、この信
号をテストヘッド１７から受け取り、供試半導体素子の
機能が正常であると仮定した場合の信号と比較すること
により、供試半導体素子が正常か否かを判定する。
【０００４】図４は従来の半導体試験装置の自己診断装
置を示す構成図であり、８は前述と同様のものである。
図において、１は前述の半導体試験装置と同様のもので
あり、自己診断を施される。２は半導体試験装置１に接
続される診断ボードであり、診断手段を構成している。
診断ボード２は、前述のＩＣ試験用ボード２ａと同じ形
をしており、ＩＣ試験用ボード２ａと入れ換えて使用さ
れる。
置を示す構成図であり、８は前述と同様のものである。
図において、１は前述の半導体試験装置と同様のもので
あり、自己診断を施される。２は半導体試験装置１に接
続される診断ボードであり、診断手段を構成している。
診断ボード２は、前述のＩＣ試験用ボード２ａと同じ形
をしており、ＩＣ試験用ボード２ａと入れ換えて使用さ
れる。
【０００５】３ａ〜３ｆは半導体試験装置１及び診断ボ
ード２を接続し、両者の間でパルス信号の受け渡しを行
うポゴピン（内部にあるバネの接触圧により接続される
ピン）であり、以下では、ポゴピン３ａ〜３ｆに接続さ
れる、あるいは対応する部品を、それぞれ添字ａ〜ｆに
よって示す。４ａ〜４ｆは半導体試験装置１側から診断
ボード２側にパルス信号を送出するパルスドライバ、５
ａ〜５ｆは診断ボード２側から送出されてくるパルス信
号を取り込むコンパレータ、６ａ〜６ｆはそれぞれポゴ
ピン３ａ〜３ｆを他のポゴピンと接続するリレー、７ａ
〜７ｆはそれぞれリレー６ａ〜６ｆを駆動する駆動コイ
ルである。
ード２を接続し、両者の間でパルス信号の受け渡しを行
うポゴピン（内部にあるバネの接触圧により接続される
ピン）であり、以下では、ポゴピン３ａ〜３ｆに接続さ
れる、あるいは対応する部品を、それぞれ添字ａ〜ｆに
よって示す。４ａ〜４ｆは半導体試験装置１側から診断
ボード２側にパルス信号を送出するパルスドライバ、５
ａ〜５ｆは診断ボード２側から送出されてくるパルス信
号を取り込むコンパレータ、６ａ〜６ｆはそれぞれポゴ
ピン３ａ〜３ｆを他のポゴピンと接続するリレー、７ａ
〜７ｆはそれぞれリレー６ａ〜６ｆを駆動する駆動コイ
ルである。
【０００６】９はパフォーマンスボード８に搭載されて
いるリレー６ａ〜６ｆ等の回路を制御する汎用コントロ
ール回路、１０はパルスドライバ４ａ〜４ｆに信号を送
出する信号発生器、１１はコンパレータ５ａ〜５ｆから
受け取る信号がハイレベルかローレベルかを判別する信
号判別器である。１２は汎用コントロール回路９、信号
発生器１０及び信号判別器１１を制御する制御回路であ
り、内部にＣＰＵ、メモリ等を備えている。汎用コント
ロール回路９及び制御回路１２は制御手段を構成してい
る。なお、汎用コントロール回路９の出力信号はポゴピ
ンを介して診断ボード２側に送出されており、診断ボー
ド２の接地線もポゴピンを介して半導体試験装置１側で
接地されている。
いるリレー６ａ〜６ｆ等の回路を制御する汎用コントロ
ール回路、１０はパルスドライバ４ａ〜４ｆに信号を送
出する信号発生器、１１はコンパレータ５ａ〜５ｆから
受け取る信号がハイレベルかローレベルかを判別する信
号判別器である。１２は汎用コントロール回路９、信号
発生器１０及び信号判別器１１を制御する制御回路であ
り、内部にＣＰＵ、メモリ等を備えている。汎用コント
ロール回路９及び制御回路１２は制御手段を構成してい
る。なお、汎用コントロール回路９の出力信号はポゴピ
ンを介して診断ボード２側に送出されており、診断ボー
ド２の接地線もポゴピンを介して半導体試験装置１側で
接地されている。
【０００７】次に、図４に示した従来の半導体試験装置
の自己診断装置の動作について、図５のフローチャート
を参照しながら説明する。
の自己診断装置の動作について、図５のフローチャート
を参照しながら説明する。
【０００８】まず、制御回路１２内のメモリに、図示し
ない手段によって診断プログラムをロードする（ステッ
プＳ1）。続いて、半導体試験装置１に診断ボード２を
装着し（図４は装着された状態を示す）、診断プログラ
ムを実行する（ステップＳ2）。
ない手段によって診断プログラムをロードする（ステッ
プＳ1）。続いて、半導体試験装置１に診断ボード２を
装着し（図４は装着された状態を示す）、診断プログラ
ムを実行する（ステップＳ2）。
【０００９】診断プログラムの実行は次のように行われ
る。制御回路１２の指令を受けた汎用コントロール回路
９によって、駆動コイル７ａ〜７ｆのうちのいくつかが
励磁されリレー６ａ〜６ｆが駆動されて、パルスドライ
バ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆの間が適当に
接続される。また、制御回路１２の指令を受けた図示し
ない回路によって、パルスドライバ４ａ〜４ｆ及びコン
パレータ５ａ〜５ｆのうちのいくつかがアクティブにさ
れる。続いて、アクティブにされたパルスドライバから
パルス信号を出力し、そのパルスドライバに接続されア
クティブにされたコンパレータによって取り込み、元の
パルス信号の波形と取り込み後のパルス信号の波形とを
比較することにより、動作したパルスドライバ、コンパ
レータ等の機能を診断する。
る。制御回路１２の指令を受けた汎用コントロール回路
９によって、駆動コイル７ａ〜７ｆのうちのいくつかが
励磁されリレー６ａ〜６ｆが駆動されて、パルスドライ
バ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆの間が適当に
接続される。また、制御回路１２の指令を受けた図示し
ない回路によって、パルスドライバ４ａ〜４ｆ及びコン
パレータ５ａ〜５ｆのうちのいくつかがアクティブにさ
れる。続いて、アクティブにされたパルスドライバから
パルス信号を出力し、そのパルスドライバに接続されア
クティブにされたコンパレータによって取り込み、元の
パルス信号の波形と取り込み後のパルス信号の波形とを
比較することにより、動作したパルスドライバ、コンパ
レータ等の機能を診断する。
【００１０】たとえば、駆動コイル７ａ及び７ｂのみが
励磁され、パルスドライバ４ａ及びコンパレータ５ａの
うちパルスドライバ４ａのみがアクティブにされ、パル
スドライバ４ｂ及びコンパレータ５ｂのうちコンパレー
タ５ｂのみがアクティブにされる。続いて、制御回路１
２の指令を受けた信号発生器１０が発生した信号がパル
スドライバ４ａから出力され、ポゴピン３ａ、リレー６
ａ、リレー６ｂ及びポゴピン３ｂを介してコンパレータ
５ｂに取り込まれる。信号判別器１１は、制御回路１２
の指令によって、コンパレータ５ｂが取り込んだパルス
信号のレベルを判別する。さらに、制御回路１２は、パ
ルスドライバ４ａが出力したパルス信号の波形とコンパ
レータ５ｂが取り込んだパルス信号の波形とを比較し、
これらのパルス信号の波形が異なっていれば、パルスド
ライバ４ａ、コンパレータ５ｂ、ポゴピン３ａ、３ｂ、
信号発生器１０の動作箇所あるいは信号判別器１１の動
作箇所のどれかが正常でないと判定する。
励磁され、パルスドライバ４ａ及びコンパレータ５ａの
うちパルスドライバ４ａのみがアクティブにされ、パル
スドライバ４ｂ及びコンパレータ５ｂのうちコンパレー
タ５ｂのみがアクティブにされる。続いて、制御回路１
２の指令を受けた信号発生器１０が発生した信号がパル
スドライバ４ａから出力され、ポゴピン３ａ、リレー６
ａ、リレー６ｂ及びポゴピン３ｂを介してコンパレータ
５ｂに取り込まれる。信号判別器１１は、制御回路１２
の指令によって、コンパレータ５ｂが取り込んだパルス
信号のレベルを判別する。さらに、制御回路１２は、パ
ルスドライバ４ａが出力したパルス信号の波形とコンパ
レータ５ｂが取り込んだパルス信号の波形とを比較し、
これらのパルス信号の波形が異なっていれば、パルスド
ライバ４ａ、コンパレータ５ｂ、ポゴピン３ａ、３ｂ、
信号発生器１０の動作箇所あるいは信号判別器１１の動
作箇所のどれかが正常でないと判定する。
【００１１】そして、制御回路１２は、この一連の作業
をパルスドライバ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５
ｆの全ての組み合わせ（この組み合わせは非常に多い）
について実行し、パルスドライバ４ａ〜４ｆ、コンパレ
ータ５ａ〜５ｆ、ポゴピン３ａ〜３ｆ、信号発生器１０
及び信号判別器１１の機能を診断する。このとき、リレ
ー６ａ〜６ｆの各一端が接続されているので、この診断
を並列に同時進行的に行うことはできず、図４に示した
リレー接続関係は変更できない。また、この一連の作業
中には、パルスドライバ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５
ａ〜５ｆの組み合わせ毎に、診断結果メッセージが図示
しない表示装置より表示される。
をパルスドライバ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５
ｆの全ての組み合わせ（この組み合わせは非常に多い）
について実行し、パルスドライバ４ａ〜４ｆ、コンパレ
ータ５ａ〜５ｆ、ポゴピン３ａ〜３ｆ、信号発生器１０
及び信号判別器１１の機能を診断する。このとき、リレ
ー６ａ〜６ｆの各一端が接続されているので、この診断
を並列に同時進行的に行うことはできず、図４に示した
リレー接続関係は変更できない。また、この一連の作業
中には、パルスドライバ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５
ａ〜５ｆの組み合わせ毎に、診断結果メッセージが図示
しない表示装置より表示される。
【００１２】ステップＳ2の結果に応じて（ステップ
Ｓ3）、「故障なし」と判定された場合には自己診断動
作は終了する。一方、「故障あり」と判定された場合に
は、人手によって、診断結果メッセージを元に故障箇所
が推測、判断され、さらに修理される（ステップ
Ｓ4）。
Ｓ3）、「故障なし」と判定された場合には自己診断動
作は終了する。一方、「故障あり」と判定された場合に
は、人手によって、診断結果メッセージを元に故障箇所
が推測、判断され、さらに修理される（ステップ
Ｓ4）。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体試験装置
の自己診断装置は以上のように構成されているので、故
障箇所を特定するためには非常に多くの診断回数が必要
であり、長時間を要するという問題点があった。また、
故障しているパルスドライバを用いて診断されたコンパ
レータその他の部分は故障していると判定され、同様
に、故障しているコンパレータを用いて診断されたパル
スドライバその他の部分は故障していると判定されてし
まうため、故障箇所の特定が困難であるという問題点も
あった。
の自己診断装置は以上のように構成されているので、故
障箇所を特定するためには非常に多くの診断回数が必要
であり、長時間を要するという問題点があった。また、
故障しているパルスドライバを用いて診断されたコンパ
レータその他の部分は故障していると判定され、同様
に、故障しているコンパレータを用いて診断されたパル
スドライバその他の部分は故障していると判定されてし
まうため、故障箇所の特定が困難であるという問題点も
あった。
【００１４】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、診断が短時間に行え、故障箇所
の特定と故障の種類の特定とが容易な半導体試験装置の
自己診断装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、診断が短時間に行え、故障箇所
の特定と故障の種類の特定とが容易な半導体試験装置の
自己診断装置を得ることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体試
験装置の自己診断装置は、診断手段が、内部の論理が変
更可能な可変論理回路を有するものである。
験装置の自己診断装置は、診断手段が、内部の論理が変
更可能な可変論理回路を有するものである。
【００１６】
【作用】この発明においては、半導体試験装置内の制御
手段がプログラムに従って、先ず、可変論理回路の論理
を変更し、次に、半導体試験装置及び診断手段の間で適
当な信号の送受信を行わせて半導体試験装置の診断を行
う。
手段がプログラムに従って、先ず、可変論理回路の論理
を変更し、次に、半導体試験装置及び診断手段の間で適
当な信号の送受信を行わせて半導体試験装置の診断を行
う。
【００１７】
実施例１．図１はこの発明の実施例１を示す構成図であ
る。１、３ａ〜３ｆ、４ａ〜４ｆ、５ａ〜５ｆ、８〜１
２は前述と同様のものであり、２′は診断ボード２に対
応している。１３は、汎用コントロール回路９の指令に
よって内部に任意の論理回路を構成できる可変論理回路
素子であり、ポゴピン３ａ〜３ｆが接続されており、ま
た、可変論理回路を構成している
る。１、３ａ〜３ｆ、４ａ〜４ｆ、５ａ〜５ｆ、８〜１
２は前述と同様のものであり、２′は診断ボード２に対
応している。１３は、汎用コントロール回路９の指令に
よって内部に任意の論理回路を構成できる可変論理回路
素子であり、ポゴピン３ａ〜３ｆが接続されており、ま
た、可変論理回路を構成している
【００１８】次に、図１に示したこの発明の実施例１の
動作について、図２のフローチャートを参照しながら説
明する。
動作について、図２のフローチャートを参照しながら説
明する。
【００１９】前述と同様に、制御回路１２内のメモリに
図示しない手段によって診断プログラムをロードし（ス
テップＳ1）、半導体試験装置１に診断ボード２を装着
する（ステップＳ2′）。診断プログラムによって以下
