JP2019060768A - 抵抗測定装置、基板検査装置、及び抵抗測定方法 - Google Patents
抵抗測定装置、基板検査装置、及び抵抗測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019060768A JP2019060768A JP2017186641A JP2017186641A JP2019060768A JP 2019060768 A JP2019060768 A JP 2019060768A JP 2017186641 A JP2017186641 A JP 2017186641A JP 2017186641 A JP2017186641 A JP 2017186641A JP 2019060768 A JP2019060768 A JP 2019060768A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- resistance
- probe
- ground
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/281—Specific types of tests or tests for a specific type of fault, e.g. thermal mapping, shorts testing
- G01R31/2812—Checking for open circuits or shorts, e.g. solder bridges; Testing conductivity, resistivity or impedance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/08—Measuring resistance by measuring both voltage and current
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
- G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
(第一実施形態)
抵抗値Rx=Vs/Is ・・・(1)
(第二実施形態)
4 電圧検出部
5 制御部
6 スキャナ
51 抵抗取得部
52 基板検査部
61,62,63,64,65 スイッチ
A 基板
A1 チップ側電極(第一電極)
A2 外向電極(第二電極)
A3 配線(導体)
Cp キャパシタ
CS1 定電流源(第一定電流源)
CS2 定電流源(第二定電流源)
GND グラウンド
I 測定用電流
I1 第一電流値
I2 第二電流値
Is,I3 電流値
Pc1 電流プローブ(第一電流プローブ)
Pc2 電流プローブ(第二電流プローブ)
PG 接地プローブ(接地部)
Pv1 検出プローブ(第一検出プローブ)
Pv2 検出プローブ(第二検出プローブ)
Pc1,Pc2,Pv1,Pv2,PG プローブ
Rc1,Rc2,Rv1,Rv2,RG 抵抗
Rc2,Rv2,Rx 抵抗値
Rref 基準値
Vs 測定電圧
Claims (8)
- 導体の抵抗を測定するための抵抗測定装置であって、
前記導体に接触させて所定の測定用電流を流すための第一及び第二電流プローブと、
前記導体に接触させて前記測定用電流により前記導体に生じた電圧を検出するための第一及び第二検出プローブと、
前記第一及び第二検出プローブ間の電圧を検出する電圧検出部と、
正極が前記第一電流プローブと接続され、負極がグラウンドと接続され、予め設定された第一電流値の電流を出力する第一定電流源と、
正極が前記第一定電流源の負極及び前記グラウンドに接続されて前記第一定電流源と直列接続され、負極が前記第二電流プローブと接続され、前記第一電流値と実質的に同一である第二電流値の電流を出力する第二定電流源と、
前記導体における所定部位を前記グラウンドと導通させる接地部と、
前記電圧検出部によって検出された電圧に基づき前記抵抗を取得する抵抗取得部とを備える抵抗測定装置。 - 前記接地部は、前記所定部位に接触するための接地プローブを含み、
前記接地プローブは、前記グラウンドと接続されている請求項1記載の抵抗測定装置。 - 前記接地部は、
前記第二検出プローブを前記グラウンドに接続する配線である請求項1記載の抵抗測定装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の抵抗測定装置と、
前記抵抗測定装置により測定された抵抗に基づき、基板に形成された、前記導体である配線の検査を行う基板検査部とを備える基板検査装置。 - 導体の抵抗を測定する抵抗測定方法であって、
(a)前記導体に、第一電流プローブと第一検出プローブとを接触させる工程と、
(b)前記導体の、前記第一電流プローブ及び前記第一検出プローブの接触位置とは離間した位置に、第二電流プローブと第二検出プローブとを接触させる工程と、
(c)正極が前記第一電流プローブと接続され、負極がグラウンドと接続された第一定電流源によって予め設定された第一電流値の電流を出力させ、正極が前記第一定電流源の負極及び前記グラウンドに接続されて前記第一定電流源と直列接続され、負極が前記第二電流プローブと接続された第二定電流源によって前記第一電流値と実質的に同一である第二電流値の電流を出力させる工程と、
(d)前記導体における所定部位を前記グラウンドと導通させる工程と、
(e)前記第一及び第二検出プローブ間の電圧を検出する工程と、
(f)前記(e)工程によって検出された電圧に基づき前記抵抗を取得する工程とを含む抵抗測定方法。 - 前記(d)工程は、前記グラウンドと接続された接地プローブを、前記所定部位に接触させる工程である請求項5記載の抵抗測定方法。
- 前記第二検出プローブは、前記グラウンドと接続されており、
前記(b)工程は、前記(d)工程を兼ねる請求項5記載の抵抗測定方法。 - 前記導体の一端部には第一電極が設けられ、前記導体の他端部には前記第一電極より面積の大きい第二電極が設けられ、
前記(a)工程は、前記第一電極に前記第一電流プローブと前記第一検出プローブを接触させる工程であり、
前記(b)工程は、前記第二電極に前記第二電流プローブと前記第二検出プローブを接触させる工程であり、
前記(d)工程は、前記第二電極を前記所定部位として、前記第二電極に前記接地プローブを接触させる工程である請求項6記載の抵抗測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017186641A JP6765125B2 (ja) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | 抵抗測定装置、基板検査装置、及び抵抗測定方法 |
KR1020180107833A KR20190036472A (ko) | 2017-09-27 | 2018-09-10 | 저항 측정 장치, 기판 검사 장치, 및 저항 측정 방법 |
CN201811122773.1A CN109557376B (zh) | 2017-09-27 | 2018-09-26 | 电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法 |
TW107133772A TWI793179B (zh) | 2017-09-27 | 2018-09-26 | 電阻測定裝置、基板檢查裝置以及電阻測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017186641A JP6765125B2 (ja) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | 抵抗測定装置、基板検査装置、及び抵抗測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019060768A true JP2019060768A (ja) | 2019-04-18 |
JP6765125B2 JP6765125B2 (ja) | 2020-10-07 |
Family
ID=65864627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017186641A Active JP6765125B2 (ja) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | 抵抗測定装置、基板検査装置、及び抵抗測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6765125B2 (ja) |
KR (1) | KR20190036472A (ja) |
CN (1) | CN109557376B (ja) |
