JP2007322180A - 基板検査治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一方の端部が被検査基板に設けられた半田バンプ21に接触し、他方の端部が被検査基板を検査する検査装置の電極部に接触するプローブ17と、プローブを保持する保持手段とを備える検査治具に関する。この検査治具では、プローブの一方の端部が角部17bを有し、そのプローブの角部が、半田バンプの表面曲面に当接する。
【選択図】 図3
Description
図1(a)は、本発明の一実施例に係る検査治具10を示す側面図である。検査治具10はプレート12、ベースプレート14及び基台16を備える。プレート12、ベースプレート14及び基台16は、樹脂材料等の絶縁材料からなる板状の部材である。ベースプレート14は基台16の下方の面に取り付けられており、プレート12は、一端がベースプレート14に固定された支持棒15の他方の端部に固定されている。また、ガイドプレート13が、プレート12とベースプレート14との間に、支持棒15を貫通して固定されている。
[半田バンプの形成の概要]
半田バンプ21の形成方法にはさまざまな方法が存在する。例えば、メッキ法や蒸着法で形成したハンダ膜を利用する方法、半田ボールを電極上に搭載する方法、印刷したクリーム半田(半田ペースト)を利用する方法、メタルジェットを利用する方法などがある。それらの方法のいずれかによって電極上に設けられたハンダ層あるいは半田ボールは、リフロー炉で加熱されて一時的に溶融される。そのようにして形成された半田流動体は、表面張力によって略球状になるので、そのまま冷却して凝固させて略球状のハンダバンプを得る。半田バンプ21は一般的にSn、Pb等から作られている。
[プローブと半田バンプとの位置関係]
図3は、被検査基板を測定する際に、プローブ17が半田バンプ21に接触した状態を示す。ここでは、プローブ17は略円柱状のものであり、半田バンプ21はノンコイニングの略球形状である。それらの接触は、検査治具10(図1)を被検査基板20(図1)に近づけ、又は、逆に、被検査基板20を検査治具10近づけることによって、図3においては、プローブ17を下降させ、それにより、その先端部17aを半田バンプ21に衝突させることによって達成される。
[他の実施例]
図4(a)は、被検査基板20の配線パターンに対して例えば四端子測定法を行う場合に、一対の電流供給用プローブ47及び電圧測定用プローブ48を半田バンプ21に接触させた状態を示す概略側面図である。なお、電流供給用プローブ47及び電圧測定用プローブ48の位置は、説明の便宜上のものであり、逆でもよい。また、図4(a)は、電流供給用プローブ47及び電圧測定用プローブ48が、それぞれ、半田バンプ21の一部の表面に少しめり込んだ状態を示す。
[各実施例の特徴]
[表面曲面への当接]
図1乃至図3に示すように、本発明に係る検査治具10は、一方の端部17aが被検査基板20に設けられた半田バンプ21に接触し、他方の端部が被検査基板20を検査する検査装置の電極部16aに接触するプローブ17と、このプローブを保持する保持手段12,13,14とを備える。図3に示すように、プローブ17の一方の端部17aは角部17bを有しており、プローブ17は、その角部17bが半田バンプ21の表面曲面に当接する。
図1乃至図3に示すように、本発明に係る検査治具10は、一方の端部17aが被検査基板20に設けられた半田バンプ21に接触し、他方の端部が被検査基板20を検査する検査装置の電極部16aに接触するプローブ17と、このプローブ17を保持する保持手段12とを備える。プローブ17は、側面部17dと底面部17cとを有しており、図3に示すように、このプローブ17が半田バンプ21に接する際には、その側面部17dと底面部17cとが、同時に、半田バンプ21の表面曲面に当接する。
図1乃至図3に示すように、本発明に係る検査治具10は、一方の端部17aが被検査基板20に設けられた半田バンプ21に接触し、他方の端部が被検査基板20を検査する検査装置の電極部16aに接触するプローブ17と、このプローブ17を保持する保持手段12とを備える。図3に示すように、プローブ17が半田バンプ21の表面に接する場合には、プローブ17は、半田バンプ21を光学的測定装置により高さを測定するために必要な測定表面30以外の表面(表面曲面)に当接する。
図1乃至図3に示すように、本発明に係る検査治具10は、被検査基板20の配線パターン上に設定される所定の半田バンプ21に接触し、半田バンプ21から被検査対象20の配線パターンへの電流印加用又は配線パターンの電圧測定用に用いられるプローブ17と、そのプローブ17を保持する保持手段12とを備える。その保持手段は、プローブ17を、半田バンプ21の頭頂部21aを通る鉛直方向軸線21nからプローブ17の半田バンプ21の当接部が短軸方向にずれた位置で保持するので、図3に示すように、プローブ17が半田バンプに接するときには、プローブ17の端部17aの角部17bが半田バンプ21の表面曲面に当接する。
本発明に係る検査装置は、被検査基板20の配線パターン上に設定される所定の半田バンプ21に接触し、この半田バンプから被検査対象の配線パターンへの電流印加用又は配線パターンの電圧測定用に用いられるプローブ17(47,48)を備える。また、さらに、本発明に係る検査装置は、プローブ17(47,48)を、半田バンプ21の頭頂部21aを通る鉛直方向軸線21nからプローブ17(47,48)の長手方向軸線17m(47m,48m)が短軸方向にずれた位置に保持する保持手段12(13,14)と、この保持手段に保持されたプローブ17(47,48)を半田バンプ21の表面に接触させるように案内する案内手段とを備え、その案内手段は、図3及び図4aに示すように、プローブ17(47,48)が半田バンプ21に接するときには、プローブ17(47,48)の端部17a(47a、48a)の角部17b(47b、48b)が半田バンプ21の表面曲面に当接するように、それらのプローブを案内する。
