JP2008203084A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008203084A JP2008203084A JP2007039314A JP2007039314A JP2008203084A JP 2008203084 A JP2008203084 A JP 2008203084A JP 2007039314 A JP2007039314 A JP 2007039314A JP 2007039314 A JP2007039314 A JP 2007039314A JP 2008203084 A JP2008203084 A JP 2008203084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- substrate
- moving means
- probe
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 356
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 208
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 293
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【課題】 配線パターンの表面に傷をつけることなくその表面上に形成されている酸化膜の一部を除いてプローブと配線パターンとの接触抵抗を低減させることを目的とする。
【解決手段】 基板検査用プローブ移動手段の移動の経路の延長線上に検査用基板移動手段の移動の経路上の第1の接触位置が存在するように、基板検査用プローブ移動手段の移動の方向が、検査用基板移動手段の移動の経路と交差し、制御手段が、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置から第1及び第2の接触位置まで移動して基板検査用プローブの端部と検査用基板の配線パターンの所定の検査点と接触させ、それからさらに、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1の検査位置及び第2の検査位置まで移動する。
【選択図】 図2B
【解決手段】 基板検査用プローブ移動手段の移動の経路の延長線上に検査用基板移動手段の移動の経路上の第1の接触位置が存在するように、基板検査用プローブ移動手段の移動の方向が、検査用基板移動手段の移動の経路と交差し、制御手段が、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置から第1及び第2の接触位置まで移動して基板検査用プローブの端部と検査用基板の配線パターンの所定の検査点と接触させ、それからさらに、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1の検査位置及び第2の検査位置まで移動する。
【選択図】 図2B
Description
本発明は、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段を移動することによって基板検査用プローブの端部を検査用基板の配線パターンの所定の検査点に接触させてその配線パターンの検査を行う基板検査装置に関する。
尚、この発明に係る基板検査装置は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に使用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
従来から、回路基板上の配線パターンによってその回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに設けられた所定の検査点間の抵抗値を測定して、その良否の判定が行われている。
具体的には、その良否の判定は、各検査点に、電流供給用端子及び/又は電圧測定用端子を当接させ、電流供給用端子からは検査点に測定用電流を供給するとともに、検査点に当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定し、供給される電流と測定された電圧を用いることにより抵抗値を算出することによって行われる。
そのような検査を効率よくかつ正確に行うために基板検査装置が用いられており、その装置は、検査対象の配線パターンを有する基板を検査位置まで水平方向に運ぶ基板移動手段と、その配線パターン上の所定の検査点に当接して所定の検査を行うための基板検査用治具を検査位置まで垂直方向に運ぶ治具移動手段とを備えている。
従来の基板検査装置では、検査を行う際に、最初に基板移動手段を駆動して検査対象の基板を検査位置まで移動して固定し、次に、治具移動手段を下降させて基板検査用治具の検査用の端子(プローブ)を検査用基板の検査点に当接させ、それにより所定の検査を行い、検査が終了すると、治具移動手段を上昇して検査治具を検査用基板から遠ざけ、次に、基板移動手段を水平方向に移動して元の位置まで検査用基板を戻すというように各移動手段の動きの制御が行われていた。
特開2001−41979号 特許文献1には、プローブ駆動機構がニードルピンを押し込み方向に相対的に移動してプリント基板に当接させる構成が開示されている。
しかし、検査用基板の検査対象である配線パターンの表面は、時間経過とともに酸化膜で被われてしまうため、従来の装置のように、配線パターンに検査用端子(プローブ)を当接させるだけでは、そのプローブと配線パターンとの間の接触抵抗が高く検査結果に影響を与えることがある。このような酸化膜を破るためにプローブの先端を鋭利な形状に加工して、酸化膜を破って検査点(たとえば、半田バンプ)内部へ直接的に貫入させるように形成する方法がある。しかしながら、その方法では、半田バンプへの貫入量によっては、電子部品を配置して半田バンプを溶融させた際に、半田バンプの内にボイドが発生してしまうという問題を有していた。
そこで、本発明は、配線パターンの検査点の表面に、ボイドの原因となるような傷をつけることなく、その表面上に形成されている酸化膜の一部を除き、プローブと配線パターンとの接触抵抗を低減させて導通を良好にするための基板検査装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、その表面上にあるごみ等を取り除くことによって、プローブと配線パターンとの接触抵抗を低減させて導通を良好にするための基板検査装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、検査終了後に、プローブへの付着物や、配線パターン上にあるごみや半田痕等を自動的に取り除くことのできる基板検査装置を提供することを目的とする。
そこで、本発明は、基板検査用プローブの端部を検査用基板の配線パターンの所定の検査点に接触させることによって配線パターンの検査を行うための基板検査装置を提供する。その基板検査装置は、検査用基板を保持して、検査用基板を、第1の原位置から第1の接触位置を通って第1の検査位置に至るまでの経路に沿って移動する検査用基板移動手段と、基板検査用プローブを保持して、基板検査用プローブを、第2の原位置から第2の接触位置を通って第2の検査位置に至るまでの経路に沿って移動する基板検査用プローブ移動手段であって、基板検査用プローブ移動手段の移動の経路の延長線上に検査用基板移動手段の移動の経路上の第1の接触位置が存在するように、基板検査用プローブ移動手段の移動の方向が、検査用基板移動手段の移動の経路と交差する基板検査用プローブ移動手段と、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段の移動を制御するための制御手段とを備え、制御手段が、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置から第1及び第2の接触位置まで移動して基板検査用プローブの端部と検査用基板の配線パターンの所定の検査点と接触させ、それからさらに、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1の検査位置及び第2の検査位置まで移動する。
その基板検査装置において、制御手段は、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段がそれぞれ第1及び第2の原位置にある場合には、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置からそれぞれ第1及び第2の接触位置まで同時に到達するように移動し、それからさらに検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の検査位置まで移動してもよい。
制御手段は、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段がそれぞれ第1及び第2の検査位置にある場合には、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び該第2の検査位置からそれぞれ第1及び第2の接触位置まで移動し、それからさらに検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置まで移動するようにしてもよい。
基板検査用プローブ移動手段が、検査用基板移動手段の前記移動の経路に関して、対向する2つの基板検査用プローブ移動手段からなるようにしてもよい。
基板検査用プローブ移動手段の移動の方向は、検査用基板移動手段の移動の経路と直交してもよい。
検査用基板移動手段は水平面内で移動し、基板検査用プローブ移動手段は鉛直面内で移動してもよい。
また制御手段は、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段がそれぞれ第1及び第2の原位置にある場合に、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置からそれぞれ第1及び第2の接触位置まで移動し、それからさらに検査用基板移動手段のみを第1の検査位置まで移動するようにしてもよい。
またさらに、本発明は、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段を移動することによって基板検査用プローブの端部を検査用基板の配線パターンの所定の検査点に接触させて配線パターンの検査を行う基板検査装置の制御方法を提供する。その制御方法は、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ第1及び第2の原位置から第1及び第2の接触位置を通って第1及び第2の検査位置に至る経路を移動し、その際、第1及び第2の原位置と第1及び第2の接触位置との間では、検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段を同時に移動する。
本発明によると、プローブの先端を配線パターンの表面に沿って移動させるので、配線パターンの検査点の表面に、ボイドの原因となるような傷をつけることなく、その表面上に形成されている酸化膜やその上にあるごみ等を取り除くことができ、それにより、プローブと配線パターンとの接触抵抗を低減させて導通を良好にすることができる。
また、本発明によると、検査終了後に、プローブへの付着物を自動的に取り除くことができ、使用中であってもプローブのクリーニング効果を高めることができる。
[基板検査装置の構成]
図1は、本発明の一実施例に係る基板検査装置1を示す側面図である。その図には、後述する第1及び第2のプローブ移動部30,40と基板保持部20との移動方向を明確にする観点からXYZの直角座標系も示す。Y軸は、図1の紙面の裏側に向かって正方向である。他の図面においても、方向を表す場合には、そのXYZの直角座標系に基づいて説明する。