TW (1) | TWI793179B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024106052A1 (ja) * | 2022-11-17 | 2024-05-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体試験装置、半導体試験方法および半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017211476A1 (de) * | 2017-07-05 | 2019-01-10 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Überprüfen einer Funktionsfähigkeit eines Systemwiderstands eines Batteriesystems |
TWI716106B (zh) * | 2019-09-16 | 2021-01-11 | 力成科技股份有限公司 | 封裝基板之電阻量測方法及其封裝基板 |
US11346883B2 (en) * | 2019-11-05 | 2022-05-31 | Formfactor, Inc. | Probe systems and methods for testing a device under test |
TWI824686B (zh) * | 2022-08-31 | 2023-12-01 | 牧德科技股份有限公司 | 檢測電路 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3638697B2 (ja) * | 1996-01-22 | 2005-04-13 | 株式会社アドバンテスト | ドライバicの出力抵抗測定器 |
GB2341246A (en) * | 1998-09-03 | 2000-03-08 | Ericsson Telefon Ab L M | Differential level shifting circuit |
JP4208560B2 (ja) | 2002-12-06 | 2009-01-14 | 日置電機株式会社 | インピーダンス測定装置 |
TW200638812A (en) * | 2004-11-18 | 2006-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Wiring board, method for manufacturing same and semiconductor device |
JP4798618B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2011-10-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 出力回路および半導体集積回路装置 |
JP2007333598A (ja) | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置 |
CN101047383B (zh) * | 2007-03-20 | 2011-05-04 | 湖南大学 | 电流控制全平衡差分式电流传输器 |
SK288245B6 (sk) * | 2010-09-03 | 2015-03-03 | Ivan Baĺ¤Ko | Prúdový zdroj s aktívnym potláčaním súčtového napätia |
CN103956982B (zh) * | 2014-05-05 | 2017-04-12 | 华侨大学 | 一种用于两级差分放大器的连续时间共模反馈电路 |
JP6545598B2 (ja) * | 2015-10-15 | 2019-07-17 | 日置電機株式会社 | 抵抗測定装置および検査装置 |
CN107104673A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-08-29 | 唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司 | 一种低增益误差电流舵型数模转换器、芯片及通信终端 |
-
2017
- 2017-09-27 JP JP2017186641A patent/JP6765125B2/ja active Active
-
2018
- 2018-09-10 KR KR1020180107833A patent/KR20190036472A/ko active IP Right Grant
- 2018-09-26 CN CN201811122773.1A patent/CN109557376B/zh active Active
- 2018-09-26 TW TW107133772A patent/TWI793179B/zh active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024106052A1 (ja) * | 2022-11-17 | 2024-05-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体試験装置、半導体試験方法および半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201915500A (zh) | 2019-04-16 |
JP6765125B2 (ja) | 2020-10-07 |
KR20190036472A (ko) | 2019-04-04 |
TWI793179B (zh) | 2023-02-21 |
CN109557376A (zh) | 2019-04-02 |
CN109557376B (zh) | 2023-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI793179B (zh) | 電阻測定裝置、基板檢查裝置以及電阻測定方法 | |
US7880485B2 (en) | High-sensitive resistance measuring device and monitoring method of solder bump | |
JP4774071B2 (ja) | プローブ抵抗値測定方法、プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置 | |
JP6972843B2 (ja) | 抵抗測定装置の校正方法、抵抗測定装置、基板検査装置、及び基準抵抗器 | |
US10955465B2 (en) | Method and apparatus for bond wire testing in an integrated circuit | |
KR102195561B1 (ko) | 전기적 접속 장치 | |
JP2007315789A (ja) | 半導体集積回路およびその実装検査方法 | |
KR20140009027A (ko) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 | |
CN114295948B (zh) | 电子元件测量设备、电子元件测量方法及发光二极管的制造方法 | |
JP2008135623A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP2005300240A (ja) | 回路配線検査方法およびその装置 | |
JP2019086359A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US8896320B2 (en) | Measuring device and a method for measuring a chip-to-chip-carrier connection | |
JP2005049314A (ja) | プロービングテスト法およびプローブ状態検出装置 | |
JP6723190B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2007198930A (ja) | 半導体検査システムおよび半導体装置 | |
CN115485572A (zh) | 检查装置以及检查方法 | |
JP6733199B2 (ja) | 検査装置、検査方法及び検査プログラム | |
JPH07287042A (ja) | インサーキット検査方法 | |
JP6255833B2 (ja) | 基板検査方法及び基板検査装置 | |
JPH10300823A (ja) | プローバの点検方法 | |
TW201445155A (zh) | 基板檢查裝置及基板檢查方法 | |
JPH0541419A (ja) | 検査装置の評価方法 | |
KR20050068118A (ko) | 프로브 카드의 니들 검사 장치 | |
JP2006250608A (ja) | 回路基板検査方法およびその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190530 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200318 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200811 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6765125 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |