JPH0637347Y2 - Ｉｃ試験用スキャナ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案はICの端子の交流特性及び直流特性を測定する
場合に用いるIC試験用スキャナに関する。

「従来の技術」 ICの試験方法の一つとしてICの各端子の交流特性と直流
特性を試験する項目がある。

交流特性とは交流電圧を印加し、交流電圧を変化させ
て、電圧の変化に対して電流が変化する様子を計測した
特性を指す。

また直流特性とは被試験ICの端子に直流電圧を印加し、
この直流電圧を変化させて端子に流れる電流が変化する
様子を計測した特性を指す。

交流特性試験及び直流特性試験とは交流特性と直流特性
が規定の範囲に入っているか否かを見る試験である。こ
の試験は主にICがパッケージに収納される前の状態で行
なわれ、交流試験装置と直流試験装置がモード切替スイ
ッチによって選択的にプローブ接続され、更にプローブ
はスキャナによって交流試験装置又は直流試験装置に対
して切替接続され、一つの交流試験装置と直流試験装置
によって多数のICの端子を試験することができる構造と
なっている。

第３図に従来のIC試験用スキャナを示す。

図中100は交流試験装置、200は直流試験装置、300は被
試験IC、400はプローブ群、500は交流試験装置100をプ
ローブ群400の各プローブ400A,400B,400C……400Nに選
択的に接続する交流試験用スキャナ、600は直流試験装
置200をプローブ群400の各プローブ400A,400B,400C……
400Nに選択的に接続する直流試験用スキャナ、700及び8
00はモード切替スイッチを示す。

つまり交流試験時はモード切替スイッチ700の何れか一
つが交流試験用スキャナ500の切替走査に連動して切替
られ、交流試験装置100をプローブ群400の指定されたプ
ローブに接続し、交流試験を行なう。

直流試験時は直流試験用スキャナ600の切替走査に連動
してモード切替スイッチ800の指定されたスイッチがオ
ンとされて直流試験装置200のプローブ群400の指定され
たプローブに接続し、直流試験を行なう。

直流試験は駆動出力端子201から直流電圧を被試験ICの
一つの端子に与え、その端子に流れる電流を測定する。
端子202は被試験IC300の端子に発生する電圧を直流試験
装置200に読み込むために設けられている。

また、端子203はガード電圧出力端子である。このガー
ド電圧は直流試験装置200からプローブ群400に至るまで
のケーブルの外部導体に駆動出力端子201から出力され
て被試験IC300の端子に与えられる電圧に等しい電圧を
与え、ケーブルの芯線と外部導体との間を同電位に維持
してこの間に漏洩電流が流れないようにしている。つま
り直流試験における電流の測定は微少電流の測定である
ためケーブルの芯線と外部導体との間にわずかでも漏れ
電流が流れると、これが誤差となり、正確な直流試験を
行なえなくなる。このためにケーブルの外部導体を芯線
の電位と同電位に維持し、漏れ電流の発生を阻止してい
る。このようなガードドライブ技術は従来からよく知ら
れている。

「考案が解決しようとする課題」 直流試験において微少電流の測定を行なうため、モード
切替スイッチ700及び800に使われるスイッチは高絶縁型
のリレースイッチが用いられる。

高絶縁型のリレースイッチは接点間の絶縁性は高いもの
の、インピーダンスが信号伝送路の特性インピーダンス
に整合したものがない。

つまり交流試験装置100とプローブ群400との間を結ぶケ
ーブルは例えば同軸型ケーブルのようにインピーダンス
が整合がとれたケーブルが用いられている。従ってケー
ブルの部分はインピーダンス整合がとれているが、モー
ド切替スイッチ700の部分でインピーダンスの不整合が
生じ、交流試験に使われる交流信号（高周波信号）の波
形を乱したり、或は反射させる不都合がある。

