JP4717144B2 - コンタクトプローブ用固定具 - Google Patents
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Description
第1に、この従来のプローブ31では、プローブ案内機構によってプローブ固定用アーム33が下動させられることにより、図15に示すように、まず、先端32aがプロービング対象体Pの表面Xに接触する。次いで、さらに下動させられることにより、プローブ固定用アーム33が一点鎖線で示すように弾性変形すると共に、先端32aが一点鎖線で示すプロービング対象体Pの表面X側に付勢される。なお、同図では、動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示すプローブ31およびプロービング対象体Pについては、プローブ固定用アーム33の固定用孔34a,34bを基準とした相対的な位置に図示している。この場合、先端32aは、固定用孔34a,34bの位置を基準とすれば、矢印Cで示すように、固定用孔34bの近傍を中心とした円弧状の軌跡で移動する。この結果、先端32aは、図16に示すように、最初に接触させられた位置から、プロービング対象体Pの表面Xを矢印Dの方向に距離Sだけ移動させられる。このため、このプローブ31には、先端32aがプロービング対象体Pの表面Xを移動することにより、大きな接触痕を残してしまうという問題がある。
2 プローブ本体
2a 先端
3 プローブ固定部
3a 嵌合溝
5 取付部
6 連結用アーム
7 連結用アーム
8a〜8d 支点
10 固定具
11 プローブ
14 板バネ
15 ストッパ
17 補助具
P プロービング対象体
PM プローブ案内機構
RM リンク機構
Claims (5)
- プローブ案内機構に一端が取り付けられると共にプローブ本体を固定可能に構成され、前記固定されたプローブ本体を前記プローブ案内機構による案内に従ってプロービング対象体に接触させるコンタクトプローブ用固定具において、
前記プローブ本体が接触状態であって前記プローブ案内機構によって前記プロービング対象体側にさらに付勢されたときに、弾性変形部の弾性変形によって当該付勢方向とは逆向き方向への前記プローブ本体の直動または近似的直動を許容するリンク機構を備え、
前記リンク機構は、前記プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、前記プローブ案内機構に取り付けるための取付部と、前記プローブ固定部および前記取付部を連結する少なくとも2つの連結用アームとを備え、
前記プローブ固定部における当該プローブ固定部から前記取付部に向かって左側に位置する左側面には、前記プロービング対象体側の端面に達するはめ込み用溝が形成され、
前記はめ込み用溝は、前記プロービング対象体側の前記端面側ほど前記取付部から離間するように前記プローブ案内機構の案内方向に対して傾斜する直線状の溝部と、当該直線状の溝部の幅よりも幅広であって当該直線状の溝部における前記端面側とは逆側の部分に連通する凹部とで構成され、
前記プローブ固定部は、前記はめ込み用溝における前記直線状の溝部にはめ込まれた前記プローブ本体における前記プロービング対象体との非接触部位側を当該直線状の溝部の内周面によって保持すると共に、前記はめ込み用溝における前記凹部の内周面に前記プローブ本体の基端部が当接することによって当該接触状態のプローブ本体の当該はめ込み用溝からの離脱を規制することを特徴とするコンタクトプローブ用固定具。 - 少なくとも1つの前記連結用アームの両端に形成された前記弾性変形部を介して前記プローブ固定部および前記取付部が連結され、かつ少なくとも他の1つの前記連結用アームの両端に形成された前記弾性変形部を介して前記プローブ固定部および前記取付部が連結されていることを特徴とする請求項1記載のコンタクトプローブ用固定具。
- 前記弾性変形部は、前記連結用アームにおける連結箇所の一部を円弧状に切り欠いて形成されている円弧切り欠き支点であることを特徴とする請求項1または2記載のコンタクトプローブ用固定具。
- 前記リンク機構は、両てこ機構であって、前記プローブ案内機構による付勢時のてこ運動の回転向きとは逆向き回転状態となるように常態における当該リンク機構の一部を付勢する付勢部材を備えていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
- 前記付勢部材による付勢量を所定量に規制する付勢量規制手段を備えていることを特徴とする請求項4記載のコンタクトプローブ用固定具。
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