図1は、本発明の一実施例に係る基板検査装置1を示す側面図である。その図には、後述する第1及び第2のプローブ移動部30,40と基板保持部20との移動方向を明確にする観点からXYZの直角座標系も示す。Y軸は、図1の紙面の裏側に向かって正方向である。他の図面においても、方向を表す場合には、そのXYZの直角座標系に基づいて説明する。
基板検査装置1は、基板保持部20をX軸方向に沿って移動させるための基板移動部50と、基板検査用のプローブが取り付けられた治具32,42をYZ面内で移動させるための第1及び第2のプローブ移動部30,40とを備える。
基板保持部20は、検査用基板21を載置するための搬送テーブル22と、その下面に固定された円筒状のブラケット53とを備える。円筒状のブラケット53には長手方向にそれを貫通する方向に沿ってネジ孔が形成されている。
基板移動部50は、ブラケット53のネジ孔と螺合するボールネジ52と、そのボールネジ52を回転する駆動部51とを備える。駆動部51によってボールネジ52が回転すると、その回転量及び回転方向に応じて、ブラケット53、つまり、基板保持部20のX軸に沿った方向への移動量及び移動方向が決まる。
第1のプローブ移動部30は検査治具保持部33を備えており、その検査治具保持部33は、基板検査用の複数のプローブ35が取り付けられた検査治具32を保持するとともに、その検査治具を、基板検査装置1の基板の検査及び測定を行うための制御装置(図示せず)に電気的に接続する。また、第2のプローブ移動部40は、第1のプローブ移動部30の検査治具保持部33と同様の検査治具保持部43を備えており、その検査治具保持部43は、複数のプローブ45が取り付けられた検査治具42を保持するとともに、その検査治具を、基板検査装置1の基板の検査及び測定を行うための制御装置(図示せず)に電気的に接続する。
第1及び第2のプローブ移動部30,40と基板移動部50との移動の制御は、図示せぬ基板検査装置1の制御装置によって行われる。その制御装置は、基板検査のための制御装置と同一であってもよく、また、別個に設けられたものであってもよい。
[基板保持部の移動経路]
図2A及び図2Bは、図1の基板検査装置1の基板移動部50のみを示す側面図であり、基板移動部50によって基板保持部20がどのような移動経路20pを経て動かされるかを示す。なお、それらの図において破線で示す第1のプローブ移動部30は、基板保持部20のX軸に沿った移動の位置的な関連性を示すために参考として示したものであり、第1のプローブ移動部30動きの変化は示していない。
図2A及び図2Bは、図1の基板検査装置1の基板移動部50のみを示す側面図であり、基板移動部50によって基板保持部20がどのような移動経路20pを経て動かされるかを示す。なお、それらの図において破線で示す第1のプローブ移動部30は、基板保持部20のX軸に沿った移動の位置的な関連性を示すために参考として示したものであり、第1のプローブ移動部30動きの変化は示していない。
図2Aに示すように、概略、基板移動部50は、基板保持部20を、第1の原位置2aから第1の接触位置2bを通過して第1の検査位置2cに到るまでの移動経路20pに沿って移動する。それらの位置は、この実施例では、便宜上、ブラケット53のX軸の+側の端部(図面に向かって右側端部)の位置を基準として特定しているが、その特定は、その端部以外のどの部分を基準にしてもよい。
第1の原位置2aは、基板の検査を行う際に、検査対象の基板21を基板保持部20の搬送テーブル22に載置したり、検査終了後に、検査済みの基板21を搬送テーブル22から取り除いたりするための位置である。基板の搬出及び搬入はX軸の−側(図面に向かって左側)から行われる。
第1の接触位置2bは、詳しくは後述するように、その位置に基板21を移動すると、検査用のプローブ35の端部35a(図3A等)と、基板21の検査対象の配線パターンの所定の検査点とが接触する位置である。
第1の検査位置2cは、上記のとおり第1の接触位置2bにおいて検査用のプローブ35の端部35aが所定の検査点に接触した後、基板保持部20がその位置2bを通過してX軸に沿って+側に少し移動した位置である。第1の接触位置2bと第1の検査位置2cとの位置的関係の詳細は図6a,図6b又は図6c等に基づいて後述する。
上記の基板保持部20の移動経路20pは、第1の原位置2a、第1の接触位置2b及び第1の検査位置2cの位置関係を説明するために便宜上概念的に簡略化したものであり、それぞれの位置は上記の説明の例に特定されるものではない。また、例えば、第1の接触位置2bと第1の検査位置2cとは近接するため、理解の容易のために、図面上それらの間隔は誇張して表現してある。
[第1及び第2のプローブ移動部の移動経路]
図3A及び図3Bは、第1のプローブ移動部30の移動経路30pを概念的に説明するための側面図である。図3Aに示すように、概略、第1のプローブ移動部30は、治具32に保持されているプローブの端部35aを、Z軸の−側(図に向かって下側)に向かう移動経路30pに沿って移動させる。その移動経路30pは、第2の原位置3aから第2の接触位置3bを通過して第2の検査位置3cに到る経路である。それらの位置は、この実施例では、便宜上、治具32のZ軸の−側に位置する端面(図に向かって下側端面)の位置を基準にして特定しているが、その特定は、その端面以外のどの部分の位置を基準にしてもよい。
図3A及び図3Bは、第1のプローブ移動部30の移動経路30pを概念的に説明するための側面図である。図3Aに示すように、概略、第1のプローブ移動部30は、治具32に保持されているプローブの端部35aを、Z軸の−側(図に向かって下側)に向かう移動経路30pに沿って移動させる。その移動経路30pは、第2の原位置3aから第2の接触位置3bを通過して第2の検査位置3cに到る経路である。それらの位置は、この実施例では、便宜上、治具32のZ軸の−側に位置する端面(図に向かって下側端面)の位置を基準にして特定しているが、その特定は、その端面以外のどの部分の位置を基準にしてもよい。
第2の原位置3aは、基板の検査を行う際に、検査対象の基板21を基板保持部20の搬送テーブル22に載置したり、検査終了後に、検査済みの基板21を搬送テーブル22から取り出したりする間、第1のプローブ移動部30が待機する位置である。
図3Bに示すように、第2の接触位置3bは、第1のプローブ移動部30が第2の原位置3aから移動を開始してその第2の接触位置3bに到達すると、検査用のプローブ35の端部35aが、基板21の検査対象の配線パターンの所定の検査点21aの面21sと接触する位置である。詳しくは後述する。
また、第2の検査位置3cは、第2の接触位置3bにおいて検査用のプローブ35の端部35aが所定の検査点に接触した後に、第1のプローブ移動部30がZ軸に沿ってさらに−側に少し移動した位置である。図3Bに示すように、第2の接触位置3bと第2の検査位置3cとは近接しているが別々の位置である。ただし、それらの位置は、プローブの種類や検査方法によっては第1のプローブ移動部30をZ軸に沿ってさらに−側に移動させる必要がないことがあるため、一致する場合がある。第2の接触位置3bと第2の検査位置3cとの位置的関係の詳細は後述する。第1のプローブ移動部30が第2の接触位置3bから第2の検査位置3cまで移動する間、検査用のプローブ35の端部35aと基板21の検査対象の配線パターンの所定の検査点21aの面21sとの接触の状態は維持されている。
上記の第1のプローブ移動部30の移動経路30pにおいても、第2の原位置3a、第2の接触位置3b及び第2の検査位置3cの位置関係は、説明の便宜上簡略化したものであり、上記の説明の例に限定されるものではなく、また、例えば、第2の接触位置3bと第2の検査位置3cとは近接するため、理解の容易のために、それらの間隔は誇張して表現してある。
また、第2のプローブ移動部40の移動経路40pは、図4に示すように、基板保持部20のX軸に沿った移動経路20pに関して、第1のプローブ移動部30の移動経路30pと線対称となる。すなわち、移動経路40pは、Z軸の−側から+側に向かって、第2の原位置3a’から第2の接触位置3b’を通過して第2の検査位置3c’に到る経路である。
[基板保持部の移動経路と第1及び第2のプローブ移動部の移動経路との関係]
図4は、基板保持部20の移動経路20pと、第1及び第2のプローブ移動部30,40の移動経路30p、40pとの関係も示す。図4に示すように、基板保持部20の任意の既定の位置の移動経路20pはX軸に沿っており、第1及び第2のプローブ移動部30,40の任意の既定の位置の移動経路30p,40pはZ軸に沿っている。基板保持部20の任意の既定の位置としては、上記の実施例のように、ブラケット53のX軸の+側の端部(図面に向かって右側端部)の位置を利用することができ、また、第1及び第2のプローブ移動部30,40の任意の既定の位置としては、上記の実施例のように、それぞれ、治具32,42のZ軸の−側又は+側に位置する端面の位置を利用することができる。なお、図4の説明においては、第1及び第2のプローブ移動部30,40の任意の既定の位置は、移動経路20pに関して鏡像となる。
図4は、基板保持部20の移動経路20pと、第1及び第2のプローブ移動部30,40の移動経路30p、40pとの関係も示す。図4に示すように、基板保持部20の任意の既定の位置の移動経路20pはX軸に沿っており、第1及び第2のプローブ移動部30,40の任意の既定の位置の移動経路30p,40pはZ軸に沿っている。基板保持部20の任意の既定の位置としては、上記の実施例のように、ブラケット53のX軸の+側の端部(図面に向かって右側端部)の位置を利用することができ、また、第1及び第2のプローブ移動部30,40の任意の既定の位置としては、上記の実施例のように、それぞれ、治具32,42のZ軸の−側又は+側に位置する端面の位置を利用することができる。なお、図4の説明においては、第1及び第2のプローブ移動部30,40の任意の既定の位置は、移動経路20pに関して鏡像となる。
図4に示すように、移動経路20pに対し、移動経路30p,40pは交差せず、移動経路20pと移動経路30p,40pの延長線とが交差する。また、その交差した位置には、移動経路20pの第1の接触位置2bがある。すなわち、第1の検査位置2cは、第1の原位置2aから第1の検査位置2cに到る移動経路20p上において、移動経路30p,40pの延長線と交差する位置の第1の接触位置2bを通過した位置にある。
その第1の接触位置2bでは、第1及び第2のプローブ移動部30,40に保持された治具32,42の検査用プローブの先端部が、基板保持部20に載置された検査用基板21の検査点の表面に接触し、さらにX軸に沿って+側に移動した第1の検査位置2cでは、後述するように、検査用基板21の検査点の表面と検査用プローブの先端部とが、適切な検査のために低い接触抵抗で接触できるようになる。
[基板保持部と第1及び第2のプローブ移動部との移動制御]
図5Aは、基板の検査時における基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40との移動制御のフローチャートである。その移動制御は、基板検査装置1の図示せぬ制御装置によって行われる。なお、基板保持部20の第1の原位置2a、第1の接触位置2b及び第1の検査位置2cと、第1のプローブ移動部30の第2の原位置3a、第2の接触位置3b及び第2の検査位置3cと、第2のプローブ移動部40の第2の原位置3a’、第2の接触位置3b’及び第2の検査位置3c’とのそれぞれの位置の特定は、XYZ座標系における所定の座標値によって行う。
図5Aは、基板の検査時における基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40との移動制御のフローチャートである。その移動制御は、基板検査装置1の図示せぬ制御装置によって行われる。なお、基板保持部20の第1の原位置2a、第1の接触位置2b及び第1の検査位置2cと、第1のプローブ移動部30の第2の原位置3a、第2の接触位置3b及び第2の検査位置3cと、第2のプローブ移動部40の第2の原位置3a’、第2の接触位置3b’及び第2の検査位置3c’とのそれぞれの位置の特定は、XYZ座標系における所定の座標値によって行う。
まず、基板保持部20を第1の原位置2aに移動するとともに、第1及び第2のプローブ移動部30,40をそれぞれ第2の原位置3a,3a’に移動する。次に、検査対象の基板21を基板保持部20の搬送テーブル22に載置する。
次に、図5AのステップS51により、基板移動部50を動かして、基板保持部20をX軸に沿って第1の原位置2aから第1の接触位置2bに向けて移動する。また、Z軸に沿って第2の原位置3a,3a’から第2の接触位置3b,3b’に向けて、第1及び第2のプローブ移動部30,40の移動を開始する。この場合、基板保持部20及び第1及び第2のプローブ移動部30,40が接触位置3b,3b’に到達するのは同時であることが好ましいが、それに限定されるものではない。
ステップS52では、それぞれの移動位置を確認し、ステップS53では、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とがそれぞれ第1の接触位置2bと第2の接触位置3b,3b’とに到達したか否かを判断する。接触位置に到達していないときには、ステップS52の移動継続と位置の確認とが繰り返される。接触位置では、プローブ35の端部35aが検査用基板21の所定の配線パターンと接触することになる。
それぞれが接触位置に到達した場合には、ステップS54では、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とをそれぞれ第1の検査位置2cと第2の検査位置3c,3c’とに向けてさらに移動する。
ステップS55では、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とがそれぞれ第1の検査位置2cと第2の検査位置3c,3c’とに到達したか否かを判断し、それぞれが検査位置に到達した場合には、ステップS56において基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40との動きを止める。これにより移動制御は終了し、次に、基板検査の動作に移行する。
図5Bは、基板の検査の終了後における基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40との移動制御のフローチャートである。その移動制御は、検査時の場合と同様に基板検査装置1の図示せぬ制御装置によって行う。
その移動制御は、図5BのステップS61により、基板移動部50を動かして、基板保持部20をX軸に沿って第1の検査位置2cから第1の接触位置2bに向けて移動する。また、Z軸に沿って第2の検査位置3c,3c’から第2の接触位置3b,3b’に向けて、第1及び第2のプローブ移動部30,40の移動を開始する。
ステップS62では、それぞれの移動位置を確認し、ステップS63では、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とがそれぞれ第1の接触位置2bと第2の接触位置3b,3b’とに到達したか否かを確認する。接触位置に到達していないときには、ステップS62の移動の継続及び位置の確認が繰り返される。検査位置から接触位置まで、プローブ35の端部35aと検査用基板21の所定の配線パターンとの接触は維持されている。
それぞれが接触位置に到達した後、ステップS64では、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とをそれぞれ第1の原位置2aと第2の原位置3a,3a’とに向けてさらに移動し、それらの移動位置の確認を行う。
ステップS65では、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とがそれぞれ第1の原位置2aと第2の原位置3a,3a’とに到達したか否かを判断し、それぞれの原位置に到達した場合には、ステップS66において基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40との動きを止める。これにより移動制御は終了する。その後、搬送テーブル22から検査済みの基板21を取り除き、新たな検査用基板を搬送テーブル22に載置する。
図5Aの実施例では、ステップS54において、基板保持部20と第1及び第2のプローブ移動部30,40とがそれぞれ接触位置に到達した後に、それぞれを、さらに、第1の検査位置2cと第2の検査位置3c,3c’とに向けて移動したが、第2の接触位置3b,3b’と第2の検査位置3c,3c’とが一致する場合には、ステップS54においては、基板保持部20のみを第1の検査位置2cに移動するようにする。
また、図5Bの実施例では、ステップS61において、基板保持部20をX軸に沿って第1の検査位置2cから第1の接触位置2bに向けて移動するとともに、第1及び第2のプローブ移動部30,40をZ軸に沿って第2の検査位置3c,3c’から第2の接触位置3b,3b’に移動したが、第2の接触位置3b,3b’と第2の検査位置3c,3c’とが一致する場合には、ステップS61においては、基板保持部20のみを第1の検査位置2cから第1の接触位置2bに向けて移動するようにする。
[プローブの移動の例]
図6A,図6B及び図6Cは、基板の検査を行う際に、基板保持部20と第1のプローブ移動部30とを移動するときのプローブ35の端部35aと検査用基板21との動きを説明するための側面図である。図面の説明の便宜上、第2のプローブ移動部40は省略してある。
