JPH11174084A - コンタクトプローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンタクトプローブにおける電気経路の短
縮、バネによる特性検査障害の排除。 【解決手段】 円筒状のスリーブ２８と、スリーブ２８
内を摺動自在に嵌合するプランジャー２７と、プランジ
ャー２７を検査対象部材２へ向けて付勢する付勢部材９
とを備える。付勢部材９を、スリーブ２８およびプラン
ジャー２７に対して電気的に絶縁する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、高周波領
域において使用される電子部品の電気的特性を評価、検
査する際に用いて好適なコンタクトプローブに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、種々の電子機器の高品質
化に伴って、これらに使用される電子部品においても同
様の高品質が求められている。そのため、この種の電子
部品は、製造後出荷される前や、実際に使用される際に
電気的特性を測定する検査が行われている。

【０００３】図３ないし図５に従来技術による電子部品
の検査用コンタクトプローブの一例を示す。図３におい
て、符号１は検査用コンタクトプローブユニット（以下
コンタクトユニットと略称する）であり、符号２は電子
部品である集積回路（検査対象電子部品）である。コン
タクトユニット１は、プリント基板３と、プリント基板
３の一面４側に固定されるプローブ保持ケース５と、集
積回路２の接続用端子（外部接続用端子部材）２２に対
応してそれぞれ設けられたコンタクトプローブ６とを備
えるものである。

【０００４】コンタクトプローブ６は、集積回路２の接
続用端子２２とプリント基板３に形成された検査用回路
２１とを電気的に接続するものであって、図４に示すよ
うに、有底円筒状のスリーブ８と、スリーブ８内を摺動
自在に嵌合するプランジャー７と、スリーブ８内に収納
され、プランジャー７を集積回路２へ向けて付勢するバ
ネ（付勢部材）９とから構成されており、これらは、い
ずれも導電性材料で構成されている。

【０００５】また、図３に示すように、スリーブ８の外
周面は、電気絶縁材で形成されたプローブ保持ケース５
に固定されると共に、ハンダ２０により検査用回路２１
に接続されている。

【０００６】上記の構成のコンタクトユニット１により
集積回路２を検査するには、集積回路２の接続用端子２
２を、プランジャー７に対して下方に押した状態で接触
させることにより、接続用端子２２と検査用回路２１と
を、バネ９に付勢された状態で、プランジャー７および
スリーブ８を通して電気的に接続することにより行われ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のコンタクトプローブには、以下のような
問題が存在する。検査用回路２１から供給される電流
が、スリーブ８からプランジャー７へ流れる際には、バ
ネ９にも流れてしまう。

【０００８】そのため、バネ９に流れた距離に相応する
インダクタンスが発生することに加えて、バネ９の圧縮
状態によりその抵抗値が変化していた。また、バネ９
が、スリーブ８内に収納される構成なので、スリーブ８
の長さが必要以上に大きくなり、流れる電流の損失も大
きくまってしまう。

【０００９】そのため、隣接するコンタクトプローブ６
間でクロストークが発生する、入力信号に対する出力信
号の減衰率が大きくなる、入力波形に対する出力波形の
立ち上がり時間、立ち下がり時間が長くなる、周辺から
の外乱の影響を受ける等の高周波回路では致命的な障害
が発生していた。

【００１０】そして、近年、電子部品の動作速度の高速
化に伴って、これらコンタクトプローブ６に起因する問
題解決が強く望まれるようになっていた。さらに、図５
に示すようなダブルエンドアクション型のコンタクトプ
ローブ６においても、上記と同様の問題が発生してい
た。

【００１１】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、電流の流れる経路が短縮されると共に、バ
ネによる電気特性検査の障害を排除することができるコ
ンタクトプローブを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、以下の構成を採用している。請求項１記
載のコンタクトプローブは、円筒状のスリーブと、該ス
リーブ内を摺動自在に嵌合するプランジャーと、該プラ
ンジャーを検査対象電子部品の外部接続用端子部材へ向
けて付勢する付勢部材とを備えたコンタクトプローブに
おいて、前記付勢部材を、前記スリーブおよびプランジ
ャーに対して電気的に絶縁したことを特徴とするもので
ある。

