JP2018080926A - プローブ及び電気的接続装置 - Google Patents
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Abstract
Description
<検査装置の構成>
図1は、本発明の第1実施形態に係るプローブ20を備えた電気的接続装置を含む検査装置1を概略的に示す側面図である。なお、説明のため、図面において、上下方向Zと、上下方向Zに直交する左右方向Xと、上下方向Z及び左右方向Xに直交する前後方向Yを規定する。また、上下方向Zは、プローブ20の長手方向とも言い換えられる。
次に、図2を参照して、プローブ支持体18の構成について詳細に説明する。図2は、プローブ支持体18の概略構成を説明するための断面図である。ここで、図2では、説明の簡単化のために9本のプローブ20を示しているが、9本に限定されるものではない。また、図2には、複数のプローブ20の配列が、1列の場合を例示しているが、これ限定されず、上下方向Zから見てマトリックス状の配置など、任意に配置されていても良い。なお、図2では、プローブ20の概略構成を示しており、プローブ20の詳細な構成についは後述する(図3参照)。
次に、図3〜5を参照して、第1実施形態に係るプローブ20の構成について詳細に説明する。図3は、プローブ20の分解斜視図である。図4は、プローブ20の側面図である。図5は、プローブ20の中心軸に沿った断面図である。
以上のように、本発明の第1実施形態に係るプローブ20は、バレル部50とプランジャー部60と絶縁部70とを備える。バレル部50は、スプリング部52,54と、非スプリング部51,53,55とを備え、プランジャー部60は、プランジャー先端部分61と、プランジャー本体部分62と、プランジャー基端部分63とを備える。
次いで、本発明の第1実施形態に係るプローブ20の変形例1について第1実施形態との相違点に着目して説明する。
次いで、本発明の第1実施形態に係るプローブ20の変形例2について第1実施形態との相違点に着目して説明する。
以上、上述の実施形態を用いて本発明について詳細に説明したが、当業者にとっては、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。
2…カード状接続装置
12…チャック
14…半導体ウエハ
14a…電極パッド
16…プローブ基板
18…プローブ支持体
20…プローブ
20a…先端部
20b…基端部
31…上方ガイド板
32…下方ガイド板
33…中間ガイド板
50…バレル部
50a…下端部
50b…上端部
51,53,55…非スプリング部
52,54…スプリング部
54a…上端部
60…プランジャー部
61…プランジャー先端部分
62…プランジャー本体部分
63…プランジャー基端部分
70…絶縁部
Claims (5)
- 第1接触対象と第2接触対象とを電気的に接続するプローブであって、
導電性部材からなり、上下方向に延びる筒状のバレル部と、
導電性部材からなり、一部が前記バレル部に挿入され、前記バレル部と電気的に接続するプランジャー部と、
前記バレル部と前記プランジャー部の一部分とを電気的に絶縁する絶縁部と、を備え、
前記バレル部は、上下方向においてスプリング機能を発揮するスプリング部を備え、
前記プランジャー部は、前記スプリング部よりも第1接触対象側において前記第1接触対象と電気的に接続する第1接続部と、前記スプリング部よりも第2接触対象側において前記第2接触対象と電気的に接続する第2接続部と、前記第1接続部と前記第2接続部とを電気的に接続する第3接続部と、を備え、
前記絶縁部は、上下方向において、前記バレル部の前記スプリング部の前記第1接触対象側の端部から前記バレル部の前記第2接触対象側の端部にわたって配置されている
ことを特徴とするプローブ。 - 前記バレル部は、前記スプリング部よりも前記第1接触対象側にスプリング機能を発揮しない非スプリング部を備え、
前記第1接続部は、前記非スプリング部の内面を摺動するとともに、前記非スプリング部を介して、前記第1接触対象に電気的に接続する
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブ。 - 前記絶縁部は、前記プランジャー部の表面に形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブ。 - 前記プランジャー部において、
前記第1接続部は、前記バレル部よりも前記第1接触対象側において前記第1接触対象に接触し、
前記第2接続部は、前記バレル部よりも前記第2接触対象側において前記第2接触対象に接触し、
前記第3接続部は、前記第2接続部に対して連結されるとともに、前記第1接続部に対して接触しながら上下方向に摺動可能となっている
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブ。 - 第1接触対象と第2接触対象とを電気的に接続するプローブを備える電気的接続装置であって、
前記プローブは、
導電性部材からなり、上下方向に延びる筒状のバレル部と、
導電性部材からなり、一部が前記バレル部に挿入され、前記バレル部と電気的に接続するプランジャー部と、
前記バレル部と前記プランジャー部の一部分とを電気的に絶縁する絶縁部と、を備え、
前記バレル部は、上下方向においてスプリング機能を発揮するスプリング部を備え、
前記プランジャー部は、前記スプリング部よりも第1接触対象側において前記第1接触対象と電気的に接続する第1接続部と、前記スプリング部よりも第2接触対象側において前記第2接触対象と電気的に接続する第2接続部と、前記第1接続部と前記第2接続部とを電気的に接続する第3接続部と、を備え、
前記絶縁部は、上下方向において、前記バレル部の前記スプリング部の前記第1接触対象側の端部から前記バレル部の前記第2接触対象側の端部にわたって配置されている
ことを特徴とする電気的接続装置。
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