図6A,図6B及び図6Cは、基板の検査を行う際に、基板保持部20と第1のプローブ移動部30とを移動するときのプローブ35の端部35aと検査用基板21との動きを説明するための側面図である。図面の説明の便宜上、第2のプローブ移動部40は省略してある。
図6Aは、プローブ35及び基板21が、それぞれ、第1の原位置2a及び第2の原位置3aから第1の接触位置2b及び第2の接触位置3bに向けて動かされている状態を示す。それらの移動は、図5AのステップS51において、基板保持部20をX軸に沿って第1の原位置2aから第1の接触位置2bに向けて動かすとともに、第1のプローブ移動部30をZ軸に沿って第2の原位置3aから第2の接触位置3bに向けて動かすことによって達成される。すなわち、図6Aにおいて、検査用基板21は搬送テーブル22とともに矢印Aの方向に動かされる一方、プローブ35の端部35aは矢印Aと直交する矢印Bの方向に動かされている。
図6Bは、基板保持部20及び第1のプローブ移動部30が、それぞれ、第1の接触位置2b及び第2の接触位置3bに到達した場合のプローブ35及び基板21の状態を示す図であり、その状態では、プローブ35の端部35aの先端部が検査用基板21の表面に接触している。この場合、検査用基板21の表面上には酸化膜21bが形成されているので、プローブ35の端部35aの先端部は、その酸化膜21bを突き抜けて検査用基板21の表面と接触している。
図6Cは、プローブ35及び基板21が、それぞれ、第1の接触位置2b及び第2の接触位置3bから第1の検査位置2c及び第2の検査位置3cまで動かされている状態を示す。その移動している間、プローブ35は、第1の接触位置2bにおいてその先端部が検査用基板21の表面に当接しているため、第1のプローブ移動部30が第1の接触位置2bから第1の検査位置2cまで移動する場合に、プローブ35はより強く検査用基板21の表面に押し付けられ、それにより、プローブ35と検査用基板21の表面との接触がより確実なものとなる。
また、図6Cに示すように、プローブ35に対し基板21は交差する方向に移動するため、その移動の途中では、プローブ35の端部35aの先端部は、検査用基板21の表面に沿って移動することになる。それにより、その先端部によって酸化膜21bの一部分21dがその表面から除かれて、酸化膜21bのない部分21cを形成することができる。そのため、検査位置に到達すると、プローブ35の端部35aの先端部が酸化膜21bのない部分21cと接触することになり、プローブ35と検査用基板21との間の接触抵抗を低減することができるようになる。その検査位置において、検査用基板21上の所定の配線パターンの検査が行われる。
図7A,図7B及び図7Cは、基板21の検査終了後に、基板保持部20と第1のプローブ移動部30とを移動するときのプローブ35の端部35aと検査用基板21との動きを説明するための側面図である。
図7A及び図7Bは、プローブ35及び基板21が、それぞれ、第1の検査位置2c及び第2の検査位置3cから第1の接触位置2b及び第2の接触位置3bに向けて移動する状態を示す。それらの移動は、図5BのステップS61において、基板保持部20をX軸に沿って第1の検査位置2cから第1の接触位置2bに向けて動かすとともに、第1のプローブ移動部30をZ軸に沿って第2の検査位置3cから第2の接触位置3bに向けて動かすことによって達成される。
すなわち、図7Aにおいては、検査用基板21は搬送テーブル22とともに矢印Aの逆方向の矢印Arの方向に動かされる一方、プローブ35は矢印Arと直交する矢印Brの方向に動かされる。この場合、第1のプローブ移動部30が第1の検査位置2cから第1の接触位置2bまで移動する間、プローブ35の端部35aと検査用基板21との接触は保たれている。
図7A及び図7Bに示すように、プローブ35の端部35aに酸化膜の破片21e等のごみが付着している場合、図7Bに示すように、プローブ35の端部35aは検査用基板21の表面と接触しながら移動するため、その移動の際に、その破片21e等をその表面にこすり付けることになる。
図7Cは、プローブ35及び基板21が、それぞれ、第1の接触位置2b及び第2の接触位置3bに到達した状態を示す。その図に示すように、プローブ35の端部35aに付着していた酸化膜の破片21e等のごみはプローブ35から取れている。この後、プローブ35及び基板21は、それぞれ、さらに、第1の原位置2a及び第2の原位置3aに向かって動かされる。
[基板検査装置の検査の概要]
図8Aは、基板検査装置1を用いて基板21の配線パターンの検査を行うための一実施例を示す図である。また、図8Bは、図8Aの実施例に示す破線の円の部分Aの一部拡大断面図である。この実施例では、検査用基板21の表側(図8Aに向かって上側)に形成された比較的配線ピッチが狭く高密度の配線パターン部の複数のランドの中の所定のランド25h、25nと、その基板の裏側(図8Aに向かって下側)に形成された配線パターン部の複数のランドの中の所定のランド26h、26nとの間又は同じ側にあるランド間の抵抗値を測定することによって、それらの間の短絡や断線の有無を測定するものとする。
図8Aは、基板検査装置1を用いて基板21の配線パターンの検査を行うための一実施例を示す図である。また、図8Bは、図8Aの実施例に示す破線の円の部分Aの一部拡大断面図である。この実施例では、検査用基板21の表側(図8Aに向かって上側)に形成された比較的配線ピッチが狭く高密度の配線パターン部の複数のランドの中の所定のランド25h、25nと、その基板の裏側(図8Aに向かって下側)に形成された配線パターン部の複数のランドの中の所定のランド26h、26nとの間又は同じ側にあるランド間の抵抗値を測定することによって、それらの間の短絡や断線の有無を測定するものとする。
この実施例では、図1の基板検査装置1の検査治具32に、検査用プローブ35−1及び35−2が取り付けられていて、検査治具42に検査用プローブ45−1及び45−2が取り付けられている。それらの検査用プローブ35−1、35−2、45−1及び45−2は、図示せぬ制御装置に接続されており、その制御装置は、それらの検査用プローブに測定用の電流を供給するとともにそれらの検査用プローブの所定の一対の検査用プローブの間の電圧を測定する。
検査の際には、検査用プローブ35−1及び35−2を、第1のプローブ移動部30によって検査治具32とともに動かし、また、検査用プローブ45−1及び45−2を、第2のプローブ移動部40によって検査治具42とともに動かして、検査用プローブ35−1、35−2、45−1及び45−2を所定の検査位置に配置する。
図8Bは、図8Aにおいて破線Aで囲んだ検査用プローブ35−1の先端部を拡大した図である。図8Bは、第1のプローブ移動部30が接触位置から検査位置まで移動するとともに基板保持部20が接触位置から検査位置まで移動する際に、検査用プローブ35−1の先端部が基板21の配線パターン部のランド部25nの表面に沿って移動したため、酸化膜21bの一部21dが剥がされた状態を示す。それにより、プローブ35−1の先端部とランド部25nとの接触抵抗が低減し、正確な測定が行えるようになる。
その状態で、例えば、検査用プローブ35−1及び35−2に測定用の電流を供給してそれらの間の電圧を測定することによってそれらの間の抵抗値を測定し、その抵抗値からそれらの検査用プローブが接触しているランド25hと25nとの間に短絡が生じているかいないかを判断する。また、検査用プローブ35−1及び45−1に測定用の電流を供給した場合には、それらの間の配線21fに断線が生じていないかどうかの検査を行うことができる。
検査終了後は、第1のプローブ移動部30及び基板保持部20を原位置までもどす。その際、それらが接触位置まで移動するときには検査用プローブ35−1の先端部が基板21の配線パターン部のランド部25nの表面に沿って移動するので、図7A、図7B及び図7Cに示すように、検査用プローブ35−1の先端部にほこり等が付着していてもそれを検査用プローブ35−1の先端部から取り除くことができる。
この実施例では2つの測定点の検査のために2つの検査用プローブを用いたが、2つの測定点の検査のために4つの検査用プローブを用いる測定装置にも適用することができる。
以上、本発明に係る検査装置について説明したが、本発明はこれらの実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれることを承知されたい。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
1・・・・基板検査装置
20・・・基板保持部
30・・・第1のプローブ移動部
32・・・治具
35,45・・・プローブ
40・・・第2のプローブ移動部
50・・・基板移動部
20p,30p,40p・・・移動経路
20・・・基板保持部
30・・・第1のプローブ移動部
32・・・治具
35,45・・・プローブ
40・・・第2のプローブ移動部
50・・・基板移動部
20p,30p,40p・・・移動経路
Claims (8)
- 基板検査用プローブの端部を検査用基板の配線パターンの所定の検査点に接触させることによって該配線パターンの検査を行うための基板検査装置であって、
前記検査用基板を保持して、該検査用基板を、第1の原位置から第1の接触位置を通って第1の検査位置に至るまでの経路に沿って移動する検査用基板移動手段と、
前記基板検査用プローブを保持して、該基板検査用プローブを、第2の原位置から第2の接触位置を通って第2の検査位置に至るまでの経路に沿って移動する基板検査用プローブ移動手段であって、該基板検査用プローブ移動手段の該移動の経路の延長線上に前記検査用基板移動手段の前記移動の経路上の前記第1の接触位置が存在するように、該基板検査用プローブ移動手段の前記移動の方向が、前記検査用基板移動手段の前記移動の経路と交差する基板検査用プローブ移動手段と、
前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段の移動を制御するための制御手段とを備え、
前記制御手段が、前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ前記第1及び第2の原位置から前記第1及び第2の接触位置まで移動して前記基板検査用プローブの端部と前記検査用基板の配線パターンの所定の検査点と接触させ、それからさらに、前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ前記第1の検査位置及び第2の検査位置まで移動する、基板検査装置。 - 請求項1の基板検査装置において、前記制御手段は、前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段がそれぞれ前記第1及び第2の原位置にある場合には、該検査用基板移動手段及び該基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ該第1及び該第2の原位置からそれぞれ前記第1及び第2の接触位置まで同時に到達するように移動し、それからさらに該検査用基板移動手段及び該基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ前記第1及び第2の検査位置まで移動する、請求項1の基板検査装置。
- 請求項1又は2の基板検査装置において、前記制御手段は、前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段がそれぞれ前記第1及び第2の検査位置にある場合には、該検査用基板移動手段及び該基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ該第1及び該第2の検査位置からそれぞれ前記第1及び第2の接触位置まで移動し、それからさらに該検査用基板移動手段及び該基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ前記第1及び第2の原位置まで移動する、請求項1又は2の基板検査装置。