【００１３】従って、本発明のコンタクトプローブによ
れば、スリーブとプランジャーとを通して検査対象部材
と検査用回路とを電気的に接続する際に、付勢部材を通
る電気経路を断つことにより、付勢部材による電気的影
響を排除することができる。

【００１４】請求項２記載のコンタクトプローブは、請
求項１記載のコンタクトプローブにおいて、前記スリー
ブを前記付勢部材に対して分離して配置し、該付勢部材
と前記プランジャーとの間に電気絶縁部材を配置したこ
とを特徴とするものである。

【００１５】従って、本発明のコンタクトプローブによ
れば、スリーブは付勢部材を収納する必要がない。ま
た、プランジャーと付勢部材とは電気絶縁部材の介在に
より、プランジャーから付勢部材へ電気が流れることを
防止できる。

【００１６】請求項３記載のコンタクトプローブは、請
求項１または２記載のコンタクトプローブにおいて、前
記プランジャーは、前記スリーブ内を摺動する際に、軸
線回りに回転する構成とされることを特徴とするもので
ある。

【００１７】従って、本発明のコンタクトプローブによ
れば、検査対象物をプランジャーに圧接した際に、プラ
ンジャーは軸線回りに回転しながら摺動する。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のコンタクトプロー
ブの第１の実施の形態を、図１を参照して説明する。こ
れらの図において、従来例として示した図３ないし図５
と同一の構成要素には同一符号を付し、その説明を簡略
化する。

【００１９】図１において、符号１は、コンタクトユニ
ットである。コンタクトユニット１は、プリント基板３
と、コンタクトプローブ２３と、プリント基板３にスペ
ーサ２４を介して取り付けられる絶縁性の保持板２５
と、保持板２５に密着して取り付けられる支持板２６と
から構成とされている。

【００２０】コンタクトプローブ２３は、集積回路２の
接続用端子２２とプリント基板３に形成された検査用回
路２１とを電気的に接続するものであって、円筒状のス
リーブ２８と、スリーブ２８内を摺動自在に嵌合するプ
ランジャー２７と、保持板２５内に保持され、プランジ
ャー２７を集積回路２へ向けて付勢するバネ９とから構
成されており、これらはいずれも導電性材料で構成され
ている。

【００２１】プランジャー２７とバネ９との間には、こ
れらを電気的に絶縁する電気絶縁部材３３が配置されて
いる。スリーブ２８は、図に示すように、バネ９に対し
て電気的に絶縁されるように分離して配置されると共
に、その外周面をハンダ２０により検査用回路２１に接
続されるようにプリント基板３に固定されている。

【００２２】上記の構成のコンタクトユニット１を用い
て集積回路２を検査する手順を以下に説明する。図１に
示すように、集積回路２の接続用端子２２を、コンタク
トプローブ２３のプランジャー２７に対して、下方に押
した状態で接触させる。これにより、接続用端子２２と
テスト回路２１とは、プランジャー２７およびスリーブ
２８を通して、バネ９に付勢された状態で電気的に接続
されるので、テスト回路２１を通して集積回路２の電気
的特性を検査することができる。

【００２３】このとき、プランジャー２７とバネ９との
間には、電気絶縁部材３３が配置されているため、これ
らは電気的に絶縁される。また、スリーブ２８もバネ９
に対して電気的に分離されているため、これらは電気的
に絶縁されている。スリーブ２８は、バネ９を収納して
いないので、その全長を短くすることができ、従って、
電気抵抗が小さくなり電流損失も小さくなる。

【００２４】本実施の形態のコンタクトプローブによれ
ば、バネ９がプランジャー２７およびスリーブ２８に対
して電気絶縁されているので、バネ９によるインダクタ
ンスや抵抗値変化が発生することなく、また、スリーブ
２８もバネ９を収容していないので、プランジャー２７
が摺動するために十分な長さを確保したとしても、電流
の流れる経路が短くなり特性検査を高精度に実施するこ
とができると共に、構造を簡素化できるので製造コスト
を低減することができる。

【００２５】図２は、本発明のコンタクトプローブの第
２の実施の形態を示す図である。この図において、図１
に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素につい
ては同一符号を付し、その説明を省略する。第２の実施
の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、プラ
ンジャー２７ａおよびスリーブ２８ａの構成である。

