JP2009097860A - 電気接続方法および電気接続装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電子部品に対して確実な電気接触を実現すると共に電子部品や電極の破損を防ぐ。
【解決手段】 少なくともいずれかが外部接続端に接続される第1接触端子及び第2接触端子と、第1接触端子及び第2接触端子を電気部品の電極方向に移動する移動機構と、第1接触端子と第2接触端子とに接続されて両接続端子間の導通を検出する導通検知部と、を備え、移動機構により電子部品の電極に第1接触端子と第2接触端子とを漸次接近させて、導通検知部が導通を検出した時点で移動機構を停止させることを特徴とする電気接続方法とした。
【選択図】 図1
【解決手段】 少なくともいずれかが外部接続端に接続される第1接触端子及び第2接触端子と、第1接触端子及び第2接触端子を電気部品の電極方向に移動する移動機構と、第1接触端子と第2接触端子とに接続されて両接続端子間の導通を検出する導通検知部と、を備え、移動機構により電子部品の電極に第1接触端子と第2接触端子とを漸次接近させて、導通検知部が導通を検出した時点で移動機構を停止させることを特徴とする電気接続方法とした。
【選択図】 図1
Description
本発明は電子部品の電極に接触端子を一時的に電気接続してその電気特性を評価する際に用いる電気接続装置および電気接続方法に関する。
電子部品の端子と回路基板の端子などを接続する場合、安定した接続手段として、従来から、半田付けによる機械的・電気的接続法が行われている。試験用接触子から電子部品の端子に電圧を印加し、電流を流して当該電子部品の試験を行う際、一時的な接続を求められる場合が多い。そのため、一般的にソケットを介して仮接続の加圧接続が行われる。この場合、ソケットに配設された接触子を電子部品の端子に物理的、機械的に押し付けられる。その際に電子部品表面に酸化膜や、汚染物などが存在すると、高い皮膚抵抗となる可能性がある。また、接触子及び端子のそれぞれの表面に微視的な凹凸があり、高い集中抵抗が発生する可能性もある。
近年、半導体素子の微細化に伴い、その電気的な検査を行うための接続素子も微細化されたものが提案されている。従来の微細化された接続検査装置では、接触端子の先端部も微細になってしまうことから、強度が低く、微細化された接触子の先端に付着物による影響が大きく、接触抵抗が高くなることが発生する。そのため、接触端子の構造や材料などにおける接触性を向上する方法に関する特許が多く提出されている。
例えば、特許文献1では、電子部品との接触させる導電部としてワイヤボンディング装置のワイヤなどを使用する方法が示されている。これにより接触導電部を復元性及び柔軟性を有する構造としている。また、特許文献2には、加熱して軟化する接触端子を用いる方法が示されている。
しかしながら、特許文献1の方法では接触導電部は復元性及び柔軟性を有するが、電子部品との確実な接触を行うためには、電子部品に接触導電部を十分な力で押しつける必要があり、破損しやすい電子部品を保護する点では不十分であった。
また、特許文献2の方法においても同様に電子部品との確実な接触を行うためには、電子部品に接触導電部を十分な力で押しつける必要があり、破損しやすい電子部品を保護する点では不十分であった。また、熱によって電子部品の表面を汚損するなどの問題があった。
そこで、本発明は、電子部品に対して確実な電気接触を実現すると共に、電子部品やその電極の破損を防ぐことができる電気接続方法および電気接続装置を提供することを目的とする。
本発明の電気接続方法は、電気部品の電極に接触端子を接触させることにより電極と外部接続端との間を電気接続する電気接続方法であって、少なくともいずれかが外部接続端に接続される第1接触端子及び第2接触端子と、第1接触端子及び第2接触端子を電気部品の電極方向に移動する移動機構と、第1接触端子と第2接触端子とに接続されて両接続端子間の導通を検出する導通検知部と、を備え、移動機構により電子部品の電極に第1接触端子と第2接触端子とを漸次接近させて、導通検知部が導通を検出した時点で移動機構を停止させることを特徴とする電気接続方法とした。
本発明の電気接続装置は、少なくともいずれかが外部接続端に接続される第1接触端子及び第2接触端子を備え、移動機構により電子部品の電極に第1接触端子と第2接触端子とを漸次接近させて、導通検知部が導通を検出した時点で移動機構を停止されるので、電子部品の電極に第1接触端子と第2接触端子とを確実に電気的に接続させることができ、またその時点で接近を停止するので電気部品やその電極の破損を防ぐことができる。
実施の形態1.