- 請求項1の基板検査装置において、前記基板検査用プローブ移動手段が、前記検査用基板移動手段の前記移動の経路に関して、対向する2つの基板検査用プローブ移動手段からなる、請求項1の基板検査装置。
- 請求項1の基板検査装置において、前記基板検査用プローブ移動手段の前記移動の方向は、前記検査用基板移動手段の前記移動の経路と直交する、請求項1の基板検査装置。
- 請求項1の基板検査装置において、前記検査用基板移動手段は水平面内で移動し、前記基板検査用プローブ移動手段は鉛直面内で移動する、請求項1の基板検査装置。
- 請求項1の基板検査装置において、前記制御手段は、前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段がそれぞれ前記第1及び第2の原位置にある場合に、該検査用基板移動手段及び該基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ該第1及び該第2の原位置からそれぞれ前記第1及び第2の接触位置まで移動し、それからさらに該検査用基板移動手段のみを前記第1の検査位置まで移動する、請求項1の基板検査装置。
- 検査用基板移動手段及び基板検査用プローブ移動手段を移動することによって基板検査用プローブの端部を検査用基板の配線パターンの所定の検査点に接触させて該配線パターンの検査を行う基板検査装置の制御方法であって、
前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ前記第1及び第2の原位置から前記第1及び第2の接触位置まで移動して前記基板検査用プローブの端部と前記検査用基板の配線パターンの所定の検査点と接触させ、それからさらに、前記検査用基板移動手段及び前記基板検査用プローブ移動手段をそれぞれ前記第1の検査位置及び第2の検査位置まで移動する、基板検査装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039314A JP2008203084A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007039314A JP2008203084A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 基板検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008203084A true JP2008203084A (ja) | 2008-09-04 |
Family
ID=39780758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007039314A Pending JP2008203084A (ja) | 2007-02-20 | 2007-02-20 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008203084A (ja) |
-
2007
- 2007-02-20 JP JP2007039314A patent/JP2008203084A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100868471B1 (ko) | 수리 디바이스 및 수리 방법 | |
TWI821332B (zh) | 檢查工具及檢查裝置 | |
TW200907370A (en) | Probing method, probing apparatus, and storage medium | |
JP2007178318A (ja) | 基板検査装置及び方法 | |
KR100910217B1 (ko) | 프로브 본딩장치 및 방법 | |
JP2009244077A (ja) | 基板検査装置及びその方法 | |
JP4574222B2 (ja) | 基板検査用接触子、これを用いた基板検査用治具及び基板検査装置 | |
JP3905850B2 (ja) | 基板検査用プローブ及びそれを用いた基板検査装置 | |
JP5217063B2 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2000338166A (ja) | 基板検査装置 | |
JP2008102070A (ja) | 電子部品検査プローブ | |
JP4986130B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP2008203084A (ja) | 基板検査装置 | |
US10663815B2 (en) | Inspection method and inspection system for wiring path of substrate | |
JP2010048565A (ja) | 基板検査装置用の検査用プローブの移動制御装置 | |
JP2007123534A (ja) | 配線パターンの欠陥修正方法及び欠陥修正装置 | |
JP2006329998A (ja) | 基板検査用治具、及びこれに用いる検査用プローブ | |
JP2014228301A (ja) | 基板検査方法 | |
KR100920847B1 (ko) | 프로브 공급장치 | |
JP5614621B2 (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JP3314703B2 (ja) | プローブ装置のコンタクトピンクリーニング方法およびクリーニング装置 | |
JP2008039639A (ja) | 接触式計測用プローブ | |
TWI730595B (zh) | 待測面板的側向檢測裝置及檢測方法 | |
JP2005038983A (ja) | プローブ用配線基板及び半導体素子の製造方法 | |
JP2010276428A (ja) | 基板検査装置用プローブピン |