の動作が行われる。
図示しない手段によって診断プログラムをロードし（ス
テップＳ1）、半導体試験装置１に診断ボード２を装着
する（ステップＳ2′）。診断プログラムによって以下
の動作が行われる。
【００２０】まず、パルスドライバ４ａ〜４ｆから信号
を送出し、診断ボード２′は通さずに、それぞれコンパ
レータ５ａ〜５ｆによって取り込み、このときの信号の
送受信が正確に行われたかを判定することにより、パル
スドライバ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆの基
本的な動作の診断を行う（ステップＳ5）。
を送出し、診断ボード２′は通さずに、それぞれコンパ
レータ５ａ〜５ｆによって取り込み、このときの信号の
送受信が正確に行われたかを判定することにより、パル
スドライバ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆの基
本的な動作の診断を行う（ステップＳ5）。
【００２１】ステップＳ5の結果、正常と判定された１
つあるいは複数のパルスドライバからシリアルあるいは
パラレルのパルス信号を送出し、可変論理回路素子１３
を標準の論理回路の構成にする（ステップＳ6）。以下
では、可変論理回路素子１３の構成を所定の論理回路の
構成にすることを「ダウンロード」という。
つあるいは複数のパルスドライバからシリアルあるいは
パラレルのパルス信号を送出し、可変論理回路素子１３
を標準の論理回路の構成にする（ステップＳ6）。以下
では、可変論理回路素子１３の構成を所定の論理回路の
構成にすることを「ダウンロード」という。
【００２２】続いて、上記の標準の論理回路用に作成さ
れた標準診断サブプログラムが次のように実行される
（ステップＳ7）。前述と同様に、制御回路１２の指令
を受けた図示しない回路によって、パルスドライバ４ａ
〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆのうちのいくつかが
アクティブにされる。アクティブにされたパルスドライ
バから出力されるパルスの波形を、そのパルスドライバ
に接続されているアクティブにされたコンパレータによ
って受け取り、送信波形及び受信波形を比較することに
より、このとき動作したポゴピン、パルスドライバ、コ
ンパレータ並びに信号発生器１０及び信号判別器１１の
動作箇所の機能を診断する。この診断は、パルスドライ
バ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆの複数の組に
おいて、前述とは異なり、同時進行的に行われる。
れた標準診断サブプログラムが次のように実行される
（ステップＳ7）。前述と同様に、制御回路１２の指令
を受けた図示しない回路によって、パルスドライバ４ａ
〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆのうちのいくつかが
アクティブにされる。アクティブにされたパルスドライ
バから出力されるパルスの波形を、そのパルスドライバ
に接続されているアクティブにされたコンパレータによ
って受け取り、送信波形及び受信波形を比較することに
より、このとき動作したポゴピン、パルスドライバ、コ
ンパレータ並びに信号発生器１０及び信号判別器１１の
動作箇所の機能を診断する。この診断は、パルスドライ
バ４ａ〜４ｆ及びコンパレータ５ａ〜５ｆの複数の組に
おいて、前述とは異なり、同時進行的に行われる。
【００２３】例えば、可変論理回路素子１３を、ポゴピ
ン３ａへの入力をポゴピン３ｂから、ポゴピン３ｃへの
入力をポゴピン３ｄから、また、ポゴピン３ｅへの入力
をポゴピン３ｆから、そのまま出力するような構成に
し、パルスドライバ４ａ、４ｃ、４ｅからのパルス信号
を、それぞれコンパレータ５ｂ、５ｄ、５ｆから、同時
進行的に取り込む。
ン３ａへの入力をポゴピン３ｂから、ポゴピン３ｃへの
入力をポゴピン３ｄから、また、ポゴピン３ｅへの入力
をポゴピン３ｆから、そのまま出力するような構成に
し、パルスドライバ４ａ、４ｃ、４ｅからのパルス信号
を、それぞれコンパレータ５ｂ、５ｄ、５ｆから、同時
進行的に取り込む。
【００２４】ステップＳ7の診断の結果（ステップ
Ｓ8）、「故障なし」と判定されたときには、診断プロ
グラムの動作は終了する。一方、「故障あり」と判定さ
れたときには、制御回路１２は、ステップＳ7の結果か
ら故障箇所を推測する（ステップＳ9）。
Ｓ8）、「故障なし」と判定されたときには、診断プロ
