JP3872192B2 - コンタクトユニット - Google Patents
コンタクトユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP3872192B2 JP3872192B2 JP34169497A JP34169497A JP3872192B2 JP 3872192 B2 JP3872192 B2 JP 3872192B2 JP 34169497 A JP34169497 A JP 34169497A JP 34169497 A JP34169497 A JP 34169497A JP 3872192 B2 JP3872192 B2 JP 3872192B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plunger
- sleeve
- contact unit
- contact
- connection terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、高周波領域において使用される電子部品の電気的特性を評価、検査する際に用いて好適なコンタクトユニットに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
周知のように、種々の電子機器の高品質化に伴って、これらに使用される電子部品においても同様の高品質が求められている。
そのため、この種の電子部品は、製造後出荷される前や、実際に使用される際に電気的特性を測定する検査が行われている。
【0003】
図3ないし図5に従来技術による電子部品の検査用コンタクトプローブの一例を示す。
図3において、符号1は検査用コンタクトプローブユニット(以下コンタクトユニットと略称する)であり、符号2は電子部品である集積回路(検査対象電子部品)である。
コンタクトユニット1は、プリント基板3と、プリント基板3の一面4側に固定されるプローブ保持ケース5と、集積回路2の接続用端子(外部接続用端子部材)22に対応してそれぞれ設けられたコンタクトプローブ6とを備えるものである。
【0004】
コンタクトプローブ6は、集積回路2の接続用端子22とプリント基板3に形成された検査用回路21とを電気的に接続するものであって、図4に示すように、
有底円筒状のスリーブ8と、スリーブ8内を摺動自在に嵌合するプランジャー7と、スリーブ8内に収納され、プランジャー7を集積回路2へ向けて付勢するバネ(付勢部材)9とから構成されており、これらは、いずれも導電性材料で構成されている。
【0005】
また、図3に示すように、スリーブ8の外周面は、電気絶縁材で形成されたプローブ保持ケース5に固定されると共に、ハンダ20により検査用回路21に接続されている。
【0006】
上記の構成のコンタクトユニット1により集積回路2を検査するには、集積回路2の接続用端子22を、プランジャー7に対して下方に押した状態で接触させることにより、接続用端子22と検査用回路21とを、バネ9に付勢された状態で、プランジャー7およびスリーブ8を通して電気的に接続することにより行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来のコンタクトプローブには、以下のような問題が存在する。
検査用回路21から供給される電流が、スリーブ8からプランジャー7へ流れる際には、バネ9にも流れてしまう。
【0008】
そのため、バネ9に流れた距離に相応するインダクタンスが発生することに加えて、バネ9の圧縮状態によりその抵抗値が変化していた。
また、バネ9が、スリーブ8内に収納される構成なので、スリーブ8の長さが必要以上に大きくなり、流れる電流の損失も大きくまってしまう。
【0009】
そのため、隣接するコンタクトプローブ6間でクロストークが発生する、入力信号に対する出力信号の減衰率が大きくなる、入力波形に対する出力波形の立ち上がり時間、立ち下がり時間が長くなる、周辺からの外乱の影響を受ける等の高周波回路では致命的な障害が発生していた。
【0010】
そして、近年、電子部品の動作速度の高速化に伴って、これらコンタクトプローブ6に起因する問題解決が強く望まれるようになっていた。
さらに、図5に示すようなダブルエンドアクション型のコンタクトプローブ6においても、上記と同様の問題が発生していた。
【0011】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、電流の流れる経路が短縮されると共に、バネによる電気特性検査の障害を排除することができるコンタクトプローブを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
請求項1記載のコンタクトユニットは、円筒状のスリーブと、該スリーブ内を摺動自在に嵌合するプランジャーと、該プランジャーを検査対象電子部品の外部接続用端子部材へ向けて付勢する付勢部材とを備えたコンタクトプローブと、前記スリーブが固定され、前記スリーブと接続される検査用回路を有するプリント基板と、前記プリント基板にスペーサを介して取り付けられた絶縁性の保持板とを有し、前記付勢部材は、前記保持板内に保持されて前記スリーブに対して電気的に絶縁して分離して配置され、且つ前記プランジャーとの間に電気絶縁部材が配置されることを特徴とするものである。
【0013】
従って、本発明のコンタクトユニットによれば、スリーブとプランジャーとを通して検査対象部材と検査用回路とを電気的に接続する際に、付勢部材を通る電気経路を断つことにより、付勢部材による電気的影響を排除することができる。
【0014】
従って、本発明のコンタクトユニットによれば、スリーブは付勢部材を収納する必要がない。
【0015】
また、本発明のコンタクトユニットによれば、プランジャーと付勢部材とは電気絶縁部材の介在により、プランジャーから付勢部材へ電気が流れることを防止できる。
【0016】
請求項2記載のコンタクトユニットは、請求項1記載のコンタクトプローブにおいて、前記プランジャーは、前記スリーブ内を摺動する際に、軸線回りに回転する構成とされることを特徴とするものである。
【0017】
従って、本発明のコンタクトユニットによれば、検査対象物をプランジャーに圧接した際に、プランジャーは軸線回りに回転しながら摺動する。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のコンタクトユニットの第1の実施の形態を、図1を参照して説明する。
