JP3474061B2

JP3474061B2 - パターン検査装置

Info

Publication number: JP3474061B2
Application number: JP20506096A
Authority: JP
Inventors: 亮庄司
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1996-08-02
Filing date: 1996-08-02
Publication date: 2003-12-08
Anticipated expiration: 2016-08-02
Also published as: JPH1048252A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に形成され
た電極パターンを検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８〜図１０は、導電膜からなる電極パ
ターンを有する基板を検査する従来装置を示すもので、
この従来の検査装置Ｊは、基板を搬送する搬送コロ１を
多数備えたローダ部２と、ローダ部２に続いて設けられ
た検査部３と、この検査部３で検査された基板を搬出す
るために前記ローダ部２に平行に設けられたアンローダ
部４を主体として構成されている。前記検査部３には、
図９に示す案内部材６とレール部材７によって図８の左
右方向（検査装置の長さ方向：Ｘ方向）に移動自在に、
かつ、案内部材８とレール部材９によって図９の紙面垂
直方向（検査装置の幅方向：Ｙ方向）に移動自在に移動
テーブル１０が設けられ、この移動テーブル１０に前記
ローダ部２から搬送されてきた検査用の基板を設置した
状態で図８に示す検査部３を前後左右方向（Ｘ方向とＹ
方向）に移動させながら検査できるように構成されてい
る。

【０００３】この検査部３において前記ローダ部２に近
い部分、即ち、ローダ部２の後部側にあたる部分は検査
部３の導入部１１とされていて、図９に示すように導入
部１１の上方には、この導入部１１に位置した移動テー
ブル１０上の基板の位置を確認するためのカメラ１２、
１３が設けられ、図８においてそれらのカメラ１２、１
３の右側（導入部１１の後部側）には、基板検査用の探
触針１５を複数備えたニードルホルダ１６が設けられ、
このニードルホルダ１６が設けられた領域が第１検査部
１７とされるとともに、この第１検査部１７に隣接する
部分で前記アンローダ部４の長手方向延長位置にアンロ
ーダ部４と離間して第２検査部１８が設けられている。
この第２検査部１８には、前記探触針１５・・・と方向を
９０゜異ならせた探触針２０を複数有するニードルホル
ダ２１が設けられている。また、ローダ部２の後部側に
設けられている第１検査部１７の更に後部側には不良品
収納部２２が設けられている。

【０００４】前記構成の検査装置Ｊを用いて基板Ｋを検
査する場合、図１０（Ａ）を基に以下に説明するステッ
プを経ることで、例えば、図１０（Ｂ）に示す２種類の
基板Ｋ₁、Ｋ₂の検査を行っている。ここでの２種類の基
板とは、図１０（Ｂ）に示すように、長方形状の第１基
板Ｋ₁の短辺に平行な直線状の導電膜の電極２５を多数
配列したものを２列になるように配置形成した第１基板
Ｋ₁と、第２基板Ｋ₂の長辺に平行な直線状の導電膜の電
極２６を多数配列したものを３列になるように配列形成
した第２基板Ｋ₂である。従って、第１基板Ｋ₁と第２基
板Ｋ₂にあっては電極２５と電極２６の方向が９０゜異
なるように配置されていることになる。

【０００５】まず、基板Ｋ₁を検査するには、前工程か
ら図１０（Ａ）の矢印ａに示すようにローダ部２に搬送
された基板Ｋ₁をローダ部２から矢印ｂに示すように検
査部３の導入部１１側に移動させ、導入部１１に位置し
ている移動テーブル１０上に基板Ｋ₁を設置する。ここ
で移動テーブル１０の上方に設けたカメラ１２、１３に
より基板Ｋ₁の正確な位置決めを行い、移動テーブル１
０に内蔵されている図示略のチャック機構により基板Ｋ
₁を移動テーブル１０上で固定する。次に移動テーブル
１０を矢印ｃ、ｄに示すように第１検査部１７に移動さ
せて固定し、基板Ｋ₁上の電極２５・・・に複数の探触針１
５を当接させて電極２５・・・の断線あるいは短絡等の欠
陥を検査する。この検査により基板Ｋ₁が良品で欠陥な
しと判断されたならば移動テーブル１０を図１０の矢印
ｅに示すように斜めに移動させてアンローダ部４に接近
させ、ここから矢印ｆに示すようにアンローダ部４に基
板Ｋ₁を移動させて次工程に搬送する。また、前記の検
査により基板Ｋ₁に何らかの欠陥が発見されて不良品と
判断されたならばその基板Ｋ₁を矢印ｇに示すように不
良品収納部２２に搬送して収納する。

