JP7292921B2 - 多ピン構造プローブ体及びプローブカード - Google Patents
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Description
以下では、本発明に係る多ピン構造プローブ体及びプローブカードの実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
(A-1-1)電気的接続装置
図2は、この実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す構成図である。
次に、この実施形態に係る電気的接触子3の構成を、図面を参照しながら詳細に説明する。
基部10は、プローブ基板43の下面側に固定される取付部11と、当該取付部11の下方に、互いに離間させて配置した板状の複数(図1では例えば2個)の荷重部100を有する。さらに、各荷重部100は、土台部12、上側アーム部13、下側アーム部14、支持部15を有する。
接触部20は、例えば、銅、白金、ニッケル等の導電性材料で形成されている。例えば、接触部20は板状部材を加工して形成されたものであり、接触部20の厚さは、基部10の厚さよりも薄く、例えば数十μm程度とすることができる。
図5(A)は、実施形態に係る多ピン構造プローブ体30の電気的接触子3の間隔を説明する説明図である。図5(A)は、図3の右側面図である。
図5(B)は、この実施形態に係る電気的接触子3の組み立て方法の一例を示す図である。図5(B)は、図3の多ピン構造プローブ体30を上から見たときの図である。
次に、この実施形態に係る多ピン構造プローブ体30のプローブ基板43の下面側への固定方法(接合方法)を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図9(A)に示すように、例えば、従来のカンチレバー型プローブの電気的接触子9は、その取付部91と基板電極52とが電気的に接続できるようにして設けているので、プローブ基板43の基板電極52を、電気的接触子9の取付部91の位置に対応させるように配置している。
図9(B)に示すように、従来、プローブ基板43の下面側に電気的接触子9を固定する際、半田材等の接合材料を用いて、1個の電気的接触子9の取付部91を、対応する基板電極52の面上(図9(B)では下面上)に接合して固定している。また、電気的接触子9を1個ずつ、対応する基板電極52に固定している。
図8(B)に示すように、プローブ基板43の下面において、多ピン構造プローブ体30を取り付ける位置に、多ピン構造プローブ体30の取付部11の上面を接触させる。
多ピン構造プローブ体30の取付部11をプローブ基板43の下面と接触させた状態で、プローブ基板43の下面と多ピン構造プローブ体30の取付部11とが接触する位置に接着材を設置する。そして、接着材を硬化させる。これにより、接着材が硬化した接合部70により、多ピン構造プローブ体30をプローブ基板43の下面に固定する。
以下では、実施形態の電気的接触子3を用いたときの被検査体2の電極端子51と基板電極52との間の通電経路と、従来の電気的接触子を用いたときの前記通電経路とを比較しながら説明する。
上述したように、この実施形態によれば、1つの多ピン構造プローブ体が複数の電気的接触子の構造を有しているので、多ピン構造プローブ体を配線基板に固定することで、電極端子間の狭ピッチ化した半導体集積回路に対応させることができる。
上述した実施形態においても種々の変形実施形態について言及したが、本発明は、以下のような変形実施形態にも対応できる。
30…多ピン構造プローブ体、100…荷重部、11…取付部、12…土台部、13…上側アーム部、13A…アーム部、14…下側アーム部、15、15B…支持部、151…接続部、152…固定部、153…スクラブ補正部、155…スクラブ補正部材、18…プローブ基板支持部、20…接触部、201…上端部、202…下端部、203…先端接触部、
51…電極端子、52…基板電極、70…接合部、
4…プローブカード、41…配線基板、42…電気的接続ユニット、43…プローブ基板、431…基板部材、432…多層配線基板、44…支持部材、5…チャックトップ。
Claims (6)
- 検査装置と、被検査体との間を電気的に接続するプローブカードのプローブ基板に設けられる多ピン構造プローブ体であって、
前記プローブ基板の基板電極と電気的に接触する第1端部と、前記被検査体の電極端子と電気的に接触する第2端部とを有し、導電性材料で形成された複数の接触部と、
前記プローブ基板の一方の面に取り付けられると共に、前記複数の接触部のそれぞれを弾性的に支持する合成樹脂材料で形成された基部と
を有し、
前記基部が、
前記プローブ基板の一方の面に取り付けられる取付部と、
それぞれの前記接触部毎に設けられ、前記取付部から一体的に連なって、当該多ピン構造プローブ体の長手方向に沿って伸びる、複数のアーム部と、
それぞれの前記アーム部の先端側に設けられ、支持する前記接触部の姿勢が前記第1端部及び前記第2端部のそれぞれの接触を保持するように、前記接触部を支持する、複数の支持部と
を有し、
それぞれの前記支持部は板状であり、それぞれの前記支持部は、一方の面に、板状である前記接触部を複数の固定部で固定して支持する
ことを特徴とする多ピン構造プローブ体。 - 複数の前記固定部が、前記支持部の一方の面上で、前記長手方向に対して垂直方向に並んで設けられていることを特徴とする請求項1に記載の多ピン構造プローブ体。
- 検査装置と被検査体の電極端子との間を電気的に接続するプローブカードにおいて、
前記検査装置と電気的に接続する配線回路を有し、一方の面に、前記配線回路と接続する複数の基板電極とを有するプローブ基板と、
前記プローブ基板の前記一方の面で、前記基板電極が配置されていない非電極領域に接着材で接着される、請求項1又は2に記載の複数の多ピン構造プローブ体と
を有することを特徴とするプローブカード。 - 前記プローブ基板の前記一方の面に対して、前記多ピン構造プローブ体の基部の取付部が垂直に設けられ、前記一方の面と前記取付部との境界領域の全部又は一部に、接着材を用いて接着されることを特徴とする請求項3に記載のプローブカード。
- 前記境界領域が、前記各多ピン構造プローブ体の前記取付部の上面を含むことを特徴とする請求項4に記載のプローブカード。
- 前記プローブ基板の前記一方の面において、前記被検査体の電極端子の位置に対応する位置に、前記各基板電極が配置され、
前記プローブ基板の前記一方の面に接着された前記各多ピン構造プローブ体の各接触部が、対応する前記基板電極と前記被検査体の前記電極端子とに対して電気的に接触する
ことを特徴とする請求項4又は5に記載のプローブカード。
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