JPS587834A - 半導体ウエハ−検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体クエハー検査装置に係り、特に検査に使
用されるプローブカードに関するものである。

一般に半導体装置の製造工程では、一枚の結晶基板上に
フォトエツチングの技法を用いて同時に多数個の半導体
装置の素子が形成される。そしてウェハー上に素子が完
成すると、ウェハー検査又はブロービング検査と呼ばれ
る素子の電気特性検査が行なわれる。ここで、ウェハー
検査は、電気特性測定機（テスター）およびプローブカ
ードを用いて行なわれる。つまり、素子の電極にプロー
ブカードの探針を接触させ、テスターにょシ菓子の電気
特性を検査するのである。その後、このウェハー検査を
終えたウェハーは、個々の半導体装置の素子に切断１分
割され検査で合格した素子のみが容器に装着される。一
般に上記ウェハー検査はＤＣ検査と７アンクシ冒ン検査
およびスイッチング検査に分ゆることができる。

近年、素子の性能は著しく向上しており、その動作速度
は非常に速くなっている。それで、これら素子のスイッ
チング特性の検査は注意を要する。

つ［ハ検査を安定に行なうためには、歪のない測定信号
を被検査素子に供給するとともに、素子からの信号も歪
のなり状態で時間遅れなく判定する必要がある。

その為、前記テスｊ−，プローブカードは種々改良され
てき友。つまり、テスター＃′ｉ、高周波でも歪のない
測定信号を出すとともに素子からの信号を時間遅れが少
ない状−で判定できる様になう九＠また。プローブカー
ドは、各信号波形が歪まない様にプローブカード上の信
号線の固有インピーダンスがテスターのそれと一致する
様に改善されてきた。さらにテスター、プローブカード
間は。

テスター、プローブカードと同一固有インヒー／ンスの
同軸ケーブルにより接続される様になった。

しかし、従来、上記同軸ケーブルとプローブカードの接
続ＫＦ１．一般の電気回路用ソケット（以下ソケットと
略す）が用いられてきた◎それは、前述の様に、プロー
ブカードの探針は、素子の電極に接触する様に固定され
ている０ところで、一般に素子の電極位置ｔｉ１品種毎
に固有のものであり。

品種が異なるとその位置は全く異なっている０それ故、
グローブカードは、品檎毎に別々なものとなっている。

さて、検査において妹、４＊査する素子の品種が頻繁に
変わシその友びに、プローブカードを変換する必要があ
る。そして、交換時、容易に同軸ケーブルとプローブカ
ードを接続できるようソケットが用いられているのであ
る。

第１図にて、接続の様子を詳しく説明する。ソケッ）１
の挿入側にプローブカード２が挿入されてｂる０ソケツ
トの挿入側にある端子は、プローブカード主面上に形成
された信号線３ともう一方の面上に形成された接地線（
図中には示さず）に接触している。さらに信号線、Ｗ！
地線はプローブカードに固定された探針４が接続されて
いる。さらに、ソケットのプローブカード挿入側と反対
側にある端子には、テスター（図中には示さず）からの
同軸ケーブル５が接続されている０この様にして、テス
ターと素子は電気的に接続されている。

それで、テスターの信号は、同軸ケーブル、ソケット、
プローブカードを介して素子に供給され。

素子からの信号は、逆方向の経路でテスターへ送られて
いる。ここで、注意しなければならないことは、前述の
ソケットの固有インピーダンスがソケット毎に異なると
同時に、テスター同軸ケーブル、プローブカードのそれ
と大きく異なっていることである。りｔＬテスター、プ
ローブカード間でインピーダンス整合がなされていな−
のである◇これは、クエハー検査のＤＣ検査、ファンク
シ１ン検査では、全く問題とはならないＯしかし。