【０００６】次に、基板Ｋ₂を検査するには、前工程か
ら矢印Ａに示すようにローダ部２に搬入された基板Ｋ₂
を矢印Ｂ→Ｃ→Ｄの如く第２検査部１８に移動させて固
定し、基板Ｋ₂上の電極２６・・・に複数の探触針２０・・・
を当接させて電極２６・・・の断線あるいは短絡等の欠陥
を検査する。この検査により基板₂が良品で欠陥なしと
判断されたならば移動テーブル１０を矢印Ｅに示すよう
に移動させてアンローダ部４に接近させ、ここから矢印
Ｆに示すようにアンローダ部４に基板Ｋ₂を移動させて
次工程に搬送する。また、前記の検査により何らかの欠
陥が発見されて不良品と判断されたならばその基板Ｋ₂
を矢印Ｇ→ｇに示すように不良品収納部２２に搬送して
収納するようにしている。

【０００７】次に、基板上の電極パターンは、図１０
（Ｂ）に示す２種類の他にも種々のものがあるので、検
査装置Ｓにおいては、例えば、ニードルホルダ１６、２
１に図７（Ｂ）に示すようにスリット２６を複数形成し
ておき、これらのスリット２６にそれぞれボルト止めに
より複数の探触針１５あるいは探触針２０を固定してお
き、検査するべき基板の電極パターンに合わせてこれら
の探触針１５あるいは探触針２０の位置調節を行い、種
々の電極パターンの基板の検査に対応できるようにして
いる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前述の検査装置Ｊによ
れば、図１０（Ａ）を基に、先に説明した如く９０°方
向の異なる電極２５あるいは電極２６を備えた図１０
（Ｂ）に示す基板Ｋ₁、Ｋ₂を検査することができる。と
ころが、前記の検査装置にあっては、１枚の基板Ｋ₁を
一度検査し始めると、基板Ｋ₁が図１０（Ａ）の矢印ｂ
→ｃ→ｄと移動してから更に斜め方向に矢印ｅの如く移
動するために、基板Ｋ1の搬送のための時間が長くなり
易く、次に検査するべき基板Ｋ₁のロード部２における
待機時間が長いという問題があった。また、この事情は
基板Ｋ₂を検査する場合も同様であり、基板Ｋ₂が矢印Ｂ
方向へ直線移動した後に斜め方向に矢印Ｃに示す如く移
動する動作が入るために移動時間が長くなる上に、第２
検査部１８において検査した後に矢印Ｅに示す如く第１
検査部１１の横を通って長い距離を移動する必要がある
ために、移動テーブル１０の導入部１１への復帰時間が
遅くなり易く、検査全体の時間が長くなり、検査能率が
悪い問題があった。

【０００９】また、前記構成の検査装置Ｊにあっては、
１つの基板Ｋ₁を移動テーブル１０に固定して検査して
いる間、次の検査用の基板Ｋ₁はローダ部２において待
機している必要がある。すなわち、移動テーブル１０か
ら検査終了の基板Ｋ₁をアンローダ部４あるいは不良品
収納部２２に移動させてからでなくては次の基板Ｋ1を
検査できない問題があり、検査能率をこれ以上上げるこ
とができなかった。更に、電極パターンの異なる基板を
検査する場合に、従来の検査装置Ｊにあっては、ニード
ルホルダ１６、２１にボルト止めした探触針１５、２０
の位置調節を行う必要があるが、基板上の電極のパター
ンは極めて微細なものであるので、探触針１５、２０の
位置調節作業に手間取り、異なる電極を有する基板を検
査する場合の段取り変えに手間取り、検査効率が低下す
る問題があった。

