JP7281697B2 - 検査治具、および検査装置 - Google Patents
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Description
ここでは、本発明の一実施形態に係る検査装置の全体構成について、図1~図4を参照して説明する。図1に示すように、本発明の一実施形態に係る検査装置5は、検査対象10の電気的検査を行う。図1において、一方X1側が下側、他方X2側が上側となる。また、一方Y1側が紙面左側、他方Y2側が紙面右側となる。また、一方Z1側が紙面手前側、他方Z2側が紙面奥側となる。
次に、検査治具2における接触端子11と第1基板23とを電気的に接続させる構成の製造工程について、図5~図11を参照して説明する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の趣旨の範囲内であれば、実施形態は種々の変形が可能である。
11・・・接触端子
111・・・筒状体
112・・・第1導体
113・・・第2導体
12・・・支持部材
2・・・検査治具
21・・・第1収容部材
22・・・絶縁部材
221・・・底部
221A・・・貫通孔
22A・・・凹部
23・・・第1基板
231・・・第1電極
232・・・第2電極
24・・・導線
25・・・固定部材
26・・・第2収容部材
27・・・中間部材
271・・・接続部材
28・・・第3収容部材
29・・・第2基板
291・・・第3電極
292・・・第4電極
3・・・検査処理部
5・・・検査装置
10・・・検査対象
E5・・・第5電極
M1・・・第1金属層
M2・・・第2金属層
J・・・中心軸
Claims (15)
- 第2基板と電気的に接続される中間部材に対し脱着可能な検査治具であって、
凹部を有する板状の絶縁部材と、
第1電極及び前記第1電極と電気的に接続される第2電極を有する第1基板と、
接触端子と電気的に接続される導線と、
前記第1基板に取り付けられて厚み方向に貫通する収容部を有する、板状の収容部材と、
を備え、
前記第2電極は、前記収容部を通して露出し、
前記収容部には、前記中間部材が収容可能であり、
前記絶縁部材には、前記凹部の底部を貫通する貫通孔が設けられ、
前記導線の一端部は、前記貫通孔に配置され、
前記導線の他端部は、前記第1電極に接続される、検査治具。 - 前記凹部と前記貫通孔のうち少なくとも一方に配置され、前記導線の一部を前記絶縁部材に固定させる固定部材をさらに備える、請求項1に記載の検査治具。
- 前記固定部材は、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を含む、請求項2に記載の検査治具。
- 前記導線の前記一端部の端面は、前記貫通孔の内部に位置し、
前記端面に第1金属層が設けられ、
前記第1金属層は、前記導線よりも硬度が高い、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の検査治具。 - 前記第1金属層に、第2金属層が連接される、請求項4に記載の検査治具。
- 前記導線は、絶縁性の被膜を有する、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査治具。
- 前記第1基板は、前記絶縁部材における前記凹部側に配置され、前記絶縁部材の厚み方向に視た場合に前記絶縁部材と重なる部分を有する、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の検査治具。
- 凹んで構成されて前記絶縁部材を収容する第1収容部を有する収容部材をさらに備える、請求項7に記載の検査治具。
- 前記第1基板における前記第1電極の数は、前記導線の本数よりも多い、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の検査治具。
- 前記絶縁部材の厚み方向において前記凹部の凹む側を一方側とし、
前記第1基板は、前記絶縁部材の他方側に配置され、
前記第1基板は、前記厚み方向に貫通する基板貫通孔を有し、
前記導線は、前記基板貫通孔に配置され、
前記導線は、一方側に視た平面視で、前記第1電極から前記基板貫通孔へ径方向内側に延びる、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の検査治具。 - 前記絶縁部材の厚み方向において前記凹部の凹む側を一方側とし、
前記第2電極は、前記第1基板の他方側面に配置される、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の検査治具。 - 前記厚み方向に延びる接続部材と、
前記第2基板と、
をさらに備え、
第3電極は、前記第2基板の一方側面に配置され、
第4電極は、前記第2基板の他方側面に配置され、
前記第3電極と前記第4電極とは、電気的に接続され、
前記第4電極間のピッチは、前記第3電極間のピッチより広く、
前記接続部材の一方側端部は前記第2電極と接触し、
前記接続部材の他方側端部は前記第3電極と接触する、請求項11に記載の検査治具。 - 前記接続部材は、前記厚み方向に圧縮可能なばね部を有する、請求項12に記載の検査治具。
- 前記導線と電気的に接続される接触端子をさらに備える請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の検査治具。
- 請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の検査治具と、
前記第1電極と電気的に接続される検査処理部と、を備える検査装置。
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