図1は本実施の形態1の電気接続装置を用いた電気測定評価を説明する概略図である。なお、図1は電気接続装置を側方から見た図であり、その一部は断面で示してある。図において点線で囲まれた電気接続装置10は、電気測定評価対象の電気部品30を載置するステージ6と、電気部品30の電極に接触させ電気的に接続させる第1接触端子1及び第2接触端子2とを有する接触端子部3と、第1接触端子1と第2接触端子2との導通を検出する導通検出部7とを備える。
図1は本実施の形態1の電気接続装置を用いた電気測定評価を説明する概略図である。なお、図1は電気接続装置を側方から見た図であり、その一部は断面で示してある。図において点線で囲まれた電気接続装置10は、電気測定評価対象の電気部品30を載置するステージ6と、電気部品30の電極に接触させ電気的に接続させる第1接触端子1及び第2接触端子2とを有する接触端子部3と、第1接触端子1と第2接触端子2との導通を検出する導通検出部7とを備える。
図2は本実施の形態1の電気接続装置の接触端子部3を斜め上方から見た透視図である。第1接触端子1と第2接触端子2とは円柱状の導電体で、それらの間は絶縁体13によって互いに絶縁されている。絶縁体13は第1接触端子1と第2接触端子2とが貫通する穴を有して、第1接触端子1と第2接触端子2とはその貫通穴に挿入されて固定されている。図2において第1接触端子1と第2接触端子2の円筒の下の面は電気部品30の電極に接触させる面であり、その高さは第1接触端子1と第2接触端子2とで同じとなるように固定されている。なお、第1接触端子1と第2接触端子2との電極に接触させる面は、平面でなくてもよく、たとえば電極側に凸の球面であってもよい。
再び、図1に戻り説明する。導通検出部7は制御部9と配線で接続され、導通を検出した際に検出信号を制御部9に出力する。導通検出部7は第2接触端子2と直接に配線で接続され、第1接触端子1とは切替部8を介して配線で接続されている。切替部8は制御部9に配線で接続され、制御部9からの制御信号により第1接触端子1からの電気接続を導通検出部7側と第1外部接続端22側とに切り替える。この切替部8はリレーなどを用いて構成することができる。
また、ステージ6の電気部品30を載置する領域の外側に、接触端子部3をステージ6方向に接近または遠ざかるように移動する移動機構4を内蔵した支柱部14が固定されている。支柱部14内の移動機構4と接触端子部3とはアーム部5を介して接続される。移動機構4はステッピングモータなどの電気的な信号を入力する位置決め部品から構成される。移動機構4は制御部9に配線で接続され、制御部9の信号によって移動と停止が制御される。
図1では第1接触端子1および第2接触端子2が電気部品の電極と接触していないが、この移動機構4により接触端子部3をステージ6上に載置した電気部品に漸次近接させていくと、やがて第1接触端子1と第2接触端子2と電気部品の電極とを接触させることができる。なお、第1接触端子1と第2接触端子2とは互いに固定されており、また電極に接する面が電極に対して同じ高さを有するようにされているため、両接触端子は電極に同時に接触することになる。
図1では電気部品として上下に電極を備えたLD(レーザーダイオード、以下LDと略す。)バー30を用いた図を示している。LDバー30は半導体部31、上電極32及び下電極33を有し、下電極33はステージ8上に固定されたステージ電極11と接触している。ステージ電極11は電気接続装置10の第2外部接続端23と配線で接続される。
第1外部接続端22と第2外部接続端23とには電気特性測定器20が接続され、上電極32及び下電極33とに挟まれた半導体部31を有するLDバー30の電気特性が評価される。
上電極32には、上に述べたように移動機構4によって第1接触端子1と第2接触端子2が接触される。第1接触端子1と第2接触端子2とはこの上電極32のサイズよりも近接した間隔で保持されている。
なお、電極から第1接触端子1と第2接触端子2のそれぞれの接触面との高さを同じとしており、上電極32と下電極33とが平行な電気部品を評価する際には、両接触端子の接触端部の高さはステージ8の面から同じとするとよい。また、下電極33と上電極32とが傾斜角を有する電気部品を評価する場合は第1接触端子1と第2接触端子2の接触端部がその傾斜角の関係を有するように接触端子部3をアーム部5に傾斜させて保持すればよい。