本発明に係る検査方法は、被検査基板20の配線パターン上に設定される所定の半田バンプ21に接触し、この半田バンプから被検査対象の配線パターンへの電流印加用又は配線パターンの電圧測定用に用いられるプローブ17(47,48)を備える検査治具10を用いる。その検査治具を用いて、被検査基板20の配線パターンの導通又は短絡を検査する電気的検査段階を行う。また、本発明に係る検査方法は、光学測定装置を用いて、半田バンプ21の測定表面30に光を照射し、その測定表面からの反射光に基づいて半田バンプ21の高さを測定してその半田バンプの良否を判定する光学的検査段階を含む。例えば、半田バンプ21の半径が約40μmで、短軸方向の距離(断面方向の直径)が約5μmの光ビームを用いて光学的検査を行う場合には、半田バンプ21の約7度から8度の角度の範囲の表面曲面を測定表面30として測定することが多いが、最大約30度の角度の範囲の表面曲面を測定表面30として測定することが望ましい。そのため、電気的検査段階では、図3及び図4aに示すように、プローブ17(47,48)を半田バンプ21の測定表面30以外の表面曲面の位置にそのプローブを接触させる。
12・・・・プレート
12a,13a,14a,・・・貫通孔
13・・・・ガイドプレート
14・・・・ベースプレート
15・・・・支持棒
16・・・・基台
17,47,48・・・プローブ
20・・・被検査基板
21・・・半田バンプ
30・・・測定表面
17m,47m,48m・・・軸線
17b,47b,48b・・・・角部
Claims (9)
- 一方の端部が被検査基板に設けられた半田バンプに接触し、他方の端部が前記被検査基板を検査する検査装置の電極部に接触するプローブと、該プローブを保持する保持手段とを備える検査治具であって、
前記プローブの前記一方の端部が角部を有し、
前記プローブの前記角部が、前記半田バンプの表面曲面に当接することを特徴とする検査治具。 - 一方の端部が被検査基板に設けられた半田バンプに接触し、他方の端部が前記被検査基板を検査する検査装置の電極部に接触するプローブと、該プローブを保持する保持手段とを備える検査治具であって、
前記プローブが側面部と底面部とを有してなり、
前記プローブの前記側面部と前記底面部とが、同時に、前記半田バンプの表面曲面に当接することを特徴とする検査治具。 - 一方の端部が被検査基板に設けられた半田バンプに接触し、他方の端部が前記被検査基板を検査する検査装置の電極部に接触するプローブと、該プローブを保持する保持手段とを備える検査治具であって、
前記プローブが、前記半田バンプを光学的測定装置により高さを測定するために必要な測定表面以外の表面(表面曲面)に当接することを特徴とする検査治具。 - 前記プローブが円柱状に形成されている請求項1乃至3のいずれかの検査治具。
- 前記保持手段が案内孔を有し、前記プローブが該案内孔内を案内されて移動し、それにより、前記プローブの前記角部が、前記半田バンプの表面曲面に当接する請求項1乃至4のいずれかの検査治具。
- 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の半田バンプに接触し、該半田バンプから被検査対象の前記配線パターンへの電流印加用又は該配線パターンの電圧測定用に用いられるプローブを備える検査治具であって、
前記プローブを保持する保持手段を備え、
該保持手段が、前記プローブを、前記半田バンプの頭頂部を通る鉛直方向軸線から該プローブの該半田バンプの当接部が短軸方向にずれた位置で保持することを特徴とする検査治具。 - 前記プローブが円柱状に形成され、前記保持手段は、前記プローブを、前記半田バンプの頭頂部を通る鉛直方向軸線から、少なくとも該プローブの半径距離ずらして保持する請求項6の検査治具。
- 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の半田バンプに接触し、該半田バンプから被検査対象の前記配線パターンへの電流印加用又は該配線パターンの電圧測定用に用いられるプローブを備える検査装置であって、
前記プローブを、前記半田バンプの頭頂部を通る鉛直方向軸線から該プローブの長手方向軸線が短軸方向にずれた位置に保持する保持手段と、
該保持手段に保持された前記プローブを前記半田バンプの表面に接触させるように案内する案内手段とを備えることを特徴とする検査装置。 - 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の半田バンプに接触し、該半田バンプから被検査対象の前記配線パターンへの電流印加用又は該配線パターンの電圧測定用に用いられるプローブを備える検査治具を用いて、前記被検査基板の前記配線パターンの導通又は短絡を検査する電気的検査段階と、
光学測定装置を用いて、前記半田バンプの測定表面に光を照射し、該測定表面からの反射光に基づいて前記半田バンプの高さを測定して該半田バンプの良否を判定する光学的検査段階とからなる検査方法において、
前記電気的検査段階が、前記プローブを前記半田バンプの前記測定表面以外の表面曲面の位置に該プローブを接触させることを特徴とする検査方法。
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