また、直流試験用のモード切替スイッチ800もインピー
ダンス不整合を生じるからこのモード切替スイッチ800
も反射を生じる欠点がある。

この結果交流試験の精度が悪い欠点がある。

この考案の目的は直流試験時は漏洩電流が少なく、また
交流試験ではモード切替スイッチでインピーダンス不整
合が生じることのないIC試験用スキャナを提供するにあ
る。

「課題を解決するための手段」 この考案ではモード切替スイッチとしてインピーダンス
整合が採れた高周波用リレースイッチを用いる。更に直
流試験時にこの高周波用リレースイッチの外部導体及び
励磁コイル等にガード電圧を印加し、ガード電圧の印加
によって接点から励磁コイル或いは接点から外部導体等
に漏洩電流が流れないようにすることができる。

この考案によればモード切替スイッチにインピーダンス
整合がとれた高周波用リレースイッチを用いたからモー
ド切替スイッチの部分で反射等の現象が起きることがな
い。よって交流試験の精度を向上させることができる。

また直流試験時に高周波用リレースイッチの外部導体及
び励磁コイルにガード電圧を印加するから漏洩電流が流
れることがない。よって直流試験の精度も向上させるこ
とができる。

「実施例」 第１図にこの考案の一実施例を示す。図中100は交流試
験装置、200は直流試験装置、300は被試験IC、400はプ
ローブ群、500は交流試験用スキャナ、600は直流試験用
スキャナ、700及び800はモード切替スイッチを示す。

この例ではモード切替スイッチ700及び800は１つのプロ
ーブ400Aの回路部分だけについて示し、他のプローブ40
0B〜400Nの回路については省略して示している。

交流試験用スキャナ500及び直流試験用スキャナ600はこ
の例ではトランスファー接点を持つリレースイッチの縦
続接続によって構成した場合を示す。

つまり交流試験用スキャナ500においてリレースイッチ5
01を接点ａからトランスファー接点ｂに切替ると交流試
験装置100はプローブ400Aの信号路を構成するケーブル5
11に接続される。ケーブル511の他端にモード切替スイ
ッチ700と800が接続される。リレースイッチ501が接点
ｂに切替わったとき、このリレースイッチ501に続く後
続の回路は切離される。

モード切替スイッチ700と800はこの考案では高周波用リ
レースイッチを用いる。

高周波用リレースイッチは一般にリードリレーによって
構成される。リードリレーは接片がガラス管の軸芯に配
置されガラス管の外周に非磁性体から成る管状の外部導
体が嵌合され、この管状外部導体と接片によって同軸構
造とされ、特性インピーダンスが例えば50Ω程度に保た
れるように構成される。

非磁性体から成る外部導体の外周に励磁コイル701及び8
01が巻装され、この励磁コイルの励磁、非励磁の状態に
よって接片が切替られる。

第１図に示すモード切替スイッチ700と800において、点
線で示す枠702及び802はリードリレーを構成するガラス
管の外周に嵌着した外部導体を指すものとする。この外
部導体702及び802はガード電圧接続スイッチ901に接続
し、このガード電圧接続スイッチ901によって交流試験
時は接点ａを通じて外部導体702と802を交流試験装置10
0の共通電位に接続する。

また直流試験時はガード電圧接続スイッチ901を接点ｂ
に接続し、外部導体702と802を直流試験装置200のガー
ド電圧出力端子203に接続する。従ってこのためには交
流試験用ケーブル511の外部導体をガード電圧接続スイ
ッチ901の接点ａに接続し、直流試験用ケーブル512の外
部導体をガード電圧接点スイッチ901の接点ｂに接続す
る。

交流試験用ケーブル511の内部導体はモード切替スイッ
チ700と800の双方の接点ａに接続し、直流試験用ケーブ
ル512の２本の芯線の一方はモード切替スイッチ700の接
点ｂに接続し、他方の芯線はモード切替スイッチ800の
接点ｂに接続する。