第1接触端子1と第2接触端子2とは同一の材料で形成されてもよく、たとえばAl、Al合金、Mg合金類など軽金属から形成されるとよい。また、その接触端子の表面にはニッケル、インジウム、金等およびそれらの合金などの硬度が低い材料のめっき層が形成されているとよい。これらのめっき層が電子部品の電極の硬度と同等か低い材料とすることにより電子部品表面に与えるダメージを非常に小さくすることができる。ステージ8上に固定されるステージ電極11も第1接触端子1と第2接触端子2と同様な材料で形成されるとよい。また、接触端子部3の絶縁体13は、絶縁性の樹脂やセラミックで形成される。
第1接触端子1と第2接触端子2との導通を検出する導通検出部7は、第1接触端子1と第2接触端子2との抵抗を測定する回路を有し、その抵抗があらかじめ設定された設定値以下となった時点を導通の検出時点として制御部9に検出信号を出力する。
次に、電気接続装置10による電気接続動作を説明する。図3は本実施の形態1の電気接続装置を用いた電気測定評価の手順を説明するフローチャートである。電気測定評価を開始するには、まず、ステップS1でステージ8にLDバー30のような電気部品を載置する。なお、開始時点では接触端子部3とステージ8との間に電気部品を載置するのに十分な間隔があり、また切替部8内は第1接触端子1から導通検出部7への接続がされている。次いでステップS2で、制御部9により移動機構4を動作させて所定の移動量分、接触端子部3をステージ8側に近接させる。次いでステップS3で、導通検出部7か導通を検出した検出信号の有無を制御部9でモニターして、検出信号がなければステップS2に戻り、所定の移動量分、接触端子部3をステージ8側に近接させる。第1接触端子1と第2接触端子2とがともに電極に接するまで導通がないので、両接触端子が電極に接触するまで漸次接近が繰り返される。接触した時点で、両接触端子と導通検出部7とは電極を通じて閉回路となり導通が生じる。導通検出により検出信号が出力されるとステップS4に移行し、制御部9から移動機構4に制御信号を出力してその時点で接触端子部3の位置を保持固定する。つまり接触端子部3の接近が停止される。このため両接触端子が電極に対して接触圧が低い状態で保持され、電極や電子部品を破損しにくい。また、確実な電気接続が安定的に実現できる。なお、ステップS2における所定の移動量を小さくするほど、電気部品の破損を防止する効果が大きい。ただし、移動量を小さくすると接触端子が電極に接するまで時間を要するので、接触端子が接しないような所定の高さまでは導通検出部7の検出にかかわらず接触端子部3を高速に移動し、接触端子が電極とある程度近接した以降にステップS3の検出によって移動機構4の動作を制御するようにするとよい。
次いでステップS5で制御部9からの制御信号を受けて切替部8内の第1接触端子から導通検出部7への電気接続を第1接触端子1から第1外部接続端22への接続に切り替える。これにより、電気部品の電極32と第1外部接続端22とが電気的に接続される。
次いでステップS6で第1外部接続端に接続された電気特性測定器20によって電気部品の評価を行う。評価完了後は、ステップS7で制御部9により移動機構4を動作させて接触端子部3をステージ6から遠ざける。また、図には示していないが、切替部の第1接触端子1から第1外部接続端22への接続を最初の第1接触端子1から導通検出部7への接続に戻すとよい。最後にステップS8で電気部品30をステージ6から取り外して一連の電気測定評価は終了する。
以上のように、実施の形態1の電気接続装置10は、互いに絶縁されて固定された第1接触端子1及び第2接触端子2と、両接触端子を電気部品の電極方向に接近させる移動機構4と、第1接触端子1と第2接触端子2との間の導通を検出する導通検知部7と、導通検知部7が導通を検出した際に出力される検出信号によりで移動機構4を停止させる制御部9とを有するので、ステージ6に載置された電子部品の電極に第1接触端子1と第2接触端子2とを確実に電気的に接続させることができ、また、その時点で接近を停止するので電気部品やその電極の破損を防ぐことができる。
