JPS5824797Y2 - テスタ接続装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は半導体集積回路用テスタと被測定半導体集積回
路とを接続するためのテスタ接続装置（テスタヘッド）
の改良に関する。

従来、テスタで半導体集積回路の交流特性測定（スイッ
チングタイムテスト）を行なう場合、第１図Ａに示すよ
うに、テスタの交流特性測定装置５の入出力端子をそれ
とインピーダンスマツチングする特性インピーダンス５
０オームの同軸線１を通じて半導体集積回路４のピン１
０に接続している。

一方直流特性を測定する場合は、接続線路の電圧ドロッ
プの影響を避けるために、第１図Ｂに示すように、半導
体集積回路４の各ピン１０をそれぞれ一組のフォーシン
グ線２およびセンシング線３を通じてテスタの直流特性
測定装置６の対応する端子に接続し、ケルビンブリッジ
法によって測定している。

このように、従来は交流特性測定時と直流特性測定時と
でそれぞれ専用の接続装置（テスタヘッド）を用いなけ
ればならずまた半導体集積回路のピンとの接続を変えな
ければならないという不便があった。

本考案の目的は、被測定半導体集積回路のピンとの接続
を変えることなく交流特性と直流特性の両方の測定に用
いることができるテスタの接続装置を提供することにあ
る。

しかして本考案によるテスタ接続装置は、一端が相互接
続され他端が開放された一対の信号線と、この一対の信
号線と開放端とテスタとの間の接続を切換えるスイッチ
回路とを具備し、該各信号線はテスタの交流特性測定装
置の入出力インピーダンスの２倍に等しい特性インピー
ダンスを持ち、該スイッチ回路は、交流特性測定時に閉
成して該一対の信号線の開放端をテスタの交流特性測定
装置の入出力端子に並列接続する開閉接点と、直流特性
測定時に閉成して該一対の信号線の開放端をテスタの直
流特性測定装置のフォーシング線接続端子およびセンシ
ング線接続端子にそれぞれ接続する開閉接点とを持つこ
とを特徴とする。

接続線対は、１組に限らすテスタのチャンネル数を考慮
した任意の組数だけ設けることができる。

第２図は本考案によるテスタ接続装置の一例を示す。

ただしテスタの１チャンネル分だけを示している特性イ
ンピーダンスが１００オームの一対の同軸線７，８の一
端は相互接続されており、この端は測定時に半導体集積
回路４の゛ピン１０に接続される。

同軸線７，８の他方の開放端は、スイッチ回路９を介し
てテスタの直流特性測定装置６と交流特性測定装置５に
接続される。

スイッチ回路９は、交流特性測定時に閉成する一対の開
閉接点１１と直流特性測定時に閉成する一対の開閉接点
１２から構成されている。

これら開閉接点１１．１２はどのようなものでもよいが
、寄生インダクタンスや浮遊容量の少ない小形のリレー
接点等を用いるのが望まれる。

交流特性測定時に一対の開閉接点１１が閉成し、同軸線
７，８の開放端が開閉接点１１を介して並列接続されて
交流特性測定装置５の入出力端子に接続される。

なお本例では、開閉接点１１と交流特性測定装置５との
間に特性インピーダンスが５０オームの同軸線１６が介
挿されている。

このように同軸線７，８は並列接続されるため、交流特
性測定装置５とインピーダンスマツチング（５０オーム
）がとれ、したがって交流特性測定装置５がら出される
パルス信号は反射を生じることなく半導体集積回路４に
与えれる。

この逆方向の信号も同様に良好に伝播される。

直流特性測定時には一対の開閉接点１２を閉威し、一対
の同軸線７，８の開放端は直流特性測定装置６のフォー
シング線接続端子およびセンシング線接続端子にそれぞ
れ接続される。

したがってこの時には同軸線７，８はそれぞれケルビン
ブリッジのフォーシング線とセンシング線として作用す
る。

第３図は本考案によるテスタ接続装置の他の例を示す。

本例は前記実施例における同軸線７，８の代りにプリン
ト基板１３上に形式したマイクロストリップライン１４
．１５を用いており、これら各マイクロストリップライ
ン１４．１５はそれぞれ１００オームの特性インピーダ
ンスを持っている。

これ以外は前記実施例と同様である。

以上において、同軸線７，８またはマイクロストリップ
ライン１４．１５の特性インピーダンスは１００オーム
に選ばれているが、これはテスタの交流特性測定装置５
の入出力インピーダンスを５０オームとしたからで゛あ
り、要はこの入出力インピーダンスの２倍の特性インピ
ーダンスを持っていればよい。

また信号線は同軸線、マイクロストリップライン以外で
あってもよいが、外部がらノイズに影響を受は難い形式
のものが望まれる。

以上に述べたように、本考案のテスタ接続装置によれば
、測定対象との接続を変えることなく直流特性と交流特
性のいずれも行なうことができ、測定を能率良く実行で
き、またテスタ接続装置にかかる費用を大幅に削減でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図ＡおよびＢは従来のテスタ接続装置を示す図、第
２図および第３図はそれぞれ本考案によるテスタ接続装
置の別異の例を示す図である。 ５・・・・・・テスタの交流特性測定装置、６・・・・
・・テスタの直流特性測定装置、７，８．１６・・・・
・・同軸線、９・・・・・・スイッチ回路、１１．１２
・・・・・・開閉装置、１４．１５・・・・・・マイク
ロストリップライン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端が相互接続され他端が開放された一対の信号線と、
   該信号線の開放端と半導体集積回路用テスタとの間の接
   続を切換えるスイッチ回路とを具備し、該各信号線は該
   テスタの交流特性測定装置の入出力インピーダンスの２
   倍に等しい特性インピーダンスを持ち、該スイッチ回路
   は、交流特性測定時に閉成して該一対の信号線の開放端
   を該交換特性測定装置の入出力端子に並列接続する開閉
   接点と、直流特性測定時に閉成して該一対の信号線の開
   放端を該テスタの直流特性測定装置のフォーシング線接
   続端子およびセンシング線接続端子にそれぞれ接続する
   開閉接点とを持つことを特徴とするテスタ接続装置。