これらの図において、従来例として示した図3ないし図5と同一の構成要素には同一符号を付し、その説明を簡略化する。
【0019】
図1において、符号1は、コンタクトユニットである。
コンタクトユニット1は、プリント基板3と、コンタクトプローブ23と、プリント基板3にスペーサ24を介して取り付けられる絶縁性の保持板25と、保持板25に密着して取り付けられる支持板26とから構成とされている。
【0020】
コンタクトプローブ23は、集積回路2の接続用端子22とプリント基板3に形成された検査用回路21とを電気的に接続するものであって、円筒状のスリーブ28と、スリーブ28内を摺動自在に嵌合するプランジャー27と、保持板25内に保持され、プランジャー27を集積回路2へ向けて付勢するバネ9とから構成されており、これらはいずれも導電性材料で構成されている。
【0021】
プランジャー27とバネ9との間には、これらを電気的に絶縁する電気絶縁部材33が配置されている。
スリーブ28は、図に示すように、バネ9に対して電気的に絶縁されるように分離して配置されると共に、その外周面をハンダ20により検査用回路21に接続されるようにプリント基板3に固定されている。
【0022】
上記の構成のコンタクトユニット1を用いて集積回路2を検査する手順を以下に説明する。
図1に示すように、集積回路2の接続用端子22を、コンタクトプローブ23のプランジャー27に対して、下方に押した状態で接触させる。
これにより、接続用端子22とテスト回路21とは、プランジャー27およびスリーブ28を通して、バネ9に付勢された状態で電気的に接続されるので、テスト回路21を通して集積回路2の電気的特性を検査することができる。
【0023】
このとき、プランジャー27とバネ9との間には、電気絶縁部材33が配置されているため、これらは電気的に絶縁される。
また、スリーブ28もバネ9に対して電気的に分離されているため、これらは電気的に絶縁されている。
スリーブ28は、バネ9を収納していないので、その全長を短くすることができ、従って、電気抵抗が小さくなり電流損失も小さくなる。
【0024】
本実施の形態のコンタクトプローブによれば、バネ9がプランジャー27およびスリーブ28に対して電気絶縁されているので、バネ9によるインダクタンスや抵抗値変化が発生することなく、また、スリーブ28もバネ9を収容していないので、プランジャー27が摺動するために十分な長さを確保したとしても、電流の流れる経路が短くなり特性検査を高精度に実施することができると共に、構造を簡素化できるので製造コストを低減することができる。
【0025】
図2は、本発明のコンタクトプローブの第2の実施の形態を示す図である。
この図において、図1に示す第1の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第2の実施の形態と上記の第1の実施の形態とが異なる点は、プランジャー27aおよびスリーブ28aの構成である。
【0026】
即ち、プランジャー27aの外周面には、螺旋溝35がその軸線回りに形成されており、スリーブ28aにはこの螺旋溝35に摺動自在に嵌合する突部34がカシメにより形成されている。
他の構成は、上記第1の実施の形態と同様である。
【0027】
本実施の形態のコンタクトプローブにおいては、上記第1の実施の形態と同様の作用、効果が得られることに加えて、集積回路2の接続用端子22をプランジャー27aに圧接させたときに、プランジャー27aの螺旋溝35がスリーブ28aの突出部34に対して摺動するため、プランジャー27aが軸線回りに回転する。
そのため、接続用端子22の表面に酸化膜が形成されていたり塵埃が付着していても、プランジャー27aが回転してこれらを排除するのでプランジャー27aと接続用端子22とを一層確実に接続することができる。
【0028】
なお、上記実施の形態において、付勢部材をバネとし、プランジャーとバネとを電気絶縁する手段として電気絶縁部材を介在させる構成としたが、これに限られることなく、例えば、付勢部材としてウレタンゴム等の絶縁性合成樹脂を用い、直接プランジャーに当接して付勢するような構成であってもよい。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るコンタクトユニットによれば、スリーブがプリント基板に固定され、付勢部材が保持板内に保持されてスリーブに対して電気的に絶縁して配置され、且つプランジャーとの間に電気絶縁部材が配置される構成となっている。
これにより、インダクタンスの発生を防止でき、高周波特性を高精度に検査できると共に製造コストの低減が実現するという優れた効果を奏するものである。
【0030】
本発明に係るコンタクトユニットによれば、スリーブが付勢部材に対して分離して配置され、付勢部材とプランジャーとの間に電気絶縁部材が配置される構成となっている。
これにより、インダクタンスの発生を防止できることに加えて、電流の伝達経路を短くでき、高精度に高周波特性を検査できるという効果が得られる。
【0031】
本発明に係るコンタクトユニットによれば、プランジャーがスリーブ内を摺動する際に軸線回りに回転する構成となっている。
これにより、接続用端子の表面に酸化膜が形成されていたり塵埃が付着していても、プランジャーが回転してこれらを排除するのでプランジャーと接続用端子とを一層確実に接続することができるため、検査毎に結果が変動することなく、安定した検査結果が得られるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態を示す図であって、集積回路の外部接続用端子と検査用回路とがコンタクトプローブにより接続されている断面図である。
【図2】 本発明の第2の実施の形態を示す図であって、集積回路の外部接続用端子と検査用回路とが回転するプランジャーを通して接続されている断面図である。
【図3】 従来技術による検査器の一例を示す断面図である。
【図4】 従来技術によるコンタクトプローブの一例を示す断面図である。
【図5】 従来技術によるコンタクトプローブの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
2 集積回路(検査対象電子部品)
9 バネ(付勢部材)
22 接続用端子(外部接続用端子部材)
23 コンタクトプローブ
27,27a プランジャー
28,28a スリーブ
33 電気絶縁部材
Claims (2)
- 円筒状のスリーブと、
該スリーブ内を摺動自在に嵌合するプランジャーと、