【００１０】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
あり、電極パターンの異なる多種類の基板であっても基
板方向を自由に変更して容易に検査することができると
ともに、検査部における基板の搬送経路を極力短くして
検査効率を上げることができるとともに、検査する基板
の電極パターンに合わせた探触針の位置に容易に調節し
て対応することができる検査装置の提供を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、複数の並列状の第１電極パターンが形成さ
れた第１基板と、複数の並列状で前記第１電極パターン
に直交する第２電極パターンが形成された第２基板とを
個々に搬入可能なロード部と、複数の第１探触針を有し
第１探触針を前記第１電極パターンに接触させて第１電
極パターンを検査する第１パターン検査部と、前記第１
探触針に対向して配置される複数の第２探触針を有し、
第２探触針を前記第２電極パターンに接触させて第２電
極パターンを検査する第２パターン検査部とが直列状に
配置され、前記第１パターン検査部と第２パターン検査
部との間を往復移動して基板を移動させるとともに水平
に回動自在に設けられて基板の方向を変更する搬送テー
ブルと、前記ロード部の近傍に設けられてロード部上の
基板をロード部から第１パターン検査部に位置している
搬送テーブルへ搬送する第１搬送機と、前記第２パター
ン検査部の近傍に設けられて第２パターン検査部に位置
している搬送テーブルからその外部に基板を搬送する第
２搬送機とが具備されてなるものである。

【００１２】この構成によれば、ロード部に搬入した基
板の電極パターンに応じて基板を搬送する搬送テーブル
の方向を９０°変更することで基板を第１パターン検査
部あるいは第２パターン検査部に搬送して各基板の電極
パターンの検査を行うことができる。よって、電極パタ
ーンの異なる基板であっても第１パターン検査部あるい
は第２パターン検査部を適宜選択して電極パターンの検
査ができる。また、ロード部と第１パターン検査部と第
２パターン検査部を直列配置したので、基板の搬送経路
を最短にすることができ、基板搬送時の無駄な搬送時間
の少ない効率の良い検査ができる。

【００１３】次に本発明において、前記第２パターン検
査部の外部に設けられ、前記第２搬送機で搬送された基
板が設置されるとともに水平面に沿って回動自在に設け
られて基板の搬出方向を変更する搬出テーブルを有する
アンロード部と、このアンロード部に接続されてアンロ
ード部上の不良の基板を収納する不良基板収納装置とが
具備されてなる構成とすることもできる。この構成によ
り、検査において判定した良品の基板と不良の基板を方
向を変えて送り出すことができ、不良の基板を不良基板
収納装置に収納し、良品の基板を次工程に送ることがで
きる。

【００１４】更に本発明において、前記搬送機が、基板
の端部下面に接触して基板を支持する一対以上の支持爪
と、この支持爪を上下移動させるとともに水平移動させ
て搬送テーブル近傍から第１パターン検査部近傍に移動
させる搬送機構を具備して構成されたものでも良い。こ
の構成により、ロード部から第１パターン検査部の搬送
テーブルに基板を搬送できるとともに、搬送テーブルを
第２パターン検査部に移動させた後に第２パターン検査
部の外部に基板を搬出できる。

【００１５】また、前記の構成において、第１パターン
検査部と第２パターン検査部の搬送テーブル移動領域上
に、基板上の電極パターンに接触させるプローブ針を所
定間隔で複数備えたニードルホルダが個々に設けられる
とともに、前記第１パターン検査部あるいは第２パター
ン検査部で検査するべき複数種類の異なるパターン間隔
の基板の個々のパターンに対応するプローブ針を取り付
けた複数のニードルホルダが、前記第１パターン検査部
と第２パターン検査部のそれぞれに着脱自在に付設され
てなるものである。この構成によれば、検査するべき基
板のパターンに合わせてニードルホルダを交換すること
により基板の電極パターンに合わせた検査ができる。ま
た、ニードルホルダを固定してそれに多種類の探触針を
交換して付け替えるよりも、予め所定の位置に探触針を
固定しておいたニードルホルダを複数用意し、検査する
基板に合わせてニードルホルダ毎複数の探触針を交換す
る作業を行う方が簡単にできるので、検査基板が変更に
なった場合の段取り変えが容易になり、作業性が向上す
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１〜図６は本発明に係る
検査装置の一例を示すもので、この例の検査装置Ｓの概
要は図１に示すように、検査用の基板が搬入されるロー
ド部３０と、このロード部３０に対して順次直列配置さ
れた第１パターン検査部３１と第２パターン検査部３２
とアンロード部３３と、前記ロード部３０と第１パター
ン検査部３１の側部側にかけて設けられた第１搬送機３
６と、第２パターン検査部３２とアンロード部３３の側
部側にかけて設けられた第２搬送機３７とを主体として
構成されている。なお、この例の検査装置Ｓにおいて、
ロード部３０と第１パターン検査部３１と第２パターン
検査部３２とアンロード部３３を直列配置した方向が基
板搬送方向とされて検査装置Ｓの長手方向（Ｘ方向）と
され、検査装置Ｓの長手方向に直交する方向が幅方向
（Ｙ方向）とされている。

【００１７】前記ロード部３０は、検査装置Ｓの長手方
向に整列された複数の搬送コロ４０を有するとともに、
アンロード部３３は、検査装置Ｓの幅方向に整列された
コロ３９を有して構成され、ロード部３０上に、あるい
はアンロード部３３上に後述する基板を設置できるよう
に、また、ロード部３０上に設置した基板を検査装置Ｓ
の長手方向（Ｘ方向）に、アンロード部３３上に設置し
た基板を検査装置Ｓの幅方向（Ｙ方向）に搬送できるよ
うに構成されている。前記アンロード部３３は水平に回
転自在に設けられた搬出テーブル３８を有し、搬出テー
ブル３８で方向を変更された基板をコロ３９により図２
のＬ方向あるいはＭ方向に搬送できるように構成され、
アンロード部３３の図２のＭ方向側には、不良基板の回
収装置９０が設けられている。更に、前記ロード部３０
の幅は、ロード部３０に搬入される基板Ｋの幅よりも若
干小さくされている。

【００１８】次に、ロード部３０とアンロード部３３と
の間の部分には、検査装置Ｓの長手方向に沿ってレール
部材４２、４３が敷設され、これらのレール部材４２、
４３の上には、レール部材４２、４３に沿って移動自在
に搬送テーブル４５が設けられるとともに、前記レール
部材４２、４３の間の部分には図２に示すようにモータ
４６によって回転駆動されるスクリュ軸４７が設けら
れ、このスクリュ軸４７を搬送テーブル４５の下部に設
けたナット部材に螺合することで搬送テーブル４５をス
クリュ軸４７の正逆回転に応じて第１パターン検査部３
１と第２パターン検査部３２との間で往復移動できるよ
うに構成されている。

【００１９】次に、ロード部３０と第１パターン検査部
３１の側部側には、検査装置Ｓの長手方向に沿って図４
に詳細構造を示す搬送レール部材５０が設けられ、この
搬送レール部材５０には、これに沿って検査装置Ｓの長
手方向に移動自在にアーム部材５１が設けられるととも
に、搬送レール部材５０に設けられたシリンダ装置（ロ
ッドレスシリンダ）５２によりこのアーム部材５１がロ
ード部３０の上方位置と第１パターン検査部３１の上方
位置との間を往復移動できるように構成されている。こ
のアーム部材５１の先端部には、図４に詳細構造を示す
ように、シリンダ装置５３を介して上下移動自在に支持
ハンド５５が設けられている。この支持ハンド５５は、
シリンダ装置５３の下端部に取り付けられた支持板５６
と、この支持板５６の両端部に取り付けられて搬送する
べき基板Ｋをその幅方向両側から抱え込むことができる
支持爪５８、５８を有して構成されている。前記支持爪
５８、５８の間隔は、基板Ｋをその両側から抱え込むこ
とができるように、基板Ｋの幅よりも若干小さくされて
いる。また、前記搬送レール部材５０とアーム部材５１
とシリンダ装置５２とシリンダ装置５３と支持ハンド５
５と支持板５６と支持爪５８、５８とを具備して第１搬
送機３６が構成され、搬送レール部材５０とアーム部材
５１とシリンダ装置５２とシリンダ装置５３とにより搬
送機構が構成されている。

【００２０】これらの構成により、シリンダ装置５２の
作動によって支持ハンド５５をロード部３０と第１の検
査部３１との間で往復移動できるように構成されている
とともに、シリンダ装置５３で支持ハンド５５の高さを
調整して支持爪５６、５６の高さを搬送テーブル４５の
下方に、かつ、支持板５６を搬送テーブル４５の若干上
方に位置させた状態でロード部３０から第１の検査部３
１側に支持ハンド５５を移動させることにより、図４に
示すように支持爪５８、５８で両端を支持した基板Ｋを
搬送テーブル４５の上に搬送できるように構成されてい
る。また、第２パターン検査部３２とアンロード部３３
の側方側に設けられた第２搬送機３７は、前記第１搬送
機３６と同等の構成とされ、アーム部材５１の移動によ
って第２パターン検査部３２に位置されている基板をア
ンロード部３３に搬送できるようになっている。

【００２１】次に、搬送テーブル４５は、図６に示すよ
うにその下方に設けられた基台６０上で水平に回動自在
に支持され、搬送テーブル４５と基台６０との間に、搬
送テーブル４５を水平に９０°回動させるステップモー
タ等の回動モータ６１が設けられている。次いで、基台
６０の下方には、基台テーブル６２が設けられ、この基
台テーブル６２上に検査装置Ｓの幅方向（Ｙ方向）に向
いて搬送レール６３、６３が敷設され、基台６０はその
下面に設けられて前記搬送レール６３に係合された案内
部材６４によってＹ方向に移動時在に支持されている。
更に、基台テーブル６２の下方のベースＢ上に前述のレ
ール部材４２、４３が敷設されていて、基台テーブル６
２の下面に取り付けられた案内部材６５、６５をレール
部材４２、４３に係合させて基台テーブル６２が検査装
置Ｓの長さ方向（Ｘ方向）に移動自在に支持されてい
る。以上の構成により、搬送テーブル４５は、水平に９
０°回動自在に、かつ、Ｘ方向とＹ方向にそれぞれ移動
時在に支持されている。

【００２２】また、前記搬送テーブル４５は、ほぼ正方
形状に形成され、その幅は基板Ｋよりも小さく、前記第
１搬送機３６の支持爪５８、５８の間の間隔よりも若干
小さくされるとともに、搬送テーブル４５の上面には、
図５に示すように平面田形の吸着溝６６が形成され、こ
の吸着溝６６が図示略の真空吸着装置に接続されてい
て、搬送テーブル４５の上面に基板Ｋを設置した場合
に、吸着溝６６の内部空間を減圧することによって搬送
テーブル４５上に設置された基板Ｋを真空吸着して固定
できるように構成されている。

【００２３】次に、第１パターン検査部３１と第２パタ
ーン検査部３２の間の部分において搬送テーブル４５の
通過位置よりも上方の部分に、検査装置Ｓの幅方向（Ｙ
方向）に沿って棒状のニードルホルダ７０、７１が設置
され、これらのニードルホルダ７０、７１には図７
（Ａ）に示すように複数の検査用のニードル部材７３が
取り付けられている。これらのニードルホルダ７０、７
１には、図７（Ａ）に示すように、複数の係止溝７４が
形成され、各係止溝７４の部分に形成された透孔７５に
図示略のボルトを利用してニードル部材７３が着脱自在
に固定されている。また、ニードルホルダ７０、７１自
体もそれらの両端部に形成された透孔７０Ａを介するボ
ルト止めにより検査装置Ｓに取り付けられていて、具体
的には、検査装置Ｓの第１パターン検査部３１と第２パ
ターン検査部３２との境界部分に設けられた支持部材８
２・・・にボルト止めにより着脱自在に取り付けられてい
る。

【００２４】これらのニードル部材７３はそれぞれ探触
針７６を有し、これらの探触針７６は検査装置Ｓに別途
設けられた通電試験装置に接続されていて、これらの探
触針７６を後述の基板の導電膜の電極に当接させて通電
試験することで基板Ｋ上の電極の短絡欠陥あるいは断線
欠陥等を検査することができるようになっている。な
お、これらの配線検査作業は、ニードルホルダ７０、７
１を支持している上下移動装置８０、８１の上下移動操
作により、複数のニードル部材７３が基板Ｋの電極に間
欠的に当接することで行うようになっている。

【００２５】また、前記ニードルホルダ７０には図面に
示すものの他に種々の形態のものがあり、具体的には、
係止溝７３の形成個数と形成間隔が異なるものが複数用
意されるとともに、それらは、検査するべき基板Ｋの電
極パターンに合うように係止溝の形成位置とニードル部
材７３の取付個数が設定されていて、検査しようとする
基板の電極パターンに合わせて交換できるように検査装
置Ｓに取り付けられている。ここで検査される基板Ｋ
は、図１０を元に先に説明した従来の検査装置Ｓによっ
て検査されていた基板Ｋ₁、Ｋ₂と同等のものであり、例
えば、多数の線状電極等の電極が形成された液晶表示装
置用の基板である。

【００２６】なお、前記検査装置Ｓにおいて、第１パタ
ーン検査部３１と第２パターン検査部３２との境界部分
の上方には、水平に架設された案内部材９５に沿って水
平に移動自在にカメラ９６を備えた位置確認ユニット９
７が設けられ、第１パターン検査部３１における基板Ｋ
の位置確認、あるいは、第２パターン検査部３２におけ
る基板Ｋの位置確認ができるようになっている。

【００２７】前記構成の検査装置Ｓを用いて基板Ｋ₁を
検査するには、まず、前工程で処理された基板Ｋ₁をロ
ード部３０に搬送し、このロード部３０に位置している
基板Ｋ₁を第１搬送機３６の支持爪５８、５８で持ち上
げて第１パターン検査部３１に位置している搬送テーブ
ル４５上に移動させて搬送テーブル４５上に設置する。
ロード部３０に搬入された基板Ｋ₁は、その両端部をロ
ード部３０の両端部から多少はみ出させた状態とされて
いて、第１搬送機３６の支持爪５８、５８をロード部３
０の両側に位置させて支持爪５８、５８を上昇させるこ
とでロード部３０上の基板Ｋを抱え上げることができ
る。

【００２８】ここで次に、搬送テーブル４５の吸着溝６
６内を減圧して基板Ｋ₁を搬送テーブル４５に固定し、
ついで搬送テーブル４５を位置確認ユニット９７で位置
確認しながら検査装置Ｓの長さ方向（Ｘ方向）に所定の
速度で間欠移動させる。この基板Ｋ₁の間欠移動ととも
に上下移動されるニードルホルダ７０の複数の探触針７
６を基板Ｋ₁の電極の必要箇所に順次接触させて通電試
験を行うことにより基板Ｋ₁の電極の導通検査、断線検
査、短絡検査等を行うことができる。第１パターン検査
部３１を移動させて基板Ｋ₁の検査を終了したならば、
搬送テーブル４５を第２パターン検査部３２を通過させ
てアンロード部３３の手前部分に基板Ｋ₁を移動させ、
ここで基板Ｋ₁の真空吸着を解除し、次いで第２搬送機
３７の支持爪５８、５８で基板Ｋ₁を抱え上げてアンロ
ード部３３に移動させる。なおここで、基板Ｋ₁が検査
に合格したものであるならば、アンロード部３３のコロ
３９・・・により図２の矢印Ｌ方向に基板Ｋ₁を搬送して次
工程に送り、基板Ｋ₁が検査に不合格のものであるなら
ば、図２に矢印Ｍ方向に送って不良品として不良基板の
収納装置９０に回収する。

【００２９】次に、基板Ｋ₂を検査する場合は、ロード
部３０に搬入した基板Ｋ₂を第１搬送機３６で搬送テー
ブル４５に移動させ、搬送テーブル４５上に吸着固定し
たならば、搬送テーブル４５を９０゜回動させて基板Ｋ
₂の方向を９０゜変更し、更に第１パターン検査部３１
を通過させて第２パターン検査部３２に搬送し、ここで
基板Ｋの位置を位置確認ユニット９７で確認しながら第
２パターン検査部３２を通過する間に上下移動されるニ
ードルホルダ７１の複数の探触針７６により基板Ｋ₂の
電極の検査を行うことができる。以上のようにして配線
回路のパターンの異なる２種類の基板Ｋ₁、Ｋ₂に対し、
搬送テーブル４５の方向を９０゜変えることで対応する
ことができ、１つの検査装置Ｓで２種類の基板Ｋ₁、Ｋ₂
に簡単に対応して検査することができる。

【００３０】また、前記構成の検査装置Ｓであるなら
ば、例えば、基板Ｋ₁あるいはＫ₂をアンロード部３３の
手前に送って第２搬送機３７の支持爪５８、５８で基板
Ｋ₁あるいはＫ₂を搬送テーブル４５から持ち上げて移動
させた際に、搬送テーブル４５を直ちに第１パターン検
査部３１側に直線移動させて戻すことができる。このよ
うにすると、基板Ｋ₁あるいはＫ₂を検査終了とともにア
ンロード部３３近くに移動させた後に、短時間で搬送テ
ーブル４５をロード部３０近くまで直線移動させて復帰
できるので、次の検査用の基板Ｋ₁あるいはＫ₂を時間の
無駄無くロード部３０から搬送テーブル４５に搬送して
固定することができる。前記構成の検査装置Ｓである
と、搬送テーブル４５は検査装置Ｓの長さ方向に沿って
直線往復移動するのみであるので、従来の検査装置Ｊの
如く多数の方向に移動して移動方向分けを行っていた装
置よりも基板搬送経路を簡略化でき、これによって無駄
な走行時間を省略できるので、検査時間の短縮化を図る
ことができる。なお、図８〜図１０に示す従来の検査装
置Ｊにおいては、１枚の基板を検査するのに６０秒程度
必要であったが、この例の検査装置Ｓを用いることで３
０秒程度で検査できるようになる。

【００３１】次に、前記構成の検査装置Ｓにあっては、
基板Ｋ₁とＫ₂の他にも種々のパターンの基板を検査する
ことができる。そのためには、図７（Ａ）に示すニード
ルホルダ７１とは別の位置に複数の係止溝を設けた多種
類のニードルホルダを予め用意しておき、基板の種々の
電極パターンに合わせて専用のニードルホルダに付け替
えて対応すれば良い。このようにすることで、多種類の
種々の電極パターンを有する基板のそれぞれを検査でき
るようになり、しかも、検査基板の種類が変わって段取
り変えを行う場合においても基板に合わせた予め用意さ
れたニードルホルダを取り付け変えるのみの操作で段取
り変えに対応できるようになり、検査工程を高効率化す
ることができる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ロ
ード部に搬入した基板の電極パターンに応じて基板を搬
送する搬送テーブルの方向を９０°変更することで基板
を第１パターン検査部あるいは第２パターン検査部に搬
送して各基板の電極パターンの検査を行うことができ
る。よって、電極パターンの異なる基板であっても第１
パターン検査部あるいは第２パターン検査部を適宜選択
して電極パターンの検査ができる。また、本発明によれ
ば、ロード部と第１パターン検査部と第２パターン検査
部を直列配置したので、基板の搬送経路を最短にするこ
とができ、搬送テーブルをこの搬送経路に沿って往復直
線移動させるのみで対応できるので、基板搬送時の搬送
テーブルの無駄な時間を少なくすることができ、搬送効
率の良好な無駄の少ない効率の良い検査ができる。

【００３３】次に本発明において、アンロード部に基板
搬送方向変更用の搬出テーブルを設けたので、検査にお
いて判定した良品の基板と不良の基板を方向を変えて送
り出すことができ、不良の基板を不良基板収納装置に送
って収納し、良品の基板を搬送方向を変えて次工程に送
ることができる。また、搬送機が、基板を支持する支持
爪と支持爪を上下移動および水平移動させる搬送機構を
具備したので、ロード部から第１パターン検査部の搬送
テーブルに基板を搬送できるとともに、搬送テーブルを
第２パターン検査部に移動させた後に第２パターン検査
部の外部に基板を搬送できる。