また、移動機構4を停止後に制御部9によって第1接触端子1及び第2接触端子2の一方を導通検知部7と電気的に切り離して第1端子部12に接続する切替部8を備えたので、第1端子部12と電気部品の電極との間の電気接続を確実に行えるとともに、第1端子部12と電気部品の電極との間に導通検知部7の影響がなくなり、第1端子部12を介した電気測定評価の精度がよくなる。
なお、接触を検出する他の方法として図1で下電極33と上電極32との間の抵抗の変化を検出して、その抵抗変化から接触端子と電極との接触を検知して、移動機構を停止する構成も考えられる。しかしながら、その場合は下電極33と上電極32との間に素子である半導体31の抵抗も加わる。通常、半導体31は電極に比べて抵抗がはるかに大きく、このため接触を検知する基準となる抵抗も高い値に設定しなくてはならない。このため、接触端子と電極との電気的な接続が不十分な状態で接触が固定される可能性がある。本実施の形態1の電気接続方法では、電気部品の同じ電極に対して第1接触端子1と第2接触端子2と接触させ、第1接触端子1と第2接触端子2との間の導通を検出するので、接触を検知する基準の抵抗値を半導体31の抵抗に比べて大幅に低く設定できる。このため接触端子と電極との電気的な接続確実に行えるとともに接触検知を感度良く行える。従って電気接続装置10を用いた電気接続方法は、脆弱な電気部品や電極を有し、特に電極間の抵抗が高い半導体などの素子の評価に適している。
なお、本実施の形態1では移動機構4はステージ6の支柱部14内に設けたが、ステージ6の下部に設けてステージ6を上下させるものであってもよい。
また、本実施の形態1では電気部品として上下の両面に電極を備えたLDバー30を使用したが、片面に複数の電極を備えてその電極間の電気特性を評価する際にも、各電極に対して2本ずつの接触端子を用いて本実施の形態1の電気接続方法を用いることができる。その場合、電極に2本の接触端子を有する接触端子部を接近させる移動機構は電極ごとに制御してもよい。その場合、電極ごとの接続が確実に行われ、また電極の保護にも優れる。
また、第1外部出力端12に導通検知部7が接続されたままの状態でも電気特性測定器20の測定に影響がほとんどない場合には、切替部8を設置せずに第2接触端子2が導通検知部7と第1外部接続端22とに同時に接続されるようにしてもよい。
また、上記の述べたような導通によって接続を検知する2つの接触端子と、それらの接触端子と接触位置の高さが揃えられた別の接触端子とを同時に電極に接続するようにしてもよい。これにより多数の端子の同時接続を簡単な装置構成で実現できる。また、導通によって接触を検知するために使用する電極は、必ずしも電気特性評価用の電極でなく、導通による接触検知のための専用の電極としてもよい。
導通検出部7による両接触端子の導通の検出は、抵抗値以外に、両接触端子に異なる電圧を印加してその間の電圧の変化を検出する方法や、また電流の流れによって検出することもできる。
また、図4は本実施の形態1の電気接続装置の接触端子部3の他の例を示す斜視図である。図4の(a)の接触端子部30の両接触端子は電極に接する側が細くなった先端を有する。また図4の(b)の接触端子部30の両接触端子は四角柱状で、その間に絶縁体13が挟まれた構造である。これらの構造の接触端子部30を用いて電気接続を行ってもよい。このような単純な形状の接触端子を用いても確実な電気接続が安定的に実現できる。
また、上記では導通を検出した直後に端子の移動を停止したが、電極や電気部品を破損しない程度の所定の接触圧力を発生するように、さらにわずかに端子を電極方向に移動させるようにしてもよい。
また、電極や両接触端子先端が汚れるなどにより接触不良が生じた場合に両端子が電極に接触しているのに所定の抵抗値以下にならない場合も起こりうる。このような場合に接触端子をステージ側に接近させ続けると電極や電子部品を破損させる可能性がある。これを防止するには、移動機構7により両接触端子を所定の位置にまでステージ側に近づけても所定の抵抗値以下の導通が得られない場合には移動を停止するようにするとよい。
実施の形態2.