【００２６】即ち、プランジャー２７ａの外周面には、
螺旋溝３５がその軸線回りに形成されており、スリーブ
２８ａにはこの螺旋溝３５に摺動自在に嵌合する突部３
４がカシメにより形成されている。他の構成は、上記第
１の実施の形態と同様である。

【００２７】本実施の形態のコンタクトプローブにおい
ては、上記第１の実施の形態と同様の作用、効果が得ら
れることに加えて、集積回路２の接続用端子２２をプラ
ンジャー２７ａに圧接させたときに、プランジャー２７
ａの螺旋溝３５がスリーブ２８ａの突出部３４に対して
摺動するため、プランジャー２７ａが軸線回りに回転す
る。そのため、接続用端子２２の表面に酸化膜が形成さ
れていたり塵埃が付着していても、プランジャー２７ａ
が回転してこれらを排除するのでプランジャー２７ａと
接続用端子２２とを一層確実に接続することができる。

【００２８】なお、上記実施の形態において、付勢部材
をバネとし、プランジャーとバネとを電気絶縁する手段
として電気絶縁部材を介在させる構成としたが、これに
限られることなく、例えば、付勢部材としてウレタンゴ
ム等の絶縁性合成樹脂を用い、直接プランジャーに当接
して付勢するような構成であってもよい。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係るコ
ンタクトプローブによれば、付勢部材がスリーブおよび
プランジャーに対して電気的に絶縁された構成となって
いる。これにより、インダクタンスの発生を防止でき、
高周波特性を高精度に検査できると共に製造コストの低
減が実現するという優れた効果を奏するものである。

【００３０】請求項２に係るコンタクトプローブによれ
ば、スリーブが付勢部材に対して分離して配置され、付
勢部材とプランジャーとの間に電気絶縁部材が配置され
る構成となっている。これにより、インダクタンスの発
生を防止できることに加えて、電流の伝達経路を短くで
き、高精度に高周波特性を検査できるという効果が得ら
れる。

【００３１】請求項３に係るコンタクトプローブによれ
ば、プランジャーがスリーブ内を摺動する際に軸線回り
に回転する構成となっている。これにより、接続用端子
の表面に酸化膜が形成されていたり塵埃が付着していて
も、プランジャーが回転してこれらを排除するのでプラ
ンジャーと接続用端子とを一層確実に接続することがで
きるため、検査毎に結果が変動することなく、安定した
検査結果が得られるという優れた効果を奏するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、集積回路の外部接続用端子と検査用回路とがコンタ
クトプローブにより接続されている断面図である。

【図２】 本発明の第２の実施の形態を示す図であっ
て、集積回路の外部接続用端子と検査用回路とが回転す
るプランジャーを通して接続されている断面図である。

【図３】 従来技術による検査器の一例を示す断面図で
ある。

【図４】 従来技術によるコンタクトプローブの一例を
示す断面図である。

【図５】 従来技術によるコンタクトプローブの一例を
示す断面図である。

【符号の説明】

２ 集積回路（検査対象電子部品） ９ バネ（付勢部材） ２２ 接続用端子（外部接続用端子部材） ２３ コンタクトプローブ ２７，２７ａ プランジャー ２８，２８ａ スリーブ ３３ 電気絶縁部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円筒状のスリーブと、 該スリーブ内を摺動自在に嵌合するプランジャーと、 該プランジャーを検査対象電子部品の外部接続用端子部
   材へ向けて付勢する付勢部材とを備えたコンタクトプロ
   ーブにおいて、 前記付勢部材を、前記スリーブおよびプランジャーに対
   して電気的に絶縁したことを特徴とするコンタクトプロ
   ーブ。
2. 【請求項２】 請求項１記載のコンタクトプローブにお
   いて、 前記スリーブを前記付勢部材に対して分離して配置し、 該付勢部材と前記プランジャーとの間に電気絶縁部材を
   配置したことを特徴とするコンタクトプローブ。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のコンタクトプロ
   ーブにおいて、 前記プランジャーは、前記スリーブ内を摺動する際に、
   軸線回りに回転する構成とされることを特徴とするコン
   タクトプローブ。