つまりモード切替スイッチ700及び800とテストヘッドHD
との間には直流試験用に２本のケーブル513と514が設け
られる。この２本のケーブル513と514は交流試験時はモ
ード切替スイッチ700と800が接点ａに切替られることに
よって並列に接続されるため、その特性インピーダンス
はケーブル511の特性インピーダンスの２倍の値に選定
し、ケーブル511とインピーダンス整合がとれるように
している。

モード切替スイッチ700と800は励磁コイル701と801が非
励磁のとき接点ｂを選択し、直流モードに維持される。
これに対し、励磁コイル701と801が励磁されると、接点
ａを選択し、交流試験モードに切替られる。

モード切替スイッチ700と800の励磁と非励磁の切換はリ
レースイッチ902と903によって制御される。リレースイ
ッチ902と903が接点ａに接触しているとき、モード切換
スイッチ700と800は非励磁状態とされ、直流試験モード
に維持される。またリレースイッチ902と903が接点ｂに
接触しているときはモード切替スイッチ700と800は励磁
状態となり、交流試験状態に切換られる。

リレースイッチ902と903の接点ａは互に共通接続され、
ガード電圧接続スイッチ901に接続される。

このように構成することによって直流試験モード時はモ
ード切替スイッチ700と800の外部導体702及び802はガー
ド電圧接続スイッチ901を通じて直流試験装置200のガー
ド電圧出力端子203に接続され、更に励磁コイル701と80
1もガード電圧出力端子203に接続される。

よって直流試験時はモード切換スイッチ700と800の外部
導体702及び802と励磁コイル701と801には共にガード電
圧が印加され、モード切替スイッチ700と800を構成する
スイッチの接片と同じ電位に維持されるから、多少絶縁
性能が悪い高周波用リレーを用いたとしても漏洩電流の
量を可及的に小さくすることができる。よって直流試験
を精度よく行なうことができる。

然も高周波用リレーを用いているから、交流試験時にモ
ード切替スイッチ700と800で反射等が起きることがな
い。よって交流試験の精度も確保することができる。

尚交流試験装置100を複数設ける場合は第２図に示すよ
うに交流試験用スキャナを複数並列に設けるとよい。こ
のように複数のスキャナを並列に設けることによって一
度に試験する端子の数を増やすことができ、この結果試
験に要する時間を短縮することができる。

「考案の効果」 以上説明したように、この考案によればモード切替スイ
ッチ700及び800として高周波用リレー接点を用いたから
交流試験時にプローブに至る回路で信号の反射が起きる
ようなことを阻止することができる。よって交流試験を
精度よく行なうことができる。

更に、モード切替スイッチ700及び800を高周波に対して
インピーダンス整合がとれた状態に維持することができ
る高周波用リレーを用いたとしても、直流モード時には
高周波リレーを構成する外部導体及び励磁コイルにガー
ド電圧を印加するから高周波リレーが絶縁性の悪い特質
を持っていても漏洩電流が流れることはない。よって直
流試験も精度よく行なうことができ、その効果は実用に
供して頗る大である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す接続図、第２図はこ
の考案の変形実施例を示す接続図、第３図は従来の技術
を説明するための接続図である。 100:交流試験装置、200:直流試験装置、300:被試験IC、
400:プローブ群、500:交流試験用スキャナ、600:直流試
験用スキャナ、700,800:モード切替スイッチ、901:ガー
ド電圧接続スイッチ、

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】A.被試験ICの端子に接触するプローブと、 B.このプローブに直流試験装置と交流試験装置を選択的
   に接続する高周波用リレーによって構成したモード切替
   スイッチと、 C.このモード切替スイッチが直流試験装置を選択してい
   る状態において、モード切替スイッチを切替制御するた
   めの励磁コイルを直流駆動信号と同電位に維持するガー
   ド回路に接続し、モード切替スイッチが交流試験装置を
   選択した状態において、上記励磁コイルを交流試験装置
   の共通電位に接続するガード電圧接続スイッチと、 を具備して成るIC試験用スキャナ。