実施の形態2の電気測定評価は基本的に実施の形態1で用いた同じ電気接続装置を用いて、電気部品30と電気特性測定器20との電気接続を行う。導通検知部7が導通を検出した際の抵抗値を電気特性評価の際に考慮することが特徴である。
実施の形態2の電気測定評価は基本的に実施の形態1で用いた同じ電気接続装置を用いて、電気部品30と電気特性測定器20との電気接続を行う。導通検知部7が導通を検出した際の抵抗値を電気特性評価の際に考慮することが特徴である。
導通検知部7の検出する抵抗値が所定の設定値以下となった時点で第1接触端子1と第2接触端子2とが電気部品の電極に接触したことを検知し、第1接触端子1と第2接触端子2とを電極方向に移動することを停止して、その状態で保持する点は実施の形態1と同様である。その際に導通検知部7で検出した抵抗値をメモリなどに保存した後に、切替部8の切り替え動作を行う。なお、保存される抵抗値は所定の設定値以下となっているはずである。ここで第1接触端子1と第2接触端子2とがほぼ等しい形状や素材から構成される場合、第1接触端子1と電極との間及び第2接触端子2と電極との間の接触抵抗が等しいと仮定する。図1のように第1接触端子1または第2接触端子2のいずれか一方が電気特性測定器20との電気接続される場合には、保存された抵抗値の1/2を接触端子と電極との間の抵抗として電気特性測定器20による電気特性評価の際に考慮する。また、図1の場合とは異なるが、第1接触端子1及び第2接触端子2が共に第1外部接続端22に接続されるようにしてもよい。その場合、抵抗が並列的に接続されたとみなせるので、保存された抵抗値の1/4を接触端子と電極との間の抵抗として電気特性測定器20による電気特性評価の際に考慮するとよい。
また、導通検知部7は内部に保護抵抗Rと定電圧Vsを発生する定電圧源とが直列に接続され、流れる電流iを測定する電流計により構成されていてもよい。その場合、電流iが所定の値以上流れる時点を接触検知時点として外部に信号を出力する。第1接触端子1と第2接触端子2とが電気部品の電極に接触すると、接触端子と電極との間の接触抵抗がゼロの場合に流れる電流iはVs/Rとなる。従って、接触検知に使用する所定の抵抗値はVs/Rよりも少し小さな値に設定する。例えば、R=1kΩ、Vs=1Vとすると接触抵抗がゼロの場合に流れる電流iの最大値は1mAである。従って所定の値として例えば0.9mAなどとする。例えば接触検知時に電流iが0.99mAとなった場合、第1接触端子1と電極との間及び第2接触端子2と電極との間の電圧降下の和は0.01Vであり、両接触端子の接触抵抗の和rはr=Vs/i−Rから約10Ωとなる。
第1接触端子1または第2接触端子2のいずれか一方を経て電気特性測定器20と電気部品の電極とが電気接続される場合に、電気特性測定器20から流れる電流Iは、接触端子と電極との間でI・(r/2)の電圧降下が生じるので、電気特性測定器20で電圧Vが測定された際に、V0=V+I・(r/2)のように補正した電圧V0を真の評価値とするとよい。
以上のように、導通検知部7が接触を検知した時点での抵抗値を記録後に電気特性測定器20による電気評価がなされ、その際に記録した抵抗値が電気評価時に考慮されるので精度のよい電気評価が行える。また、導通検知部7による接触検知、その際の導通検知部7が検出した抵抗値の保存、切替部8による接触端子から第1外部接続端22への切り替え動作、電気特性測定器20による電気測定開始、抵抗値を用いた測定結果の補正、が順次自動的に行われるように制御部で自動化されていると便利である。
なお、上記のように第1接触端子1と電極との間及び第2接触端子2と電極との間の接触抵抗が等しいという仮定に基づいた補正となるので、それぞれの接触抵抗ができるだけ等しくなるように第1接触端子1と第2接触端子2とがほぼ等しい形状や素材から構成されることが望ましい。
実施の形態3.
図5は本実施の形態3の電気接続装置を用いた電気測定評価を説明する概略図である。実施の形態1の図1と類似するが、第1接触端子1と第2接触端子2の形状と、切替部8が異なっている。図6は図5で断面で示された接触端子部3を斜め方向から見た透視図である。接触端子部3は細長い円柱の第1接触端子1と、その外側に第1接触端子1の円筒面を囲む円筒状の絶縁体13と、さらにその外側に絶縁体13の円筒面を囲む円筒状の第2接触端子2とを有する。
また、切替部8は第1接触端子1及び第2接触端子2から導通検知部7への電気接続をそれぞれ第1外部接続端22に切り替える機能を有する。
図5は本実施の形態3の電気接続装置を用いた電気測定評価を説明する概略図である。実施の形態1の図1と類似するが、第1接触端子1と第2接触端子2の形状と、切替部8が異なっている。図6は図5で断面で示された接触端子部3を斜め方向から見た透視図である。接触端子部3は細長い円柱の第1接触端子1と、その外側に第1接触端子1の円筒面を囲む円筒状の絶縁体13と、さらにその外側に絶縁体13の円筒面を囲む円筒状の第2接触端子2とを有する。
また、切替部8は第1接触端子1及び第2接触端子2から導通検知部7への電気接続をそれぞれ第1外部接続端22に切り替える機能を有する。
本実施の形態3では第1接触端子1の電極への接触面が第2接触端子2の接触面に囲まれていることにより、第1接触端子1と第2接触端子2との間の電極の抵抗は一定となり、接触検知の際の検出精度がよくなる。例えば電極の抵抗が接触端子に比べてある程度高い場合、実施の形態1のような2つの接触端子を電極の中央付近に接触するか周辺に接触するかで抵抗が異なるが、本実施の形態2ではほぼ一定となる。
切替部8は第1接触端子1及び第2接触端子2をともに第1外部接続端22に接続してもよいし、いずれか一方のみを接続してもよい。例えば、第1接触端子1と第2接触端子2のいずれもが低抵抗の導電体からなる場合は両方を同時に接続することで、電極との接触面積が大きくなり、電気評価の際の接触抵抗の影響を低減することができる。
また、第1接触端子1を同軸ケーブルの内部導体、第2接触端子2を同軸ケーブルの外部導体に接続して第1外部接続端22で同軸の接続が可能となるようにしてもよい。その際、外側の第2接触端子2を第1接触端子1に比べて抵抗の高い導電体で構成してもよい。例えば第2接触端子2の抵抗を同軸ケーブルのインピーダンスと同程度の抵抗を有する導電体で形成したり、同程度の抵抗を挿入するなどしたりしてもよい。第2接触端子2によって第1接触端子1が外部の電界変化などの影響を受けにくくできるので精度の高い電気測定が可能となる。
1 第1接触端子、2 第2接触端子、3 接触端子部、4 移動機構、5 アーム部、6 ステージ、7 導通検出部、8 切替部、9 制御部、10 電気接続装置、11
ステージ電極、13 絶縁体、14 支柱部、20 電気特性測定器、22 第1外部接続端、23 第2外部接続端、30 電気部品、31 半導体部、32 上電極、33 下電極
ステージ電極、13 絶縁体、14 支柱部、20 電気特性測定器、22 第1外部接続端、23 第2外部接続端、30 電気部品、31 半導体部、32 上電極、33 下電極
Claims (4)
- 電気部品の電極に接触端子を接触させることにより前記電極と外部接続端との間を電気接続する電気接続方法であって、
少なくともいずれかが外部接続端に接続される第1接触端子及び第2接触端子と、
前記第1接触端子及び前記第2接触端子を前記電気部品の電極方向に移動する移動機構と、
前記第1接触端子と前記第2接触端子とに接続されて両接続端子間の導通を検出する導通検知部と、を備え、
前記移動機構により前記電子部品の電極に前記第1接触端子と前記第2接触端子とを漸次接近させて、前記導通検知部が導通を検出した時点で前記移動機構を停止させることを特徴とする電気接続方法。 - 移動機構を停止後に少なくとも第1接触端子及び第2接触端子からの電気接続を導通検知部から外部接続端に切り替えることを特徴とする電気接続方法。
- 電気部品の電極に接触端子を接触させることにより前記電極と外部接続端との間を電気接続する電気接続装置であって、
少なくともいずれかが外部接続端に接続される第1接触端子及び第2接触端子と、
前記第1接触端子及び前記第2接触端子を前記電気部品の電極方向に移動する移動機構と、
前記第1接触端子と前記第2接触端子とに接続されて両接続端子間の導通を検出する導通検知部と、
前記導通検知部が導通を検出した時点で前記移動機構を停止させる手段と、
を備えた電気接続装置。 - 第1接触端子または第2接触端子からの電気接続を導通検知部と外部接続端とのいずれかに切り替える切替部を備えた事を特徴とする請求項3に記載の電気接続装置。
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