【００３４】前記の構成において、第１パターン検査部
あるいは第２パターン検査部で検査するべき複数種類の
異なるパターン間隔の基板の個々のパターンに対応する
プローブ針を取り付けた複数のニードルホルダを、前記
第１パターン検査部と第２パターン検査部のそれぞれに
着脱自在に付設した構成にすれば、検査するべき基板の
パターンに合わせて予め用意した所定のニードルホルダ
を交換することにより基板の電極パターンに合わせた検
査ができる。従って、検査するべき基板の電極パターン
に合わせた探触針を備えたニードルホルダを用意してお
くことで、どのような基板であってもニードルホルダの
交換で対応することができる。また、ニードルホルダを
固定してそれに多種類の探触針を交換して付け替えるよ
りも、予め所定の位置に探触針を固定しておいたニード
ルホルダを複数用意し、検査する基板に合わせてニード
ルホルダ毎に複数の探触針を交換する作業を行う方が簡
単にできるので、検査基板が変更になった場合の段取り
変えが容易になり、作業性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一例の概略構造を示
す平面図。

【図２】前記検査装置の詳細構造を示す平面図。

【図３】前記検査装置の詳細構造を示す側面図。

【図４】前記検査装置の第１搬送機と搬送テーブルの
構造を示す側面図。

【図５】前記搬送テーブルの平面図。

【図６】前記搬送テーブルの駆動機構を示す側面図。

【図７】図７（Ａ）は本発明に適用されるニードルホ
ルダの一例を示す側面図、図７（Ｂ）は従来のニードル
ホルダを示す側面図。

【図８】従来の検査装置を示す平面図。

【図９】従来の検査装置を示す側面図。

【図１０】図１０（Ａ）は従来の検査装置の作動状態
を示す平面図、図１０（Ｂ）は従来の検査装置で検査さ
れる基板の２つの例を示す平面図。

【符号の説明】Ｓ検査装置Ｋ₁ （第１）基板Ｋ₂ （第２）基板２５、２６電極３０ローダ部３１第１パターン検査部３２第２パターン検査部３３アンローダ部３６第１搬送機３７第２搬送機３８搬出テーブル３９、４０ローラ４５搬送テーブル５８支持爪７０ニードルホルダ７３ニードル部材７６探触針９０不良基板回収装置

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の並列状の第１電極パターンが形成
された第１基板と、複数の並列状で前記第１電極パター
ンに直交する第２電極パターンが形成された第２基板と
を個々に搬入可能なロード部と、複数の第１探触針を有
し第１探触針を前記第１電極パターンに接触させて第１
電極パターンを検査する第１パターン検査部と、前記第
１探触針に対向して配置される複数の第２探触針を有
し、第２探触針を前記第２電極パターンに接触させて第
２電極パターンを検査する第２パターン検査部とが直列
状に配置され、前記第１パターン検査部と第２パターン検査部との間を
往復移動して基板を移動させるとともに水平に回動自在
に設けられて基板の方向を変更する搬送テーブルと、前
記ロード部の近傍に設けられてロード部上の基板をロー
ド部から第１パターン検査部に位置している搬送テーブ
ルへ搬送する第１搬送機と、前記第２パターン検査部の
近傍に設けられて第２パターン検査部に位置している搬
送テーブルからその外部に基板を搬送する第２搬送機と
が具備されてなることを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】前記第２パターン検査部の外部に設けら
れ、前記第２搬送機で搬送された基板が設置されるとと
もに水平面に沿って回動自在に設けられた搬出テーブル
を有して基板の搬出方向を変更するアンロード部と、こ
のアンロード部に接続されてアンロード部上の不良の基
板を収納する不良基板収納装置とが具備されてなること
を特徴とする請求項１記載のパターン検査装置。
【請求項３】前記搬送機が、基板の端部下面に接触し
て基板を支持する一対以上の支持爪と、これらの支持爪
を上下移動させるとともに水平移動させてロード部から
第１パターン検査部近傍に、あるいは、第２パターン検
査部からその外部に移動させる搬送機構を具備して構成
されたことを特徴とする請求項１または２記載のパター
ン検査装置。
【請求項４】第１パターン検査部と第２パターン検査
部の搬送テーブル移動領域上に、基板上の電極パターン
に接触させるプローブ針を所定間隔で複数備えたニード
ルホルダが個々に設けられるとともに、前記第１パター
ン検査部あるいは第２パターン検査部で検査するべき複
数種類の異なるパターン間隔の基板の個々のパターンに
対応するプローブ針を取り付けた複数のニードルホルダ
が、前記第１パターン検査部と第２パターン検査部のそ
れぞれに着脱自在に付設されてなることを特徴とする請
求項１〜３のいずれかに記載のパターン検査装置。