グラムの動作は終了する。一方、「故障あり」と判定さ
れたときには、制御回路１２は、ステップＳ7の結果か
ら故障箇所を推測する（ステップＳ9）。
【００２５】制御回路１２は、ステップＳ9の結果、故
障していると推測された箇所の詳細な診断するのに最適
な論理回路を、ステップＳ5及びＳ7で正常と判定された
パルスドライバを用いてダウンロードする（ステップＳ
10）。続いて、この論理回路用に作成された詳細診断サ
ブプログラムを実行し、故障箇所と故障の種類とを特定
する（ステップＳ11）。ステップＳ9〜Ｓ11は、故障箇
所と故障の種類とが特定されるまで必要に応じて何回か
実行される。
障していると推測された箇所の詳細な診断するのに最適
な論理回路を、ステップＳ5及びＳ7で正常と判定された
パルスドライバを用いてダウンロードする（ステップＳ
10）。続いて、この論理回路用に作成された詳細診断サ
ブプログラムを実行し、故障箇所と故障の種類とを特定
する（ステップＳ11）。ステップＳ9〜Ｓ11は、故障箇
所と故障の種類とが特定されるまで必要に応じて何回か
実行される。
【００２６】以上で診断プログラムの実行が終了し、人
手によって故障箇所が修理される（ステップＳ12）。
手によって故障箇所が修理される（ステップＳ12）。
【００２７】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、診断手
段が、内部の論理が変更可能な可変論理回路を有するの
で、診断が短時間に行え、故障箇所の特定と故障の種類
の特定とが容易な半導体試験装置の自己診断装置が得ら
れる効果がある。
段が、内部の論理が変更可能な可変論理回路を有するの
で、診断が短時間に行え、故障箇所の特定と故障の種類
の特定とが容易な半導体試験装置の自己診断装置が得ら
れる効果がある。
【図１】この発明の実施例１を示す構成図である。
【図２】この発明の実施例１の動作を示すフローチャー
トである。
トである。
【図３】一般的な半導体試験装置を示す構成図である。
【図４】従来の半導体試験装置の自己診断装置を示す構
成図である。
成図である。
【図５】従来の半導体試験装置の自己診断装置の動作を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
１ 半導体試験装置 ２′ 診断ボード ９ 汎用コントロール回路 １２ 制御回路 １３ 可変論理回路素子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】９はパフォーマンスボード８に搭載されて
いるリレー６ａ〜６ｆ等の回路を制御する汎用コントロ
ール回路、１０はパルスドライバ４ａ〜４ｆに信号を送
出する信号発生器、１１はコンパレータ５ａ〜５ｆから
受け取る信号がハイレベルかローレベルかを判別する信
号判別器である。１２は汎用コントロール回路９、信号
発生器１０及び信号判別器１１を制御する制御回路であ
り、内部にＣＰＵ、メモリ等を備えている。汎用コント
ロール回路９及び制御回路１２は汎用制御手段を構成し
ている。なお、汎用コントロール回路９の出力信号はポ
ゴピンを介して診断ボード２側に送出されており、診断
ボード２の接地線もポゴピンを介して半導体試験装置１
側で接地されている。
いるリレー６ａ〜６ｆ等の回路を制御する汎用コントロ
ール回路、１０はパルスドライバ４ａ〜４ｆに信号を送
出する信号発生器、１１はコンパレータ５ａ〜５ｆから
受け取る信号がハイレベルかローレベルかを判別する信
号判別器である。１２は汎用コントロール回路９、信号
発生器１０及び信号判別器１１を制御する制御回路であ
り、内部にＣＰＵ、メモリ等を備えている。汎用コント
ロール回路９及び制御回路１２は汎用制御手段を構成し
ている。なお、汎用コントロール回路９の出力信号はポ
ゴピンを介して診断ボード２側に送出されており、診断
ボード２の接地線もポゴピンを介して半導体試験装置１
側で接地されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体試験装置
の自己診断装置は以上のように構成されているので、故
障箇所を特定するためには非常に多くの診断回数と組み
合わせとが必要であり、長時間を要するという問題点が
あった。また、故障しているパルスドライバを用いて診
断されたコンパレータその他の部分は故障していると判
定され、同様に、故障しているコンパレータを用いて診
断されたパルスドライバその他の部分は故障していると
判定されてしまうため、故障箇所の特定が困難であると
いう問題点もあった。
の自己診断装置は以上のように構成されているので、故