該プランジャーを検査対象電子部品の外部接続用端子部材へ向けて付勢する付勢部材とを備えたコンタクトプローブと、
前記スリーブが固定され、前記スリーブと接続される検査用回路を有するプリント基板と、
前記プリント基板にスペーサを介して取り付けられた絶縁性の保持板とを有し、
前記付勢部材は、前記保持板内に保持されて前記スリーブに対して電気的に絶縁して分離して配置され、且つ前記プランジャーとの間に電気絶縁部材が配置されることを特徴とするコンタクトユニット。 - 請求項1記載のコンタクトユニットにおいて、
前記プランジャーは、前記スリーブ内を摺動する際に、軸線回りに回転する構成とされることを特徴とするコンタクトユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34169497A JP3872192B2 (ja) | 1997-12-11 | 1997-12-11 | コンタクトユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34169497A JP3872192B2 (ja) | 1997-12-11 | 1997-12-11 | コンタクトユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11174084A JPH11174084A (ja) | 1999-07-02 |
JP3872192B2 true JP3872192B2 (ja) | 2007-01-24 |
Family
ID=18348058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34169497A Expired - Fee Related JP3872192B2 (ja) | 1997-12-11 | 1997-12-11 | コンタクトユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3872192B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017060946A1 (ja) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | ユニテクノ株式会社 | 検査用基板 |
JP6751655B2 (ja) * | 2016-11-14 | 2020-09-09 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ及び電気的接続装置 |
-
1997
- 1997-12-11 JP JP34169497A patent/JP3872192B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11174084A (ja) | 1999-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6882158B2 (en) | Series arc fault diagnostic for aircraft wiring | |
KR100326723B1 (ko) | 도전성 접촉 유니트 시스템 | |
US8278947B2 (en) | Capacitive divider device, voltage sensor, trip device module and electrical protection apparatus provided with such a device | |
JP2001099889A (ja) | 高周波回路の検査装置 | |
KR970062714A (ko) | 처리기 접촉 불량을 확인할 수 있는 접촉 점검 장치 및 이를 내장한 집적회로 소자 검사 시스템 | |
EP0305076A2 (en) | Personality board | |
US7280370B2 (en) | Electronic package and circuit board having segmented contact pads | |
US6529011B1 (en) | Method and apparatus for inspecting electronic components | |
JP3872192B2 (ja) | コンタクトユニット | |
JP3878578B2 (ja) | コンタクトプローブ、これを用いた半導体及び電気検査装置 | |
JP3558425B2 (ja) | 信号切換装置およびスイッチ回路 | |
US5101154A (en) | Open bond detector for an integrated circuit | |
JPH08146046A (ja) | 非接触型電圧プローブ装置 | |
JP3076245B2 (ja) | 検査ピンおよび検査装置 | |
JP2006184285A (ja) | タケノコバネ | |
JPH0661321A (ja) | コンタクトプローブピンおよび半導体検査装置 | |
KR200182523Y1 (ko) | 검사용 탐침장치 | |
JP2005114547A (ja) | コンタクトプローブとこれを用いたコンタクト機器 | |
US8089284B2 (en) | Impedance measuring method | |
JPH0616055B2 (ja) | スプリング・コンタクト式プロ−ブ | |
JPS6221066A (ja) | スプリング・コンタクト式プロ−ブ | |
JP2563156Y2 (ja) | プローブボード | |
JPH0637347Y2 (ja) | Ic試験用スキャナ | |
JPS631250Y2 (ja) | ||
KR20050109807A (ko) | 초전도체의 통전 교류 손실 측정 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040722 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040813 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040813 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131027 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |