JP5968158B2 - コンタクトプローブ及びプローブカード - Google Patents
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Description
例えば金属材料のメッキによって形成される。このコンタクトプローブ1の寸法は、数mm程度である。コンタクトプローブ1は主に、基端部(図1中の右上の端部)に位置する取付部2と、先端部(図1中の左下の端部)に位置する接触部3と、これらの間に位置するアーム部4とを備えて構成されている。
次に、上記構成の先端側湾曲アーム片11の基端部11a及び先端部11b並びに基端側湾曲アーム片12の基端部12c及び先端部12dの比率(11a:11b、12c:12d)を変えて、接触部3のスクラブ量を解析した。この解析にはFEM解析法を用いた。
プローブカードの歪み等により各コンタクトプローブ1にかかる実効OD量にばらつきが生じても、各コンタクトプローブ1でのスクラブ量を一定範囲内に収めることができるようになる。即ち、OD量の違いにかかわらず、スクラブ量が略一定でほとんど変化しないため、複数のコンタクトプローブ1間に高さのばらつきがあったり、プローブカードに歪みがあったりして、各接触部3の間に高さのばらつきがあっても、各接触部3のスクラブ量にはほとんど違いがない。
上記実施形態では、膨出部18をアーム部4の上側アーム片9に設けたが、膨出部18を下側アーム片8に設ける場合もある。上記実施形態では、アーム部4は水平に配設されているため、オーバードライブがかかると、先端の台座部7は上方の基端側(図1中の上方の右側)へ円弧を描くように移動する。しかし、アーム部4が水平よりも下方へ配置されている場合は、アーム部4が水平になるまでは、上記と逆に、先端の台座部7は上方の先端側(図1中の上方の左側)へ円弧を描くように移動する。この場合は、膨出部18をアーム部4の下側アーム片8に設けて、台座部7を上記実施形態の場合と逆の方向に傾斜するように制御する。
Claims (3)
- テスタ側のプローブカード基板に支持されて被試験回路の電極パッドへ延出され、上記テスタ側と上記被試験回路の電極パッドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、
基端部に位置して上記テスタ側のプローブカード基板に取り付けられる取付部と、先端部に位置して上記被試験回路の電極パッドに接触される接触部と、これらの間に位置して上記接触部を弾性的に支持するアーム部とを備え、
上記接触部は、上記アーム部の先端部に一体的に取り付けられた台座部の下端部に設けられ、
上記アーム部は、上記台座部を支持して当該台座部の上下動を許容する一側アーム片と、上記台座部を支持して当該台座部の傾斜角度を、上記接触部のスクラブ量を小さくするように調整する他側アーム片とを備え、
上記他側アーム片は、先端部側から延びる先端側湾曲アーム片と、基端部側から延びる基端側湾曲アーム片と、上記先端側湾曲アーム片と上記基端側湾曲アーム片とが互いに接続して形成された環状の膨出部とから構成された
ことを特徴とするコンタクトプローブ。 - 請求項1に記載のコンタクトプローブにおいて、
上記膨出部は、オーバードライブに伴う外力で上記先端側湾曲アーム片及び上記基端側湾曲アーム片が撓むことにより弾性変形して上記台座部の傾斜角度を調整することで、上記接触部の先端角度を調整することを特徴とするコンタクトプローブ。 - 被試験回路の電極パッドに接触するコンタクトプローブを複数支持したプローブカードであって、
上記コンタクトプローブとして請求項1又は2に記載のコンタクトプローブを用いたことを特徴とするプローブカード。
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