障箇所を特定するためには非常に多くの診断回数と組み
合わせとが必要であり、長時間を要するという問題点が
あった。また、故障しているパルスドライバを用いて診
断されたコンパレータその他の部分は故障していると判
定され、同様に、故障しているコンパレータを用いて診
断されたパルスドライバその他の部分は故障していると
判定されてしまうため、故障箇所の特定が困難であると
いう問題点もあった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】
【作用】この発明においては、半導体試験装置内の汎用
制御手段がプログラムに従って、先ず、可変論理回路の
論理を変更し、次に、半導体試験装置及び診断手段の間
で適当な信号の送受信を行わせて半導体試験装置の診断
を行う。
制御手段がプログラムに従って、先ず、可変論理回路の
論理を変更し、次に、半導体試験装置及び診断手段の間
で適当な信号の送受信を行わせて半導体試験装置の診断
を行う。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 半導体素子の動作を試験するために用い
られ制御手段を有する半導体試験装置と、前記半導体試
験装置に接続され前記制御手段の指令に従って前記半導
体試験装置の機能を診断する診断手段とを備えた半導体
試験装置の自己診断装置において、前記診断手段が、内
部の論理が変更可能な可変論理回路を有することを特徴
とする半導体試験装置の自己診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3153140A JPH052044A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 半導体試験装置の自己診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3153140A JPH052044A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 半導体試験装置の自己診断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052044A true JPH052044A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=15555889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3153140A Pending JPH052044A (ja) | 1991-06-25 | 1991-06-25 | 半導体試験装置の自己診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052044A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009264817A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験装置の診断ボード |
| JP2020134157A (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | 株式会社デンソーウェーブ | Ｐｌｃ用リレーの故障診断回路 |
| KR102326670B1 (ko) * | 2020-07-14 | 2021-11-16 | 주식회사 엑시콘 | 진단 디바이스가 구비된 반도체 디바이스 테스트 장치 |
-
1991
- 1991-06-25 JP JP3153140A patent/JPH052044A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009264817A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験装置の診断ボード |
| JP2020134157A (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | 株式会社デンソーウェーブ | Ｐｌｃ用リレーの故障診断回路 |
| KR102326670B1 (ko) * | 2020-07-14 | 2021-11-16 | 주식회사 엑시콘 | 진단 디바이스가 구비된 반도체 디바이스 테스트 장치 |
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