スイッチング検査において社、大きな問題であるＯそれ
は、固有インピーダンスが異なる為に、ソケット部分に
おいて信号波形の歪が生じるからである。スイッチング
検査時の歪の重要性は前述した通夕であり、ソケット部
分で生じる信号波形の歪によ〕正確なスイッチング検査
を行なうことは困難なものであった０ 本発明の目的は、かかる欠点を改善したクエハー検査に
使用される検査装置を提供することであるＯ 本発明の特徴線、クエハー検査装置として使用されるプ
ローブカードがその一生面上に、同軸ケーブル、プロー
ブカードと同一の固有インピーダンスを有する同軸ケー
ブル接続端子が取付けられ。

かつその端子の信号端子が１０−ブカードの主面上に設
けられた信号線に接続され、接地端子がプローブカード
の主面上に設けられた接地線に接続されていることにあ
る。

本発明によれば、テスターとプローブカードの間は同一
固有インピーダンスとな夛、従来スイッチング検査にお
いて問題となっていた信号波形の歪が生じなくなる。

以下図を用いて、本発明の具体的な実施例を説明する。

〔実施例１〕 第２図において、プローブカード２の主面上に同軸ケー
ブル接続端子６が固定されている０また。

この接続端子は所定の固有インピーダンスを有するもの
である。上記接続端子の接地側端子はプローブカードの
主面上に設けられた接地線に接続されている（接地線は
、図示せず）０接続端子の信号端子は、プローブカード
の主面上に設けられた信号線３に接続されている０ここ
で１個々の信号線は、前述のようにテスターと同一の固
有インピ−ダンスとなるように作製されている。さらに
テスターからの同軸ケーブルの終端には上記接続端子と
対となる接続端子７が設けられている。

さて、使用状態においては、対となる。同軸ケーブル終
電の接続端子とプローブカード上の接続端子が接続され
るわけである。

〔実施例２〕 前記実施例１では１個々の同軸ケーブルを別々に接続し
なければならない為に、接続に時間がかかるとともに、
接続を誤まるという欠点がある。

本実施例は、前記プローブカード上の同軸ケーブル接続
端子と同軸ケーブル終電の接続端子をそれぞれ集めて一
対の接続端子群を形成したもので。

第３図に示す０プローブカード上の亀子群８および同軸
ケーブル終端の亀子群９は個々の接続端子を絶縁性の樹
脂によシ、成形固定したものである。

まえ、個々の接続趨子ｒｊ、英施例１と全く同様の接続
がなされている０本実施例によれば、同軸ケーブルとプ
ローブカードの接続は一回の操作により完了する〇 以上のように本発明によればプローブカードと同軸ケー
ブルの接続に同軸ケーブル接続端子を用いることにより
、従来不可能であった高性能素子の正確なスイッチング
検査が可能なものとなる。

さらに本発明によれば、インピーダンス整合がとれない
為に生じる信号波形の歪により発生していた。スイッチ
ング検査における不良が低減され。

検査における歩留りが大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図性従来のソケットを用いたプローブカードと同軸
ケーブルの接続を説明する構成図である。 第２図、第３図は本発明の％徴である同軸ケーブル接続
端子を用いたプローブカードと同軸ケーブルの接続を説
明する実施例の構成図である。 岡、図において、ｌ・・・−・ソケット、２・・・・−
プローブカード％３＝−−−−プローブカードの信号線
％４・−・・・・プローブカードの探針、５−・・−・
同軸ケーブル。 ６・・・−・・プローブカード側の同軸ケーブル接続端
子、７−−−−−−同軸ケーブル終電の同軸ケーブル接
続端子、８・・−・・・プローブカード側の接続端子群
、９・−・−・同軸ケーブル終端の接続端子群、である
０Ｙ　ｌ　図 杭Ｓ即

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ウェハー上に多数個形成された半導体素子の電気
   特性検査に用いられるプローブカードの一生面上に所定
   の固有インピーダンスを有する同軸ケーブル接続端子が
   設けられ、該接続趨子の信号側端子が前記プローブカー
   ドの一生面上にある信号線に接続され、かつ咳信号線の
   他端が前記プローブカードの探針に接続されたことｔ−
   特徴とする半導体ウェハー検査装置。